專利名稱：一種芯片分選設(shè)備頂針裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于半導(dǎo)體芯片測試分選裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體的說，涉及一種芯片分選設(shè)備頂針裝置。
背景技術(shù)：
芯片分選設(shè)備的作用是將芯片進(jìn)行分類排放。工作過程中，待分選的芯片被均勻粘貼在翻晶膜上，翻晶膜被繃緊固定在由內(nèi)外圈緊密配合的尼龍環(huán)(即子母環(huán))上，子母環(huán)安裝于能夠XY方向移動并繞自身軸線做30°旋轉(zhuǎn)的供給圓筒形平臺上，平臺上部的掃描CCD系統(tǒng)對翻晶膜上每顆芯片進(jìn)行識別及定位。芯片移送系統(tǒng)對每個芯片進(jìn)行抓取，并將其按照規(guī)則放置到接收平臺，完成芯片分選。頂針裝置是芯片分選設(shè)備上的一個重要的組成部件，它安裝在供給圓筒形平臺內(nèi)下方，其主要功能是驅(qū)動頂針從芯片正中心的下方往上頂，克服芯片與翻晶膜之間的粘著力將芯片頂起，以便于上方吸嘴將芯片吸走。頂針裝置設(shè)計是實現(xiàn)芯片分選工藝的關(guān)鍵，頂針頂起的運動特征決定了芯片吸取的成敗?，F(xiàn)有的頂針裝置工作時，由于機械加工存在的誤差，使得頂針與頂針套筒上供頂針穿出的孔軸線不同心使頂針偏向一邊，導(dǎo)致頂針不能從芯片正中心的下方將芯片頂起，使得芯片排列精度差或?qū)е滦酒∈?；由于頂針裝置固定，限制了供給圓筒形平臺運動行程，但是其他功能卻要求供給圓筒形平臺有較大的移動距離，使得圓筒形平臺的內(nèi)壁與頂針套筒發(fā)生干涉；另外現(xiàn)有的頂針裝置更換頂針也不是很方便。 發(fā)明內(nèi)容本實用新型克服了現(xiàn)有技術(shù)中的缺點，提供了一種芯片分選設(shè)備頂針裝置，其目的之一在于:其可以調(diào)整頂針套筒上供頂針穿出的頂針孔的軸心線使其與頂針軸心線同軸，提高分選成功率及質(zhì)量；其目的之二在于:本機構(gòu)可以使頂針裝置整體下降，避開供給圓筒形平臺，使得供給圓筒形平臺有更大的行程以實現(xiàn)其他功能；其目的之三在于:可以方便快捷的更換頂針。為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的:一種芯片分選設(shè)備頂針裝置，包括頂針套筒、頂針軸和安裝座，可升降的頂針軸設(shè)置于頂針套筒內(nèi)，頂針軸頂端固定有頂針，頂針軸與一驅(qū)動頂針軸作上下運動的頂針軸驅(qū)動裝置連接，頂針套筒上設(shè)置有供頂針穿出的頂針孔，頂針軸外側(cè)還套設(shè)有用于調(diào)整頂針套筒位置的調(diào)整座，頂針套筒固接于調(diào)整座，調(diào)整座固接于安裝座。進(jìn)一步，調(diào)整座設(shè)有調(diào)整裝置。進(jìn)一步，調(diào)整裝置為分別設(shè)于調(diào)整座四面的四個調(diào)整螺釘，且調(diào)整螺釘?shù)奈捕说纸佑谡{(diào)整座外側(cè)，調(diào)整螺釘螺接于安裝座。進(jìn)一步，安裝座與一驅(qū)動頂針裝置上下運動的整體驅(qū)動裝置連接。[0013]進(jìn)一步，整體驅(qū)動裝置包括驅(qū)動氣缸、導(dǎo)軌和安裝架，安裝座固接于安裝架，驅(qū)動氣缸驅(qū)動安裝架在導(dǎo)軌上滑動。更進(jìn)一步，安裝架的行程頂端設(shè)有限位裝置，限位裝置上設(shè)有緩沖機構(gòu)。優(yōu)選的，緩沖機構(gòu)為彈簧緩沖柱塞。更為優(yōu)選的，限位裝置為兩個。進(jìn)一步，安裝座包括上安裝座和下安裝座，上安裝座和下安裝座通過螺釘固接。進(jìn)一步，調(diào)整座通過螺釘固接于安裝座。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是:本實用新型所述的一種芯片分選設(shè)備頂針裝置，通過調(diào)整調(diào)整座的位置，帶動頂針套筒移動，可調(diào)節(jié)頂針與頂針套筒上供頂針穿出的頂針孔的軸線基本同軸，使得芯片排列精度得到大幅提升；更換頂針方便快捷，更換頂針時只需拆下頂針套筒進(jìn)行更換，更換后通過鏡頭調(diào)整調(diào)整座的位置帶動頂針套筒移動，觀察調(diào)整頂針與頂針套筒供頂針穿出的頂針孔，使其同軸即可；頂針裝置整體在整體驅(qū)動裝置帶動下整體升降，可避開供給圓筒形平臺，防止圓筒形平臺的內(nèi)壁與頂針套筒發(fā)生干涉，使得供給圓筒形平臺有更大的行程以實現(xiàn)其他功倉泛;另外，頂針軸通過驅(qū)動氣缸作為動力，采用導(dǎo)軌進(jìn)行導(dǎo)向，使得每次升降頂針XYZ三向誤差在±2μπι以內(nèi)，重復(fù)性好，性能穩(wěn)定，提高了分選質(zhì)量及成功率。

