晶盒盛放臺的制作方法
【專利摘要】本實用新型提出了一種晶盒盛放臺，包括設有頂盤和底盤的外部框架、位于外部框架內(nèi)的圓柱銷、固定在圓柱銷側(cè)壁的圓柱銷擋片、位于外部框架內(nèi)的活動部件、固定在活動部件側(cè)壁的感應器、與外部框架的頂盤和底盤相固的頂桿以及至少位于活動部件內(nèi)部的卡槽手柄，頂桿設有兩個具有預定間距的卡槽，卡槽手柄的一端位于卡槽內(nèi)，另一端伸出底盤。在晶盒盛放臺存在故障時，手動下拉卡槽手柄使其從較高的卡槽內(nèi)下移至較低的卡槽內(nèi)，卡槽手柄能夠帶動活動部件和傳感器下移，能使傳感器避開圓柱銷擋片，忽略報錯問題，使存在故障的晶盒盛放臺無法工作，避免人為操作失誤將晶盒放置在存在故障的晶盒盛放臺致使晶圓被刮傷、相撞甚至報廢。
【專利說明】晶盒盛放臺
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導體制造領(lǐng)域，尤其涉及晶盒盛放臺。
【背景技術(shù)】
[0002]晶盒盛放臺(SMIF)是位于晶圓制造廠(FAB)設備機臺前端的一個裝置。在FAB中，晶圓均在至晶盒(Pod)內(nèi)存放，在對晶圓進行生產(chǎn)制造時，需要打開晶盒，取出晶圓并放入相應的設備機臺中才能進行生產(chǎn)。通常情況下，晶盒是放置和固定在晶盒盛放臺上，在晶盒放置完成后，晶盒盛放臺獲得信號，便會打開晶盒，由設備機臺內(nèi)部的機械手臂對晶圓進行傳輸。
[0003]然而，在生產(chǎn)時，晶盒盛放臺經(jīng)常遭遇到一些問題，造成整個設備機臺的中斷運行。一般情況下，設備機臺會包括多個晶盒盛放臺，若其中一個晶盒盛放臺存在故障時便無法使用，但其他正常的晶盒盛放臺依然能夠繼續(xù)使用。若人為操作失誤將晶盒放置至存在故障的晶盒盛放臺時，會導致整個設備機臺無法使用，這就對生產(chǎn)線造成較大的影響。此時，便需要工程師對整個設備機臺進行恢復運行，并排除故障，這增加了工作負荷，并且耗費時間，不利于提聞生廣效率。
[0004]目前，工程師通常采用軟件對存在故障晶盒盛放臺的錯誤進行忽略(Bypass)，SP使存在故障的晶盒盛放臺不再工作。然而，很多設備機臺無法使用軟件對存在故障的晶盒盛放臺進行錯誤忽略，也就無法避免人為出錯，將晶盒繼續(xù)放置在存在故障的晶盒盛放臺上，致使整個設備機臺停產(chǎn)的問題。
實用新型內(nèi)容
[0005]本實用新型的目的在于提供一種晶盒盛放臺，能夠手動隨時忽略報錯的晶盒盛放臺，使其能夠正常工作。
[0006]為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提出了一種晶盒盛放臺，用于盛放晶盒，所述盛放臺包括:外部框架、圓柱銷、至少一個圓柱銷擋片、活動部件、至少一個感應器、至少一個頂桿以及至少一個卡槽手柄，其中，所述外部框架包括頂盤和底盤，所述圓柱銷位于所述外部框架內(nèi)，一端伸出所述外部框架的頂盤預定高度，另一端與所述底盤相連接，所述圓柱銷擋片固定在所述圓柱銷側(cè)壁，所述感應器固定在所述活動部件側(cè)壁，并在所述圓柱銷被下壓后與所述圓柱銷擋片面相對，所述頂桿兩端分別與所述外部框架的頂盤和底盤相固定，所述頂桿設有兩個具有預定間距的卡槽，所述卡槽手柄位于所述活動部件內(nèi)部，一端位于所述卡槽內(nèi)，另一端伸出所述底盤。
[0007]進一步的，所述卡槽手柄為2個，2個所述卡槽手柄之間通過一彈簧連接在一起。
[0008]進一步的，所述頂桿為2個，分別位于所述活動部件相對的兩側(cè)。
[0009]進一步的，所述頂桿的兩端連有基座，所述頂桿30分別通過基座與所述頂盤和底盤進行連線。
[0010]進一步的，位于所述卡槽上方的頂桿設有第一彈簧，所述第一彈簧與位于所述頂盤的基座相連。
[0011]進一步的，位于所述卡槽下方的頂桿設有第二彈簧，所述第二彈簧與位于所述底盤的基座相連。
[0012]進一步的，所述感應器為2個，分別位于所述圓柱銷的兩側(cè)。
[0013]進一步的，所述圓柱銷擋片為2個，分別固定于所述圓柱銷的兩側(cè)壁。
[0014]進一步的，所述預定間距與所述預定高度數(shù)值相同。
[0015]進一步的，所述預定高度范圍是4mm?6mm。
[0016]進一步的，所述圓柱銷的另一端與所述底盤通過一彈簧相連接。
