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光伏模塊及用于產(chǎn)生其的方法與流程

文檔序號:11289713閱讀:315來源:國知局
光伏模塊及用于產(chǎn)生其的方法與流程

本發(fā)明涉及一種光伏模塊,以及用于產(chǎn)生此光伏模塊的方法。具體而言,本發(fā)明涉及一種帶有借助于接觸指連接的光伏電池的光伏模塊,以及用于產(chǎn)生此光伏模塊的方法。



背景技術(shù):

由于光伏電池的內(nèi)在性質(zhì),每個電池的可用輸出電壓太低而不可用。因此,為了實(shí)現(xiàn)可用的輸出電壓,通常若干光伏電池一般串聯(lián)連接。對于薄膜太陽能電池,該串聯(lián)連接通常通過將光伏電池的頂部觸頭布線(route)至相鄰光伏電池的底部觸頭來執(zhí)行。這種連接電池的方式通常稱為"整體集成"。與整體集成相關(guān)聯(lián)的公知的問題在于,由于該布線,光伏電池的部分區(qū)域不會貢獻(xiàn)光伏轉(zhuǎn)換。在本領(lǐng)域內(nèi),該部分區(qū)域稱為"死區(qū)"。對于太陽能電池的性能,重要的是最小化該死區(qū)。整體集成中的另一個損失在于頂部透明傳導(dǎo)氧化物(tco)層需要相對傳導(dǎo)以最小化電阻損失。然而,通過使tco非常傳導(dǎo),其也吸收更多光,這降低了太陽能電池的性能。由于tco的有限性能,該層中的太陽能電池的性能存在相對大的損失。

為了改進(jìn)光伏模塊中的相鄰光伏電池之間的串聯(lián)連接,本領(lǐng)域中公開了若干解決方案,這些解決方案可涉及金屬柵格。然而,由于該金屬柵格引起的遮蔽,妨礙了一些光進(jìn)入吸收器。該現(xiàn)象稱為"陽光阻擋"。

在現(xiàn)有技術(shù)中存在針對改進(jìn)光伏模塊內(nèi)的互連的若干解決方案。ep2393122a1中公開了一個解決方案,ep1868250a2中公開了另一解決方案。這兩個解決方案都提供了涉及相當(dāng)復(fù)雜的處理的解決方案。

本發(fā)明的目的在于提供一種改進(jìn)的光伏模塊。另一個目的在于向光伏模塊提供改進(jìn)的互連結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的額外目的在于提供一種用于產(chǎn)生改進(jìn)的光伏模塊的方法。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

可從下面的公開內(nèi)容構(gòu)想的以上目的中的一個或多個以及其它可能的目的由用于產(chǎn)生光伏模塊的方法構(gòu)成的本發(fā)明的第一方面滿足。該方法包括將接觸層沉積在基底上,形成穿過接觸層的第一間隙,使得限定第一觸頭和第二觸頭,且第一觸頭和第二觸頭通過第一間隙與彼此隔離開且具有面向彼此的側(cè)壁。第一觸頭是用于第一光伏電池的底部觸頭,且第二觸頭是用于第二光伏電池的底部觸頭。該方法還包括將光伏疊層沉積在基底上,形成穿過光伏疊層的第二間隙,其與第一間隙平行且至少部分地重疊,使得在第一光伏電池與第二光伏電池之間形成光伏疊層中的間隙,且第二觸頭的上側(cè)的接觸區(qū)域變?yōu)榭蓮纳戏浇咏5诙g隙布置成使得第一觸頭的面向第二觸頭的側(cè)壁且與其相對的側(cè)壁的至少一部分由光伏疊層覆蓋。該方法還包括形成從第一光伏電池的光伏疊層的頂部延伸至可從上方接近的第二觸頭的接觸區(qū)域的接觸指,由此第一光伏電池和第二光伏電池變?yōu)榇?lián)連接。

