一種深紫外激光產(chǎn)生與傳輸裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種深紫外激光產(chǎn)生與傳輸?shù)难b置，包括密封腔體、真空系統(tǒng)、深紫外激光產(chǎn)生系統(tǒng)和深紫外激光傳輸系統(tǒng)；所述深紫外激光產(chǎn)生系統(tǒng)和深紫外激光傳輸系統(tǒng)均位于所述密封腔體內(nèi)。本發(fā)明所公開(kāi)的深紫外激光產(chǎn)生與傳輸?shù)难b置具有良好的完備性、可行性和小型性，簡(jiǎn)單可操作性與實(shí)用性。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種深紫外激光產(chǎn)生與傳輸裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及全固態(tài)深紫外激光領(lǐng)域，特別涉及一種深紫外激光產(chǎn)生與傳輸裝置。

【背景技術(shù)】
[0002] 深紫外光源，一般指波長(zhǎng)介于40nm到200nm之間的電磁輻射波段，由于其波長(zhǎng)短、 單光子能量高，因而在高分辨率成像、光譜應(yīng)用、微細(xì)加工及激光光刻等諸多領(lǐng)域具有重要 的應(yīng)用價(jià)值，是激光領(lǐng)域最重要的發(fā)展方向之一。
[0003] 全固態(tài)激光器具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、效率高、光束質(zhì)量好、穩(wěn)定性好、壽命長(zhǎng)，波 長(zhǎng)連續(xù)調(diào)諧寬、重復(fù)頻率可調(diào)，容易實(shí)用化等優(yōu)點(diǎn)。利用全固態(tài)激光器以上優(yōu)勢(shì)，采用非線(xiàn) 性晶體變頻技術(shù)，可產(chǎn)生高光束質(zhì)量，短脈沖，窄線(xiàn)寬深紫外激光。但由于深紫外波段在空 氣中吸收嚴(yán)重，在空氣環(huán)境中不能有效地產(chǎn)生與傳輸，不利于深紫外激光的研究與推廣應(yīng) 用；傳統(tǒng)的激光功率計(jì)電路底板為覆銅板結(jié)構(gòu)，放氣較大，對(duì)深紫外激光功率吸收，減小深 紫外激光輸出功率，還導(dǎo)致深紫外激光功率測(cè)量不精確；此外，深紫外波段為人眼不可見(jiàn)波 段，不方便光路調(diào)節(jié)。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] (一）要解決的技術(shù)問(wèn)題
[0005] 本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是：如何提供一種深紫外激光產(chǎn)生與傳輸?shù)难b置，針 對(duì)深紫外激光在空氣中吸收嚴(yán)重，深紫外激光功率測(cè)量不精確，并對(duì)人眼不可見(jiàn)，不方便調(diào) 節(jié)的技術(shù)缺陷，解決深紫外激光不利于產(chǎn)生和傳輸，不能有效推廣應(yīng)用的技術(shù)問(wèn)題。
[0006] (二）技術(shù)方案
[0007] 為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種深紫外激光產(chǎn)生與傳輸裝置，所述深 紫外激光產(chǎn)生與傳輸裝置包括：密封腔體系統(tǒng)和真空系統(tǒng)，其特征在于，所述深紫外激光產(chǎn) 生與傳輸裝置還包括深紫外激光產(chǎn)生系統(tǒng)和深紫外激光傳輸系統(tǒng)；所述深紫外激光產(chǎn)生系 統(tǒng)和深紫外激光傳輸系統(tǒng)均位于所述密封腔體內(nèi)；
[0008] 所述密封腔體系統(tǒng)包括腔體，觀察窗口、紫外激光輸入窗口、紫外激光輸出窗口、 氣體進(jìn)口、氣體出口和深紫外激光輸出窗口；
