基板搬運(yùn)裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了基板搬運(yùn)裝置。根據(jù)本發(fā)明的基板搬運(yùn)裝置，外露于滑動(dòng)構(gòu)件的外側(cè)并與第一臂的另一端連接的第二臂的另一端通過(guò)臂驅(qū)動(dòng)部向正反方向旋轉(zhuǎn)。因此，即使處于連接第一臂的兩端的虛擬直線與連接第二臂的兩端的虛擬直線重疊而平行的死點(diǎn)狀態(tài)，第一臂和第二臂也容易展開(kāi)。只利用第一臂和第二臂容易使設(shè)置有機(jī)械手的滑動(dòng)構(gòu)件滑動(dòng)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，因此能夠有效地降低成本。
【專利說(shuō)明】基板搬運(yùn)裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及搬運(yùn)基板的基板搬運(yùn)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]如半導(dǎo)體元件用的晶片、顯示器裝置用的玻璃基板或薄膜型太陽(yáng)能電池用的玻璃基板等基板，是在基板上進(jìn)行多種工藝而制作完成的。此時(shí)，基板裝載到提供各工藝所需的最佳條件的基板處理裝置并被進(jìn)行處理。
[0003]如今，為了提高生產(chǎn)性，開(kāi)發(fā)并使用能夠一次性地對(duì)基板進(jìn)行處理的多腔體式(cluster)基板處理裝置。
[0004]多腔體式基板處理裝置包括儲(chǔ)存基板的裝載固定腔(load lock chamber)、搬運(yùn)基板的搬運(yùn)腔及執(zhí)行各個(gè)工藝的多個(gè)工藝腔。搬運(yùn)基板的基板搬運(yùn)裝置一般設(shè)置在真空狀態(tài)的搬運(yùn)腔上，將基板從裝載固定腔搬運(yùn)到搬運(yùn)腔、從搬運(yùn)腔搬運(yùn)到裝載固定腔，或在搬運(yùn)腔之間進(jìn)行搬運(yùn)。
[0005]韓國(guó)公開(kāi)專利公報(bào)第10-2009-0008400號(hào)公開(kāi)的基板搬運(yùn)裝置利用傳送帶驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)38折疊或展開(kāi)多關(guān)節(jié)臂31，通過(guò)多關(guān)節(jié)臂31的折疊或展開(kāi)使機(jī)械手32進(jìn)行直線往返運(yùn)動(dòng)，以搬運(yùn)待處理基板。但是，由于所述基板搬運(yùn)裝置利用傳送帶驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)38折疊或展開(kāi)多關(guān)節(jié)臂31，傳送帶驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)38的一側(cè)必然裸露于外部。因此傳送帶驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)38產(chǎn)生的顆粒有可能損傷待處理基板。
[0006]解決這種問(wèn)題的搬運(yùn)機(jī)器人在日本專利公報(bào)第4364001號(hào)上被公開(kāi)。
[0007]所述搬運(yùn)機(jī)器人，形成在第一連桿臂31 —端的軸31a通過(guò)如電機(jī)等驅(qū)動(dòng)單元可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在旋轉(zhuǎn)底座300上，第一連桿臂31的另一端可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在中間連桿33上。另夕卜，第二連桿臂34的一端可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)20上，另一端可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在中間連桿33上。
[0008]隨著第一連桿臂31以軸31a的中心01為基準(zhǔn)進(jìn)行正反旋轉(zhuǎn)，第一連桿臂31與第二連桿臂34以中間連桿33為基準(zhǔn)相互折疊或展開(kāi)，由此使直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)20進(jìn)行直線往返運(yùn)動(dòng)。直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)20上設(shè)置有多個(gè)機(jī)械手21用于搭載并支撐工件W。
[0009]所述搬運(yùn)機(jī)器人的第一連桿臂31以在旋轉(zhuǎn)底座300上支撐的軸31a為基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)，所以，如果第一連桿臂31的另一端與第二連桿臂34的另一端相互可旋轉(zhuǎn)地結(jié)合，當(dāng)連接第一連桿臂31兩端的虛擬直線與連接第二連桿臂34兩端的虛擬直線處于相互重疊而平行的死點(diǎn)狀態(tài)時(shí)，第一連桿臂31的旋轉(zhuǎn)，有可能導(dǎo)致第二連桿臂34同第一連桿臂31 —同旋轉(zhuǎn)。此時(shí)，由于第一連桿臂31與第二連桿臂34無(wú)法相互折疊或展開(kāi)，因此直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)20無(wú)法進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)。
[0010]為了防止這些情況的發(fā)生，將所述搬運(yùn)機(jī)器人的第一連桿臂31的另一端及第二臂34的另一端相互隔開(kāi)并可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在中間連桿33，將另設(shè)的副連桿臂32的一端及另一端可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在旋轉(zhuǎn)底座300及中間連桿33上。
[0011]因此，上述的現(xiàn)有搬運(yùn)機(jī)器人具有因結(jié)構(gòu)復(fù)雜而導(dǎo)致成本上升的缺陷。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0012]本發(fā)明是旨在解決所述現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題點(diǎn)，其目的在于，提供一種能夠降低成本的基板搬運(yùn)裝置。