以上目的和其它可能的目的由光伏模塊構(gòu)成的本發(fā)明的第二方面進(jìn)一步滿足。光伏模塊包括基底上的接觸層、穿過接觸層的第一間隙,其中限定第一觸頭和第二觸頭,且第一觸頭和第二觸頭通過第一間隙與彼此隔離且具有面向彼此的側(cè)壁。第一觸頭是用于第一光伏電池的底部觸頭,且第二觸頭是用于第二光伏電池的底部觸頭。光伏模塊還包括基底上的光伏疊層,以及穿過光伏疊層的第二間隙,其與第一間隙平行且重疊,使得間隙在第一光伏電池與第二光伏電池之間形成在光伏疊層中,且第二觸頭的上側(cè)的區(qū)域變?yōu)榭蓮纳戏浇咏5诙g隙布置成使得第一觸頭的面向第二觸頭的側(cè)壁且與其相對的側(cè)壁的至少一部分由光伏疊層覆蓋。光伏模塊還包括從第一光伏電池的光伏疊層的頂部延伸至可從上方接近的第二觸頭的上側(cè)的接觸區(qū)域的接觸指,由此第一光伏電池和第二光伏電池變?yōu)榇?lián)連接。

根據(jù)第二方面的光伏模塊提供了一種改進(jìn)的光伏模塊,因?yàn)榻佑|指提供帶有低電阻和低陽光阻擋的連接。此外,根據(jù)第二方面的光伏模塊提供了用于光伏電池的串聯(lián)連接的有效結(jié)構(gòu)。

下面描述了第一方面的額外或備選特征。

形成穿過光伏疊層的第二間隙的步驟可包括形成與第一間隙至少部分地重疊的穿過光伏疊層的第二凹槽,以及形成穿過光伏疊層的第二孔,其中第二孔與第二凹槽至少部分地重疊。由于第二觸頭的較大區(qū)域變得可接近,這允許了接觸指的較容易的布線。此外,第二觸頭上的接觸指的接觸區(qū)域大體上有助于使用金屬指的互連物的低電阻。

形成穿過接觸層的第一間隙的步驟可包括形成穿過接觸層的第一凹槽、形成穿過接觸層的第一孔,其中第一孔與第一凹槽至少部分地重疊。這意味著第一孔限定用于第一光伏電池與第二光伏電池之間的接觸指的連接的區(qū)域,且光伏疊層不必覆蓋第一觸頭中的第一凹槽的側(cè)壁,而是可改為填充第一孔。在此情況下,接觸指變?yōu)榻柚趶捻敳坑|頭到第一間隙的過渡附近的光伏疊層與第一觸頭隔離。

第一孔和第二孔在彼此附近。這意味著接觸指的長度盡可能短,由此接觸指的電阻最小化。關(guān)于制造的另一個優(yōu)點(diǎn)在于容易布線直線。

第一孔的第一中心點(diǎn)和第二孔的第二中心點(diǎn)可位于大致垂直于第一凹槽和第二凹槽的中心線上。這具有的效果在于接觸指的長度盡可能短,最小化接觸指的電阻。這還具有的效果在于第一凹槽中的接觸指的長度很短。

接觸指的形成可構(gòu)造成平行于中心線形成接觸指。這可具有的效果在于接觸指的長度盡可能短。

第一凹槽和第一孔的形成可同時(shí)執(zhí)行。第一凹槽和第一孔的該同時(shí)形成意味著第一凹槽和第一孔的形成之間不需要基底的精確再定位。

第一凹槽和第一孔的形成可使用機(jī)械手段同時(shí)執(zhí)行。這允許了光伏模塊的容易制造。機(jī)械手段可包括銑削、激光蝕刻或劃線。

光伏疊層在基底上的沉積可包括形成帶有zao頂層的cigs疊層作為頂部觸頭。zao頂層提供帶有低電阻的頂部觸頭,且如果其與接觸指組合,則zao層的厚度可減小,從而允許更多光進(jìn)入cigs疊層。

光伏疊層在基底上的沉積可包括形成帶有透明傳導(dǎo)氧化物(tco)頂層的cigs疊層作為頂部觸頭。tco頂層提供帶有低電阻的頂部觸頭,且如果其與接觸指組合,則tco層的厚度可減小,從而允許更多光進(jìn)入cigs疊層。

下面,提出了第二方面的額外或備選的特征。

穿過光伏疊層的第二間隙可包括第二凹槽和第二孔。第二孔可與第二凹槽至少部分地重疊。由于第二觸頭的較大區(qū)域變得可接近,這允許了接觸指的容易的布線。此外,增大接觸指與第二觸頭之間的接觸面積大體上有助于低電阻。

接觸層中的第一間隙可包括穿過接觸層的第一凹槽,以及穿過接觸層的第一孔,其中第一孔與第一凹槽至少部分地重疊。這意味著第一孔限定用于在第一光伏電池與第二光伏電池之間與接觸指的連接的區(qū)域,且光伏疊層不必覆蓋第一凹槽中的第一觸頭的側(cè)壁,而是可改為填充第一孔。在此情況下,填充有光伏疊層的第一孔提供用于將接觸指從第一光伏電池的頂部觸頭布線至第二光伏電池的第二觸頭的隔離區(qū)域。