[0009] 所述真空系統(tǒng)包括真空產(chǎn)生系統(tǒng)，真空測(cè)量系統(tǒng)，和真空填充系統(tǒng)；所述真空填充 系統(tǒng)中填充氣體為對(duì)深紫外波段吸收小的高純氣體，或無(wú)填充氣體的真空系統(tǒng)；
[0010] 所述深紫外激光產(chǎn)生系統(tǒng)包括深紫外倍頻晶體器件，深紫外倍頻晶體角度調(diào)節(jié)器 件；
[0011] 所述深紫外激光傳輸系統(tǒng)包括深紫外光學(xué)元件及深紫外激光熒光顯示元件。
[0012] 優(yōu)選地，所述深紫外激光熒光顯示元件是玻璃，熒光粉等在深紫外波段有顯示功 能的材料。
[0013] 優(yōu)選地，真空放氣小深紫外激光功率計(jì)為陶瓷功率計(jì)，即功率計(jì)的光熱感應(yīng)部分 采用石墨，電路底板部分采用放氣小的陶瓷材料。
[0014] 優(yōu)選地，所述高純氣體為純度99. 9%以上的N2、He、Ne或Ar等在深紫外波段吸收 小的氣體。
[0015] 優(yōu)選地，所述深紫外激光熒光顯示元件，為利用所述有顯示功能的材料制作的移 動(dòng)元件，所述移動(dòng)元件在深紫外光路中移動(dòng)進(jìn)/出深紫外激光光路。
[0016] 優(yōu)選地，所述深紫外激光熒光顯示元件，為利用所述有顯示功能的材料制作的小 孔光闌，所述小孔光闌固定在光路中。
[0017] 優(yōu)選地，所述深紫外激光功率計(jì)為在真空放氣小深紫外激光功率計(jì)，所述深紫外 激光功率計(jì)前端面安裝有利用所述深紫外顯示元件制作的小孔光闌。
[0018] 優(yōu)選地，所述密封腔體為組合腔體，組合腔體為獨(dú)立腔體或聯(lián)通腔體，所述深紫外 激光產(chǎn)生系統(tǒng)與所述深紫外激光傳輸系統(tǒng)可以位于所述組合腔體中。
[0019] 優(yōu)選地，所述材料為在真空放氣小的材料；所述腔體為氣密性好的腔體。
[0020] (三）有益效果
[0021] 本發(fā)明所提供的一種深紫外激光產(chǎn)生與傳輸?shù)难b置有如下優(yōu)點(diǎn)：
[0022] -、利用深紫外波段熒光顯示元件，使深紫外激光光路可預(yù)見(jiàn)，可調(diào)控，使整個(gè)深 紫外激光光路容易調(diào)節(jié)，操作可行。
[0023] 二、采用在真空放氣小的深紫外激光功率計(jì)，在真空下放氣小，測(cè)量精度高，測(cè)量 功率不穩(wěn)定性小。功率計(jì)前端面有深紫外熒光顯示元件光闌，可以觀察深紫外激光在功率 計(jì)端面的熒光，調(diào)節(jié)深紫外激光通過(guò)光闌中心的小孔，入射功率計(jì)中心，保證深紫外激光功 率測(cè)量精確。
[0024] 三、采用深紫外激光產(chǎn)生傳輸環(huán)境的密封腔體系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，真空系統(tǒng)，深紫外激光產(chǎn) 生，傳輸系統(tǒng)裝置，深紫外激光測(cè)量系統(tǒng)，使整個(gè)系統(tǒng)良好的完備性。
[0025] 四、采用所述高純氣體填充密封腔，可以保持腔體內(nèi)處于深紫外吸收小的氣體環(huán) 境，減小對(duì)深紫外激光的吸收，還可以帶走非線(xiàn)性晶體器件的熱量，穩(wěn)定非線(xiàn)性晶體的溫 度，保證較穩(wěn)定的深紫外激光輸出功率。
[0026] 五、采用真空系統(tǒng)，能提供較高的腔內(nèi)真空環(huán)境，較少的殘余雜質(zhì)氣體，提高深紫 外激光輸出效率。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0027] 圖1為本發(fā)明一種深紫外激光產(chǎn)生與傳輸裝置的裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖示意圖；
