本發(fā)明涉及一種用于使用紅外發(fā)射體將紅外輻射引入到真空處理室中的輻照裝置，所述紅外發(fā)射體在一端上被封蓋、包括由玻璃制成的呈圓管形式的發(fā)射體殼體管，所述紅外發(fā)射體的封閉端突出到所述真空處理室中，且所述紅外發(fā)射體具有真空饋通體以用于固持所述發(fā)射體殼體管并以氣密方式引導(dǎo)所述發(fā)射體殼體管穿過(guò)所述真空處理室的開(kāi)口，其中所述發(fā)射體殼體管中布置有被構(gòu)造為加熱細(xì)絲的加熱導(dǎo)體及被構(gòu)造為電流回路的回路導(dǎo)體，其中所述加熱導(dǎo)體在所述發(fā)射體殼體管的被所述真空饋通體環(huán)繞的區(qū)段中具有從所述發(fā)射體殼體管引出的連接元件。

背景技術(shù)：

已知具有加熱導(dǎo)體(下文也稱(chēng)為加熱細(xì)絲)的燈及紅外發(fā)射體(簡(jiǎn)稱(chēng)為“ir發(fā)射體”)，所述加熱導(dǎo)體由具有高熔點(diǎn)的導(dǎo)電材料制成。此類(lèi)加熱細(xì)絲具有筆直導(dǎo)線或薄片金屬區(qū)段的形狀或者蜿蜒形狀、帶形狀、線圈形狀或環(huán)圈形狀。在加熱細(xì)絲的各端之間施加電壓，使得可有電流流動(dòng)且此會(huì)產(chǎn)生熱量。因此，紅外發(fā)射體具有兩個(gè)電連接元件，其中的一者連接到加熱細(xì)絲且另一者連接到電流回路。所述連接元件經(jīng)由密封件(也被稱(chēng)為電流饋通體)從發(fā)射體殼體管中引出。

紅外發(fā)射體在真空中或在具有反應(yīng)性氣氛的真空工藝(其中將在短時(shí)間量中對(duì)待處理襯底施加顯著量的熱量)中的操作在使用中對(duì)組件及材料表現(xiàn)出了特殊挑戰(zhàn)。

對(duì)于其中發(fā)射體管會(huì)暴露于加熱細(xì)絲的高熱輸出且可用于高溫或具化學(xué)侵蝕性的環(huán)境中的具有高輸出的紅外發(fā)射體，發(fā)射體管通常由含硅量高的玻璃(例如石英玻璃)組成，所述玻璃的顯著之處在于極低的熱膨脹系數(shù)及極高的耐溫性。此會(huì)引起尋求適合的導(dǎo)電材料來(lái)用于加熱細(xì)絲及其連接件的問(wèn)題，其中這些材料同時(shí)具有大于2000℃的熔點(diǎn)且在從室溫到高達(dá)石英玻璃的處理溫度的溫度范圍中具有類(lèi)似的熱膨脹系數(shù)。氣密性電流饋通體具有所謂的“壓接件”，其中在石英玻璃發(fā)射體管的被壓接在一起的端中，使薄鉬膜熔化來(lái)作為內(nèi)連接元件與外連接元件之間的導(dǎo)電電觸點(diǎn)及中間元件，其通常呈引腳的形式。此外，在石英玻璃管中，會(huì)在軸向方向上輸送可觀的輻射功率—正如在光學(xué)濾波器中一樣—使得加熱導(dǎo)體及電流回路的熱膨脹與發(fā)射體殼體管的熱膨脹相比在結(jié)構(gòu)上可能不能被忽略。在此類(lèi)發(fā)射體中，熱量甚至?xí)诠芏说膮^(qū)域中積累且此尤其會(huì)影響密封件。此處，決定性因素是每發(fā)射體長(zhǎng)度的功率，使得尤其對(duì)于長(zhǎng)且高性能發(fā)射體，必須將此問(wèn)題考慮在內(nèi)。