第一孔和第二孔可在彼此附近。這意味著接觸指的長度可盡可能短,由此接觸指的電阻減小。其另一個優(yōu)點(diǎn)在于有效制造可變得可能。

第一孔的第一中心點(diǎn)和第二孔的第二中心點(diǎn)可位于垂直于第一凹槽和第二凹槽的中心線上。這具有的效果在于接觸指的長度可盡可能短,且因此電阻可最小化。

接觸指可為布置成與中心線平行的金屬指。這可允許減小接觸指的電阻的短金屬指。

光伏疊層可包括帶有zao頂部觸頭的cigs結(jié)構(gòu)。zao頂層提供帶有低電阻的頂部觸頭,且如果其與接觸指組合,則zao層的厚度可減小,從而允許更多光進(jìn)入cigs疊層。

附圖說明

圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的光伏模塊的透視圖,

圖2a)-圖2f)以截面視圖和頂視圖示出了用于產(chǎn)生根據(jù)第一實(shí)施例的光伏模塊的方法的實(shí)施例,

圖3a-圖3c)以截面視圖和頂視圖示出了第一間隙的不同實(shí)施例,

圖4a)-圖4c)以截面視圖和頂視圖示出了第二間隙的不同實(shí)施例,

圖5示出了根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施例的光伏模塊的透視圖,

圖6a)-圖6f)以截面視圖和頂視圖示出了用于產(chǎn)生根據(jù)第三實(shí)施例的光伏模塊的方法的實(shí)施例,

圖7為示出用于產(chǎn)生根據(jù)本發(fā)明的光伏模塊的方法的實(shí)施例的流程圖,以及

圖8為cigs光伏疊層的截面視圖。

具體實(shí)施方式

發(fā)明人設(shè)計(jì)出了一種使光伏模塊中的光伏電池互連的方式,其可需要較少的機(jī)械操作,且同時(shí)減小了光伏模塊的死區(qū)。在該詳細(xì)描述中,參照了通常指定為cigs光伏疊層的cu(in,ga)se2光伏疊層描述了新穎互連結(jié)構(gòu),但發(fā)明的構(gòu)想還可用于使用薄膜技術(shù)的其它光伏疊層中。

下文中諸如"上方"、"下方"、"頂部"和"底部"等的位置用語用于幫助理解本發(fā)明且僅描述元件之間的相對位置。本領(lǐng)域的技術(shù)人員理解到這些關(guān)系可相反。

圖1中示出了本發(fā)明的第一實(shí)施例,大體上指定為101的光伏模塊。光伏模塊101包括基底102?;?02可為玻璃或另一適合材料的板,其提供充分隔離和適合的表面性質(zhì)。

接觸層103布置在基底102上。接觸層103可包括沉積在基底102上的一層鉬(mo)。第一間隙104設(shè)在接觸層103中。該第一間隙104形成且限定接觸層103中的第一觸頭105和第二觸頭106。第一觸頭105是用于第一光伏電池107的底部觸頭,且第二觸頭106是用于第二光伏電池108的底部觸頭。第一間隙104延伸穿過接觸層103的厚度,使得第一觸頭105和第二觸頭106與彼此隔離。

光伏疊層109設(shè)在第一觸頭105和第二觸頭106中的各個上。該光伏疊層109可包括帶有zao的透明頂部觸頭的cigs疊層。下文中參照圖8來描述此cigs疊層。該光伏疊層109在第一觸頭105上形成第一光伏電池107,且在第二觸頭106上形成第二光伏電池108。

為了從光伏模塊達(dá)到較高電壓,第一光伏電池107和第二光伏電池108借助于金屬柵格串聯(lián)連接,其中接觸指布置在光伏疊層109的頂部上。在圖1中,示出了一個接觸指111。該接觸指111連接至第一光伏電池107上的光伏疊層109的頂部觸頭。該頂部觸頭可為傳導(dǎo)且透明的zao層。為了達(dá)到第一光伏電池107與第二光伏電池108之間的良好串聯(lián)連接,接觸指111連接至第一光伏電池107上的光伏疊層109的頂部觸頭,且延伸至第二觸頭106的接觸區(qū)域112。這意味著第一光伏電池107的頂部觸頭借助于接觸指111串聯(lián)連接至第二光伏電池108的第二觸頭106。然而,為了避免第一間隙104中由于接觸指111引起的第一光伏電池107中的短路,光伏疊層109的區(qū)域在接觸指111越過第一間隙104延伸的區(qū)域中在接觸指111下方延伸至基底102。