[0017]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果主要體現(xiàn)在:在活動部件內(nèi)設有卡槽手柄，頂桿上設有兩個具有預定間距的卡槽，在晶盒盛放臺存在故障時，手動下拉卡槽手柄使其從較高的卡槽內(nèi)下移至較低的卡槽內(nèi)，卡槽手柄能夠帶動活動部件和感應器下移，能使感應器避開圓柱銷擋片，忽略報錯問題，使存在故障的晶盒盛放臺無法工作，避免人為操作失誤將晶盒放置在存在故障的晶盒盛放臺致使晶圓被刮傷、相撞甚至報廢。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]圖1為本實用新型一實施中晶盒盛放臺的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0019]下面將結(jié)合示意圖對本實用新型的晶盒盛放臺進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優(yōu)選實施例，應該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實用新型，而仍然實現(xiàn)本實用新型的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對本實用新型的限制。
[0020]為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因為它們會使本實用新型由于不必要的細節(jié)而混亂。應當認為在任何實際實施例的開發(fā)中，必須做出大量實施細節(jié)以實現(xiàn)開發(fā)者的特定目標，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個實施例改變?yōu)榱硪粋€實施例。另外，應當認為這種開發(fā)工作可能是復雜和耗費時間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。
[0021]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實用新型。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。
[0022]請參考圖1，在本實施例中，提出了一種晶盒盛放臺，用于盛放晶盒，所述盛放臺包括:外部框架10、圓柱銷20、至少一個圓柱銷擋片21、活動部件40、至少一個感應器50、至少一個頂桿30以及至少一個卡槽手柄60，其中，所述外部框架10包括頂盤11和底盤12，所述圓柱銷20位于所述外部框架10內(nèi)，一端伸出所述外部框架10的頂盤11預定高度H，另一端與所述底盤12相連接，所述圓柱銷擋片21固定在所述圓柱銷20的側(cè)壁，所述感應器50固定在所述活動部件40側(cè)壁，并在所述圓柱銷20被下壓后與所述圓柱銷擋片21面相對，所述頂桿30兩端分別與所述外部框架10的頂盤11和底盤12相固定，所述頂桿30設有兩個具有預定間距S的卡槽，所述卡槽手柄60位于所述活動部件40內(nèi)部，一端位于所述卡槽內(nèi)，另一端伸出所述底盤12。[0023]在本實施例中，所述卡槽手柄60為2個，2個所述卡槽手柄60之間通過一彈簧61連接在一起，所述頂桿30為2個，分別位于所述活動部件40相對的兩側(cè)，由于所述卡槽手柄60的一端與卡槽相對,另一端伸出了底盤12并且兩個卡槽手柄60通過彈簧61相連接，可以通過捏壓位于底盤12外部的卡槽手柄60來實現(xiàn)卡槽手柄60位于較高位置的卡槽內(nèi)到位置較低的卡槽內(nèi)的切換，從而能夠帶動所述活動部件40上下移動，進而改變所述感應器50的垂直位置，可以避免感應器50與所述圓柱銷擋片21正對，進而忽略報錯信號。
[0024]在本實施例中，所述頂桿30的兩端連有基座31，所述頂桿30分別通過基座31與所述頂盤11和底盤12進行連線，位于所述卡槽上方的頂桿30設有第一彈簧32，所述第一彈簧32與位于所述頂盤1110的基座31相連，位于所述卡槽下方的頂桿30設有第二彈簧33，所述第二彈簧33與位于所述底盤12的基座31相連，優(yōu)選的，所述第二彈簧33的彈性略強于所述第一彈簧32的彈性，在捏壓所述卡槽手柄60恢復所述感應器50的位置時，可以自動將所述卡槽手柄60彈起。
