一種有機(jī)發(fā)光二極管顯示面板及掩膜板的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種OLED顯示面板及掩膜板，該OLED顯示面板包括發(fā)光層及位于所述發(fā)光層出光側(cè)的陰極，所述陰極上設(shè)置有間隙，在所述間隙的位置上，所述發(fā)光層發(fā)出的光線可以直接透過，與現(xiàn)有技術(shù)中整面設(shè)置的陰極相比，可以減少陰極對發(fā)光層發(fā)出的光線的吸收和反射，提高了OLED顯示面板的出光率，且可以減弱微腔效應(yīng)，解決了OLED顯示面板的顯示色彩隨視角變化的問題。
【專利說明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及有機(jī)發(fā)光二極管（0LED)顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種0LED顯示 面板及掩膜板。 一種有機(jī)發(fā)光二極管顯示面板及掩膜板

【背景技術(shù)】
[0002] 請參考圖1，圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的0LED顯示面板的一剖面結(jié)構(gòu)示意圖，該0LED顯 不面板主要包括：襯底基板101，反射金屬層102,陽極103,空穴傳輸層（HTL) 104,發(fā)光層 (EML) 105,電子傳輸層（ETL) 106,半透明金屬陰極（Cathode) 107,以及光取出層108。其中， 空穴傳輸層104、發(fā)光層105、電子傳輸層106及金屬陰極107通常都是采用真空蒸鍍工藝 來成膜，真空蒸鍍工藝中采用的掩膜板（mask)有精細(xì)金屬掩膜板（FMM，F(xiàn)ine metal mask) 和共同層金屬掩膜板（Open mask),而金屬陰極107通常是采用Open mask來進(jìn)行真空蒸 鍍，采用Open mask形成的金屬陰極為整面設(shè)置的金屬陰極。
[0003] 由于金屬陰極對于光的吸收和反射都很強(qiáng)，因此包括整面設(shè)置的金屬陰極的0LED 顯示面板的光的損失很大，導(dǎo)致出光率很低（請參考圖2)，圖中的箭頭表示光的方向。另 夕卜，由于金屬陰極對光的反射較大，因此使得0LED顯示面板中形成微腔效應(yīng)，而微腔效應(yīng) 的一個(gè)缺點(diǎn)就是，顯示色彩隨視角的變化會(huì)有顯著變化。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0004] 有鑒于此，本實(shí)用新型提供一種0LED顯示面板及掩膜板，以解決現(xiàn)有的0LED顯示 面板出光率低、顯示色彩隨視角變化的問題。
[0005] 為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種0LED顯示面板，包括發(fā)光層及位于所 述發(fā)光層出光側(cè)的陰極，所述發(fā)光層包括多個(gè)亞像素；所述陰極上設(shè)置有用于提高所述發(fā) 光層發(fā)出的光線的透過率的間隙。
[0006] 優(yōu)選地，所述陰極包括：至少兩個(gè)間隔設(shè)置的陰極單元，所述陰極單元之間設(shè)置有 所述間隙。
[0007] 優(yōu)選地，所述陰極單元之間的間隙與所述亞像素之間的間隙的位置相對應(yīng)，且寬 度小于或等于對應(yīng)的所述亞像素之間的間隙的寬度。
[0008] 優(yōu)選地，所述多個(gè)亞像素和所述至少兩個(gè)陰極單元均沿顯示面板的行方向間隔設(shè) 置，每一所述陰極單元對應(yīng)至少一列所述亞像素。
[0009] 優(yōu)選地，所述多個(gè)亞像素沿顯示面板的行方向間隔設(shè)置，所述多個(gè)陰極單元沿顯 示面板的列方向間隔設(shè)置，每一所述陰極單元對應(yīng)至少一行所述亞像素。
[0010] 優(yōu)選地，所述陰極單元呈條形。
[0011] 優(yōu)選地，所述陰極單元包括：多個(gè)亞像素覆蓋部以及用于連接相鄰的所述亞像素 覆蓋部的細(xì)化部，其中，每一亞像素覆蓋部對應(yīng)一個(gè)或多個(gè)亞像素，所述細(xì)化部的寬度小于 所述亞像素覆蓋部的寬度。