[0028] 圖2為根據(jù)本發(fā)明一種深紫外激光產(chǎn)生與傳輸裝置的實(shí)施例一中的圓形腔體深 紫外激光產(chǎn)生與傳輸裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029] 圖3為根據(jù)本發(fā)明一種深紫外激光產(chǎn)生與傳輸裝置的實(shí)施例二中的矩形腔體深 紫外激光產(chǎn)生與傳輸裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0030] 圖4為根據(jù)本發(fā)明一種深紫外激光產(chǎn)生與傳輸裝置的實(shí)施例三中的圓形-方形組 合腔體深紫外激光產(chǎn)生與傳輸裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031] 圖5為本發(fā)明一種深紫外激光產(chǎn)生與傳輸裝置的裝置結(jié)構(gòu)中的真空系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示 意圖；
[0032] 圖6為本發(fā)明一種深紫外激光產(chǎn)生與傳輸裝置的裝置結(jié)構(gòu)中的測(cè)量系統(tǒng)中深紫 外產(chǎn)生，分光，測(cè)量結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033] 圖7為本發(fā)明一種深紫外激光產(chǎn)生與傳輸裝置的裝置結(jié)構(gòu)中的測(cè)量系統(tǒng)中輸出 測(cè)量結(jié)構(gòu)示意圖；
[0034] 圖8為本發(fā)明一種深紫外激光產(chǎn)生與傳輸裝置的裝置結(jié)構(gòu)中的深紫外激光產(chǎn)生 系統(tǒng)結(jié)構(gòu)不意圖；
[0035] 圖9為本發(fā)明一種深紫外激光產(chǎn)生與傳輸裝置的裝置結(jié)構(gòu)中的深紫外激光傳輸 系統(tǒng)結(jié)構(gòu)不意圖；
[0036] 1-密封腔體，1-1腔體、1-2-腔體蓋、1-3-觀察窗口、1-4一氣體進(jìn)口、1-5-紫外 激光輸入窗口、1-6-紫外激光輸出窗口、1-7-氣體出口、1-8-深紫外激光輸出窗口；
[0037] 2-真空系統(tǒng)、2-1機(jī)械泵、2-2分子泵、2-3電阻規(guī)、2-4電離規(guī)、2-5復(fù)合真空計(jì)、 2-6壓力表；
[0038] 3-激光功率測(cè)量系統(tǒng)、3-1深紫外激光功率計(jì)、3-2紫外分光器，3-3剩余激光收集 器；
[0039] 3 - 1-深紫外激光功率計(jì)、3-2-紫外分光器、3-3-剩余紫外激光收集器；
[0040] 4-深紫外激光產(chǎn)生系統(tǒng)、4-1深紫外倍頻晶體調(diào)節(jié)器、4-2深紫外倍頻晶體器件；
[0041] 5-深紫外傳輸系統(tǒng)、5-1深紫外45°高反鏡、5-2透鏡、5-3玻璃小孔光闌、5-4移 動(dòng)玻璃。

【具體實(shí)施方式】
[0042] 下面結(jié)合說(shuō)明書(shū)附圖和實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以 下實(shí)施例僅用于說(shuō)明本發(fā)明，但不用來(lái)限制本發(fā)明的范圍。
[0043] 實(shí)施例一：
[0044] 如圖1所示，本實(shí)施例記載了一種深紫外激光產(chǎn)生與傳輸?shù)难b置，包括密封腔體 1、真空系統(tǒng)2、深紫外激光產(chǎn)生系統(tǒng)4和深紫外激光傳輸系統(tǒng)5 ;所述深紫外激光產(chǎn)生系統(tǒng) 4和深紫外激光傳輸系統(tǒng)5均位于所述密封腔體內(nèi)。