[0013]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的基板搬運(yùn)裝置，包括:支撐構(gòu)件；升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件，可升降并可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在所述支撐構(gòu)件的上面；搬運(yùn)單元，設(shè)置在所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件上，用于搭載和支撐基板，并設(shè)置成能夠與所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件一同運(yùn)動(dòng)且相對(duì)于所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)，從而搬運(yùn)基板；第一臂，其一端被所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件可旋轉(zhuǎn)地支撐；第二臂，其一端可旋轉(zhuǎn)地支撐在所述搬運(yùn)單元，另一端可旋轉(zhuǎn)地支撐在所述第一臂的另一端；臂驅(qū)動(dòng)部，設(shè)置在所述第一臂上，使所述第二臂的另一端以所述第一臂的另一端為基準(zhǔn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，使得所述第一臂與所述第二臂以相互折疊或展開(kāi)的形態(tài)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，在所述第一臂與所述第二臂的運(yùn)動(dòng)過(guò)程中，當(dāng)所述第一臂與所述第二臂以互相折疊的狀態(tài)排列時(shí)，使所述第二臂的另一端以所述第一臂的另一端為基準(zhǔn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)以使所述第二臂從所述第一臂展開(kāi)，從而消除死點(diǎn)。
[0014]此外，為了實(shí)現(xiàn)所述目的，本發(fā)明的基板搬運(yùn)裝置，包括:支撐構(gòu)件；升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件，其可升降并可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在所述支撐構(gòu)件的上面；搬運(yùn)單元，其設(shè)置在所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件上，用于搭載和支撐基板，并設(shè)置成能夠與所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件一同運(yùn)動(dòng)且相對(duì)于所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)，從而搬運(yùn)基板；第一臂，其一端可旋轉(zhuǎn)地支撐在所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件；第二臂，其呈彎曲狀，一端可旋轉(zhuǎn)地支撐在所述搬運(yùn)單元，另一端可旋轉(zhuǎn)地支撐在所述第一臂的另一端；臂驅(qū)動(dòng)部，其設(shè)置在所述第一臂上，使所述第二臂的另一端以所述第一臂的另一端為基準(zhǔn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，使得所述第一臂與所述第二臂以相互折疊或展開(kāi)的形態(tài)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，在所述第一臂與所述第二臂的運(yùn)動(dòng)過(guò)程中，當(dāng)連接所述第一臂的兩端的虛擬直線和連接所述第二臂的兩端的虛擬直線以相互重疊而平行的狀態(tài)排列時(shí)，使所述第二臂的另一端以所述第一臂的另一端為基準(zhǔn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)以使所述第二臂從所述第一臂展開(kāi)，從而消除死點(diǎn)。
[0015]此外，為了實(shí)現(xiàn)所述目的，本發(fā)明的基板搬運(yùn)裝置，包括:支撐構(gòu)件；升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件，其可升降及可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在所述支撐構(gòu)件的上面；搬運(yùn)單元，其設(shè)置在所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件上，用于搭載和支撐基板，并設(shè)置成能夠與所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件一同運(yùn)動(dòng)且相對(duì)于所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)，從而搬運(yùn)基板；第一臂，其一端可旋轉(zhuǎn)地支撐在所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件；第二臂，其構(gòu)成為一對(duì)，且每個(gè)呈彎曲狀，其一端可旋轉(zhuǎn)地支撐在所述搬運(yùn)單元，另一端可旋轉(zhuǎn)地支撐在所述第一臂的另一端；臂驅(qū)動(dòng)部，其設(shè)置在所述第一臂上，并使所述第二臂的另一端以所述第一臂的另一端為基準(zhǔn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，使得所述第一臂與所述第二臂以相互折疊或展開(kāi)的形態(tài)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，所述第一臂與所述第二臂在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中，當(dāng)連接所述第一臂的兩端的虛擬直線和連接所述第二臂的兩端的虛擬直線相互重疊而以平行狀態(tài)排列時(shí)，使所述第二臂的另一端以所述第一臂的另一端為基準(zhǔn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)以使所述第二臂從所述第一臂展開(kāi)，從而消除死點(diǎn)。
[0016]此外，為了實(shí)現(xiàn)所述目的，本發(fā)明的基板搬運(yùn)裝置包括:支撐構(gòu)件；升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件，其可升降及可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在所述支撐構(gòu)件的上面；搬運(yùn)單元，其設(shè)置在所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件上，用于搭載和支撐基板，并設(shè)置成能夠與所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件一同運(yùn)動(dòng)且相對(duì)于所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)，從而搬運(yùn)基板；第一臂，其一端可旋轉(zhuǎn)地支撐在所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件；第二臂，其一端可旋轉(zhuǎn)地支撐在所述搬運(yùn)單元，另一端可旋轉(zhuǎn)地支撐在所述第一臂的另一端；臂驅(qū)動(dòng)部，其設(shè)置在所述第一臂上，并使所述第二臂的另一端以所述第一臂的另一端為基準(zhǔn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，使得所述第一臂與所述第二臂以相互折疊或展開(kāi)的形態(tài)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，在所述第一臂與所述第二臂的運(yùn)動(dòng)過(guò)程中，當(dāng)連接所述第一臂的兩端的虛擬直線和連接所述第二臂的兩端的虛擬直線相互重疊而以平行狀態(tài)排列時(shí)，使所述第二臂的另一端以所述第一臂的另一端為基準(zhǔn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)以使所述第二臂從所述第一臂展開(kāi)，從而消除死點(diǎn)，其中，所述第二臂的熱膨脹系數(shù)小于所述第一臂的熱膨脹系數(shù)。
