基板處理系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及平板顯示【技術領域】，尤其涉及一種基板處理系統(tǒng)。其至少包括相鄰設置的一輸送單元和一插片單元，所述插片單元包括一具有收容空間的本體和一插片機構，所述插片機構位于所述本體與輸送單元之間，所述本體具有面向所述輸送單元的第一側(cè)，所述輸送單元用于裝載所述基板并將所述基板輸送至所述本體的第一側(cè)，所述插片機構用于從所述輸送單元上抓取所述基板，并將所述基板放置于所述本體的收容空間內(nèi)。
【專利說明】基板處理系統(tǒng)
【技術領域】
[0001] 本實用新型涉及平板顯示【技術領域】，尤其涉及一種基板處理系統(tǒng)。
【背景技術】
[0002] 在手機上應用電容式觸摸屏已成為當今社會之主流趨勢，電容式觸摸屏作為一種 新型的人機交互界面，逐步被廣泛地應用于各種數(shù)字信息系統(tǒng)上，從小型產(chǎn)品如手機、PDA、 數(shù)碼產(chǎn)品、e-Book，到中型產(chǎn)品如車載導航儀、游戲機、家用電器、工控儀器，再到大型產(chǎn)品 如P0S系統(tǒng)、公共查詢和自助系統(tǒng)、便攜電腦、醫(yī)療儀器以及電視新聞節(jié)日中常用的觸摸式 PDP上都可以看到電容式觸摸屏產(chǎn)品。因此，電容式觸摸屏具有廣泛的市場前景。
[0003] 目前，電容式觸摸屏已向輕薄化發(fā)展，其通常包括玻璃基板（厚度約為0. 6mm)以 及形成在其上的電極。在電極形成之前，需要先將大型玻璃基板搬運至插片框里，然后將插 片框放入鋼化爐，對玻璃基板進行鋼化，以保證其強度。在搬運至插片框的過程中，由于玻 璃基板極薄、極軟，難以迅速、有序的進行搬運，且在此過程中其容易被磕碰、破碎或劃傷。 因此，對人力、物力的要求極高，不利于玻璃基板的良品率以及生產(chǎn)效率的提高。 實用新型內(nèi)容
[0004] 有鑒于此，本實用新型提供一種有利于提商基板良品率以及生廣效率的基板處理 系統(tǒng)。
[0005] 本實用新型提供的所述基板處理系統(tǒng)，其至少包括相鄰設置的一輸送單元和一插 片單元，所述插片單元包括一具有收容空間的本體和一插片機構，所述插片機構位于所述 本體與輸送單元之間，所述本體具有面向所述輸送單元的第一側(cè)，所述輸送單元用于裝載 所述基板并將所述基板輸送至所述本體的第一側(cè)，所述插片機構用于從所述輸送單元上 抓取所述基板，并將所述基板放置于所述本體的收容空間內(nèi)。
[0006] 本實用新型提供的所述基板處理系統(tǒng)中，所述輸送單元包括一傳動裝置和位于所 述傳動裝置一側(cè)的一第二翻轉(zhuǎn)裝置，所述傳動裝置用于裝載并輸送所述基板，所述第二翻 轉(zhuǎn)裝置用于將所述基板翻轉(zhuǎn)至一預設角度。
[0007] 本實用新型提供的所述基板處理系統(tǒng)中，所述輸送單元還包括位于所述傳動裝置 另一側(cè)的第一翻轉(zhuǎn)裝置，所述第一翻轉(zhuǎn)裝置用于接收所述基板，并將所述基板翻轉(zhuǎn)至所述 傳動裝置上。
[0008] 本實用新型提供的所述基板處理系統(tǒng)中，所述第一翻轉(zhuǎn)裝置包括一底板、固定在 所述底板上的一第一支架以及與所述第一支架連接的第二支架，所述第一支架具有遠離所 述底板的第一端，所述第二支架在所述第一端與所述第一支架活動連接，所述第二支架用 于承載所述基板并將所述基板翻轉(zhuǎn)至所述傳動裝置上。
[0009] 本實用新型提供的所述基板處理系統(tǒng)中，所述基板在傳動方向上具有一第一長 度，所述傳動裝置在傳動方向上具有第二長度，所述第二長度至少為所述第一長度的1.5 倍。
