1.一種電遷移測試結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述電遷移測試結(jié)構(gòu)包括以下部分：第一測試端口與第二測試端口，用來實(shí)現(xiàn)測試結(jié)構(gòu)的外部連接與電流應(yīng)力的施加；電遷移被測結(jié)構(gòu)與電遷移阻擋結(jié)構(gòu)，這兩個結(jié)構(gòu)相互連接，位于第一測試端口和第二測試端口之間。電遷移被測結(jié)構(gòu)的尺寸時確定的，在測試時各處具有一致的溫度；第一探測端口和第二探測端口，用來確定被測的電遷移被測結(jié)構(gòu)是否失效；第三探測端口，用來得到更精確的電遷移被測結(jié)構(gòu)溫度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬電遷移測試結(jié)構(gòu)，其特征在于，電遷移阻擋結(jié)構(gòu)為半導(dǎo)體工藝中的通孔結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬電遷移測試結(jié)構(gòu)，其特征在于，電遷移被測結(jié)構(gòu)為半導(dǎo)體工藝中的金屬線結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬電遷移測試結(jié)構(gòu)，其特征在于，測試端口為半導(dǎo)體工藝中的金屬線，并且其寬度按確定比例呈階梯狀逐級遞減，直到達(dá)到電遷移被測結(jié)構(gòu)的寬度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬電遷移測試結(jié)構(gòu)，其特征在于，探測端口金屬線要在電遷移被測結(jié)構(gòu)方向上保持一段長度后再引出。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬電遷移測試結(jié)構(gòu)，其特征在于，電遷移被測結(jié)構(gòu)適用于高溫度下的電遷移加速測試。