技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種用于制造至少一個(gè)固體層(1)的方法。在此，所述方法至少包括下述步驟：提供載體襯底(2)，所述載體襯底具有暴露的第一表面(4)并且具有暴露的第二表面(6)；在載體襯底(2)中或在載體襯底(2)的暴露的第一表面(4)上產(chǎn)生剝離層(8)，其中剝離層(8)具有裸露的表面(10)；在剝離層(8)的裸露的表面(10)上產(chǎn)生第一固體層(1)，其中第一固體層(1)具有與剝離層(8)隔開的自由的表面(12)；在載體襯底(2)的暴露的第二表面(6)上或在第一固體層(1)的自由的表面(12)上設(shè)置或構(gòu)成容納層(14)；在剝離層(8)之內(nèi)產(chǎn)生應(yīng)力，其中通過至少對(duì)容納層(14)調(diào)溫來產(chǎn)生應(yīng)力，其中在剝離層(8)之內(nèi)或在剝離層(8)和第一固體層(1)之間的邊界區(qū)域(16)中由于應(yīng)力而展開縫隙，其中通過縫隙將第一固體層(1)與之前所產(chǎn)生的多層裝置分裂。

技術(shù)研發(fā)人員：盧卡斯·利希滕斯泰格爾;揚(yáng)·黎克特;沃爾弗拉姆·德雷舍爾
受保護(hù)的技術(shù)使用者：西爾特克特拉有限責(zé)任公司
文檔號(hào)碼：201480073401
技術(shù)研發(fā)日：2014.12.04
技術(shù)公布日：2017.02.15