[0045] 所述密封腔體1包括：腔體1-1、腔體蓋1-2、觀察窗口 1-3、氣體進(jìn)口 1-4、紫外激 光輸入窗口 1-5、紫外激光輸出窗口 1-6、氣體出口 1-7和深紫外激光輸出窗口 1-8。腔體 1-1分別與觀察窗口 1-3、氣體進(jìn)口 1-4、紫外激光輸入窗口 1-5、紫外激光輸出窗口 1-6、氣 體出口 1-7和深紫外激光輸出窗口 1-8連接。
[0046] 如圖2所示，本實(shí)施例中的腔體1-1為單個(gè)不銹鋼圓柱形腔體，不銹鋼底板下有螺 絲底座，可上下旋轉(zhuǎn)，調(diào)節(jié)底板水平；腔體1 -1與腔體蓋1 - 2用橡膠圈密封，并在橡膠圈表 面涂覆一層真空脂，用卡鉗固定密封。
[0047] 所述真空系統(tǒng)2包括真空產(chǎn)生系統(tǒng)，真空泵；真空測(cè)量系統(tǒng)，真空計(jì)和真空填充系 統(tǒng)，壓力表，高純氣體。
[0048] 本實(shí)施例的壓力表2 - 6與腔體1 - 1壁通過(guò)法蘭連接；真空泵為機(jī)械泵2 - 1和分 子泵2 - 2的組合泵，機(jī)械泵2 - 1和分子泵2 - 2分別與腔體1 - 1壁通過(guò)法蘭連接；真空計(jì) 為電阻規(guī)2 - 3和電離規(guī)2 - 4的組合規(guī)，復(fù)合真空計(jì)2 - 5,電阻規(guī)2 - 3和電離規(guī)2 - 4分別 與腔體1 - 1壁通過(guò)法蘭連接。所述高純氣體為對(duì)深紫外波段吸收小的高純氣體，可為N2、 He、Ne或Ar等氣體。
[0049] 深紫外激光產(chǎn)生系統(tǒng)4包括深紫外倍頻晶體調(diào)節(jié)器4-1，深紫外倍頻晶體器件 4-2。在實(shí)施例中，深紫外倍頻晶體調(diào)節(jié)器4-1為四維調(diào)控器，包括X，y，z方向三維高精度 調(diào)控，調(diào)控精度高于0. 1mm，高精度一維旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)精度高于0. Γ。
[0050] 如圖8所示。深紫外倍頻晶體器件為能產(chǎn)生深紫外激光的晶體器件，本實(shí)施例中 深紫外倍頻晶體器件4-2為KBBF-P⑶耦合器件，所述KBBF-P⑶耦合器件為第一耦合棱 鏡-KBBF晶體-第二耦合棱鏡，第一耦合棱鏡為Si0 2直角棱鏡，一銳角為68. 6°，入射面 鍍紫外高透膜系，Si02材料在紫外波段具有較小吸收系數(shù)，較高的損傷閾值，并具有與非線(xiàn) 性晶體相近的折射率，Si0 2直角棱鏡的鍍膜面作為直接倍頻器件入射面，第二耦合棱鏡為 CaF2直角棱鏡，一銳角為68. 6°，CaF2材料在真空紫外波段具有較小吸收系數(shù)，合適的損傷 閾值，CaF2直角棱鏡作為直接倍頻器件KBBF-PCD輸出棱鏡。直接倍頻器件中不同位置光學(xué) 質(zhì)量存在差異，可能有瑕疵，會(huì)嚴(yán)重影響倍頻輸出功率，KBBF-PCD耦合器件固定在四維調(diào)控 器上，通過(guò)四維調(diào)控器調(diào)節(jié)泵浦光在晶體中合適的入射方位，提高倍頻轉(zhuǎn)換效率與深紫外 激光輸出功率。
[0051] 深紫外激光傳輸系統(tǒng)5包括深紫外45°高反射鏡5-1、深紫外激光顯示元件一玻 璃小孔光闌5-3和移動(dòng)玻璃5-4。
[0052] 深紫外45°高反射鏡5-1的數(shù)量不限。如圖9所示，本實(shí)施例為3個(gè)，且為深紫外 45°高反射鏡5-1，通過(guò)電動(dòng)控制反射鏡的角度。
[0053] 玻璃小孔光闌5-3中間有圓形小孔，小孔直徑為0. 5m?10mm。能使深紫外激光在 玻璃小孔光闌5-3上產(chǎn)生熒光，調(diào)節(jié)深紫外激光，使其經(jīng)過(guò)玻璃小孔光闌中心，保證深紫外 激光按預(yù)先設(shè)計(jì)光路傳輸。其中玻璃小孔光闌5-3的數(shù)量不限，如圖9所示，本實(shí)施例中的 數(shù)量為4個(gè)，也可為其他數(shù)量。