如果紅外發(fā)射體被安裝在真空處理室的室壁中，那么也將以下考慮在內(nèi)：在殘留物氣氛中在從粗略真空轉(zhuǎn)變到精細(xì)真空期間且在80伏的電壓以上會(huì)隨著對(duì)應(yīng)加熱而在電源線本身中或在電源線與室壁之間產(chǎn)生火花放電。

上述問(wèn)題的確可通過(guò)發(fā)射體的相應(yīng)低的操作功率來(lái)抵消，然而，此在處理室中的相應(yīng)處理工藝所需的加熱輸出的意義上將是起到反作用的。

將發(fā)射體安裝于處理室壁中可通過(guò)在發(fā)射體管上或在處理室壁上使用凸緣來(lái)實(shí)現(xiàn)，其中這些凸緣形成真空饋通體的一部分。然而，此類(lèi)凸緣必須被固持以使得其可抵靠處理室壁沿發(fā)射體軸的方向移動(dòng)，以便不將輕微的熱膨脹轉(zhuǎn)換成對(duì)發(fā)射體管具有破壞性的張應(yīng)力：因?yàn)槭⒉ＡУ臒崤蛎洷冉饘偈冶鄣臒崤蛎浀痛蠹s一個(gè)數(shù)量級(jí)，室壁或由石英玻璃制成的殼體管甚至發(fā)生輕微的溫度變化也可相對(duì)于耐壓縮且熱穩(wěn)定密封件或電流饋通體造成問(wèn)題。將真空饋通體用于發(fā)射體管因此也會(huì)與風(fēng)險(xiǎn)相關(guān)聯(lián)。

從de102008063677a1中已知供在真空處理室中使用的在兩端上被封蓋的ir發(fā)射體，其具有一個(gè)圓形發(fā)射體管或具有雙重管。所述發(fā)射體在兩側(cè)上被真空饋通體固持于室壁中。在真空饋通體中，作為密封件，存在將發(fā)射體固定于密封位置中的o形環(huán)。發(fā)射體在真空饋通體的區(qū)域中具有不透明管區(qū)段，所述不透明管區(qū)段會(huì)減少沿真空饋通體及外壓接區(qū)段的方向來(lái)自ir發(fā)射體的加熱輸出。此種被準(zhǔn)確定位的不透明管區(qū)段的制作是復(fù)雜的。因此，將由石英玻璃制成的額外不透明管區(qū)段推套到ir發(fā)射體的殼體管上是優(yōu)選的。此種布置的缺點(diǎn)是，需要呈推套管區(qū)段形式的額外組件。此外，推套管區(qū)段會(huì)增加ir發(fā)射體在密封件的區(qū)域中的總橫截面，使得真空處理室壁中的開(kāi)口也必須具有對(duì)應(yīng)的大小。然而，在ir發(fā)射體的空間節(jié)省布置及真空泄漏的最低可能風(fēng)險(xiǎn)的意義上，室壁中相對(duì)大的開(kāi)口是起到反作用的。

在wo01/35699a1中也揭示了一種位于處理室的真空饋通體中的在一端上被封蓋的ir發(fā)射體。ir發(fā)射體布置于在一端上被封蓋的石英玻璃圓管中，其中紅外輻射源可連接到真空處理室中的能量源，所述能量源未被更詳細(xì)地揭示。為確保高輻射輸出，在發(fā)射體管內(nèi)設(shè)置有通過(guò)空氣冷卻實(shí)現(xiàn)的冷卻裝置。冷卻作用于整個(gè)發(fā)射體殼體管上且此處也會(huì)減少通向真空饋通體的區(qū)域外部的發(fā)射體管端上的熱量。然而，用于對(duì)應(yīng)冷卻的裝置是復(fù)雜的、易受破壞，且與關(guān)于待在真空處理室中處理的材料的最有效可能加熱輸出的要求相矛盾。