[0017]根據(jù)本發(fā)明的基板搬運(yùn)裝置，在裸露于滑動(dòng)構(gòu)件外側(cè)的第一臂的端部可旋轉(zhuǎn)地連接的第二臂的端部通過(guò)臂驅(qū)動(dòng)部向正反方向旋轉(zhuǎn)。因此，即使連接第一臂兩端的虛擬直線與連接第二臂兩端的虛擬直線處于重疊而平行的死點(diǎn)狀態(tài)，第一臂和第二臂也容易展開(kāi)。只利用第一臂和第二臂容易使設(shè)置有機(jī)械手的滑動(dòng)構(gòu)件滑動(dòng)，因此結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，能夠有效地降低成本。
[0018]另外，由于受熱影響大的第二臂以耐熱性強(qiáng)于第一臂的材質(zhì)構(gòu)成，第二臂的變形相對(duì)較小。因此，可用較小的力旋轉(zhuǎn)第二臂，使得第二臂從死點(diǎn)狀態(tài)脫離。
[0019]此外，與第一臂的另一端連接的第二臂的另一端呈彎曲狀，因此，即使第一臂與第二臂受熱而長(zhǎng)度變形，也能夠用較小的力旋轉(zhuǎn)第二臂，使得第二臂從死點(diǎn)狀態(tài)脫離。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0020]圖1是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例1的基板搬運(yùn)裝置的平面立體圖。
[0021]圖2是對(duì)圖1進(jìn)行部分分解的底面立體圖。
[0022]圖3a是圖2的左視圖。
[0023]圖3b是圖3a的“A”部放大圖。
[0024]圖4a是圖1中表示的第一臂的分解立體圖。
[0025]圖4b是驅(qū)動(dòng)軸、升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件、隔離構(gòu)件、第一臂的大致結(jié)合剖視圖。
[0026]圖5a至5d是本發(fā)明實(shí)施例1的表示基板搬運(yùn)裝置的動(dòng)作的圖1的俯視圖。
[0027]圖6是圖1中表示的第一臂和第二臂以死點(diǎn)狀態(tài)排列的俯視圖。
[0028]圖7是本發(fā)明實(shí)施例2的基板搬運(yùn)裝置的平面立體圖。
[0029]圖8a至圖8d是發(fā)明實(shí)施例2的表示基板搬運(yùn)裝置動(dòng)作的圖7的俯視圖。
[0030]圖9是圖7所表示的第一臂和第二臂以死點(diǎn)狀態(tài)排列的俯視圖。
[0031]圖10是本發(fā)明實(shí)施例3的基板搬運(yùn)裝置的第一臂和第二臂的平面立體圖。
[0032]圖11是圖10所表示的第一臂和第二臂以死點(diǎn)狀態(tài)排列的俯視圖。
[0033]附圖標(biāo)記:
[0034]110:支撐構(gòu)件120:升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件130:固定構(gòu)件140:滑動(dòng)構(gòu)件150:機(jī)械手161:第一臂165:第二臂
【具體實(shí)施方式】
[0035]參照表示本發(fā)明的特定實(shí)施例的附圖來(lái)對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，以使所述領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠充分實(shí)施這些實(shí)施例。本發(fā)明的多種實(shí)施例雖然相互不同，但應(yīng)理解為不應(yīng)相互排斥。例如，對(duì)一實(shí)施例，在此處記載的特定形象、結(jié)構(gòu)及特性在不超出本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)可以以其他實(shí)施例體現(xiàn)。另外，每個(gè)公開(kāi)的實(shí)施例中的個(gè)別構(gòu)成要素的位置以及配置可以在不超過(guò)本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)進(jìn)行變更。因此，后述的詳細(xì)說(shuō)明并非具有限定意義，更確切地講，本發(fā)明的保護(hù)范圍只限定在與權(quán)利要求均等的所有范圍以及權(quán)利要求中。附圖中類似的參照符號(hào)在多個(gè)側(cè)面指示相同或類似的功能，并且，為了便于表達(dá)，在長(zhǎng)度、面積、厚度等以及這些形態(tài)可夸大表現(xiàn)。
[0036]以下參照附圖詳細(xì)說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的基板搬運(yùn)裝置。
[0037]實(shí)施例1
[0038]圖1是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例1的基板搬運(yùn)裝置的平面立體圖，圖2是對(duì)圖1進(jìn)行部分分解的底面立體圖，圖3a是圖2的左視圖，圖3b是圖3a的“A”部放大圖。
[0039]如圖所示，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例1的基板搬運(yùn)裝置設(shè)置在多腔體式(cluster type)基板搬運(yùn)裝置的搬運(yùn)腔底部等，并包括內(nèi)部形成封閉空間的支撐構(gòu)件110。支撐構(gòu)件110可以形成為圓筒形、六面體形或方形等多種形狀。
[0040]支撐構(gòu)件110的上面可升降及可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置有升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件120。升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件120連接在通過(guò)設(shè)置于支撐構(gòu)件110內(nèi)部的驅(qū)動(dòng)單元(未圖示)進(jìn)行升降及旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)軸130的上端，并通過(guò)驅(qū)動(dòng)軸113進(jìn)行升降及旋轉(zhuǎn)。
[0041]在升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件120設(shè)置有支撐并搬運(yùn)基板50 (參照?qǐng)D5a)的搬運(yùn)單元。所述搬運(yùn)單元設(shè)置為能夠與升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件120 —同運(yùn)動(dòng)的同時(shí)，相對(duì)于升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件120進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)，從而搬運(yùn)基板50。
