單面減薄機(jī)用多位吸盤同軸旋轉(zhuǎn)真空分配器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型屬于真空吸盤設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及單面減薄機(jī)用多位吸盤同軸旋轉(zhuǎn)真空分配器，包括旋轉(zhuǎn)軸(1)以及與旋轉(zhuǎn)軸(1)連接的真空分配裝置，其特征在于：所述的真空分配裝置由分配器主軸(2)，套接在分配器主軸(2)外側(cè)的套筒(3)，設(shè)在分配器主軸(2)與套筒(3)之間的骨架油封(4)，設(shè)在分配器主軸(2)兩端的球軸承(5)，設(shè)在分配器主軸(2)內(nèi)的流體通道(6)，以及設(shè)在套筒(3)上的與流體通道(6)相連接的流體接頭(7)組成，本實(shí)用新型的有益效果為：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單實(shí)用性強(qiáng)，能夠解決。
【專利說明】單面減薄機(jī)用多位吸盤同軸旋轉(zhuǎn)真空分配器

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于高真空分配器設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及單面減薄機(jī)用多位吸盤同軸旋轉(zhuǎn)真空分配器。

【背景技術(shù)】
[0002]集成電路制造技術(shù)的進(jìn)步首先來源于市場(chǎng)需求的要求，其次是競(jìng)爭(zhēng)的要求。在集成電路制造中，半導(dǎo)體硅材料由于其資源豐富，制造成本低，工藝性好，是集成電路重要的基體材料。從集成電路斷面結(jié)構(gòu)來看，大部分集成電路是在硅基體材料的淺表面層上制造。
[0003]由于制造工藝的要求，對(duì)晶片的尺寸精度、幾何精度、表面潔凈度以及表面微晶格結(jié)構(gòu)提出很高要求。因此在幾百道工藝流程中，不可采用較薄的晶片，只能采用一定厚度的晶片在工藝過程中傳遞、流片。通常在集成電路封裝前，需要對(duì)晶片背面多余的基體材料去除一定的厚度。這一工藝過程稱之為晶片背面減薄工藝，對(duì)應(yīng)裝備就是晶片減薄機(jī)。其他行業(yè)對(duì)也對(duì)晶片的減薄有同樣的要求。本公司生產(chǎn)的手自一體減薄機(jī)研制中用戶提出了 6路吸盤單獨(dú)進(jìn)行控制的要求。即可以隨時(shí)對(duì)每一個(gè)吸盤進(jìn)行吸附或者吹起的動(dòng)作。因此開發(fā)出了本多位吸盤同軸旋轉(zhuǎn)真空分配器，應(yīng)用于減薄機(jī)或其他領(lǐng)域。避免了當(dāng)晶片高速旋轉(zhuǎn)磨削中，吸盤上的晶片一片損壞使所有晶片失去真空吸附損壞的現(xiàn)象。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型的目的就是要提供一種在減薄機(jī)承片臺(tái)高速旋轉(zhuǎn)下進(jìn)行磨削時(shí)，固定的真空源轉(zhuǎn)為旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)，用于保證旋轉(zhuǎn)磨削的晶片良好的吸附。
[0005]本實(shí)用新型是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的:
[0006]單面減薄機(jī)用多位吸盤同軸旋轉(zhuǎn)真空分配器，包括固定筒I以及與固定筒I相連接的支架立8，與支架立8相連接的支架平9，設(shè)在支架平9上的軸承固定架10，以及與固定筒I相連接的流體分配裝置，其特征在于:所述的流體分配裝置由連接在固定筒I上的分配器主軸2，套接在分配器主軸2上的分配器套筒3，設(shè)在分配器套筒3內(nèi)以骨架油封4與隔圈交替設(shè)置形成多個(gè)密閉空間，在所述套筒3外側(cè)與密閉空間相對(duì)應(yīng)的外接的流體接頭7，設(shè)在分配器主軸2兩端的球軸承5，設(shè)在分配器主軸2內(nèi)的流體通道6組成，其中上端的球軸承5固定在軸承固定架10上。
[0007]所述的流體通道6至少為三組，并且每個(gè)流體通道6相對(duì)應(yīng)連接有錯(cuò)開設(shè)置的流體接頭7。
[0008]所述的骨架油封4為雙唇型，用以保證在高速旋轉(zhuǎn)中的流體(比如真空)不流失，不受磨損的影響。
[0009]所述的流體通道6為一端密封的工藝孔，另一端與固定筒I內(nèi)的流體輸出通道11相連接，所述的流體通過流體接頭7進(jìn)入，穿過隔圈后進(jìn)入流體通道6內(nèi)。
[0010]與現(xiàn)有技術(shù)相比較，本實(shí)用新型的有益效果在于:當(dāng)多位吸盤同軸旋轉(zhuǎn)真空分配器主軸2高速旋轉(zhuǎn)時(shí)與分配器套筒3的密封如采用O型密封圈(O型密封圈多應(yīng)用靜態(tài)密封，骨架油封4多應(yīng)用于旋轉(zhuǎn)密封)，0型密封圈的磨損會(huì)造成真空度(如流體)的流失，而雙唇骨架油封4多應(yīng)用旋轉(zhuǎn)密封且有補(bǔ)償作用，不會(huì)使得真空度(如流體)的流失，而采用雙唇骨架油封4可以保證來自于兩個(gè)方向的壓力，保證了雙向高速旋轉(zhuǎn)中的密封。
[0011]本實(shí)用新型提供的多位吸盤同軸旋轉(zhuǎn)真空分配器，體積小、密封性能好、能應(yīng)用于高速旋轉(zhuǎn)、能保證雙向密封、且部件容易變形其他的安裝形式，應(yīng)用于其他的領(lǐng)域。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1為本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖2為本實(shí)用新型的仰視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖中:固定筒1、分配器主軸2、分配器套筒3、骨架油封4、球軸承5、流體通道6、流體接頭7、支架立8、支架平9、軸承固定架10、流體輸出通道11。