技術(shù)問(wèn)題

因此，本發(fā)明的目標(biāo)是提供一種用于將紅外輻射引入到真空處理室中的輻照裝置，其中會(huì)避免現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)且也會(huì)以簡(jiǎn)單的方式確保尤其長(zhǎng)ir發(fā)射體的安全且可靠的操作而甚至對(duì)于高熱輸出也無(wú)需額外組件或冷卻。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

此目標(biāo)是根據(jù)本發(fā)明來(lái)實(shí)現(xiàn)，在于，從具有以上所指定特征的紅外發(fā)射體開(kāi)始，加熱導(dǎo)體的連接元件被引導(dǎo)穿過(guò)管區(qū)段，且回路導(dǎo)體在發(fā)射體殼體管的被真空饋通體環(huán)繞的區(qū)段中具有用于補(bǔ)償熱膨脹的裝置。

對(duì)于根據(jù)本發(fā)明的輻照裝置，通過(guò)多個(gè)互補(bǔ)特征來(lái)確保在一端上被封蓋且被導(dǎo)引到真空處理室中的ir發(fā)射體的安全且可靠的操作：

在真空饋通體的區(qū)域中，通過(guò)將加熱導(dǎo)體的連接元件在發(fā)射體殼體管的此區(qū)段中導(dǎo)引于隔熱管區(qū)段中來(lái)減少到真空密封件的熱轉(zhuǎn)移。在制作過(guò)程期間可將此種相對(duì)短的管區(qū)段推套到連接元件上而不會(huì)具有很大的復(fù)雜性。所述連接元件由筆直導(dǎo)線區(qū)段形成，其中用于所述連接元件的材料優(yōu)選地具有比加熱導(dǎo)體的熱導(dǎo)率值低的熱導(dǎo)率值。由于被推套到加熱導(dǎo)體的連接元件上的管區(qū)段，在ir發(fā)射體的操作期間可相較于加熱導(dǎo)體的所設(shè)定標(biāo)稱(chēng)功率的溫度降低真空饋通體的區(qū)域中的溫度。同時(shí)，管區(qū)段也會(huì)防止以下風(fēng)險(xiǎn)：加熱導(dǎo)體的連接元件與回路導(dǎo)體接觸。

此外，回路導(dǎo)體在發(fā)射體殼體管的被真空饋通體環(huán)繞的區(qū)段中具有用于補(bǔ)償熱膨脹的裝置，此會(huì)防止回路導(dǎo)體由于其熱膨脹而扭曲且防止回路導(dǎo)體以某種其它方式接觸加熱導(dǎo)體或形成短路，從而除電干擾功能以外還會(huì)引起在局部進(jìn)行的尤其強(qiáng)烈的熱量產(chǎn)生。此也會(huì)實(shí)現(xiàn)在窄空間中將回路導(dǎo)體導(dǎo)引于中心。

先前所提及的特征的組合總體上會(huì)使根據(jù)本發(fā)明具有紅外發(fā)射體的輻照裝置甚至在高輸出下也產(chǎn)生安全且可靠的操作以及長(zhǎng)的使用壽命。這尤其適用于對(duì)其中加熱導(dǎo)體的熱膨脹及回路導(dǎo)體的熱膨脹具有尤其強(qiáng)烈效應(yīng)的長(zhǎng)發(fā)射體的使用。加熱導(dǎo)體及回路導(dǎo)體在1000℃的溫度下在100mm長(zhǎng)度內(nèi)大約0.6mm的長(zhǎng)度膨脹將被考慮在內(nèi)。除考慮熱膨脹以外，用于通過(guò)在加熱導(dǎo)體的連接元件周?chē)褂霉軈^(qū)段來(lái)降低到真空饋通體的熱轉(zhuǎn)移的措施也將被考慮在內(nèi)。此處，對(duì)于根據(jù)本發(fā)明的輻照裝置，并不需要用于在ir發(fā)射體的兩端處對(duì)其進(jìn)行冷卻的額外措施。根據(jù)本發(fā)明的紅外發(fā)射體也適合于在操作期間耐受振動(dòng)，只要其在從2hz到10hz的范圍中不超過(guò)整個(gè)發(fā)射體的0.7mm偏轉(zhuǎn)即可。另外，20m/s²的加速度不會(huì)對(duì)發(fā)射體造成任何損害。