[0054] 移動(dòng)玻璃5-4用于觀察深紫外激光產(chǎn)生的熒光，調(diào)節(jié)深紫外激光光路。其數(shù)量不 限，如圖9所示，本實(shí)施例移動(dòng)玻璃5-4為1個(gè)。玻璃小孔光闌和移動(dòng)玻璃為在深紫外波段 具有熒光產(chǎn)生能力材料，如石英等。
[0055] 深紫外激光傳輸系統(tǒng)5還可以包括一個(gè)透鏡5-2,用于準(zhǔn)直發(fā)散的深紫外激光。具 體位置可根據(jù)深紫外激光發(fā)散角及透鏡參數(shù)計(jì)算，通過(guò)電動(dòng)位移臺(tái)調(diào)節(jié)。如圖9所示，本實(shí) 施例中的透鏡5-2設(shè)置在沿深紫外激光傳輸方向的第二個(gè)深紫外高反鏡后；也可設(shè)置在第 三個(gè)深紫外45°高反射鏡后。
[0056] 深紫外45°高反射鏡5-1安置于電動(dòng)鏡架上，通過(guò)電動(dòng)鏡架調(diào)控反射鏡的角度。 用紅色激光從密封腔外入射深紫外45°高反射鏡5-1，粗略調(diào)節(jié)深紫外45°高反射鏡5-1 與透鏡5-2的位置，并在高反射鏡5-1前后按預(yù)先設(shè)計(jì)光路安置玻璃小孔光闌5-3,然后蓋 好密封腔，并使密封腔體內(nèi)保持氣體流通，輸出深紫外激光，觀察深紫外激光在玻璃小孔光 闌上5-3的熒光，結(jié)合移動(dòng)玻璃5-4,通過(guò)電動(dòng)鏡架，電動(dòng)位移臺(tái)精密調(diào)節(jié)深紫外激光光路， 使深紫外激光準(zhǔn)直后從深紫外激光輸出窗口 1-8輸出。
[0057] 此為包括激光功率測(cè)量系統(tǒng)3,所述激光功率測(cè)量系統(tǒng)3包括深紫外激光功率計(jì) 3-1、紫外分光器3-2和剩余激光收集器3-3,所述剩余激光收集器3-3位于紫外激光輸出窗 口 1-6外，如圖6所示，圖6為深紫外激光產(chǎn)生功率測(cè)量系統(tǒng)；安裝在深紫外激光產(chǎn)生系統(tǒng) 4后面，如圖1所述；此外還包括深紫外激光輸出功率測(cè)量系統(tǒng)，如圖7所示，安裝在深紫外 傳輸系統(tǒng)5后面，如圖1所不。
[0058] 深紫外激光功率計(jì)3-1，采用真空的深紫外激光功率計(jì)。激光功率計(jì)前端面安裝 有所述玻璃小孔光闌5-3。深紫外激光產(chǎn)生功率測(cè)量系統(tǒng)中激光功率計(jì)設(shè)置于所述深紫外 倍頻晶體調(diào)節(jié)器4-1后，用于測(cè)量倍頻產(chǎn)生的深紫外激光功率與轉(zhuǎn)換效率；深紫外激光輸 出功率測(cè)量系統(tǒng)中激光功率計(jì)設(shè)置于所述深紫外激光輸出窗口 1-8前面，用于測(cè)量輸出的 深紫外激光功率與傳輸效率，測(cè)量深紫外激光功率時(shí)，將功率計(jì)移進(jìn)深紫外激光光路，測(cè)量 完畢，將其移出深紫外激光光路。采用在真空放氣小的深紫外激光功率計(jì)，在真空環(huán)境放氣 小，靈敏度高，精度高，功率測(cè)量穩(wěn)定。
[0059] 所述紫外分光器3-2為紫外45°高反射鏡，鍍紫外45°高反膜系。在紫外激光光 路上，紫外分光器3-2設(shè)置于深紫外倍頻晶體調(diào)節(jié)器4-1后，用于將剩余紫外激光通過(guò)紫外 激光輸出窗口 1-6導(dǎo)出腔體，并收集在所述剩余紫外激光收集器3-3中。
[0060] 實(shí)施例二：
[0061] 如圖3所示，本實(shí)施例記載的一種深紫外激光產(chǎn)生與傳輸?shù)难b置，其結(jié)構(gòu)與實(shí)施 例一記載的技術(shù)方案基本相似，區(qū)別在于：腔體1-1為矩形腔體。矩形腔體具有結(jié)構(gòu)緊湊， 體積小，設(shè)計(jì)靈活，使用方便等優(yōu)點(diǎn)。