[0025]在本實施例中，所述感應器50為2個，分別位于所述圓柱銷20的兩側(cè)，所述圓柱銷擋片21為2個，分別固定于所述圓柱銷20的兩側(cè)壁，與所述感應器50在下壓時能夠正對。
[0026]在本實施例中，所述預定間距S與所述預定高度H的數(shù)值相同，也就是說，所述圓柱銷20被下壓多少，所述圓柱銷擋片21也就被下壓多少，為了能夠使所述感應器50避免與所述圓柱銷擋片21相對，就需要所述感應器50下移多少，即需要H和S的數(shù)值相同，在本實施例中，所述H的范圍是4mm?6mm,例如是5mm,所述S的范圍是4mm?6mm,例如是5mm ο
[0027]在本實施例中，所述圓柱銷20的另一端與所述底盤12通過一彈簧(圖未示出)相連接，在晶盒從所述晶盒盛放臺上移走后，便于所述圓柱銷20彈起，恢復至原位。
[0028]綜上，在本實用新型實施例提供的晶盒盛放臺中，在活動部件內(nèi)設有卡槽手柄，頂桿上設有兩個具有預定間距的卡槽，在晶盒盛放臺存在故障時，手動下拉卡槽手柄使其從較高的卡槽內(nèi)下移至較低的卡槽內(nèi)，卡槽手柄能夠帶動活動部件和感應器下移，能使感應器避開圓柱銷擋片，忽略報錯問題，使存在故障的晶盒盛放臺無法工作，避免人為操作失誤將晶盒放置在存在故障的晶盒盛放臺致使晶圓被刮傷、相撞甚至報廢。
[0029]上述僅為本實用新型的優(yōu)選實施例而已，并不對本實用新型起到任何限制作用。任何所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員，在不脫離本實用新型的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對本實用新型揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動，均屬未脫離本實用新型的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種晶盒盛放臺，用于盛放晶盒，其特征在于，所述盛放臺包括:外部框架、圓柱銷、至少一個圓柱銷擋片、活動部件、至少一個感應器、至少一個頂桿以及至少一個卡槽手柄，其中，所述外部框架包括頂盤和底盤，所述圓柱銷位于所述外部框架內(nèi)，一端伸出所述外部框架的頂盤預定高度，另一端與所述底盤相連接，所述圓柱銷擋片固定在所述圓柱銷側(cè)壁，所述感應器固定在所述活動部件側(cè)壁，并在所述圓柱銷被下壓后與所述圓柱銷擋片面相對，所述頂桿兩端分別與所述外部框架的頂盤和底盤相固定，所述頂桿設有兩個具有預定間距的卡槽，所述卡槽手柄位于所述活動部件內(nèi)部，一端位于所述卡槽內(nèi)，另一端伸出所述底盤。
2.如權(quán)利要求1所述的晶盒盛放臺，其特征在于，所述卡槽手柄為2個，2個所述卡槽手柄之間通過一彈簧連接在一起。
3.如權(quán)利要求2所述的晶盒盛放臺，其特征在于，所述頂桿為2個，分別位于所述活動部件相對的兩側(cè)。
4.如權(quán)利要求3所述的晶盒盛放臺，其特征在于，所述頂桿的兩端連有基座，所述頂桿30分別通過基座與所述頂盤和底盤進行連線。
5.如權(quán)利要求4所述的晶盒盛放臺，其特征在于，位于所述卡槽上方的頂桿設有第一彈簧，所述第一彈簧與位于所述頂盤的基座相連。
6.如權(quán)利要求5所述的晶盒盛放臺，其特征在于，位于所述卡槽下方的頂桿設有第二彈簧，所述第二彈簧與位于所述底盤的基座相連。
7.如權(quán)利要求1所述的晶盒盛放臺，其特征在于，所述感應器為2個，分別位于所述圓柱銷的兩側(cè)。
8.如權(quán)利要求7所述的晶盒盛放臺，其特征在于，所述圓柱銷擋片為2個，分別固定于所述圓柱銷的兩側(cè)壁。
9.如權(quán)利要求1所述的晶盒盛放臺，其特征在于，所述預定間距與所述預定高度數(shù)值相同。
10.如權(quán)利要求9所述的晶盒盛放臺,其特征在于,所述預定高度范圍是4mm~6mm。
11.如權(quán)利要求1所述的晶盒盛放臺，其特征在于，所述圓柱銷的另一端與所述底盤通過一彈簧相連接。
【文檔編號】H01L21/673GK203721693SQ201420019587
【公開日】2014年7月16日 申請日期:2014年1月13日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月13日
【發(fā)明者】楊艷全 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司