在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，加熱導(dǎo)體在發(fā)射體殼體管的被真空饋通體環(huán)繞的區(qū)段中被導(dǎo)引穿過(guò)的管區(qū)段被構(gòu)造為石英玻璃管，且加熱導(dǎo)體的連接元件是由用鉬或鉬化合物制成的導(dǎo)線形成。

石英玻璃由于其隔熱效應(yīng)而是尤其適合的材料。此外，石英玻璃具有非常高的耐溫性，使得即使熱量在真空饋通體的區(qū)域中積累，此管區(qū)段也不會(huì)變形。原則上，作為石英玻璃的替代方案，也可使用由陶瓷耐高溫材料制成的管區(qū)段。然而，關(guān)于生產(chǎn)來(lái)說(shuō)，低材料差異性是優(yōu)選的，使得也通常用于發(fā)射體殼體管的石英玻璃還通常表示用于所討論管區(qū)段的優(yōu)選材料。此外，加熱導(dǎo)體的連接元件是由用鉬或鉬化合物制成的導(dǎo)線制成。與通常用作加熱細(xì)絲的材料的鎢相比，鉬具有更低的熱導(dǎo)率，使得使用鉬或鉬化合物作為加熱導(dǎo)體的連接元件的材料會(huì)促成降低真空饋通體的區(qū)域中的溫度負(fù)荷。

已證明以下是有效的：用于補(bǔ)償回路導(dǎo)體的熱膨脹的裝置被構(gòu)造為彈簧元件。

回路導(dǎo)體在發(fā)射體殼體管的被真空饋通體環(huán)繞的區(qū)域中的彈簧元件能夠吸收在操作期間在長(zhǎng)發(fā)射體及眾多切換過(guò)程中發(fā)生的幾厘米的可觀長(zhǎng)度改變。因此，彈簧元件會(huì)促成ir發(fā)射體的安全且可靠的操作。

此處，彈簧元件有利地被構(gòu)造成導(dǎo)線線圈的形式，所述導(dǎo)線線圈圍繞加熱導(dǎo)體的連接元件的管區(qū)段纏繞。

以此方式，可在發(fā)射體殼體管的區(qū)段內(nèi)圍繞真空饋通體的區(qū)域中實(shí)現(xiàn)緊密構(gòu)造。

如果提供導(dǎo)線線圈作為用于補(bǔ)償回路導(dǎo)體的熱膨脹的裝置，則將此導(dǎo)線線圈(用于補(bǔ)償熱膨脹的裝置)與回路導(dǎo)體本身以單件式形成為由鉬或鉬化合物制成的導(dǎo)線是優(yōu)選的。

在此種情況中，回路導(dǎo)體不具有焊接點(diǎn)，而是被連續(xù)地制成為由鉬或鉬合金制成的導(dǎo)線，所述導(dǎo)線也用作回路導(dǎo)體的連接元件且從發(fā)射體殼體管引出。對(duì)于此實(shí)施例，避免將焊接工藝或其它連接類(lèi)型用于連接回路導(dǎo)體的區(qū)段，此也會(huì)降低連接(焊接點(diǎn))中出現(xiàn)瑕疵的風(fēng)險(xiǎn)。

作為彈簧元件的替代方案，用于補(bǔ)償回路導(dǎo)體的熱膨脹的裝置被構(gòu)造為由碳制成的滑動(dòng)軸承，所述滑動(dòng)軸承具有彼此滑動(dòng)接觸的至少兩個(gè)導(dǎo)電滑動(dòng)軸承元件，其中所述滑動(dòng)軸承元件中的一者被構(gòu)造為滑動(dòng)桿且另一滑動(dòng)軸承元件被構(gòu)造為滑動(dòng)套管。

