技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種氣體噴淋頭及其制作方法，用以降低制作的難度。其中的制作方法通過(guò)可包括以下步驟：提供第一部件與第二部件，在所述第一部件內(nèi)形成第一氣體通孔，在所述第二部件內(nèi)形成第二氣體通孔；以第一氣體通孔與第二氣體通孔相對(duì)齊的方式，將所述第一部件與所述第二部件疊放在一起，并在第一部件與第二部件之間放置中間層材料；通過(guò)擴(kuò)散焊接的方式將第一部件與第二部件結(jié)合為一體，以形成具有氣體通孔的氣體噴淋頭或該氣體噴淋頭的一部分，其中，所述第一氣體通孔、所述第二氣體通孔均為所述氣體通孔的一部分。

技術(shù)研發(fā)人員：徐朝陽(yáng);楊金全
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司
文檔號(hào)碼：201510343045
技術(shù)研發(fā)日：2015.06.19
技術(shù)公布日：2017.01.11