一種功率可變的模擬激光源的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種功率可變的模擬激光源，包括：激光發(fā)射部分用于在數(shù)字控制電路部分的控制下發(fā)射出功率穩(wěn)定的脈沖激光，并作為整個(gè)模擬激光源的激光發(fā)射源；激光功率控制部分用于接收數(shù)字控制電路部分的數(shù)字控制指令，并將其轉(zhuǎn)換成電壓，以驅(qū)動(dòng)激光功率控制部分中的可調(diào)光衰減器來(lái)改變光衰減量，控制光輸出功率；數(shù)字控制電路部分用于為激光發(fā)射部分提供脈沖或連續(xù)的LD驅(qū)動(dòng)信號(hào)，控制LD的發(fā)射激光與否以及發(fā)射激光脈沖頻率，其輸出的數(shù)字控制信號(hào)通過(guò)激光功率控制部分被轉(zhuǎn)換成可調(diào)光衰減器的光衰減量；系統(tǒng)供電部分用于為整個(gè)模擬激光源提供能量。利用本發(fā)明，解決了固定衰減器衰減不能獲得動(dòng)態(tài)衰減范圍，從而不能獲得動(dòng)態(tài)光功率輸出的不足。
【專利說(shuō)明】一種功率可變的模擬激光源【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種功率可變的模擬激光源，用于激光測(cè)距機(jī)，激光導(dǎo)引頭等激光接收設(shè)備功能測(cè)試、異常情況檢測(cè)、靈敏度測(cè)量等。
【背景技術(shù)】
[0002]激光測(cè)距機(jī)、激光導(dǎo)引頭等激光接收設(shè)備研發(fā)過(guò)程中，其功能測(cè)試，異常情況檢測(cè)，靈敏度測(cè)量等對(duì)于研發(fā)至關(guān)重要。在激光測(cè)距機(jī)、激光導(dǎo)引頭等激光接收設(shè)備測(cè)試中，需要一個(gè)模擬激光源發(fā)出微弱激光照射到激光接收設(shè)備上，測(cè)試激光接收設(shè)備是否能接收到信號(hào)，接收到信號(hào)的微弱程度等。這要求模擬激光源發(fā)出激光的功率連續(xù)可調(diào)并且可以動(dòng)態(tài)調(diào)整?，F(xiàn)有楔形分束鏡法和固定衰減器衰減法可以獲得可變功率的激光。
[0003]楔形分束鏡法溯源于激光能量量值，采用楔形分束鏡的兩個(gè)表面多次反(透)射所產(chǎn)生的不同級(jí)次的反(透)射光，根據(jù)菲涅爾定律和楔形分束鏡材料折射率計(jì)算獲得各個(gè)級(jí)次反(透)射光的分束比。這種方法對(duì)于激光偏振度、楔形分束鏡材料制作工藝等要求很高，實(shí)際測(cè)量結(jié)果偏差較大，重要的只能獲得幾個(gè)級(jí)次的激光能量信號(hào)，不能滿足以上激光接收設(shè)備要求的功率連續(xù)動(dòng)態(tài)可調(diào)的測(cè)試需要。
[0004]固定衰減器衰減法是溯源于激光能量量值，已知能量的脈沖激光穿過(guò)已知固定衰減倍數(shù)的標(biāo)準(zhǔn)衰減器，獲得固定的激光微能量量值，這種方法只能獲得幾種固定衰減倍數(shù)的光功率值，不能獲得連續(xù) 動(dòng)態(tài)可調(diào)的激光輸出。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005](一 )要解決的技術(shù)問(wèn)題
[0006]本發(fā)明為了解決固定衰減器衰減不能獲得動(dòng)態(tài)衰減范圍，從而不能獲得動(dòng)態(tài)光功率輸出的不足，提供了一種能夠連續(xù)調(diào)節(jié)光輸出功率的功率可變的模擬激光源。
[0007]( 二 )技術(shù)方案
[0008]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供了一種功率可變的模擬激光源，該模擬激光源包括通過(guò)光纖5連接的激光發(fā)射部分1、激光功率控制部分2、數(shù)字控制電路部分3和系統(tǒng)供電4，其中:
[0009]激光發(fā)射部分I用于在數(shù)字控制電路部分3的控制下發(fā)射出功率穩(wěn)定的脈沖激光，并作為整個(gè)模擬激光源的激光發(fā)射源；