附圖用來提供對本實用新型的進(jìn)一步理解，與本實用新型的實施例一起用于解釋本實用新型，并不構(gòu)成對本實用新型的限制，在附圖中:圖1是本實用新型所述一種芯片分選設(shè)備頂針裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實用新型所述一種芯片分選設(shè)備頂針裝置的整體驅(qū)動裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實用新型所述一種芯片分選設(shè)備頂針裝置的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。其中圖1至圖3中包括有，I—頂針套筒；2—鎖緊螺母；3——頂針；4——頂針軸；5——調(diào)整座；6——調(diào)整螺釘；7——頂針孔；8——上安裝座；9——下安裝座；10——防轉(zhuǎn)螺釘；11——防滑螺釘；14——凸輪；15——安裝架；19——防轉(zhuǎn)槽；20——螺釘；21——限位裝置；22——頂針軸驅(qū)動裝置；23——彈簧緩沖柱塞；24——電機；25——導(dǎo)軌；26-驅(qū)動氣 缸。
具體實施方式

以下結(jié)合附圖對本實用新型的優(yōu)選實施例進(jìn)行說明，應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的優(yōu)選實施例僅用于說明和解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。如圖1至圖3所示，本實用新型所述的一種芯片分選設(shè)備頂針裝置，包括頂針套筒
1、頂針軸4和安裝座，可升降的頂針軸4設(shè)置于頂針套筒I內(nèi)，頂針軸4頂端固定有頂針3，頂針軸4與一驅(qū)動頂針軸4作上下運動的頂針軸驅(qū)動裝置22連接，頂針套筒I上設(shè)置有供頂針3穿出的頂針孔7，頂針軸4外側(cè)還套設(shè)有用于調(diào)整頂針套筒I位置的調(diào)整座5，頂針套筒I固接于調(diào)整座5，可采取卡接、螺接、螺釘連接等連接方式，使得換頂針3時方便快捷。調(diào)整座5固接于安裝座。為了使調(diào)整座5移動時可控并精確調(diào)整，調(diào)整座5設(shè)有分別設(shè)于調(diào)整座5四面的四個調(diào)整螺釘6，如圖1、圖3所示，且調(diào)整螺釘6的尾端抵接于調(diào)整座5外側(cè)，調(diào)整螺釘6螺接于安裝座，通過旋轉(zhuǎn)四個調(diào)整螺釘6頂住調(diào)整座5四周，帶動頂針套筒I移動，使頂針套筒I上供頂針3伸出的頂針孔7的中心線與頂針3同軸的調(diào)整能夠操作簡單和精確控制，使得芯片排列精度得到大幅提升，偏差控制在XY方向±38μπι以內(nèi)，角度±3°以內(nèi)。如圖2所示，頂針裝置通過整體驅(qū)動裝置驅(qū)動可上下運動，避讓供給圓筒形平臺的運動，使得供給圓筒形平臺有更大的行程，以便實現(xiàn)其他功能。具體的:安裝座通過安裝架15與驅(qū)動頂針裝置上下運動的驅(qū)動氣缸26連接，并且安裝架15在導(dǎo)軌25上滑動。為了使頂針裝置整體升降后工作位置還為原來的同一位置，即重復(fù)定位精度高，本實用新型采用驅(qū)動氣缸26為驅(qū)動頂針裝置上下運動的動力裝置，且通過直線導(dǎo)軌25導(dǎo)向，從而保證運動精度。為了使頂針裝置整體升降時的定位精度高，安裝架15的行程頂端設(shè)有兩個限位裝置21， 兩個限位裝置21上分別設(shè)有一個用于緩沖的彈簧緩沖柱塞23，減小了機械硬沖擊，減小了震動，提高了定位精度。安裝座包括上安裝座8和下安裝座9，上安裝座8和下安裝座9通過螺釘20固接。便于頂針裝置的拆卸和安裝及維護(hù)，調(diào)整座5通過螺釘20固接于安裝座。如圖1所示，頂針軸驅(qū)動裝置22的側(cè)面開設(shè)有防轉(zhuǎn)槽19，與之配合的下安裝座9上開設(shè)有對應(yīng)的螺釘孔，防轉(zhuǎn)螺釘10穿過螺釘孔，防轉(zhuǎn)螺釘10的尾端伸入防轉(zhuǎn)槽19內(nèi)，防轉(zhuǎn)槽19沿頂針3運動方向的長度需要大于頂針軸驅(qū)動裝置22的行程。防止頂針軸驅(qū)動裝置22在運動過程中產(chǎn)生徑向的轉(zhuǎn)動。如圖1所示，下安裝座9還設(shè)有防滑螺釘11。換頂針3的工作過程:如圖2所示，擰下頂針套筒1，松開鎖緊螺母2，拔下頂針3，換上新頂針3，鎖緊鎖緊螺母2，擰上頂針套筒1，換頂針3過程完成；頂針3與頂針孔7同軸的調(diào)整過程:松開螺釘20，通過鏡頭觀察頂針3與頂針孔7的相對位置，通過調(diào)整四顆調(diào)整螺釘6，使調(diào)整座5帶動頂針套筒XY方向移動，可使頂針3和頂針孔7軸線同軸。如圖1、圖2所示，頂針裝置的工作過程:頂針軸驅(qū)動裝置22裝在安裝架15上，電機24帶動凸輪14使頂針軸驅(qū)動裝置22驅(qū)動頂針軸4及頂針3上下運動；驅(qū)動氣缸26的頂桿連接在安裝架15上，由驅(qū)動氣缸26驅(qū)動頂針裝置整體升降，通過導(dǎo)軌25保持重復(fù)精度和頂針3的穩(wěn)定。 