[0010] 本實用新型提供的所述基板處理系統(tǒng)中，所述第二支架與所述基板具有相似的形 狀，所述第二支架與所述基板的接觸面積至少占所述基板總面積的3/4。
[0011] 本實用新型提供的所述基板處理系統(tǒng)中，所述傳動裝置沿傳送方向的邊緣至少具 有一導向模塊，位于所述傳動裝置同一側(cè)的所述導向模塊在同一條直線上，所述導向模塊 間具有相同的間距。
[0012] 本實用新型提供的所述基板處理系統(tǒng)中，所述插片機構包括一吸附模塊，所述吸 附模塊用于吸附位于所述第二翻轉(zhuǎn)裝置上的基板，并將所述基板移動至所述本體的收容空 間內(nèi)。
[0013] 本實用新型提供的所述基板處理系統(tǒng)中，所述本體鄰近所述輸送單元的一側(cè)具有 一第四表面，所述傳動裝置與所述基板的接觸面為第三表面，所述第四表面與所述第三表 面垂直。
[0014] 本實用新型提供的所述基板處理系統(tǒng)中，所述吸附模塊與所述導向模塊與所述 基板接觸的表面分別具有一緩沖層，制作所述緩沖層的材料的彈性系數(shù)均大于所述吸附模 塊與導向模塊與所述基板接觸的表面材料的彈性系數(shù)。
[0015] 本實用新型提供的所述基板處理系統(tǒng)中，由于所述基板處理系統(tǒng)至少包括相鄰設 置的一輸送單元和一插片單元，在基板處理過程中，使用所述基板處理系統(tǒng)完整的流水線 作業(yè)，包括基板的輸送和插片過程取代人工搬運及插片，可以避免由人力所帶來的基板的 磕碰、破碎或劃傷，有利于提高基板的良品率以及生產(chǎn)效率。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0016] 下面將結(jié)合附圖及實施例對本實用新型作進一步說明，附圖中：
[0017] 圖1為本實用新型提供的一較佳實施方式的基板處理系統(tǒng)的側(cè)視示意圖；
[0018] 圖2為圖1所不基板處理系統(tǒng)的一王視不意圖；
[0019] 圖3為圖1所示的基板處理系統(tǒng)中第一翻轉(zhuǎn)裝置的一側(cè)視示意圖。
【具體實施方式】
[0020] 為說明本實用新型提供的基板處理系統(tǒng)，以下結(jié)合說明書附圖及文字說明進行詳 細闡述。
[0021] 請參考圖1和圖2,為本實用新型提供的一較佳實施方式的基板處理系統(tǒng)100的 一側(cè)視示意圖以及一主視示意圖。所述基板處理系統(tǒng)100包括相鄰設置的一輸送單元101 和一插片單元102。所述插片單元102包括一具有收容空間的本體112和一插片機構122， 所述插片機構122位于所述本體112與輸送單元101之間，所述本體112具有面向所述輸 送單元101的第一側(cè)，所述輸送單元101用于裝載基板10并將基板10輸送至所述本體112 的第一側(cè)，所述插片機構122用于從所述輸送單元上抓取所述基板，并將所述基板10放置 于所述本體112的收容空間內(nèi)。
[0022] 所述輸送單元101包括一傳動裝置121、一第一翻轉(zhuǎn)裝置111和一第二翻轉(zhuǎn)裝置 131，所述第一翻轉(zhuǎn)裝置111和第二翻轉(zhuǎn)裝置131分別位于所述傳動裝置121的兩側(cè)。所述 第一翻轉(zhuǎn)裝置111用于接收所述基板10,并將所述基板10翻轉(zhuǎn)至所述傳動裝置121上，所 述傳動裝置121用于裝載并輸送所述基板10,所述第二翻轉(zhuǎn)裝置131用于將所述基板10翻 轉(zhuǎn)至一預設角度，本實施方式中，所述預設角度為90°。
[0023] 所述第一翻轉(zhuǎn)裝置111包括一底板111a、固定在所述底板111a上的一第一支架 111b以及與所述第一支架111b連接的第二支架111c，所述第一支架111b具有遠離所述底 板111a的第一端lllba，所述第二支架111c在所述第一端與lllba所述第一支架111b活 動連接，所述第二支架111c用于承載所述基板10并將所述基板10翻轉(zhuǎn)至所述傳動裝置 121 上。