[0010]激光功率控制部分2用于接收數(shù)字控制電路部分3的數(shù)字控制指令，并將其轉(zhuǎn)換成電壓，以驅(qū)動(dòng)激光功率控制部分2中的可調(diào)光衰減器來(lái)改變光衰減量，從而控制光輸出功率;
[0011]數(shù)字控制電路部分3用于為激光發(fā)射部分I提供脈沖或連續(xù)的LD驅(qū)動(dòng)信號(hào)，控制LD的發(fā)射激光與否以及發(fā)射激光脈沖頻率，其輸出的數(shù)字控制信號(hào)通過(guò)激光功率控制部分2被轉(zhuǎn)換成可調(diào)光衰減器2-1的光衰減量；
[0012]系統(tǒng)供電部分4用于為整個(gè)模擬激光源提供能量。[0013]上述方案中，所述激光發(fā)射部分I包括發(fā)光二極管(LD) 1-3、LD溫度控制電路1-5、LD驅(qū)動(dòng)電路1-6和LD功率控制電路1-7，其中:
[0014]發(fā)光二極管1-3用于發(fā)射連續(xù)激光或脈沖激光；
[0015]LD溫度控制電路1-5用于控制發(fā)光二極管1-3內(nèi)部溫度；
[0016]LD驅(qū)動(dòng)電路1-6為發(fā)光二極管1-3發(fā)射連續(xù)激光或脈沖激光提供驅(qū)動(dòng)；
[0017]LD功率控制電路1-7通過(guò)發(fā)光二極管1-3內(nèi)部的光敏二極管1_2采集發(fā)射光功率，反饋到功率控制電路1-7自動(dòng)控制發(fā)光二極管1-3的輸出功率穩(wěn)定在一個(gè)特定的已知值。
[0018]上述方案中，所述發(fā)光二極管1-3包括半導(dǎo)體致冷器(TEC) 1-1、光敏二極管1_2和熱敏電阻1-4，其中:
[0019]半導(dǎo)體致冷器1-1用于對(duì)發(fā)光二極管1-3進(jìn)行加熱和冷卻；
[0020]光敏二極管1-2用于采集發(fā)射光功率并反饋到功率控制電路1-7 ；
[0021]熱敏電阻1-4用于反饋發(fā)光二極管1-3內(nèi)部溫度。
[0022]上述方案中，所述發(fā)光二極管1-3選擇波長(zhǎng)為1.064 μ m脈沖光纖激光器，或者使用波長(zhǎng)為0.532 μ m、0.905 μ m或10.6 μ m的脈沖或者連續(xù)激光器。
[0023]上述方案中，所述激光功率控制部分2包括可調(diào)光衰減器(VOA) 2-1、模擬放大電路2-2、數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器(DAC) 2-3以及連接光纖，其中:
[0024]可調(diào)光衰減器2-1是電壓控制器件，通過(guò)控制其兩端電壓可以控制其輸入和輸出光纖間激光的光衰減量；
[0025]模擬放大電路2-2用于將數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器(DAC) 2-3輸出電壓信號(hào)進(jìn)行電壓和電流放大，增加控制范圍和驅(qū)動(dòng)能力；
[0026]數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器2-3用于將數(shù)字控制電路部分3的數(shù)字指令轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)輸入到模擬放大電路2-2中。
[0027]上述方案中，所述數(shù)字控制電路部分3輸出的數(shù)字控制信號(hào)通過(guò)激光功率控制部分2轉(zhuǎn)換成可調(diào)光衰減器2-1的光衰減量，是整個(gè)模擬激光源的控制核心。
[0028]上述方案中，所述數(shù)字控制電路部分3通過(guò)總線控制數(shù)值模擬轉(zhuǎn)換器2-3控制可調(diào)光衰減器2-1兩端電壓，從而控制可調(diào)光衰減器2-1的光衰減量，使光衰減量可調(diào)，控制輸出光功率值。
[0029]上述方案中，所述數(shù)字控制電路部分3進(jìn)一步通過(guò)控制多個(gè)數(shù)值模擬器2-3增加光衰減量改變范圍，進(jìn)而控制光功率可調(diào)范圍。