[0062] 實(shí)施例三：
[0063] 如圖4所示，本實(shí)施例記載的一種深紫外激光產(chǎn)生與傳輸?shù)难b置，其結(jié)構(gòu)與實(shí)施 例一記載的技術(shù)方案基本相似，區(qū)別在于：腔體1-1為組合腔體?？蔀閳A-矩、圓-圓或 矩-矩形組合腔體。
[0064] 本實(shí)施例記載的裝置，將深紫外激光產(chǎn)生，傳輸分為兩個(gè)腔體中，兩腔體用波紋管 連接，兩腔體之間，可以用玻璃窗口隔開(kāi)，分成兩個(gè)各自獨(dú)立的密封腔環(huán)境，也可以不用隔 開(kāi)，成為聯(lián)通的兩個(gè)腔體。
[0065] 將深紫外激光產(chǎn)生與準(zhǔn)直傳輸系統(tǒng)隔開(kāi)，使其互不影響，紫外激光在深紫外激光 產(chǎn)生腔體中，被紫外45°高反射鏡反射，從紫外激光輸出窗口輸出，不影響以后深紫外激光 測(cè)量與傳輸。在深紫外激光準(zhǔn)直傳輸腔體中，可以根據(jù)實(shí)際情況靈活設(shè)計(jì)，使系統(tǒng)更加靈活 與實(shí)用。采用該裝置使整個(gè)系統(tǒng)模塊化，每個(gè)模塊小型化，使用更加靈活，易于推廣應(yīng)用。 [0066] 本發(fā)明所提供的裝置工作原理為：密封腔為深紫外激光產(chǎn)生傳輸提供一個(gè)方便、 實(shí)用、完備的密封環(huán)境；利用可見(jiàn)激光，粗略安置深紫外激光傳輸系統(tǒng)中反射鏡，透鏡，玻璃 小孔光闌的位置；利用裝置中真空系統(tǒng)，提供一種深紫外激光產(chǎn)生與傳輸?shù)母呒儦怏w流通 環(huán)境，通過(guò)高純氣體流通，保證深紫外激光可以產(chǎn)生與傳輸；利用深紫外激光產(chǎn)生系統(tǒng)中的 深紫外非線(xiàn)性晶體器件，采用非線(xiàn)性頻率轉(zhuǎn)換技術(shù)產(chǎn)生深紫外激光；利用深紫外激光功率 計(jì)，測(cè)量深紫外激光功率；通過(guò)深紫外激光傳輸系統(tǒng)，利用小孔光闌，移動(dòng)玻璃，電動(dòng)鏡架， 按設(shè)計(jì)光路調(diào)節(jié)深紫外激光光路，輸出一定功率可實(shí)用的深紫外激光。
[0067] 由于深紫外激光在空氣中吸收嚴(yán)重，腔內(nèi)保持高純氣體流通狀態(tài)。具體為利用真 空產(chǎn)生系統(tǒng)，將腔內(nèi)真空度抽至0. 1?0. OOlPa范圍，充滿(mǎn)高純氣體至latm?1. 2atm，再次 按以上步驟抽真空至0. 1?0. OOlPa范圍，即用高純氣體將密封腔洗涮一次，帶走殘余氣體 雜質(zhì)，然后保持腔內(nèi)高純氣體流通狀態(tài)。所述氣體為對(duì)深紫外波段吸收小的高純氣體，其純 度為大于99. 9%，為N2、He、Ne或Ar等氣體。
[0068] 用高純氣體洗涮密封腔時(shí)，可以根據(jù)實(shí)際情況洗涮1?3次，在深紫外激光傳輸效 率低時(shí)，抽真空時(shí)間可以適當(dāng)延長(zhǎng)，再用高純氣體洗涮，使密封腔體1內(nèi)殘余氣體雜質(zhì)減至 最小，提高深紫外激光的傳輸效率。
[0069] 以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人 員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和替換，這些改進(jìn)和替換 也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1. 