[0042]所述搬運(yùn)單元可以包括固定固件130、滑動(dòng)構(gòu)件140、多個(gè)機(jī)械手150。
[0043]固定構(gòu)件130形成為具有規(guī)定長(zhǎng)度的直平行六面體，其長(zhǎng)邊方向與基板50的搬運(yùn)方向大致平行，并結(jié)合于升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件120的上側(cè)?；瑒?dòng)構(gòu)件140大致呈四角板狀，與固定構(gòu)件130大致垂直，并以沿著固定構(gòu)件130的長(zhǎng)邊方向可滑動(dòng)的方式設(shè)置在固定構(gòu)件130上。此時(shí)，固定構(gòu)件130及滑動(dòng)構(gòu)件140分別形成有相互插入結(jié)合以引導(dǎo)滑動(dòng)構(gòu)件140運(yùn)動(dòng)的導(dǎo)軌130a和導(dǎo)槽140a (參照?qǐng)D3b)。
[0044]另外，機(jī)械手150的一端結(jié)合在滑動(dòng)構(gòu)件140上并與滑動(dòng)構(gòu)件140 —同運(yùn)動(dòng)，機(jī)械手的另一側(cè)部位搭載和支撐基板50。基板50被機(jī)械手150搭載支撐而被搬運(yùn)。
[0045]固定構(gòu)件130可以包括分別設(shè)置在升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件120上側(cè)的多個(gè)第一固定構(gòu)件131和多個(gè)第二固定構(gòu)件135，滑動(dòng)構(gòu)件140可以包括在第一固定構(gòu)件131上可滑動(dòng)地設(shè)置的第一滑動(dòng)構(gòu)件141以及在第二固定構(gòu)件135上可滑動(dòng)地設(shè)置的第二滑動(dòng)構(gòu)件145。第二滑動(dòng)構(gòu)件145可以位于第一滑動(dòng)構(gòu)件141的上側(cè)。
[0046]第一固定構(gòu)件131可以設(shè)置在第二固定構(gòu)件135的內(nèi)側(cè)，并且可以以隔離構(gòu)件133(參照?qǐng)D2)為媒介設(shè)置在升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件120的上面。即第一固定構(gòu)件131因隔離構(gòu)件133，而與升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件120的上側(cè)保持規(guī)定的間隔。
[0047]托架167經(jīng)過(guò)第一固定構(gòu)件131與升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件120上側(cè)之間，托架167連接第一固定構(gòu)件131與后述的第二臂165。
[0048]而且,在第一固定構(gòu)件131與第二固定構(gòu)件135的一端及另一端結(jié)合有將第一固定構(gòu)件131與第二固定構(gòu)件135連接成一體的連接板137。
[0049]機(jī)械手150具有與第一滑動(dòng)構(gòu)件141結(jié)合的多個(gè)第一機(jī)械手151和與第二滑動(dòng)構(gòu)件145結(jié)合的多個(gè)第二機(jī)械手155。由于第二滑動(dòng)構(gòu)件145位于第一滑動(dòng)構(gòu)件141的上側(cè)，第二機(jī)械手155自然位于第一機(jī)械手151的上側(cè)。
[0050]將第一機(jī)械手151與第二機(jī)械手155上下排至的理由是，用第一機(jī)械手151裝載基板50而用第二機(jī)械手155卸載基板50,或用第一機(jī)械手151卸載基板50而用第二機(jī)械手155裝載基板50。因此，根據(jù)本發(fā)明的基板搬運(yùn)裝置可以利用第一機(jī)械手151和第二機(jī)械手一次性裝載或卸載基板50。
[0051]滑動(dòng)構(gòu)件140通過(guò)第一臂161與第二臂165滑動(dòng)而進(jìn)行直線往返運(yùn)動(dòng)。
[0052]詳細(xì)地說(shuō)，第一臂161可以形成為盒狀，并且其一端可旋轉(zhuǎn)地支撐在升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件120的一側(cè)。旋轉(zhuǎn)軸161a可旋轉(zhuǎn)地支撐在第一臂161的另一端，第一臂161內(nèi)部可以設(shè)置有包括用來(lái)轉(zhuǎn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸161a的電機(jī)170 (參照?qǐng)D4a)與齒輪等的臂驅(qū)動(dòng)部(未圖示)。
[0053]另外，第二臂165的一端被所述搬運(yùn)單元的滑動(dòng)構(gòu)件140的一側(cè)可旋轉(zhuǎn)地支撐，另一端壓入固定在旋轉(zhuǎn)軸161a。因此，當(dāng)旋轉(zhuǎn)軸161a轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)第一臂165也旋轉(zhuǎn)。
[0054]即，所述臂驅(qū)動(dòng)部轉(zhuǎn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸161a，而通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸161a的轉(zhuǎn)動(dòng)，第二臂165以旋轉(zhuǎn)軸161a為基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)。因此，第一臂161與第二臂165以相互折疊或展開(kāi)的形態(tài)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，滑動(dòng)構(gòu)件140通過(guò)第一臂161與第二臂165相互折疊或展開(kāi)而進(jìn)行滑動(dòng)。
[0055]第一臂161與第二臂165設(shè)置為，以中間隔著搬運(yùn)單元而相互面向的方式形成一對(duì)，因此，某一個(gè)第一臂161的一端被升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件120的一側(cè)可旋轉(zhuǎn)地支撐，與某一個(gè)第一臂161連接的某一個(gè)第二臂165的一端可旋轉(zhuǎn)地支撐在第一滑動(dòng)構(gòu)件141的一側(cè)。另一個(gè)第一臂161的一端可旋轉(zhuǎn)地支撐在升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件120的另一側(cè)，與另一個(gè)第一臂161連接的另一個(gè)第二臂165的一端可旋轉(zhuǎn)地支撐在第二滑動(dòng)構(gòu)件145的一側(cè)。因此，第一滑動(dòng)構(gòu)件141通過(guò)某一個(gè)第一臂161及某一個(gè)第二臂165進(jìn)行滑動(dòng)；第二滑動(dòng)構(gòu)件145通過(guò)另一個(gè)第一臂161及另一個(gè)第二臂165進(jìn)行滑動(dòng)。