[0030]上述方案中，所述數(shù)字控制電路部分3還用于實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)人機(jī)輸入輸出界面和串口通信功能。
[0031]上述方案中，所述系統(tǒng)供電部分4用于實(shí)現(xiàn)整個(gè)模擬激光源的能量供給。
[0032](三)有益效果
[0033]從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明具有以下有益效果:
[0034]1、本發(fā)明提供的功率可變的模擬激光源，采用恒定激光功率輸出配合數(shù)字控制電路控制電壓驅(qū)動(dòng)可調(diào)光衰減器兩端電壓來(lái)動(dòng)態(tài)控制光衰減器的衰減值的方法來(lái)獲得不同的光發(fā)射功率。
[0035]2、本發(fā)明提供的功率可變的模擬激光源，電壓驅(qū)動(dòng)可調(diào)光衰減器兩端電壓和其光衰減倍數(shù)之間關(guān)系通過(guò)標(biāo)定獲得，從而光衰減器的光衰減量是動(dòng)態(tài)可變可控的，并且可以在不間斷的發(fā)光過(guò)程中改變光衰減量，從而可以獲得動(dòng)態(tài)光功率的激光；
[0036]3、本發(fā)明提供的功率可變的模擬激光源，通過(guò)LD的溫度控制和功率控制使LD的發(fā)射功率保持恒定，從而保證了發(fā)出激光的恒定。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0037]圖1是本發(fā)明提供的功率可變的模擬激光源的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0038]為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合具體實(shí)施例，并參照附圖，對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
[0039]如圖1所示，圖1是本發(fā)明提供的功率可變的模擬激光源的結(jié)構(gòu)示意圖，該模擬激光源包括激光發(fā)射部分1、激光功率控制部分2、數(shù)字控制電路部分3和系統(tǒng)供電4，其中，激光發(fā)射部分1、激光功率控制部分2和數(shù)字控制電路部分3之間通過(guò)光纖5連接。
[0040]激光發(fā)射部分I用于在數(shù)字控制電路部分3的控制下發(fā)射出功率穩(wěn)定的脈沖激光作為整個(gè)模擬激光源的激光發(fā)射源，包括發(fā)光二極管(LD) 1-3、LD溫度控制電路1-5、LD驅(qū)動(dòng)電路1-6和LD功率控制電路1-7。
[0041]發(fā)光二極管1-3用于發(fā)射連續(xù)激光或脈沖激光，包括半導(dǎo)體致冷器(TEC) 1-1、光敏二極管1-2和熱敏電阻1-4，其中半導(dǎo)體致冷器1-1用于對(duì)發(fā)光二極管1-3進(jìn)行加熱和冷卻，光敏二極管1-2用于采集發(fā)射光功率并反饋到功率控制電路1-7，熱敏電阻1-4用于反饋發(fā)光二極管1-3內(nèi)部溫度。發(fā)光二極管1-3選擇波長(zhǎng)為1.064 μ m脈沖光纖激光器，或者使用波長(zhǎng)為0.532 μ m、0.905 μ m、10.6 μ m等其他波長(zhǎng)的脈沖或者連續(xù)激光器。
[0042]LD溫度控制電路1-5用于控制發(fā)光二極管1-3內(nèi)部溫度，通過(guò)電流驅(qū)動(dòng)發(fā)光二極管1-3內(nèi)部的半導(dǎo)體致冷器(TEC) 1-1對(duì)發(fā)光二極管1-3進(jìn)行加熱和冷卻，并通過(guò)發(fā)光二極管1-3內(nèi)部的熱敏電阻1-4進(jìn)行反饋形成閉環(huán)，控制發(fā)光二極管1-3內(nèi)部溫度，從而控制發(fā)光二極管1-3發(fā)出激光的波長(zhǎng)；