一種深紫外激光產(chǎn)生與傳輸裝置，所述深紫外激光產(chǎn)生與傳輸裝置包括：密封腔體 系統(tǒng)和真空系統(tǒng)，其特征在于，所述深紫外激光產(chǎn)生與傳輸裝置還包括深紫外激光產(chǎn)生系 統(tǒng)和深紫外激光傳輸系統(tǒng)；所述深紫外激光產(chǎn)生系統(tǒng)和深紫外激光傳輸系統(tǒng)均位于所述密 封腔體內(nèi)； 所述密封腔體系統(tǒng)包括腔體，觀察窗口、紫外激光輸入窗口、紫外激光輸出窗口、氣體 進(jìn)口、氣體出口和深紫外激光輸出窗口； 所述真空系統(tǒng)包括真空產(chǎn)生系統(tǒng)，真空測(cè)量系統(tǒng)，和真空填充系統(tǒng)；所述真空填充系統(tǒng) 中填充氣體為對(duì)深紫外波段吸收小的高純氣體，或無(wú)填充氣體的真空系統(tǒng)； 所述深紫外激光產(chǎn)生系統(tǒng)包括深紫外倍頻晶體器件，深紫外倍頻晶體角度調(diào)節(jié)器件； 所述深紫外激光傳輸系統(tǒng)包括深紫外光學(xué)元件及深紫外激光熒光顯示元件。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種深紫外激光產(chǎn)生與傳輸裝置，其特征在于，所述深紫外 激光熒光顯示元件是玻璃，熒光粉等在深紫外波段有顯示功能的材料。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述一種深紫外激光產(chǎn)生與傳輸裝置，其特征在于，真空放氣小深 紫外激光功率計(jì)為陶瓷功率計(jì)，即功率計(jì)的光熱感應(yīng)部分采用石墨，電路底板部分采用放 氣小的陶瓷材料。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述一種深紫外激光產(chǎn)生與傳輸裝置，其特征在于，所述高純氣體 為純度99. 9%以上的N2、He、Ne或Ar等在深紫外波段吸收小的氣體。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1、2任一項(xiàng)所述的一種深紫外激光產(chǎn)生與傳輸裝置，其特征在于，所 述深紫外激光突光顯示元件，為利用所述有顯示功能的材料制作的移動(dòng)元件，所述移動(dòng)元 件在深紫外光路中移動(dòng)進(jìn)/出深紫外激光光路。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1、2任一項(xiàng)所述裝置，其特征在于，所述深紫外激光熒光顯示元件，為 利用所述有顯示功能的材料制作的小孔光闌，所述小孔光闌固定在光路中。
7. 根據(jù)權(quán)利要求3所述一種深紫外激光產(chǎn)生與傳輸裝置，其特征在于，所述深紫外激 光功率計(jì)為在真空放氣小深紫外激光功率計(jì)，所述深紫外激光功率計(jì)前端面安裝有利用所 述深紫外顯示元件制作的小孔光闌。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述一種深紫外激光產(chǎn)生與傳輸裝置，其特征在于，所述密封腔體 為組合腔體，組合腔體為獨(dú)立腔體或聯(lián)通腔體，所述深紫外激光產(chǎn)生系統(tǒng)與所述深紫外激 光傳輸系統(tǒng)可以位于所述組合腔體中。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1、2、3、5、6、7、8任一項(xiàng)所述一種深紫外激光產(chǎn)生與傳輸裝置，其特征 在于，所述材料為在真空放氣小的材料；所述腔體為氣密性好的腔體。
【文檔編號(hào)】H01S3/17GK104064949SQ201410241146
【公開(kāi)日】2014年9月24日 申請(qǐng)日期:2014年5月30日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月30日
【發(fā)明者】許祖彥, 徐志, 彭欽軍, 王志敏, 楊峰, 張豐豐, 張申金, 宗楠 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院理化技術(shù)研究所