最后應(yīng)說明的是:以上僅為本實用新型的優(yōu)選實施例而已，并不用于限制本實用新型，盡管參照實施例對本實用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說明，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換，但是凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實用新型的保 護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種芯片分選設(shè)備頂針裝置，其特征在于:包括頂針套筒、頂針軸和安裝座，所述可升降的頂針軸設(shè)置于所述頂針套筒內(nèi)，所述頂針軸頂端固定有頂針，所述頂針軸與一驅(qū)動所述頂針軸作上下運動的頂針軸驅(qū)動裝置連接，所述頂針套筒上設(shè)置有供所述頂針穿出的頂針孔，其特征在于:所述頂針軸外側(cè)還套設(shè)有用于調(diào)整頂針套筒位置的調(diào)整座，所述頂針套筒固接于所述調(diào)整座，所述調(diào)整座固接于所述安裝座。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片分選設(shè)備頂針裝置，其特征在于:所述調(diào)整座設(shè)有調(diào)整裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種芯片分選設(shè)備頂針裝置，其特征在于:所述調(diào)整裝置為分別設(shè)于所述調(diào)整座四面的四個調(diào)整螺釘，且所述調(diào)整螺釘?shù)奈捕说纸佑谒稣{(diào)整座外側(cè)，所述調(diào)整螺釘螺接于所述安裝座。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片分選設(shè)備頂針裝置，其特征在于:所述安裝座與一驅(qū)動所述頂針裝置上下運動的整體驅(qū)動裝置連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種芯片分選設(shè)備頂針裝置，其特征在于:所述整體驅(qū)動裝置包括驅(qū)動氣缸、導(dǎo)軌和安裝架，所述安裝座固接于所述安裝架，所述驅(qū)動氣缸驅(qū)動所述安裝架在所述導(dǎo)軌上滑動。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種芯片分選設(shè)備頂針裝置，其特征在于:所述安裝架的行程頂端設(shè)有限位裝置，所述限位裝置上設(shè)有緩沖機構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種芯片分選設(shè)備頂針裝置，其特征在于:所述緩沖機構(gòu)為彈簧緩沖柱塞。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種芯片分選設(shè)備頂針裝置，其特征在于:所述限位裝置為兩個。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8任意一項所述的一種芯片分選設(shè)備頂針裝置，其特征在于:所述安裝座包括上安裝座和下安裝座，所述上安裝座和下安裝座通過螺釘固接。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片分選設(shè)備頂針裝置，其特征在于:所述調(diào)整座通過螺釘固接于所述安裝座。
專利摘要本實用新型公開了一種芯片分選設(shè)備頂針裝置，包括頂針套筒、頂針軸和安裝座，可升降的頂針軸設(shè)置于頂針套筒內(nèi)，頂針軸頂端固定有頂針，頂針軸與一驅(qū)動頂針軸作上下運動的頂針軸驅(qū)動裝置連接，頂針套筒上設(shè)置有供頂針穿出的頂針孔，頂針軸外側(cè)還套設(shè)有用于調(diào)整頂針套筒位置的調(diào)整座，頂針套筒固接于調(diào)整座，調(diào)整座固接于安裝座。本頂針裝置通過調(diào)整調(diào)整座的位置，帶動頂針套筒移動，可調(diào)節(jié)頂針與頂針孔的軸線基本同軸，使得芯片排列精度得到大幅提升；更換頂針方便快捷，更換頂針時只需拆下頂針套筒進(jìn)行更換，更換后通過鏡頭調(diào)整調(diào)整座的位置帶動頂針套筒移動，觀察調(diào)整頂針與頂針套筒供頂針穿出的頂針孔，使其同軸即可。
文檔編號H01L21/687GK203134771SQ20132001029
公開日2013年8月14日 申請日期2013年1月9日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月9日
發(fā)明者朱國文, 吳濤, 龔時華, 朱文凱, 賀松平, 李斌, 吳磊, 宋憲振, 黃惠 申請人:廣東志成華科光電設(shè)備有限公司