所述滑動(dòng)軸承形成使得能夠?qū)芈穼?dǎo)體的長(zhǎng)度膨脹進(jìn)行無(wú)力式補(bǔ)償?shù)膶?dǎo)電組件。此處，長(zhǎng)度補(bǔ)償是通過(guò)材料接合配合以及滑動(dòng)元件彼此的導(dǎo)電滑動(dòng)接觸而在無(wú)需彈簧的作用的情況下實(shí)現(xiàn)。碳(尤其是石墨)尤其適合作為軸承材料，因?yàn)槠淠ノg具有自潤(rùn)滑效應(yīng)。其也提供良好的導(dǎo)電性。

對(duì)于其中將補(bǔ)償非常大的長(zhǎng)度改變的情況，可提供甚至多個(gè)滑動(dòng)軸承。已表明，此種組件滿足關(guān)于導(dǎo)電性、耐熱性及機(jī)械長(zhǎng)久性的要求且促成延長(zhǎng)紅外發(fā)射體(尤其甚至是大長(zhǎng)度的紅外發(fā)射體)的使用壽命。此類(lèi)滑動(dòng)軸承也可用作用于補(bǔ)償加熱導(dǎo)體的熱膨脹的裝置。

作為在根據(jù)本發(fā)明的ir發(fā)射體的安全且可靠操作的意義上的其它裝置，將連接到加熱導(dǎo)體的支撐元件導(dǎo)引于發(fā)射體殼體管的封閉端中。

所述支撐元件在一側(cè)上固定于殼體管的玻璃壁中(例如通過(guò)熔合)，且在另一側(cè)上連接到加熱導(dǎo)體，使得所述加熱導(dǎo)體對(duì)于因加熱引起的長(zhǎng)度改變基本上僅沿其軸向軸移動(dòng)，且松弛或松垂得以抵消。

在紅外發(fā)射體的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，支撐元件被構(gòu)造為由鉬或鉬化合物制成桿，所述桿在發(fā)射體殼體管的封閉端中被導(dǎo)引成與加熱細(xì)絲對(duì)準(zhǔn)。

有利地，由鉬或鉬化合物制成的桿以強(qiáng)制鎖定配合或材料接合配合連接到加熱細(xì)絲，且通過(guò)發(fā)射體殼體管的壓接區(qū)段來(lái)實(shí)現(xiàn)在發(fā)射體殼體管的封閉端中的導(dǎo)引。

鉬材料(或鉬合金)已由于其耐溫性而證明在ir發(fā)射體中使用是有效的。所述桿經(jīng)定位以使得其延伸為與加熱細(xì)絲齊平的支撐元件且此處通過(guò)壓接區(qū)段固定于殼體管的玻璃壁中。到加熱細(xì)絲的連接是強(qiáng)制鎖定配合或材料接合配合，其中舉例來(lái)說(shuō)，強(qiáng)制鎖定配合連接是通過(guò)將圓桿插入到線圈狀加熱細(xì)絲的繞組中且被所述繞組圍繞而產(chǎn)生?？赏ㄟ^(guò)將支撐元件焊接到加熱細(xì)絲來(lái)實(shí)現(xiàn)材料接合連接。此種措施防止在加熱細(xì)絲由于加熱而經(jīng)歷長(zhǎng)度改變的情況下加熱細(xì)絲發(fā)生彎曲、松弛、旋轉(zhuǎn)或松垂。

為產(chǎn)生壓接區(qū)段，使用壓接機(jī)器，例如，所述壓接機(jī)器具有圍繞待壓接的發(fā)射體殼體管旋轉(zhuǎn)的兩個(gè)燃燒器、及兩個(gè)對(duì)置的壓接鉗。發(fā)射體殼體管一被軟化，燃燒器旋轉(zhuǎn)就停止，使得壓接鉗移動(dòng)經(jīng)過(guò)燃燒器且抵靠所述管并對(duì)管進(jìn)行壓縮，以便將放置于此管中的支撐元件(桿)圍封于壓接區(qū)段中。