[0024] 如圖3所示，其為圖1所示的基板處理系統(tǒng)中第一翻轉(zhuǎn)裝置的一側(cè)視示意圖，所述 基板10具有第一表面l〇a，所述第二支架111c具有與所述基板第一表面接觸的第二表面 lllca，所述第一表面10a的面積至少為所述第二表面lllca面積的3/4,所述第一表面10a 與所述第二表面11 lea具有相同的形狀。所述第一表面10a與所述第二表面lllca面積大 小的設置方式有利于所述基板10能在所述第二支架上平穩(wěn)的翻轉(zhuǎn)。
[0025] 所述基板10在傳動方向11上具有一第一長度，所述傳動裝置121在傳動方向11 上具有第二長度，所述第二長度至少為所述第一長度的1. 5倍。所述傳動裝置121的長度 設置有利于陸續(xù)從所述第一翻轉(zhuǎn)裝置131上傳來的所述基板10有序的傳送，避免所述第二 長度過短時所造成的所述基板10傳送過程的交錯或混亂。
[0026] 所述傳動裝置121沿所述傳送方向11的邊緣至少具有一導向模塊141，位于所述 傳動裝置121同一側(cè)的所述導向模塊141在同一條直線上，所述導向模塊141間具有相同 的間距。所述傳動裝置121還包括傳動輪和傳動皮帶（圖中未示出），所述傳動輪和傳動皮 帶帶動所述基板10沿傳動方向11移動。
[0027] 所述插片機構122至少包括一吸附模塊1221，所述吸附模塊122a用于吸附位于所 述第二翻轉(zhuǎn)裝置131上的所述基板10,并將所述基板10移動至所述本體112的收容空間 內(nèi)。所述本體112鄰近所述輸送單元的一側(cè)具有一第四表面112a，所述傳動裝置121與所 述基板10的接觸面為第三表面121a所述第四表面112a與所述第三表面121a垂直，。所 述吸附模塊122a與所述導向模塊141與所述基板接觸的表面分別具有一緩沖層（圖中未 示出），制作所述緩沖層的材料的彈性系數(shù)均大于所述吸附模塊122a與導向模塊141與所 述基板10接觸的表面材料的彈性系數(shù)。
[0028] 本實施方式中，當所述基板10放置于所述第一翻轉(zhuǎn)裝置131時，所述第一翻轉(zhuǎn)裝 置131將所述基板10翻轉(zhuǎn)至水平位置，所述基板10即與所述傳動裝置121接觸，所述傳動 裝置121將所述基板10傳送至所述第二翻轉(zhuǎn)裝置131，所述第二翻轉(zhuǎn)裝置131將所述基板 10翻轉(zhuǎn)至所述本體112附近；所述吸附模塊1221吸附位于所述第二翻轉(zhuǎn)裝置131上的所述 基板10,所述基板10被堅直提升至所述本體112的上端面，然后水平移動至所述本體112 的正上方，最后所述基板10隨著所述吸附模塊1221的堅直下降而被放置于所述本體112 的收容空間內(nèi)。
[0029] 本實施方式中，由于所述基板處理系統(tǒng)至少包括相鄰設置的一輸送單元和一插片 單元，在基板處理過程中，使用所述基板處理系統(tǒng)完整的流水線作業(yè)，包括基板的輸送和插 片過程取代人工搬運及插片，可以避免由人力所帶來的基板的磕碰、破碎或劃傷，有利于提 商基板的良品率以及生廣效率。
[0030] 以上為本實用新型提供的基板處理系統(tǒng)的較佳實施方式，并不能理解為對本實用 新型權利保護范圍的限制，本領域的技術人員應該知曉，在不脫離本實用新型構思的前提 下，還可做多種改進或替換，所有的該等改進或替換都應該在本實用新型的權利保護范圍 內(nèi)，即本實用新型的權利保護范圍應以權利要求為準。
【權利要求】