[0043]LD驅(qū)動(dòng)電路1-6為發(fā)光二極管1-3發(fā)射連續(xù)激光或脈沖激光提供驅(qū)動(dòng)，發(fā)光二極管1-3發(fā)出激光的脈沖寬度由LD驅(qū)動(dòng)電路1-6決定，當(dāng)LD驅(qū)動(dòng)電路1_6提供連續(xù)的電流驅(qū)動(dòng)的時(shí)候，發(fā)光二極管1-3發(fā)出連續(xù)激光；
[0044]LD功率控制電路1-7通過(guò)發(fā)光二極管1-3內(nèi)部的光敏二極管1_2采集發(fā)射光功率，反饋到功率控制電路1-7自動(dòng)控制發(fā)光二極管1-3的輸出功率穩(wěn)定在一個(gè)特定的已知值。
[0045]激光功率控制部分2由可調(diào)光衰減器(VOA) 2-1、模擬放大電路2_2、數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器(DAC) 2-3以及連接光纖構(gòu)成，用于接收數(shù)字控制電路部分3的數(shù)字控制指令，并將其轉(zhuǎn)換成電壓以驅(qū)動(dòng)可調(diào)光衰減器2-1來(lái)改變光衰減量，從而控制光輸出功率?？烧{(diào)光衰減器2-1是電壓控制器件，通過(guò)控制其兩端電壓可以控制其輸入和輸出光纖間激光的光衰減量；模擬放大電路2-2用于將數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器(DAC) 2-3輸出電壓信號(hào)進(jìn)行電壓和電流放大，增加控制范圍和驅(qū)動(dòng)能力；數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器2-3用于將數(shù)字控制電路部分3的數(shù)字指令轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)輸入到模擬放大電路2-2中。[0046]數(shù)字控制電路部分3輸出的數(shù)字控制信號(hào)通過(guò)激光功率控制部分2轉(zhuǎn)換成可調(diào)光衰減器2-1的光衰減量是本發(fā)明的核心部分。
[0047]數(shù)字控制電路部分3是整個(gè)模擬激光源的控制核心，為激光發(fā)射部分I提供脈沖或連續(xù)的LD驅(qū)動(dòng)信號(hào)，控制LD的發(fā)射激光與否、發(fā)射激光脈沖頻率等；通過(guò)總線控制數(shù)值模擬轉(zhuǎn)換器2-3控制可調(diào)光衰減器2-1兩端電壓，從而控制可調(diào)光衰減器2-1的光衰減量，使光衰減量可調(diào)，控制輸出光功率值。數(shù)字控制電路可以通過(guò)控制多個(gè)數(shù)值模擬器2-3增加光衰減量改變范圍，進(jìn)而控制光功率可調(diào)范圍。數(shù)字控制電路部分3還負(fù)責(zé)系統(tǒng)人機(jī)輸入輸出界面和串口通信功能。
[0048]系統(tǒng)供電部分4負(fù)責(zé)整個(gè)模擬激光源的能量供給。
[0049]圖1中所示的功率可變的模擬激光源，包含有可調(diào)光衰減器和恒功率激光發(fā)射器，該恒功率激光發(fā)射器發(fā)射功率已知，可調(diào)光衰減器設(shè)置衰減倍數(shù)已知，從而模擬激光源輸出的光功率是已知的?？烧{(diào)光衰減器是數(shù)字控制電路通過(guò)數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器(DAC)和放大器控制可調(diào)光衰減器兩端電壓來(lái)控制其衰減倍數(shù)?？烧{(diào)光衰減器的控制電壓和光衰減倍數(shù)關(guān)系是已知的，并且是可重復(fù)的。用于控制可調(diào)光衰減器的數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器(DAC)的控制數(shù)值和光衰減倍數(shù)關(guān)系式已知的，并且是可重復(fù)的。數(shù)字控制電路總體負(fù)責(zé)激光發(fā)射和光衰減器的衰減倍數(shù)及兩者的時(shí)序，從而發(fā)射出的激光功率是可控和可知的。通過(guò)串聯(lián)兩個(gè)或者多個(gè)光衰減器增大激光輸出功率可變的動(dòng)態(tài)范圍。另外，激光發(fā)射、傳輸和衰減均在光纖內(nèi)完成。