[0012] 優(yōu)選地，各個(gè)所述陰極單元通過設(shè)置于顯示區(qū)域外圍的連接線連接在一起形成一 個(gè)整體。
[0013] 本實(shí)用新型實(shí)施例還提供一種用于制備0LED顯示面板的陰極的掩膜板，包括透 過區(qū)和遮擋區(qū)，當(dāng)所述掩膜板采用負(fù)性光刻膠時(shí)，所述透過區(qū)的圖案對應(yīng)于所述陰極上的 陰極單元的圖案，所述遮擋區(qū)的圖案對應(yīng)于所述陰極單元之間的間隙的圖案；當(dāng)所述掩膜 板采用正性光刻膠時(shí)，所述遮擋區(qū)的圖案對應(yīng)于所述陰極上的陰極單元的圖案，所述透過 區(qū)的圖案對應(yīng)于所述陰極單元之間的間隙的圖案。
[0014] 本實(shí)用新型的上述技術(shù)方案的有益效果如下：
[0015] 在0LED顯示面板的陰極上形成間隙，在間隙的位置上，0LED顯示面板的發(fā)光層發(fā) 出的光線可以直接透過，與現(xiàn)有技術(shù)中整面設(shè)置的陰極相比，可以減少陰極對發(fā)光層發(fā)出 的光線的吸收和反射，提高了 0LED顯示面板的出光率，且可以減弱微腔效應(yīng)，解決了 0LED 顯示面板的顯示色彩隨視角變化的問題。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0016] 圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的0LED顯示面板的一剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017] 圖2為圖1中的0LED顯示面板的發(fā)光層發(fā)出的光線的光路示意圖。
[0018] 圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例一的0LED顯示面板的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019] 圖4為圖3中的0LED顯示面板的陰極的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020] 圖5為圖3中的0LED顯示面板的陰極和發(fā)光層的俯視圖。
[0021] 圖6本實(shí)用新型實(shí)施例一的0LED顯示面板的發(fā)光層發(fā)出的光線的光路示意圖。
[0022] 圖7為本實(shí)用新型實(shí)施例二的0LED顯示面板的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023] 圖8為圖7中的0LED顯示面板的陰極的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024] 圖9為圖7中的0LED顯示面板的陰極和發(fā)光層的俯視圖。
[0025] 圖10為本實(shí)用新型實(shí)施例三的0LED顯示面板的陰極的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026] 圖11為本實(shí)用新型實(shí)施例三的0LED顯示面板的陰極和發(fā)光層的俯視圖。
[0027] 圖12為本實(shí)用新型實(shí)施例四的0LED顯示面板的陰極和發(fā)光層的俯視圖。
[0028] 圖13為本實(shí)用新型實(shí)施例五的0LED顯示面板的陰極的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0029] 圖14為本實(shí)用新型實(shí)施例六的0LED顯示面板的陰極的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0030] 圖15為用于制備本實(shí)用新型實(shí)施例一中的0LED顯示面板的陰極的掩膜板的結(jié)構(gòu) 示意圖。