1. 一種基板處理系統(tǒng)，其特征在于：其至少包括相鄰設置的一輸送單元和一插片單 元，所述插片單元包括一具有收容空間的本體和一插片機構，所述插片機構位于所述本體 與輸送單元之間，所述本體具有面向所述輸送單元的第一側(cè)，所述輸送單元用于裝載所述 基板并將所述基板輸送至所述本體的第一側(cè)，所述插片機構用于從所述輸送單元上抓取所 述基板，并將所述基板放置于所述本體的收容空間內(nèi)。
2. 如權利要求1所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于：所述輸送單元包括一傳動裝置和 位于所述傳動裝置一側(cè)的一第二翻轉(zhuǎn)裝置，所述傳動裝置用于裝載并輸送所述基板，所述 第二翻轉(zhuǎn)裝置用于將所述基板翻轉(zhuǎn)至一預設角度。
3. 如權利要求2所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于：所述輸送單元還包括位于所述傳 動裝置另一側(cè)的第一翻轉(zhuǎn)裝置，所述第一翻轉(zhuǎn)裝置用于接收所述基板，并將所述基板翻轉(zhuǎn) 至所述傳動裝置上。
4. 如權利要求3所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于：所述第一翻轉(zhuǎn)裝置包括一底板、固 定在所述底板上的一第一支架以及與所述第一支架連接的第二支架，所述第一支架具有遠 離所述底板的第一端，所述第二支架在所述第一端與所述第一支架活動連接，所述第二支 架用于承載所述基板并將所述基板翻轉(zhuǎn)至所述傳動裝置上。
5. 如權利要求3所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于：所述基板在傳動方向上具有一第 一長度，所述傳動裝置在傳動方向上具有第二長度，所述第二長度至少為所述第一長度的 1. 5 倍。
6. 如權利要求4所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于：所述基板具有第一表面，所述第二 支架具有與所述基板第一表面接觸的第二表面，所述第一表面的面積至少為所述第二表面 面積的3/4。
7. 如權利要求6所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于：所述傳動裝置沿傳送方向的邊緣 至少具有一導向模塊，位于所述傳動裝置同一側(cè)的所述導向模塊在同一條直線上，所述導 向模塊間具有相同的間距。
8. 如權利要求7所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于：所述插片機構包括一吸附模塊，所 述吸附模塊用于吸附位于所述第二翻轉(zhuǎn)裝置上的基板，并將所述基板移動至所述本體的收 容空間內(nèi)，所述本體鄰近所述輸送單元的一側(cè)具有一第四表面，所述傳動裝置與所述基板 的接觸面為第三表面，所述第四表面與所述第三表面垂直。
9. 如權利要求8所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于：所述吸附模塊與所述導向模塊與 所述基板接觸的表面分別具有一緩沖層。
10. 如權利要求9所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于：制作所述緩沖層的材料的彈性系 數(shù)均大于所述吸附模塊與導向模塊與所述基板接觸的表面材料的彈性系數(shù)。
【文檔編號】H01L21/67GK203895417SQ201420237165
【公開日】2014年10月22日 申請日期:2014年5月9日 優(yōu)先權日:2014年5月9日
【發(fā)明者】王士敏, 陳雄達, 呂成鳳, 李新華, 李紹宗 申請人:深圳萊寶高科技股份有限公司, 重慶萊寶科技有限公司