當(dāng)將回路導(dǎo)體在平行于加熱細(xì)絲的區(qū)段中導(dǎo)引于石英玻璃管中時(shí)，根據(jù)本發(fā)明的紅外發(fā)射體已證明是尤其有利的。

由于石英玻璃管，回路導(dǎo)體相對(duì)于加熱導(dǎo)體被隔離，使得不會(huì)產(chǎn)生電火花放電。同時(shí)，由加熱細(xì)絲輸出的輻射僅被環(huán)繞回路導(dǎo)體的石英玻璃管略微地遮蔽，使得此種措施實(shí)際上不會(huì)引起輻射功率的顯著損失，但對(duì)于ir發(fā)射體的安全且可靠的操作來(lái)說(shuō)卻是改進(jìn)之處。

在另一優(yōu)選實(shí)施例中，加熱細(xì)絲由至少一個(gè)間隔件在一側(cè)上相對(duì)于發(fā)射體殼體管的內(nèi)壁支撐且在另一側(cè)上相對(duì)于被導(dǎo)引于石英玻璃管中的回路導(dǎo)體被支撐。

所述間隔件可以由鉭制成的墊圈的形式提供，所述墊圈通過(guò)切口或槽成形使得其將加熱細(xì)絲與導(dǎo)引回路導(dǎo)體的石英玻璃管固持成彼此相距且與發(fā)射體殼體管的內(nèi)壁相距安全的距離。除鉭以外，還可使用鈮作為間隔件的材料。在此上下文中，作為用于加熱導(dǎo)體及/或回路導(dǎo)體的材料，優(yōu)點(diǎn)是鉭及鈮與鎢或鉬相比具有相對(duì)低的熱導(dǎo)率及高的比電阻。尤其在將ir發(fā)射體垂直使用時(shí)，可通過(guò)在發(fā)射體殼體管的內(nèi)壁上形成小的玻璃凸塊將間隔件固持于沿著發(fā)射體的縱向軸的某一位置處。甚至對(duì)于長(zhǎng)發(fā)射體，此類(lèi)間隔件也有利于確保在發(fā)射體的長(zhǎng)度內(nèi)對(duì)尤其是加熱導(dǎo)體進(jìn)行有序的導(dǎo)引，使得因加熱導(dǎo)體的扭曲或松垂而發(fā)生短路的風(fēng)險(xiǎn)得以排除。

附圖說(shuō)明

以下參考專(zhuān)利圖式及實(shí)施例來(lái)更詳細(xì)地解釋本發(fā)明。以示意性表示形式詳細(xì)展示的是：

圖1根據(jù)本發(fā)明的輻照裝置的紅外發(fā)射體的第一實(shí)施例，其具有具彈簧元件的回路導(dǎo)體，

圖2紅外發(fā)射體的替代實(shí)施例，其具有在真空饋通體的區(qū)域中具滑動(dòng)軸承的回路導(dǎo)體，

圖3來(lái)自圖1及2的區(qū)段a的詳視圖，區(qū)段a在發(fā)射體殼體管的封閉端上具有支撐元件，

圖4供在紅外發(fā)射體中使用的間隔件。

具體實(shí)施方式

圖1示意性地展示紅外發(fā)射體1，其具有由石英玻璃制成的具有圓形橫截面(外徑為19mm)的軸對(duì)稱(chēng)發(fā)射體殼體管2。紅外發(fā)射體1由包括密封環(huán)4及一種類(lèi)型的壓蓋5的真空饋通體3固持于真空處理室的開(kāi)口中且以其封閉端突出到真空處理室中。ir發(fā)射體1是針對(duì)800℃以上的操作溫度而加以設(shè)計(jì)。