[0031] 圖16為用于制備本實(shí)用新型實(shí)施例三中的0LED顯示面板的陰極的掩膜板的結(jié)構(gòu) 示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0032] 為解決現(xiàn)有的0LED顯示面板出光率低、顯示色彩隨視角變化的問題，本實(shí)用新型 實(shí)施例提供了一種0LED顯示面板，該0LED顯示面板包括發(fā)光層及位于所述發(fā)光層出光側(cè) 的陰極，所述陰極上設(shè)置有用于提高所述發(fā)光層發(fā)出的光線的透過率的間隙。
[0033] 在所述間隙的位置上，所述發(fā)光層發(fā)出的光線可以直接透過，與現(xiàn)有技術(shù)中整面 設(shè)置的陰極相比，可以減少陰極對發(fā)光層發(fā)出的光線的吸收和反射，提高了 0LED顯示面板 的出光率，且可以減弱微腔效應(yīng)，解決了 0LED顯示面板的顯示色彩隨視角變化的問題。
[0034] 本實(shí)用新型實(shí)施例中的陰極可以為多種種類的結(jié)構(gòu)，只要其上設(shè)置有上述間隙即 可。
[0035] 優(yōu)選的，所述陰極包括至少兩個(gè)間隔設(shè)置的陰極單元，所述陰極單元之間設(shè)置有 所述間隙。
[0036] 優(yōu)選的，所述陰極單元之間的間隙與所述亞像素之間的間隙的位置相對應(yīng)，且寬 度小于或等于對應(yīng)的所述亞像素之間的間隙的寬度，以保證能夠正常向所述發(fā)光層注入電 子。
[0037] 優(yōu)選的，所述多個(gè)陰極單元呈矩陣方式排列，所述矩陣為NXN矩陣，其中，所述N 為大于1的正整數(shù)。
[0038] 優(yōu)選的，所述多個(gè)亞像素和所述至少兩個(gè)陰極單元均沿顯示面板的行方向間隔設(shè) 置，每一所述陰極單元對應(yīng)至少一列所述亞像素。
[0039] 或者，所述多個(gè)亞像素沿顯示面板的行方向間隔設(shè)置，所述多個(gè)陰極單元沿顯示 面板的列方向設(shè)置，每一所述陰極單元對應(yīng)至少一行所述亞像素。
[0040] 優(yōu)選的，所述陰極單元呈條形，當(dāng)然，所述陰極單元也可以為其他形狀。
[0041] 本實(shí)用新型實(shí)施例中的陰極可以為半透明金屬陰極。
[0042] 上述實(shí)施例中的0LED顯示面板除了包括發(fā)光層和陰極之外，還可以包括：襯底基 板、反射金屬、陽極、空穴傳輸層、電子傳輸層和光傳輸層等。
[0043] 本實(shí)用新型實(shí)施例中的陽極可以為點(diǎn)狀結(jié)構(gòu)。
[0044] 為使本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖 及具體實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0045] 實(shí)施例一
[0046] 請參考圖3,圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例一的0LED顯示面板的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0047] 本實(shí)用新型實(shí)施例的0LED顯示面板包括：襯底基板301、反射金屬302、陽極303、 空穴傳輸層304、發(fā)光層305、電子傳輸層306、陰極307和光取出層308。當(dāng)然，在本實(shí)用新 型的其他一些實(shí)施例中，上述一些層并不是必須的，如反射金屬302、光取出層308等。
[0048] 所述發(fā)光層305包括三個(gè)亞像素（紅色亞像素3051、綠色亞像素3052和藍(lán)色亞像 素3053)，當(dāng)然，在本實(shí)用新型的其他一些實(shí)施例中，所述亞像素并不限于紅色亞像素、綠色 亞像素和藍(lán)色亞像素，亞像素的個(gè)數(shù)也不限于三個(gè)。
[0049] 請同時(shí)參考圖4,圖4為圖3中的0LED顯示面板的陰極的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0050] 所述陰極307包括：多個(gè)間隔設(shè)置的陰極單元3071，所述陰極單元3071之間設(shè)置 有用于提高發(fā)光層發(fā)出的光線的透過率的間隙3072。
