技術(shù)總結(jié)
公開了一種靜電夾盤及其制造方法。靜電夾盤包括具有第一超低膨脹(ULE)材料的第一層，耦合至第一層、具有第二ULE材料的第二層，以及耦合至第二層、具有第三ULE材料的第三層。靜電夾盤進(jìn)一步包括位于第一層和第二層之間的多個(gè)流體通道，以及插入在第二層和第三層之間的復(fù)合層。用于制造靜電夾盤的方法包括形成多個(gè)流體通道，在第三層上布置復(fù)合層，以及將第三層耦合至第二層。配置多個(gè)流體通道以輸送熱調(diào)節(jié)流體用于所夾持物體的溫度調(diào)節(jié)。

技術(shù)研發(fā)人員：M·利普森;V·迪米利亞;R·P·托蒂洛;T·尤特迪杰克;S·M·齊默曼
受保護(hù)的技術(shù)使用者：ASML控股股份有限公司
文檔號碼：201580045915
技術(shù)研發(fā)日：2015.07.09
技術(shù)公布日：2017.05.31