由于光伏疊層109包括可由于半導(dǎo)體性質(zhì)而幾乎絕緣的光伏材料,在接觸指111下方延伸至基底102的光伏疊層109的區(qū)域從而使接觸指111與第一觸頭105有效地隔離。以此方式,避免了第一光伏電池107中的短路。

為了避免第二觸頭106附近的第二光伏電池108中的短路,重要的是接觸指111不與接觸區(qū)域112附近的第二光伏電池的光伏疊層109接觸。

光伏疊層109如果制造為薄膜,則通常通過濺射、蒸發(fā)、涂布等形成。薄膜光伏疊層109的常見示例在圖8中示出。在該示例中,光伏疊層109包括吸收器801。例如,吸收器可為通常稱為cigs吸收器的cu(in,ga)(se,s)2吸收器。光伏疊層109還包括例如由cds制成的緩沖層802。并且,光伏疊層109還包括例如由zno制成的第一窗口層803,以及例如由zao(即,al摻雜的zno(zao))制成的第二窗口層804。zao材料是良好的導(dǎo)體,且常常用作光伏電池109的頂部觸頭。

接觸指111可借助于蒸發(fā)光致抗蝕劑掩模上的al層制造,且圖案可借助于將光致抗蝕劑溶解在溶質(zhì)中來產(chǎn)生,由此產(chǎn)生升離過程且形成al圖案。光刻的使用允許高制造精度。

本發(fā)明的第二實(shí)施例在圖2a)-圖2f)中部分地示出。功能上涉及第一實(shí)施例的特征的第二實(shí)施例的特征給定相同數(shù)字索引。第二實(shí)施例提供了用于產(chǎn)生根據(jù)本發(fā)明的光伏模塊101的方法。在圖2中的子圖a)-f)的各個中,上部的圖示出了截面,且下部的圖示出了頂視圖。

在圖2中概述的方法中,執(zhí)行了以下步驟:

a)提供適合的基底102,該基底例如可為玻璃基底、設(shè)有絕緣涂層的鋼板,或不銹鋼條。

b)沉積接觸層103。該沉積可通過蒸發(fā)/濺射等執(zhí)行,用于接觸層103的常見材料是mo。

c)借助于例如激光圖案形成、劃線、蝕刻等產(chǎn)生第一間隙104。該第一間隙104延伸穿過接觸層103,且形成與彼此電隔離的第一觸頭105和第二觸頭106。該第一間隙104可包括利用上文所述的方法形成的第一凹槽113和第一孔114。有利地,第一凹槽113和第一孔114例如借助于在第一凹槽113的劃線期間控制劃線器來制造第一孔114在相同操作中形成。第一凹槽113的典型寬度在10μm到100μm的范圍中,但通常是50μm。

d)將光伏疊層109沉積在基底102上,覆蓋第一觸頭105、第二觸頭106和第一間隙104。在本發(fā)明的一個實(shí)施例中,光伏疊層109是cigs結(jié)構(gòu),諸如上文參照圖8描述的疊層。

e)該方法還包括形成第二間隙110的步驟。第二間隙110可使用如上文在c)中概述的相同方法形成。在該實(shí)施例中,第二間隙110包括第二凹槽115和第二孔116。第二孔116和第一孔114可共用穿過其相應(yīng)中心的公共中心線117。第二孔116和第一孔114可定位在彼此附近。第二間隙110延伸穿過光伏疊層109,使得第一光伏電池107和又一個第一光伏電池107分別形成在第一觸頭105和第二觸頭106上。第二觸頭106的接觸區(qū)域112通過該步驟e)變?yōu)榭蓮纳戏浇咏Q言之,產(chǎn)生第二光伏電池108的光伏疊層109中的開口,使得第二觸頭106的至少一部分變?yōu)榭山咏?,其中在垂直于開口看時(shí),開口與第二凹槽115至少部分地重疊。

f)該方法還包括在光伏疊層109上形成接觸指111,其從第一光伏電池107的光伏疊層109的頂部延伸至第二光伏電池108的第二觸頭106的接觸區(qū)域112。接觸指111可布置成平行于中心線117。接觸指111的該布置引起第一光伏電池107變?yōu)榇?lián)連接至第二光伏電池108。

