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一種半導(dǎo)體器件及其制備方法、電子裝置與流程

文檔序號(hào):12370343閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體器件的制備方法,包括:

步驟S1:提供半導(dǎo)體襯底,在所述半導(dǎo)體襯底上形成有若干鰭片;

步驟S2:在所述鰭片底部的側(cè)壁上形成無定型硅的間隙壁,以覆蓋所述鰭片底部,形成臺(tái)階形鰭片。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,在所述步驟S2中,所述無定型硅的間隙壁從所述鰭片的中間部位延伸至底部。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述步驟S2包括:

步驟S21:在所述半導(dǎo)體襯底上和所述鰭片的表面上形成無定型硅層,以覆蓋所述鰭片;

步驟S22:蝕刻去除位于所述半導(dǎo)體襯底、所述鰭片頂部以及所述鰭片上部側(cè)壁上的所述無定型硅層,以在所述鰭片底部的側(cè)壁上形成所述間隙壁。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法還進(jìn)一步包括:

步驟S3:在所述臺(tái)階形鰭片的表面形成襯墊氧化物層,以覆蓋所述臺(tái)階形鰭片的表面;

步驟S4:沉積隔離材料層并平坦化,以填充所述臺(tái)階形鰭片之間的間隙并覆蓋所述臺(tái)階形鰭片;

步驟S5:回蝕刻所述隔離材料層,以露出部分所述臺(tái)階形鰭片至目標(biāo)高度。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法,其特征在于,在所述步驟S3中,所述襯墊氧化物層通過原位水蒸氣氧化的方法形成。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法,其特征在于,在所述步驟S4中,所述隔離材料層選用氧化物。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法,其特征在于,所述氧化物通過流動(dòng)式化學(xué)氣相沉積法形成。

8.一種如權(quán)利要求1至7之一所述的方法制備得到的半導(dǎo)體器件。

9.一種電子裝置,包括權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體器件。

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