[0050]下面以兩個(gè)可調(diào)光衰減器2-1串聯(lián)脈沖發(fā)射激光作為優(yōu)選實(shí)例說(shuō)明本發(fā)明的使用步驟:
[0051]I)系統(tǒng)上電后，將可調(diào)光衰減器2-1的電壓都設(shè)置為0，數(shù)字控制電路部分3向激光發(fā)射部分I提供一定頻率和脈寬的時(shí)鐘脈沖，激光發(fā)射部分I按照時(shí)鐘脈沖發(fā)射恒定功率(光峰值功率)激光；
[0052]2)激光發(fā)射部分I發(fā)射的激光沿光纖5依此通過(guò)兩個(gè)可調(diào)光衰減器2-1進(jìn)行衰減，裳減后輸出；
[0053]3)當(dāng)需要輸出某個(gè)峰值功率的脈沖激光時(shí)，通過(guò)激光發(fā)射部分I發(fā)射的恒定光功率(光峰值功率)與需要設(shè)置的輸出峰值功率值計(jì)算出2個(gè)光衰減器需要的衰減量，以合適的策略分配兩個(gè)可調(diào)光衰減器的衰減量；
[0054]4)數(shù)字控制電路部分3控制數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器(DAC) 2-3的輸出電壓，通過(guò)模擬放大電路進(jìn)行比例放大，將可調(diào)光衰減器2-1設(shè)置成所需的衰減量，兩個(gè)可調(diào)光衰減器串聯(lián)后的光輸出即為所需光峰值功率的輸出。
[0055]以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種功率可變的模擬激光源，其特征在于，該模擬激光源包括通過(guò)光纖(5)連接的激光發(fā)射部分(I)、激光功率控制部分(2)、數(shù)字控制電路部分(3)和系統(tǒng)供電(4)，其中: 激光發(fā)射部分(I)用于在數(shù)字控制電路部分(3)的控制下發(fā)射出功率穩(wěn)定的脈沖激光，并作為整個(gè)模擬激光源的激光發(fā)射源； 激光功率控制部分(2)用于接收數(shù)字控制電路部分(3)的數(shù)字控制指令，并將其轉(zhuǎn)換成電壓，以驅(qū)動(dòng)激光功率控制部分(2)中的可調(diào)光衰減器來(lái)改變光衰減量，從而控制光輸出功率； 數(shù)字控制電路部分(3)用于為激光發(fā)射部分(I)提供脈沖或連續(xù)的LD驅(qū)動(dòng)信號(hào)，控制LD的發(fā)射激光與否以及發(fā)射激光脈沖頻率，其輸出的數(shù)字控制信號(hào)通過(guò)激光功率控制部分(2)被轉(zhuǎn)換成可調(diào)光衰減器(2-1)的光衰減量； 系統(tǒng)供電部分(4)用于為整個(gè)模擬激光源提供能量。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的功率可變的模擬激光源，其特征在于，所述激光發(fā)射部分(I)包括發(fā)光二極管LD (1-3)、LD溫度控制電路(1-5)、LD驅(qū)動(dòng)電路(1_6)和LD功率控制電路(1-7)，其中: 發(fā)光二極管(1-3)用于發(fā)射連續(xù)激光或脈沖激光； LD溫度控制電路(1-5)用于控制發(fā)光二極管(1-3)內(nèi)部溫度； LD驅(qū)動(dòng)電路(1-6)為發(fā)光二極管(1-3)發(fā)射連續(xù)激光或脈沖激光提供驅(qū)動(dòng)； LD功率控制電路(1-7)通`過(guò)發(fā)光二極管(1-3)內(nèi)部的光敏二極管(1-2)采集發(fā)射光功率，反饋到功率控制電路(1-7)自動(dòng)控制發(fā)光二極管(1-3)的輸出功率穩(wěn)定在一個(gè)特定的已知值。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的功率可變的模擬激光源，其特征在于，所述發(fā)光二極管(1-3)包括半導(dǎo)體致冷器TEC(1-1)、光敏二極管(1-2)和熱敏電阻(1-4)，其中: 半導(dǎo)體致冷器(1-1)用于對(duì)發(fā)光二極管(1-3)進(jìn)行加熱和冷卻； 光敏二極管(1-2)用于采集發(fā)射光功率并反饋到功率控制電路(1-7)； 熱敏電阻(1-4)用于反饋發(fā)光二極管(1-3)內(nèi)部溫度。