【具體實(shí)施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步描述:
[0016]單面減薄機(jī)用多位吸盤同軸旋轉(zhuǎn)真空分配器，包括固定筒1、分配器主軸2、分配器套筒3、骨架油封4、球軸承5、流體通道6、流體接頭7、支架立8、支架平9、軸承固定架10和流體輸出通道11。
[0017]如附圖1、2所示，其中固定筒I上連接有由分配器主軸2，套接在分配器主軸2外側(cè)的分配器套筒3，設(shè)在分配器主軸2與分配器套筒3之間的雙唇型骨架油封4，設(shè)在分配器主軸2兩端的球軸承5，設(shè)在分配器主軸2內(nèi)的流體通道6，以及設(shè)在分配器套筒3上的與流體通道6相連接的流體接頭7組成的流體分配裝置。
[0018]其中旋轉(zhuǎn)軸I外側(cè)設(shè)有立支架8，所述的立支架8上端與旋轉(zhuǎn)軸I相連接，下端與設(shè)在分配器主軸2外側(cè)的平支架9相連接，所述的平支架9與套筒3相連接，在所述平支架9上固定有設(shè)在球軸承5外側(cè)的球軸承固定架10。
[0019]其中流體通道6至少為三組，并且每個(gè)流體通道6相對(duì)應(yīng)連接有錯(cuò)開設(shè)置的流體接頭7。
[0020]其中流體通道6為一端密封的工藝孔，另一端與固定筒I內(nèi)的流體輸出通道11相連接，所述的流體通過流體接頭7進(jìn)入，穿過隔圈后進(jìn)入流體通道6內(nèi)。
[0021]本實(shí)用新型在具體使用時(shí)，設(shè)在靜止?fàn)顟B(tài)的分配器套筒3外側(cè)的流體接頭7將外接的流體穿過以骨架油封4與隔圈交替設(shè)置形成多個(gè)密閉空間后進(jìn)入流體通道6后進(jìn)行分配，由于分配器主軸2高速旋轉(zhuǎn)，使得進(jìn)入流體通道6內(nèi)的流體也高速旋轉(zhuǎn)，提供了固定的旋轉(zhuǎn)狀態(tài)的真空源，保證旋轉(zhuǎn)磨削的晶片良好的吸附，使用臺(tái)灣產(chǎn)雙唇骨架油封4，雙唇骨架油封4具有旋轉(zhuǎn)密封且有補(bǔ)償作用，不會(huì)使得真空度(如流體)的流失，而采用雙唇骨架油封4可以保證來自于兩個(gè)方向的壓力，保證了雙向高速旋轉(zhuǎn)中的密封。
【權(quán)利要求】
1.單面減薄機(jī)用多位吸盤同軸旋轉(zhuǎn)真空分配器，包括固定筒(I)以及與固定筒(I)相連接的支架立(8)，與支架立(8)相連接的支架平(9)，設(shè)在支架平(9)上的軸承固定架(10)，以及與固定筒(I)相連接的流體分配裝置，其特征在于:所述的流體分配裝置由連接在固定筒(I)上的分配器主軸(2)，套接在分配器主軸(2)上的分配器套筒(3)，設(shè)在分配器套筒(3)內(nèi)以骨架油封(4)與隔圈交替設(shè)置形成多個(gè)密閉空間，在所述套筒(3)外側(cè)與密閉空間相對(duì)應(yīng)的外接的流體接頭(7)，設(shè)在分配器主軸(2)兩端的球軸承(5)，設(shè)在分配器主軸(2)內(nèi)的流體通道(6)組成，其中上端的球軸承(5)固定在軸承固定架(10)上。
2.如權(quán)利要求1所述的單面減薄機(jī)用多位吸盤同軸旋轉(zhuǎn)真空分配器，其特征在于:所述的流體通道(6)至少為三組，并且每個(gè)流體通道(6)相對(duì)應(yīng)連接有錯(cuò)開設(shè)置的流體接頭⑵。
3.如權(quán)利要求1所述的單面減薄機(jī)用多位吸盤同軸旋轉(zhuǎn)真空分配器，其特征在于:所述的骨架油封(4)為雙唇型。
4.如權(quán)利要求2所述的單面減薄機(jī)用多位吸盤同軸旋轉(zhuǎn)真空分配器，其特征在于:所述的流體通道(6)為一端密封的工藝孔，另一端與固定筒(I)內(nèi)的流體輸出通道(11)相連接，所述的流體通過流體接頭(7)進(jìn)入，穿過隔圈后進(jìn)入流體通道￠)內(nèi)。
【文檔編號(hào)】H01L21/683GK204118049SQ201420580693
【公開日】2015年1月21日 申請(qǐng)日期:2014年10月9日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月9日
【發(fā)明者】李明晨, 曹麗萍, 張萬財(cái) 申請(qǐng)人:平?jīng)鍪欣媳萍佳邪l(fā)有限公司