[0056]此時(shí)，相互連接而進(jìn)行聯(lián)動(dòng)的某一個(gè)第一臂161與某一個(gè)第二臂165的運(yùn)動(dòng)和相互連接而聯(lián)動(dòng)的另一個(gè)第一臂161與另一個(gè)第二臂165的運(yùn)動(dòng)是相互獨(dú)立的。因此，第一滑動(dòng)構(gòu)件141與第二滑構(gòu)件145相互獨(dú)立地運(yùn)動(dòng)，從而，用第一機(jī)械手151卸載基板50時(shí)，可以用第二機(jī)械手155裝載基板50。
[0057]圖4a是圖1中表示的第一臂的分解立體圖。圖4b是驅(qū)動(dòng)軸、升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件、隔離構(gòu)件、第一臂的結(jié)合剖視圖，下面對(duì)其進(jìn)行說(shuō)明。
[0058]如圖所示，第一臂161形成為長(zhǎng)方形的盒狀，并具備:主體162，其內(nèi)部形成有規(guī)定空間，其上側(cè)與下側(cè)中至少一側(cè)是開(kāi)放的；蓋163，其分別與主體162的開(kāi)放的上側(cè)或下側(cè)結(jié)合。此時(shí)，主體162與蓋163之間可以設(shè)置密封主體162與蓋163之間的密封構(gòu)件164。
[0059]如上所述，作為第一臂161的另一端的主體162的另一端設(shè)置有結(jié)合第一臂161的另一端的旋轉(zhuǎn)軸161a，主體162的內(nèi)部設(shè)置有用于轉(zhuǎn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸161a的所述臂驅(qū)動(dòng)部。
[0060]但是，要驅(qū)動(dòng)所述臂驅(qū)動(dòng)部需要向所述臂驅(qū)動(dòng)部供給外部電源。為此，驅(qū)動(dòng)軸113、升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件120、隔離構(gòu)件133內(nèi)分別形成有相互貫通的供電纜(未圖示)通過(guò)的通道(113a、120a、133a)，主體162的下側(cè)也形成有供所述電纜通過(guò)的通道161b。
[0061]以下參照?qǐng)D5a至圖5d來(lái)說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例1的基板搬運(yùn)裝置的動(dòng)作。圖5a至5d是表示本發(fā)明實(shí)施例1的基板搬運(yùn)裝置的動(dòng)作的圖1的俯視圖。
[0062]由于第一滑動(dòng)構(gòu)件141的滑動(dòng)動(dòng)作與第二滑動(dòng)構(gòu)件145的滑動(dòng)動(dòng)作相同，因此只對(duì)第一滑動(dòng)構(gòu)件141的滑動(dòng)進(jìn)行說(shuō)明。
[0063]如圖5a所示，第一臂161位于第二臂165的右側(cè)(對(duì)于觀看圖5a的人而言是右側(cè)，說(shuō)明書中的其他部分也與此類似)，以旋轉(zhuǎn)軸161a為基準(zhǔn)，將第一臂161與第二臂165相互展開(kāi)的狀態(tài)設(shè)定為最初狀態(tài)。在圖5a所示的狀態(tài)下，位于下側(cè)的第一機(jī)械手151 (參照?qǐng)D5b)被第二機(jī)械手155遮蓋而看不見(jiàn)。
[0064]在圖5a所示的狀態(tài)下，旋轉(zhuǎn)軸161a通過(guò)設(shè)置在第一臂161內(nèi)部的所述臂驅(qū)動(dòng)部向順時(shí)針?lè)较?正方向)旋轉(zhuǎn)時(shí)，第二臂165以旋轉(zhuǎn)軸161a為基準(zhǔn)向正方向旋轉(zhuǎn)。此時(shí)，第一臂161的一端被升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件120支撐，因此，如圖5b所示，第一臂161與第二臂165以旋轉(zhuǎn)軸161a為基準(zhǔn)相互靠近并向折疊的方向運(yùn)動(dòng)。
[0065]在圖5b所示的狀態(tài)下，第二臂165通過(guò)所述的臂驅(qū)動(dòng)部進(jìn)一步向正方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，如圖5c所示，成為連接第一臂161兩端的虛擬直線與連接第二臂165兩端的虛擬直線相互重疊而形成平行的死點(diǎn)狀態(tài)。
[0066]在圖5c所示的狀態(tài)下，當(dāng)?shù)诙?65通過(guò)所述的臂驅(qū)動(dòng)部進(jìn)一步向正方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，第二臂165位于第一臂161的右側(cè)，如圖5d所示，成為第一臂161與第二臂165形成相互展開(kāi)的狀態(tài)。即，由于第二臂165以被第一臂161支撐的部位為基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)，即使第一臂161與第二臂165排列成死點(diǎn)狀態(tài)，第二臂165也容易旋轉(zhuǎn)。因此，第二臂165容易脫離死點(diǎn)狀態(tài)而形成與第一臂展開(kāi)的狀態(tài)。
[0067]繼而，第一滑動(dòng)構(gòu)件141通過(guò)第二臂165從左側(cè)向右側(cè)進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)，通過(guò)第一滑動(dòng)構(gòu)件141，第一機(jī)械手151從左側(cè)向右側(cè)移動(dòng)而搬運(yùn)基板50。
[0068]之后，第二臂165從圖5d所示的狀態(tài)通過(guò)上述臂驅(qū)動(dòng)部向逆時(shí)針?lè)较?反方向)旋轉(zhuǎn)時(shí)，第一臂161與第二臂165形成最初狀態(tài)即圖5a所示的狀態(tài)。
[0069]由于第一滑動(dòng)構(gòu)件141與第二滑動(dòng)構(gòu)件145相互獨(dú)立地滑動(dòng),用第一機(jī)械手151卸載基板50時(shí)能夠利用第二機(jī)械手155裝載基板50。
[0070]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例1的基板處理裝置，第二臂165以滑動(dòng)構(gòu)件140的外露的另一側(cè)為基準(zhǔn)通過(guò)所述臂驅(qū)動(dòng)部向正反方向旋轉(zhuǎn)。因此，第一臂161與第二臂165在死點(diǎn)狀態(tài)下也容易被展開(kāi)。
[0071]圖6是圖1中表示的第一臂和第二臂以死點(diǎn)狀態(tài)排列的俯視圖，下面對(duì)其進(jìn)行說(shuō)明。
[0072]如圖所示，第一臂161和第二臂165以死點(diǎn)狀態(tài)排列時(shí)，以旋轉(zhuǎn)軸161a為基準(zhǔn)，從第一臂161到固定構(gòu)件130的第一固定構(gòu)件131的側(cè)面之間的垂直距離LI，和從第二臂165到固定構(gòu)件130的第一固定構(gòu)件131的側(cè)面之間的垂直距離L2相同時(shí)，第一臂161與第二臂165才能相互展開(kāi)。