[0051] 本實(shí)施例中，位于顯示區(qū)域的該多個(gè)陰極單元3071通過設(shè)置于顯示區(qū)域外圍的 連接線連接成一個(gè)整體，然后與驅(qū)動(dòng)電路連接。
[0052] 從圖4中可以看出，本實(shí)用新型實(shí)施例中的多個(gè)陰極單元3071呈矩陣方式排列， 所述矩陣為1XN的矩陣，其中，所述N為大于1的正整數(shù)。
[0053] 請同時(shí)參考圖5,圖5為圖3中的0LED顯示面板的陰極和發(fā)光層的俯視圖。
[0054] 本實(shí)用新型實(shí)施例中的紅色亞像素3051、綠色亞像素3052和藍(lán)色亞像素3053沿 顯示面板的行方向（以下簡稱行方向）間隔設(shè)置。從圖3和圖5中可以看出，所述多個(gè)陰極 單元3071也沿行方向間隔設(shè)置，每一所述陰極單元3071對應(yīng)一列所述亞像素，每一所述陰 極單元3071在行方向上的寬度等于對應(yīng)的一列亞像素在行方向上的寬度，從而使得所述 陰極單元3071可以完全覆蓋對應(yīng)的所述亞像素，以保證能夠正常向所述發(fā)光層注入電子。
[0055] 請參考圖6,圖6本實(shí)用新型實(shí)施例一的0LED顯示面板的發(fā)光層發(fā)出的光線的光 路示意圖。從圖6中可以看出，在所述間隙3072的位置上，所述發(fā)光層發(fā)出的光線可以直 接透過，與現(xiàn)有技術(shù)中整面設(shè)置的陰極相比，可以減少陰極對發(fā)光層發(fā)出的光線的吸收和 反射，提高了 0LED顯示面板的出光率，且可以減弱微腔效應(yīng)，解決了 0LED顯示面板的顯示 色彩隨視角變化的問題。
[0056] 實(shí)施例二
[0057] 請參考圖7-9,圖7為本實(shí)用新型實(shí)施例二的0LED顯示面板的剖面結(jié)構(gòu)示意圖， 圖8為圖7中的0LED顯示面板的陰極的結(jié)構(gòu)示意圖，圖9為圖7中的0LED顯示面板的陰 極和發(fā)光層的俯視圖。
[0058] 本實(shí)用新型實(shí)施例與實(shí)施例的區(qū)別在于，每一所述陰極單元3071對應(yīng)三列所述 亞像素，每一所述陰極單元3071在行方向上的寬度等于對應(yīng)的三列所述亞像素在行方向 上的寬度。
[0059] 當(dāng)然，在本實(shí)用新型的其他一些實(shí)施例中，每一陰極單元3071的對應(yīng)的亞像素的 列數(shù)也可以為其他數(shù)目，如兩列、四列等。
[0060] 上述實(shí)施例中，每一陰極單元3071在行方向上的寬度均等于對應(yīng)的亞像素在行 方向上的寬度，當(dāng)然，在本實(shí)用新型的其他一些實(shí)施例中，每一陰極單元3071在行方向上 的寬度也可以大于對應(yīng)的亞像素在行方向上的寬度。
[0061] 實(shí)施例三
[0062] 請參考圖10和圖11，圖10為本實(shí)用新型實(shí)施例三的0LED顯示面板的陰極的結(jié)構(gòu) 不意圖。圖11為本實(shí)用新型實(shí)施例二的0LED顯不面板的陰極和發(fā)光層的俯視圖。
[0063] 從圖10中可以看出，本實(shí)用新型實(shí)施例中的多個(gè)陰極單元呈矩陣方式排列，所述 矩陣為NX 1的矩陣，其中，所述N為大于1的正整數(shù)。
[0064] 從圖11中可以看出，本實(shí)用新型實(shí)施例中的紅色亞像素3051、綠色亞像素3052和 藍(lán)色亞像素3053沿行方向間隔設(shè)置。所述多個(gè)陰極單元3071沿與顯示面板的列方向（即 以下簡稱列方向）間隔設(shè)置。每一所述陰極單元3071對應(yīng)一行所述亞像素，每一所述陰極 單元3071在列方向上的寬度等于對應(yīng)的一行亞像素在列方向上的寬度，從而使得所述陰 極單元3071可以完全覆蓋對應(yīng)的所述亞像素，以保證能夠正常向所述發(fā)光層注入電子。
[0065] 實(shí)施例四
[0066] 請參考圖12,圖12為本實(shí)用新型實(shí)施例四的0LED顯示面板的陰極與發(fā)光層的俯 視圖，本實(shí)施例與實(shí)施例三的區(qū)別在于，每一所述陰極單元3071對應(yīng)兩行所述亞像素，每 一所述陰極單元3071在列方向上的寬度等于對應(yīng)的兩行亞像素在列方向上的寬度。