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的功率可變的模擬激光源，其特征在于，所述發(fā)光二極管(1-3)選擇波長(zhǎng)為1.064 μ m脈沖光纖激光器，或者使用波長(zhǎng)為0.532 μ m、0.905 μ m或10.6 μ m的脈沖或者連續(xù)激光器。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的功率可變的模擬激光源，其特征在于，所述激光功率控制部分(2)包括可調(diào)光衰減器VOA (2-1)、模擬放大電路(2-2)、數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器DAC (2-3)以及連接光纖，其中: 可調(diào)光衰減器(2-1)是電壓控制器件，通過(guò)控制其兩端電壓可以控制其輸入和輸出光纖間激光的光衰減量； 模擬放大電路(2-2)用于將數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器(2-3)輸出電壓信號(hào)進(jìn)行電壓和電流放大，增加控制范圍和驅(qū)動(dòng)能力； 數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器(2-3)用于將數(shù)字控制電路部分(3)的數(shù)字指令轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)輸入到模擬放大電路(2-2)中。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的功率可變的模擬激光源，其特征在于，所述數(shù)字控制電路部分(3)輸出的數(shù)字控制信號(hào)通過(guò)激光功率控制部分(2)轉(zhuǎn)換成可調(diào)光衰減器(2-1)的光衰減量，是整個(gè)模擬激光源的控制核心。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的功率可變的模擬激光源，其特征在于，所述數(shù)字控制電路部分(3)通過(guò)總線控制數(shù)值模擬轉(zhuǎn)換器(2-3)控制可調(diào)光衰減器(2-1)兩端電壓，從而控制可調(diào)光衰減器(2-1)的光衰減量，使光衰減量可調(diào)，控制輸出光功率值。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的功率可變的模擬激光源，其特征在于，所述數(shù)字控制電路部分(3)進(jìn)一步通過(guò)控制多個(gè)數(shù)值模擬器(2-3)增加光衰減量改變范圍，進(jìn)而控制光功率可調(diào)范圍。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的功率可變的模擬激光源，其特征在于，所述數(shù)字控制電路部分(3)還用于實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)人機(jī)輸入輸出界面和串口通信功能。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的功率可變的模擬激光源，其特征在于，所述系統(tǒng)供電部分(4)用于實(shí)現(xiàn)整個(gè)模擬激 光源的 能量供給。
【文檔編號(hào)】H01S5/0683GK103825192SQ201410077513
【公開(kāi)日】2014年5月28日 申請(qǐng)日期:2014年3月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月5日
【發(fā)明者】李冬梅, 趙向凱, 張觀欣, 楊志卿, 高瑀含, 姜波 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所