[0073]相反地，以旋轉(zhuǎn)軸161a為基準(zhǔn)，從第一臂161到固定構(gòu)件130的第一固定構(gòu)件131的側(cè)面之間的垂直距離LI，和從第二臂165到固定構(gòu)件130的第一固定構(gòu)件131的側(cè)面之間的垂直距離L2相同時(shí)，第一臂161與第二臂165才能容易地相互折疊。
[0074]但是，由于搬運(yùn)基板裝置使用于高溫環(huán)境中，第一臂161和第二臂165有可能因受熱變形導(dǎo)致長(zhǎng)度伸長(zhǎng)。此外，一端被滑動(dòng)構(gòu)件140的支撐的第二臂165更容易受高溫環(huán)境中基板處理裝置產(chǎn)生的熱以及高溫基板的影響，其長(zhǎng)度伸長(zhǎng)更多。更詳細(xì)地說(shuō)，在基板處理裝置裝載或卸載基板的瞬間，相比第一臂161，第二臂165離基板處理裝置的距離近得多，因此受熱影響也就更大。
[0075]這樣，當(dāng)?shù)谝槐?61和第二臂165以死點(diǎn)狀態(tài)排列時(shí)，由于第二臂165被伸長(zhǎng),導(dǎo)致第二臂165緊密結(jié)合在旋轉(zhuǎn)軸161a，此時(shí)要旋轉(zhuǎn)第二臂165脫離死點(diǎn)狀態(tài)需要大力。
[0076]為了防止這種情況的發(fā)生，本發(fā)明的實(shí)施例1的基板搬運(yùn)裝置，因高溫環(huán)境的基板處理裝置而受熱影響多的第二臂165的材質(zhì)優(yōu)選為，其耐熱性強(qiáng)于受熱影響較小的第一臂161的材質(zhì)。
[0077]S卩，第二臂165的材質(zhì)優(yōu)選熱膨脹系數(shù)小于第一臂161的材質(zhì)，更加優(yōu)選第一臂161的材質(zhì)為鋁材，第二臂165的材質(zhì)為鋼材。
[0078]這樣，第二臂165受熱而導(dǎo)致的變形較小，可以用較小的力旋轉(zhuǎn)第二臂165而脫離死點(diǎn)狀態(tài)。
[0079]具有主體162和蓋163的盒狀的第一臂161可以設(shè)置有類似冷卻管等的冷卻裝置(未圖示)。
[0080]實(shí)施例2
[0081]圖7是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例2的基板搬運(yùn)裝置的平面立體圖。在此只對(duì)與實(shí)施例1的不同點(diǎn)進(jìn)行說(shuō)明。
[0082]如圖所示，第二臂265可以形成為包括第一主體部265a和第二主體部265b的彎曲形狀，第二臂265的一端及另一端是與第一主體部265a的端部及第二主體部265b的端部對(duì)應(yīng)的部位。
[0083]因此，第一主體部265a的端部被所述搬運(yùn)單元的滑動(dòng)構(gòu)件240可旋轉(zhuǎn)地支撐，第二主體部265b的端部被旋轉(zhuǎn)軸261a壓入支撐并通過(guò)所述臂驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。第二主體部265b以第一臂261的另一端、即旋轉(zhuǎn)軸261a為基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)時(shí),第一臂261和第二臂265以相互折疊或展開(kāi)的形態(tài)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)。
[0084]第一主體部265a和第二主體部265b可以形成為一體，但并非限定于此。
[0085]圖8a至圖8d是表示本發(fā)明實(shí)施例2的基板搬運(yùn)裝置動(dòng)作的圖7的俯視圖，下面對(duì)其進(jìn)行說(shuō)明。
[0086]由于第一滑動(dòng)構(gòu)件241的滑動(dòng)動(dòng)作與第二滑動(dòng)構(gòu)件245的滑動(dòng)動(dòng)作相同，因此只對(duì)第一滑動(dòng)構(gòu)件241的滑動(dòng)進(jìn)行說(shuō)明。
[0087]如圖8a所示，第一臂261位于第二臂265的右側(cè)(對(duì)于觀看圖8a的人而言是右側(cè)，說(shuō)明書中的其他部分也與此類似)，以旋轉(zhuǎn)軸261a為基準(zhǔn)，將第一臂261與第二臂265相互展開(kāi)的狀態(tài)設(shè)定為最初狀態(tài)。在圖8a所示的狀態(tài)下，位于下側(cè)的第一機(jī)械手251 (參照?qǐng)DSb)被第二機(jī)械手255遮蓋而看不見(jiàn)。
[0088]在圖8a所示的狀態(tài)下，旋轉(zhuǎn)軸261a通過(guò)設(shè)置在第一臂261內(nèi)部的所述臂驅(qū)動(dòng)部向順時(shí)針?lè)较?正方向)旋轉(zhuǎn)時(shí)，第二臂265的第二主體部265b以旋轉(zhuǎn)軸261a為基準(zhǔn)向正方向旋轉(zhuǎn)。此時(shí)，第一臂261的一端被升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件220支撐，因此，如圖8b所示，第一臂261與第二臂265以旋轉(zhuǎn)軸261a為基準(zhǔn)向相互靠近并折疊的方向運(yùn)動(dòng)。
[0089]在圖8b所示狀態(tài)下，第二臂265通過(guò)所述臂驅(qū)動(dòng)部進(jìn)一步向正方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，如圖Sc所示，成為連接第一臂261兩端的虛擬直線與連接第二臂265兩端的虛擬直線相互重疊而平行的死點(diǎn)狀態(tài)。
[0090]在圖8c所示的狀態(tài)下，第二臂265通過(guò)所述的臂驅(qū)動(dòng)部進(jìn)一步向正方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，第二臂265的第一主體部265a位于第一臂261的右側(cè)，如圖8d所示，成為第一臂261與第二臂265相互展開(kāi)的狀態(tài)。S卩，由于第二臂265以被第一臂261支撐的部位為基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)，SP使第一臂261與第二臂265排列成死點(diǎn)的狀態(tài)，第二臂265也容易旋轉(zhuǎn)，因此，第二臂265從死點(diǎn)狀態(tài)脫離而形成與第一臂展開(kāi)的狀態(tài)。
[0091]繼而，第一滑動(dòng)構(gòu)件241通過(guò)第二臂265從左側(cè)向右側(cè)進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)，第一機(jī)械手251通過(guò)第一滑動(dòng)構(gòu)件241從左側(cè)向右側(cè)移動(dòng)，從而搬運(yùn)基板50。
[0092]之后，在圖8d所示的狀態(tài)，當(dāng)?shù)诙?65通過(guò)上述臂驅(qū)動(dòng)部向逆時(shí)針?lè)较?反方向)旋轉(zhuǎn)時(shí)，第一臂261與第二臂265成為最初狀態(tài)、即圖8a所示的狀態(tài)。
[0093]由于第一滑動(dòng)構(gòu)件241與第二滑動(dòng)構(gòu)件245相互獨(dú)立地滑動(dòng)，在用第一機(jī)械手251卸載基板50時(shí)，利用第二機(jī)械手255裝載基板50。
[0094]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例2的基板處理裝置，通過(guò)臂驅(qū)動(dòng)部，第二臂265以滑動(dòng)構(gòu)件240的外露的另一端為基準(zhǔn)向正反方向旋轉(zhuǎn)。因此，第一臂261與第二臂265在死點(diǎn)狀態(tài)下也容易展開(kāi)。
