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具有高電流驅(qū)動能力的橫向雙極結(jié)型晶體管的制作方法

文檔序號:11956096閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種雙極結(jié)型晶體管,包括:

共用基極區(qū);

多個(gè)發(fā)射極區(qū),被設(shè)置在所述共用基極區(qū)中并且在第一對角線方向上被排列成彼此間隔開;以及

多個(gè)集電極區(qū),被設(shè)置在所述共用基極區(qū)中并且在所述第一對角線方向上被排列成彼此間隔開,

其中,所述多個(gè)發(fā)射極區(qū)與所述多個(gè)集電極區(qū)在第二對角線方向上交替地排列。

2.如權(quán)利要求1所述的雙極結(jié)型晶體管,其中,所述共用基極區(qū)被設(shè)置以圍繞所述多個(gè)發(fā)射極區(qū)的側(cè)壁及底表面、以及所述多個(gè)集電極區(qū)的側(cè)壁及底表面。

3.如權(quán)利要求1所述的雙極結(jié)型晶體管,其中,所述共用基極區(qū)包括:

高濃度的基極區(qū),被設(shè)置在所述多個(gè)發(fā)射極區(qū)的側(cè)壁以及所述多個(gè)集電極區(qū)的側(cè)壁之間;以及

低濃度的基極區(qū),圍繞所述高濃度的基極區(qū)、所述多個(gè)發(fā)射極區(qū)、以及所述多個(gè)集電極區(qū)。

4.如權(quán)利要求3所述的雙極結(jié)型晶體管,其中,所述高濃度的基極區(qū)以及所述低濃度的基極區(qū)是P型的,并且所述多個(gè)發(fā)射極區(qū)以及所述多個(gè)集電極區(qū)是N型的。

5.如權(quán)利要求4所述的雙極結(jié)型晶體管,進(jìn)一步包括:

深阱區(qū),圍繞所述低濃度的基極區(qū)的側(cè)壁以及底表面,并且被設(shè)置在襯底中。

6.如權(quán)利要求4所述的雙極結(jié)型晶體管,進(jìn)一步包括:

掩埋層,被設(shè)置在所述低濃度的基極區(qū)之下;以及

槽區(qū),被設(shè)置以接觸所述低濃度的基極區(qū)的側(cè)壁以及所述掩埋層的邊緣。

7.如權(quán)利要求6所述的雙極結(jié)型晶體管,其中,所述掩埋層以及所述槽區(qū)是N型的。

8.如權(quán)利要求7所述的雙極結(jié)型晶體管,其中所述低濃度的基極區(qū)是外延層的一部分。

9.如權(quán)利要求8所述的雙極結(jié)型晶體管,其中所述掩埋層被設(shè)置在所述外延層與襯 底之間。

10.如權(quán)利要求3所述的雙極結(jié)型晶體管,其中,所述高濃度的基極區(qū)以及所述低濃度的基極區(qū)是N型的,并且所述多個(gè)發(fā)射極區(qū)以及所述多個(gè)集電極區(qū)是P型的。

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