在發(fā)射體殼體管2中，存在(受熱)長(zhǎng)度為140cm的由鎢制成的線圈狀加熱導(dǎo)體6(加熱細(xì)絲)，以及回路導(dǎo)體7(電流回路)?；芈穼?dǎo)體7平行于加熱導(dǎo)體6的受熱區(qū)域而被導(dǎo)引于石英玻璃管8中。在發(fā)射體殼體管2的封閉端的區(qū)域中，加熱導(dǎo)體6及回路導(dǎo)體7通過(guò)短連接件9彼此連接。此外，支撐元件10位于此處，其表示用于加熱導(dǎo)體6的固持器且固定于發(fā)射體殼體管2中。

在發(fā)射體殼體管的位于真空饋通體3的區(qū)域中的區(qū)段中，將由石英玻璃制成的長(zhǎng)度為60mm到80mm的短管11推套到加熱導(dǎo)體6的連接元件12上，這會(huì)大幅減少到真空饋通體3的密封件4的熱轉(zhuǎn)移。在真空饋通體3的區(qū)域中，由于將由石英玻璃制成的管11推套到連接元件12上，因此溫度會(huì)處于大約250℃以下，而在ir發(fā)射體的可用長(zhǎng)度的區(qū)域中，加熱導(dǎo)體6會(huì)達(dá)到高達(dá)2500℃的溫度。在加熱導(dǎo)體6上及在回路導(dǎo)體7上焊接有電連接元件12、12‘，電連接元件12、12‘經(jīng)由位于真空饋通體3外部的壓接區(qū)段13從發(fā)射體殼體管2中引出到未展示的連接器底座。

回路導(dǎo)體7在真空饋通體3的區(qū)域中具有呈導(dǎo)線線圈形式的彈簧元件14。所述導(dǎo)線線圈在15mm的軸向長(zhǎng)度區(qū)段上包括多達(dá)八個(gè)繞組且圍繞在加熱導(dǎo)體6的此區(qū)段中被推套到連接元件12上的短石英玻璃管11纏繞。由于所述導(dǎo)線線圈，回路導(dǎo)體7的長(zhǎng)度熱膨脹得以補(bǔ)償，其中會(huì)由ir發(fā)射體在2500℃下的操作引起8mm的膨脹。

圖2僅展示ir發(fā)射體1的位于真空饋通體3的區(qū)域中的區(qū)域。與圖1形成對(duì)比，用于補(bǔ)償熱膨脹的裝置并非是彈簧元件，而是由高純度技術(shù)碳制成的滑動(dòng)軸承15，滑動(dòng)軸承15連接到回路導(dǎo)體7?；瑒?dòng)軸承15是摩擦支持式距離補(bǔ)償元件，其具有具兩個(gè)通路孔的滑動(dòng)套管16，所述兩個(gè)通路孔各自以滑動(dòng)配合h7/h7來(lái)成對(duì)地固持由鉬制成的滑動(dòng)桿17。所述滑動(dòng)桿具有1.4mm的直徑。一個(gè)滑動(dòng)桿通過(guò)焊接連接到回路導(dǎo)體7的鉬導(dǎo)線且另一滑動(dòng)桿也通過(guò)焊接連接到回路導(dǎo)體7的從殼體管2的端引出的電連接元件12‘。為補(bǔ)償回路導(dǎo)體7的鉬導(dǎo)線(導(dǎo)線直徑為大約0.9mm)相對(duì)于滑動(dòng)軸承(直徑為1.4mm)的鉬桿的直徑差異，將鉬導(dǎo)線在焊接點(diǎn)處以幾匝纏繞于滑動(dòng)桿上且接著進(jìn)行焊接?；瑒?dòng)桿的與回路導(dǎo)體7的鉬導(dǎo)線連接處及到連接元件12‘的連接處相對(duì)的端從滑動(dòng)套管部分突出且具有較粗區(qū)段18，此防止滑動(dòng)桿17從滑動(dòng)套管16滑出?；瑒?dòng)軸承15在回路導(dǎo)體7與連接元件12‘之間形成導(dǎo)電組件，此準(zhǔn)許在操作期間對(duì)回路導(dǎo)體7的長(zhǎng)度膨脹進(jìn)行無(wú)力式補(bǔ)償。此處的長(zhǎng)度補(bǔ)償是僅通過(guò)材料結(jié)合配合以及滑動(dòng)元件彼此的導(dǎo)電滑動(dòng)接觸而在無(wú)彈簧效應(yīng)的情況下發(fā)生。