[0095]圖9是圖7所表示的第一臂和第二臂以死點(diǎn)狀態(tài)排列的俯視圖，下面對(duì)其進(jìn)行說(shuō)明。
[0096]如圖所示，第一臂261和第二臂265以死點(diǎn)狀態(tài)排列時(shí)，以旋轉(zhuǎn)軸161a為中心，從第一臂261到固定構(gòu)件130的第一固定構(gòu)件231的側(cè)面之間的垂直距離LI，和從第二臂265到固定構(gòu)件130的第一固定構(gòu)件231的側(cè)面之間的垂直距離L2相同時(shí)，第一臂261與第二臂265才能相互展開(kāi)。
[0097]相反地，以旋轉(zhuǎn)軸261a為基準(zhǔn)，從第一臂261到固定構(gòu)件230的第一固定構(gòu)件231的側(cè)面之間的垂直距離LI，與從第二臂265到固定構(gòu)件230的第一固定構(gòu)件231的側(cè)面之間的垂直距離L2相同時(shí)，第一臂261和第二臂265才能容易地相互折疊。
[0098]但是，由于搬運(yùn)基板裝置使用于高溫環(huán)境中，第一臂261和第二臂265有可能因受熱變形導(dǎo)致長(zhǎng)度伸長(zhǎng)。此外，受高溫環(huán)境中基板處理裝置產(chǎn)生的熱以及高溫基板的影響，一端被滑動(dòng)構(gòu)件240支撐的第二臂265更容易受到熱的影響，其長(zhǎng)度伸長(zhǎng)更多。
[0099]這樣，當(dāng)?shù)谝槐?61和第二臂265以死點(diǎn)狀態(tài)排列時(shí)，由于第二臂265被伸長(zhǎng),導(dǎo)致第二臂265緊密結(jié)合在旋轉(zhuǎn)軸261a，此時(shí)要旋轉(zhuǎn)第二臂265脫離死點(diǎn)狀態(tài)需要大力。
[0100]但是，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例2的基板搬運(yùn)裝置的第二臂265形成為包括第一主體部265a和第二主體部265b的彎曲形狀。因此，為了縮短被伸長(zhǎng)的第二臂265的長(zhǎng)度，將第一主體部265a與第二主體部265b的分界部位向伸直或彎曲的方向折彎即可。
[0101]但是，由于圖6所示的本發(fā)明實(shí)施例1的第二臂165是直線形狀，因此，第一臂161與第二臂165以死點(diǎn)狀態(tài)排列時(shí)，為了使第二臂165從死點(diǎn)狀態(tài)脫離，需要向與第二臂165的長(zhǎng)度方向平行的方向施力來(lái)縮短第二臂165。
[0102]就縮短第二臂156、265而言，如圖9所示，將第一主體部265a與第二主體部265b的分界部位向伸直或彎曲的方向略微折彎以縮短第二臂265所需的力，顯然要小于如圖6所示的向與第二臂165的長(zhǎng)度方向平行的方向縮短第二臂165所需的力。其原因是，假設(shè)第二臂265和第二臂165以相同條件制造時(shí)，第二臂265的剛性小于第二臂165的剛性。
[0103]第二臂265的第一主體部265a的長(zhǎng)度可以相同于第二主體部265b的長(zhǎng)度，也可以長(zhǎng)于或短于第二主體265b的長(zhǎng)度。此外，第一主體部265a及第二主體部265b自身可以形成為直線形或弧形。
[0104]如上所述，本發(fā)明實(shí)施例2的基板搬運(yùn)裝置中，第二臂265形成為彎曲形狀，從而能夠利用相對(duì)小的力伸長(zhǎng)或縮短以死點(diǎn)狀態(tài)排列的第二臂265而使其旋轉(zhuǎn)。死點(diǎn)狀態(tài)排列的第二臂265通過(guò)較小的力而伸長(zhǎng)或縮短，并且，由于第二臂265的剛性小，導(dǎo)致第二臂265從伸長(zhǎng)或縮短狀態(tài)通過(guò)自身彈性恢復(fù)到最初狀態(tài)時(shí)的斥力小，因此能夠減少?zèng)_擊或振動(dòng)。
[0105]本發(fā)明實(shí)施例2的基板搬運(yùn)裝置的第二臂265當(dāng)然可以以耐熱性強(qiáng)于第一臂261的材質(zhì)形成。即第二臂265可以以熱膨脹系數(shù)小于第一臂261的材質(zhì)形成，更優(yōu)選第一臂261以鋁材形成，而第二臂265以鋼材形成。第一臂261的內(nèi)部當(dāng)然可以設(shè)置有類似冷卻管等的冷卻裝置(未圖示)。
[0106]當(dāng)基板50的搬運(yùn)距離較長(zhǎng)時(shí)，第一臂261和第二臂265的長(zhǎng)度要長(zhǎng)，因此需要第一臂261和第二臂265的剛性也大。另外，當(dāng)基板50重量大時(shí),第一臂261和第二臂265的剛性要大。由于第一臂261形成為盒狀，可以確保充分的剛性，而第二臂265形成為桿狀，為了提高剛性，需要加厚其厚度。
[0107]以下說(shuō)明無(wú)需加厚厚度而提高剛性的本發(fā)明實(shí)施例3的基板搬運(yùn)裝置。
[0108]實(shí)施例3
[0109]圖10是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例3的基板搬運(yùn)裝置的第一臂和第二臂的平面立體圖，圖11是圖10所表示的第一臂和第二臂以死點(diǎn)狀態(tài)排列的俯視圖。在此只說(shuō)明與第二實(shí)施例之間的不同點(diǎn)。
[0110]如圖所不，第二臂365、366形成為相互面向且對(duì)稱的一對(duì)。
[0111]此時(shí)，一對(duì)第二臂365、366中的任一或另一個(gè)第二臂365、366的第一主體部365a、366a的端部分別被所述搬運(yùn)單元的滑動(dòng)構(gòu)件340的第一滑動(dòng)構(gòu)件341可旋轉(zhuǎn)地支撐；第二主體365b、366b的端部分別被第一臂361的另一端可旋轉(zhuǎn)地支撐的同時(shí)，分別通過(guò)所述臂驅(qū)動(dòng)部旋轉(zhuǎn)。優(yōu)選為，分別被滑動(dòng)構(gòu)件340可旋轉(zhuǎn)地支撐的某一個(gè)第二臂365的第一主體部365a部位與另一個(gè)第二臂366的第一主體部366a部位，以被滑動(dòng)構(gòu)件340支撐的旋轉(zhuǎn)中心為基準(zhǔn)形成同心，而分別被第一臂361可旋轉(zhuǎn)地支撐的某一個(gè)第二臂365的第二主體部365b部位與另一個(gè)第二臂366的第二主體部366b部位，以被第一臂361支撐的旋轉(zhuǎn)中心為基準(zhǔn)形成同心。
[0112]第二臂365、366形成為一對(duì)，當(dāng)然無(wú)需加厚第二臂365、366的厚度即可提高剛性。
[0113]另外，為了縮短或伸長(zhǎng)第二臂365、366而彎曲第二臂365、366時(shí)，對(duì)某一個(gè)第二臂365及另一個(gè)第二臂366,分別施加垂直方向的力和水平方向的力。但是，由于施加于某一個(gè)第二臂365的水平方向的力和施加于另一個(gè)第二臂366的水平方向的力相互抵消，因此用較小的力就能夠縮短或伸長(zhǎng)第二臂365、366。
[0114]S卩，縮短或伸長(zhǎng)形成為一對(duì)的本發(fā)明實(shí)施例3的第二臂365、366所需的力，并不像縮短或伸長(zhǎng)單獨(dú)形成的本發(fā)明實(shí)施例2的第二臂265所需的力那樣成比增長(zhǎng)。