在圖3a)-圖3c)中,公開了第一間隙104的不同備選實(shí)施例。在圖3a中,第一間隙104公開為包括第一凹槽113,其中至少部分地重疊的第一孔114帶有平行四邊形的形式。

圖3b示出了備選的第一間隙104,帶有第一凹槽113和帶有矩形形式的部分地重疊的第一孔114。

最終,圖3c示出了第一間隙104,帶有第一凹槽113和帶有非一致凹部的形式的第一孔114。

圖3中公開的實(shí)施例示出了提供用于光伏疊層109的區(qū)域的構(gòu)想,光伏疊層109延伸穿過接觸層103,以用于提供接觸指111的隔離來用于從第一光伏電池107到第二光伏電池108的連接。

在圖4a)-圖4c)中,公開了第二間隙110的不同備選實(shí)施例。圖4a示出了第二間隙110,其包括第二凹槽115,帶有平行四邊形的形式的至少部分地重疊的第二孔116。

圖4b示出了第二間隙110,帶有第二凹槽115和矩形形式的部分地重疊的第二孔116。

最終,圖4c示出了第二間隙110,帶有第二凹槽115和光伏疊層109中的非一致開口的形式的第二孔116。

圖4中公開的一個重要特征在于,第二孔116可具有不同形狀,但所有不同實(shí)施例都提供未由光伏疊層109覆蓋的第二觸頭106上的接觸區(qū)域112。

第二孔116可在第二凹槽115的形成期間有利地形成。例如,如果第二凹槽115借助于計(jì)算機(jī)控制的劃線器形成,則第二孔116可通過使劃線器編程來在第二凹槽115的形成期間進(jìn)行額外擺動來形成。

圖5公開了光伏模塊101'的第三實(shí)施例。該第三實(shí)施例與第一實(shí)施例的光伏模塊101的差別在于,第一間隙104'包括帶有寬度(w1)的第一凹槽113',該寬度(w1)比第二間隙110'的第二凹槽115'的寬度(w2)更寬。這意味著光伏疊層109'將覆蓋面向第一間隙104'的第一觸頭105'的側(cè)壁,由此接觸指111將與第一觸頭105'隔離開。

第三實(shí)施例的光伏疊層109可包括根據(jù)以上描述且如圖8中所示的光伏結(jié)構(gòu)。

在圖6a)-圖6f)中,公開了用于產(chǎn)生根據(jù)第三實(shí)施例的光伏模塊101'的方法。功能上涉及第一實(shí)施例的特征的第三實(shí)施例的特征給定相同數(shù)字索引,但帶有上標(biāo)。

該方法始于基底102,例如,其可為玻璃板或金屬條。

在圖6b中,接觸層103'借助于例如濺射、蒸發(fā)等沉積在基底102'上。接觸層103'可為一層鉬(mo)。

圖6c)公開了借助于劃線、激光蝕刻、銑削等形成第一間隙104'的過程。第一間隙104'限定與彼此電隔離的第一觸頭105和第二觸頭106。在該實(shí)施例中,第一間隙104'包括延伸穿過接觸層103'的帶有寬度w1'的第一凹槽113'。

圖6d)公開了利用光伏疊層109'覆蓋基底102'、第一觸頭105'和第二觸頭106'的過程。光伏疊層109'可為如上文參照圖8概述的cigs光伏疊層。

在圖6e)中,第二間隙110'可借助于劃線、激光蝕刻等限定。在第二間隙110'的形成期間,該過程可以以一種方式構(gòu)造成使得僅除去光伏疊層109',在劃線器的末梢或激光束沖擊接觸層103'上的光伏疊層109'的情況下將僅除去光伏疊層109'。在該實(shí)施例中,第二間隙110'包括第二凹槽115,帶有寬度w2,帶有第二孔116',其與第二凹槽115至少部分地重疊。在該實(shí)施例中,第二凹槽115'布置在第一凹槽113'內(nèi),在第二觸頭106'附近,帶有寬度w2<w1。其它解決方案是可能的,例如,可以w1=w2,其中第二凹槽115'提供側(cè)向偏置,使得光伏疊層109'覆蓋面向第一間隙104的第一觸頭105'的側(cè)壁。