在圖3中，以詳視圖展示圖1的具有發(fā)射體殼體管2的封閉端的區(qū)段a。被構(gòu)造為由鉬制成的圓桿的支撐元件10通過(guò)壓接區(qū)段13.1固定于殼體管2的玻璃壁中。另外，所述桿由與發(fā)射體殼體管2的內(nèi)徑相適配的支撐線圈19固持且接觸殼體管2的內(nèi)壁。所述桿的直徑是0.875mm且經(jīng)調(diào)整以使得其可以強(qiáng)制(形式)配合被插入到加熱細(xì)絲6的繞組中。所述桿經(jīng)設(shè)計(jì)以使得在發(fā)生熱膨脹及相關(guān)聯(lián)勁度損失的情況下加熱細(xì)絲6不會(huì)松垂，而是以基本上對(duì)準(zhǔn)的方式被導(dǎo)引，即，保持于其徑向位置中。以此方式，以下風(fēng)險(xiǎn)被最小化：熱膨脹將致使加熱細(xì)絲6在此區(qū)段中接觸回路導(dǎo)體7且因此引起短路。此外，在圖3中，可看到加熱導(dǎo)體6與回路導(dǎo)體7之間的連接件9，在此種情形中，連接件9是在兩端處具有幾個(gè)繞組的由鉬制成的導(dǎo)線件，所述繞組被焊接到加熱導(dǎo)體6及回路導(dǎo)體7。然而，作為連接件9，也存在不具有繞組的筆直導(dǎo)線或可使用的另一薄片金屬部分，其被焊接到加熱導(dǎo)體或回路導(dǎo)體且滿足對(duì)應(yīng)的電要求。

圖4展示在受熱長(zhǎng)度的區(qū)域中貫穿發(fā)射體殼體管2的橫截面，其中提供有由鉭制成的多個(gè)間隔件20以用于將加熱導(dǎo)體6及回路導(dǎo)體7準(zhǔn)確地定位于發(fā)射體殼體管2中的目的。間隔件20在一側(cè)上相對(duì)發(fā)射體殼體管2的內(nèi)壁被支撐且在另一側(cè)上相對(duì)于導(dǎo)引于石英玻璃管8中的回路導(dǎo)體7被支撐，其中間隔件20具有導(dǎo)引槽21及敞開(kāi)的圓形切口22。加熱導(dǎo)體6被導(dǎo)引于導(dǎo)引槽21中且敞開(kāi)的圓形切口22固持環(huán)繞回路導(dǎo)體7的石英玻璃管8。以此方式，加熱導(dǎo)體6及導(dǎo)引回路導(dǎo)體7的石英玻璃管8被固持成彼此相距且與發(fā)射體殼體管2的內(nèi)壁相距安全且可靠的距離。間隔件20通過(guò)小的玻璃凸塊或圓突23被固持于發(fā)射體殼體管的內(nèi)壁上，小的玻璃凸塊或圓突23尤其在ir發(fā)射體被垂直使用時(shí)將間隔件20固定于沿著發(fā)射體的縱向軸的某一位置處。甚至對(duì)于長(zhǎng)的發(fā)射體，此種類(lèi)型的一或多個(gè)間隔件也會(huì)確保在發(fā)射體的長(zhǎng)度內(nèi)尤其對(duì)加熱導(dǎo)體進(jìn)行恰當(dāng)導(dǎo)引。