[0067] 當(dāng)然，在本實(shí)用新型的其他一些實(shí)施例中，每一陰極單元3071的對應(yīng)的亞像素的 行數(shù)也可以為其他數(shù)目，如三列、四列或更多列。
[0068] 上述實(shí)施例中，每一陰極單元3071在列方向上的寬度均等于對應(yīng)的亞像素在列 方向上的寬度，當(dāng)然，在本實(shí)用新型的其他一些實(shí)施例中，每一陰極單元3071在列方向上 的寬度也可以大于對應(yīng)的亞像素在列方向上的寬度。
[0069] 上述各實(shí)施例中，所述多個(gè)亞像素沿行方向間隔設(shè)置，當(dāng)然，在本實(shí)用新型的其他 實(shí)施例中，所述多個(gè)亞像素也可以沿列方向間隔設(shè)置。
[0070] 上述各實(shí)施例中，所述陰極單元均呈規(guī)則的條形，在本實(shí)用新型的其他一些實(shí)施 例中，陰極單元也可以為其他形狀。
[0071] 實(shí)施例五
[0072] 請參考圖13,圖13為本實(shí)用新型實(shí)施例五的0LED顯示面板的陰極的結(jié)構(gòu)示意圖。 在本實(shí)施例中，所述陰極單元3071呈不規(guī)則的條形，包括多個(gè)亞像素覆蓋部401和用于連 接相鄰的所述亞像素覆蓋部401的細(xì)化部402,其中，每一亞像素覆蓋部402可對應(yīng)一個(gè)或 多個(gè)亞像素，所述細(xì)化部402的寬度小于所述亞像素覆蓋部401的寬度。
[0073] 本實(shí)施例中，位于顯示區(qū)域的該多個(gè)陰極單元3071通過設(shè)置于顯示區(qū)域外圍的 連接線連接在一起形成一個(gè)整體，然后與驅(qū)動(dòng)電路連接。
[0074] 實(shí)施例六
[0075] 請參考圖14,圖14為本實(shí)用新型實(shí)施例六的0LED顯示面板的陰極的結(jié)構(gòu)示意圖， 本實(shí)施例中，陰極單元3071在顯示區(qū)域是連接起來的，此種結(jié)構(gòu)下，則不需要每個(gè)陰極單 元3071均與位于顯示區(qū)域外圍的連接線連接在一起形成一個(gè)整體，然后與驅(qū)動(dòng)電路連接。
[0076] 本實(shí)用新型實(shí)施例還提供一種用于制備上述實(shí)施例中所述的0LED顯示面板的陰 極的掩膜板，所述掩膜板包括透過區(qū)和遮擋區(qū)，當(dāng)所述掩膜板采用負(fù)性光刻膠時(shí)，所述透過 區(qū)的圖案對應(yīng)于所述陰極上的陰極單元的圖案，所述遮擋區(qū)的圖案對應(yīng)于所述陰極單元之 間的間隙的圖案。所述掩膜板采用正性光刻膠時(shí)，所述遮擋區(qū)的圖案對應(yīng)于所述陰極上的 陰極單元的圖案，所述透過區(qū)的圖案對應(yīng)于所述陰極單元之間的間隙的圖案。
[0077] 下面以掩膜板采用負(fù)性光刻膠為例進(jìn)行說明。
[0078] 請參考圖15,圖15為用于制備本實(shí)用新型實(shí)施例一的0LED顯示面板的陰極的掩 膜板，所述掩膜板包括透過區(qū)501和遮擋區(qū)502,所述透過區(qū)501的圖案對應(yīng)于所述陰極上 的陰極單元3071的圖案，所述遮擋區(qū)502對應(yīng)于所述陰極單元3071之間的間隙3072的圖 案。
[0079] 請參考圖16,圖16為用于制備本實(shí)用新型實(shí)施例三的0LED顯示面板的陰極的掩 膜板，所述掩膜板包括透過區(qū)501和遮擋區(qū)502,所述透過區(qū)501的圖案對應(yīng)于所述陰極上 的陰極單元3071的圖案，所述遮擋區(qū)502對應(yīng)于所述陰極單元3071之間的間隙3072的圖 案。
[0080] 本實(shí)用新型實(shí)施例還提供一種0LED顯示面板的制備方法，包括采用上述實(shí)施例 中的掩膜板形成陰極的步驟。所述0LED顯示面板的制備方法采用真空蒸鍍工藝形成所述 陰極。
[0081] 具體的，所述步驟包括：
[0082] 將陰極膜材置于真空室內(nèi)的蒸發(fā)源中；
