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一種金屬電遷移測(cè)試結(jié)構(gòu)的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12129336

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本發(fā)明設(shè)計(jì)半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,尤其涉及一種金屬電遷移測(cè)試結(jié)構(gòu)背景技術(shù)集成電路中對(duì)金屬的可靠性要求很高,因此在集成電路制造中,需要測(cè)試金屬層的電遷移性能。為了滿足對(duì)金屬層電遷移性能測(cè)試,需要設(shè)計(jì)相應(yīng)的測(cè)試結(jié)構(gòu)。電遷移測(cè)試結(jié)構(gòu)主要有金屬線組成,通過(guò)對(duì)金屬線施加電流應(yīng)力,使得被測(cè)金屬線上通過(guò)適當(dāng)?shù)碾娏?,電流?huì)引起金屬線中的金屬原子發(fā)生移動(dòng),經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間累積,造成金屬物質(zhì)出現(xiàn)了位置上的漂移,破壞了原來(lái)金屬線的結(jié)構(gòu),引發(fā)金屬線的短路與金屬線之間的短路。金屬線上金屬物質(zhì)的漂移體現(xiàn)在金屬線的電學(xué)性質(zhì)上,如電阻值,通...
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