圖6f)示出了借助于例如升離過程形成接觸指111'的步驟。在該實(shí)施例中,接觸指111'從第一光伏電池107的頂部觸頭(其在一個實(shí)施例中可為cigs疊層的zao層)延伸至限定接觸層103的裸露區(qū)域的第二孔116'的區(qū)域中的第二光伏電池108'的第二觸頭106'。通過接觸指111'的該連接,第一光伏電池107'和第二光伏電池108'變?yōu)榇?lián)連接。

當(dāng)然,本領(lǐng)域中存在許多其它方式用于產(chǎn)生接觸指111,以上實(shí)施例僅公開了一個示例。諸如絲網(wǎng)印刷、線膠粘、線粘結(jié)、噴墨打印等的其它方法當(dāng)然也是可能的。

為了獲得光伏模塊101、101'的低電阻,有利的是并行連接若干指。在一個實(shí)施例中,指之間的距離在0.5mm到2mm的范圍中。

圖7在流程圖中示出了用于產(chǎn)生光伏模塊101的方法的實(shí)施例。該方法在下面分步描述:

701:將接觸層103沉積在基底102上。

702:在接觸層103中形成第一間隙104。

703:沉積光伏疊層109,其可為cigs疊層。

704:在光伏疊層109中形成第二間隙110。

705:形成接觸指111。

關(guān)于第一實(shí)施例公開的額外特征也可應(yīng)用于第三實(shí)施例。

本發(fā)明人設(shè)計(jì)出了一種新穎光伏模塊101和用于產(chǎn)生其的方法。該新穎光伏模塊101的一個有利特征是光伏模塊的死區(qū)的減小。死區(qū)限定為光伏轉(zhuǎn)換中未涉及到的光伏模塊的區(qū)域。在根據(jù)本發(fā)明的光伏模塊中,死區(qū)的量可從大約6%減小到3%。

新穎方法的另一個重要特征在于,該方法可減少劃線的數(shù)目,在一個實(shí)施例中,劃線的數(shù)目可從常規(guī)的三個減少到兩個。形成第二孔116的過程可在第二凹槽115的劃線操作期間借助于劃線器的擺動來執(zhí)行。

光伏模塊的公開實(shí)施例的另一個有益效果在于zao層的厚度可減少,這提高了光伏模塊的效率。然而,減小的zao厚度可能需要接觸指的較密集的構(gòu)造以便提供低電阻。公開的現(xiàn)有技術(shù)的解決方案全部都不能帶來帶有較低程度的死區(qū)的此解決方案。

本發(fā)明的公開實(shí)施例的另一個有益效果在于,由于接觸指中的金屬的低電阻,光伏電池的寬度可從大約5mm增大到10mm,這意味著所謂的死區(qū)減小。較寬的光伏電池的另一個優(yōu)點(diǎn)在于,來自各個光伏模塊的輸出電壓減小,這意味著更多光伏模塊可串聯(lián)連接,由此可操作成用于能量轉(zhuǎn)換的轉(zhuǎn)換器系統(tǒng)變得更廉價(jià)且更簡單。

用于產(chǎn)生光伏模塊的方法的公開實(shí)施例的還有另一個有益特征在于,除接觸層103的沉積外,光伏疊層可使用相同設(shè)備按順序沉積,這由于整個序列可在真空中執(zhí)行而是有利的。

在該方法的一個實(shí)施例中,金屬柵格的光刻限定借助于步進(jìn)機(jī)構(gòu)執(zhí)行。步進(jìn)機(jī)構(gòu)構(gòu)造成將光刻掩模圖案傳遞至基底作為子圖案。該實(shí)施例還可涉及構(gòu)造成控制步進(jìn)機(jī)構(gòu)的圖像識別系統(tǒng),使得金屬柵格與基底正確對準(zhǔn)。

上文提到和描述的實(shí)施例僅給定為示例且不應(yīng)當(dāng)是限制性的。附隨專利權(quán)利要求的范圍內(nèi)的其它解決方案、使用、目標(biāo)和功能是可能的。

項(xiàng)目列表

101,101'光伏模塊

102基底

103接觸層

104,104'第一間隙

105,105'第一觸頭

106,106'第二觸頭

107,107'第一光伏電池

108,108'第二光伏電池

109,109'光伏疊層

110,110'第二間隙

111接觸指

112,112'接觸區(qū)域

113,113'第一凹槽

114第一孔

115,115'第二凹槽

116,116'第二孔

117中心線。

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