[0083] 在所述基板靠近蒸發(fā)源的一側(cè)設(shè)置掩膜板；
[0084] 通過所述蒸發(fā)源對所述陰極膜材進(jìn)行蒸發(fā)，所述陰極膜材蒸發(fā)氣化后從所述蒸發(fā) 源中逸出，到達(dá)被鍍的基板表面上，凝結(jié)形成所述陰極。
[〇〇85] 以上所述是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù) 人員來說，在不脫離本實(shí)用新型所述原理的前提下，還可以作出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn) 和潤飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1. 一種OLED顯示面板，包括發(fā)光層及位于所述發(fā)光層出光側(cè)的陰極，所述發(fā)光層包括 多個(gè)亞像素；其特征在于，所述陰極上設(shè)置有用于提高所述發(fā)光層發(fā)出的光線的透過率的 間隙。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的0LED顯示面板，其特征在于，所述陰極包括：至少兩個(gè)間隔 設(shè)置的陰極單元，所述陰極單元之間設(shè)置有所述間隙。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的0LED顯示面板，其特征在于，所述陰極單元之間的間隙與所 述亞像素之間的間隙的位置相對應(yīng)，且寬度小于或等于對應(yīng)的所述亞像素之間的間隙的寬 度。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的0LED顯示面板，其特征在于，所述多個(gè)亞像素和所述至少 兩個(gè)陰極單元均沿顯示面板的行方向間隔設(shè)置，每一所述陰極單元對應(yīng)至少一列所述亞像 素。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的0LED顯示面板，其特征在于，所述多個(gè)亞像素沿顯示面板的 行方向間隔設(shè)置，所述多個(gè)陰極單元沿顯示面板的列方向間隔設(shè)置，每一所述陰極單元對 應(yīng)至少一行所述亞像素。
6. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的0LED顯示面板，其特征在于，所述陰極單元呈條形。
7. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的0LED顯示面板，其特征在于，所述陰極單元包括：多個(gè)亞像 素覆蓋部以及用于連接相鄰的所述亞像素覆蓋部的細(xì)化部，其中，每一亞像素覆蓋部對應(yīng) 一個(gè)或多個(gè)亞像素，所述細(xì)化部的寬度小于所述亞像素覆蓋部的寬度。
8. 根據(jù)權(quán)利要求2-7任一項(xiàng)所述的0LED顯示面板，其特征在于，各個(gè)所述陰極單元通 過設(shè)置于顯示區(qū)域外圍的連接線連接在一起形成一個(gè)整體。
9. 一種用于制備0LED顯示面板的陰極的掩膜板，其特征在于，包括透過區(qū)和遮擋區(qū)， 當(dāng)所述掩膜板采用負(fù)性光刻膠時(shí)，所述透過區(qū)的圖案對應(yīng)于所述陰極上的陰極單元的圖 案，所述遮擋區(qū)的圖案對應(yīng)于所述陰極單元之間的間隙的圖案；當(dāng)所述掩膜板采用正性光 刻膠時(shí)，所述遮擋區(qū)的圖案對應(yīng)于所述陰極上的陰極單元的圖案，所述透過區(qū)的圖案對應(yīng) 于所述陰極單元之間的間隙的圖案。
【文檔編號】H01L27/32GK203895463SQ201420323340
【公開日】2014年10月22日 申請日期:2014年6月17日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月17日
【發(fā)明者】吳海東 申請人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 鄂爾多斯市源盛光電有限責(zé)任公司