[0115]雖然以第二臂365、366以一對(duì)對(duì)稱形成的狀態(tài)來(lái)圖示并說(shuō)明，當(dāng)然并非限定于此，即一對(duì)第二臂365、366可以以非對(duì)稱狀態(tài)形成。并且，第二臂365、366并不一定以兩個(gè)臂構(gòu)成，也可以構(gòu)成為3個(gè)以上。
[0116]假設(shè)將本發(fā)明實(shí)施例2的第二臂265形成為如同本發(fā)明實(shí)施例3中的第二臂365、366的一對(duì)，第二臂265的厚度可以更薄。[0117]所述本發(fā)明的實(shí)施例的附圖省略了詳細(xì)的輪廓和線條，是為了幫助理解本發(fā)明技術(shù)思想而進(jìn)行概略圖示。此外，所述實(shí)施例并非限定本發(fā)明技術(shù)思想，其僅僅是為了理解包含在本發(fā)明權(quán)利范圍內(nèi)的技術(shù)事項(xiàng)的參考事項(xiàng)。
【權(quán)利要求】
1.一種基板搬運(yùn)裝置，其包括: 支撐構(gòu)件； 升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件，其可升降并可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在所述支撐構(gòu)件的上面； 搬運(yùn)單元，其設(shè)置在所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件上，用于搭載和支撐基板，并設(shè)置成能夠與所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件一起運(yùn)動(dòng)且相對(duì)于所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)，從而搬運(yùn)基板；第一臂，其一端可旋轉(zhuǎn)地支撐于所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件； 第二臂，其一端可旋轉(zhuǎn)地支撐于所述搬運(yùn)單元，另一端可旋轉(zhuǎn)地支撐于所述第一臂的另一端; 臂驅(qū)動(dòng)部，設(shè)置在所述第一臂上，使所述第二臂的另一端以所述第一臂的另一端為基準(zhǔn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，使得所述第一臂與所述第二臂以相互折疊或展開(kāi)的形態(tài)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，在所述第一臂與所述第二臂的運(yùn)動(dòng)過(guò)程中，當(dāng)所述第一臂與所述第二臂以互相折疊的狀態(tài)排列時(shí)，使所述第二臂的另一端以所述第一臂的另一端為基準(zhǔn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)以使所述第二臂從所述第一臂展開(kāi)，從而消除死點(diǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述搬運(yùn)單元包括: 固定構(gòu)件，結(jié)合在所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件上； 滑動(dòng)構(gòu)件，可滑動(dòng)地設(shè)置在所述固定構(gòu)件上，所述第二臂的一端可旋轉(zhuǎn)地支撐于所述滑動(dòng)構(gòu)件，從而使所述滑動(dòng)構(gòu)件通過(guò)所述第二臂進(jìn)行滑動(dòng)； 多個(gè)機(jī)械手，其一側(cè)與所述滑動(dòng)構(gòu)件結(jié)合并與所述滑動(dòng)構(gòu)件一起運(yùn)動(dòng)，用于搭載和支撐所述基板。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所屬的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于， 所述固定構(gòu)件具有第一固定構(gòu)件和第二固定構(gòu)件， 所述滑動(dòng)構(gòu)件具有第一滑動(dòng)構(gòu)件和第二滑動(dòng)構(gòu)件，該第一滑動(dòng)構(gòu)件可滑動(dòng)地設(shè)置在所述第一固定構(gòu)件上，該第二滑動(dòng)構(gòu)件可滑動(dòng)地設(shè)置在第二所述構(gòu)件上并位于所述第一滑動(dòng)構(gòu)件的上側(cè)， 所述機(jī)械手具有與所述第一滑動(dòng)構(gòu)件結(jié)合的多個(gè)第一機(jī)械手以及與所述第二滑動(dòng)構(gòu)件結(jié)合的多個(gè)第二機(jī)械手， 所述第一臂及所述第二臂以隔著所述搬運(yùn)單元相互面向的方式形成為一對(duì)， 某一個(gè)所述第一臂的一端可旋轉(zhuǎn)地支撐于所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件的一側(cè)，與某一個(gè)所述第一臂連接的某一個(gè)所述第二臂的一端可旋轉(zhuǎn)地支撐于所述第一滑動(dòng)構(gòu)件， 另一個(gè)所述第一臂的一端可旋轉(zhuǎn)地支撐于所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件的另一側(cè)，與另一個(gè)所述第一臂連接的另一個(gè)所述第二臂的一端可旋轉(zhuǎn)地支撐于所述第二滑動(dòng)構(gòu)件。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于， 相互連接的某一個(gè)所述第一臂與某一個(gè)所述第二臂的運(yùn)動(dòng)，和相互連接的另一個(gè)所述第一臂與另一個(gè)所述第二臂的運(yùn)動(dòng)是相互獨(dú)立的。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于， 在所述固定構(gòu)件和所述滑動(dòng)構(gòu)件上分別形成有導(dǎo)軌和導(dǎo)槽，所述導(dǎo)軌和導(dǎo)槽相互插入結(jié)合以引導(dǎo)所述滑動(dòng)構(gòu)件的運(yùn)動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于， 所述第一臂呈盒狀，并具備:主體，其內(nèi)部形成有空間以設(shè)置所述臂驅(qū)動(dòng)部，所述主體的上側(cè)與下側(cè)中至少一側(cè)是開(kāi)放的； 蓋，與所述主體的開(kāi)放的上側(cè)或下側(cè)結(jié)合。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于， 所述主體與所述蓋之間分別設(shè)置有密封構(gòu)件。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于， 在所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與所述搬運(yùn)單元之間設(shè)置有隔離構(gòu)件， 在所述支撐構(gòu)件的內(nèi)部設(shè)置有對(duì)所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件進(jìn)行升降和旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)軸， 在所述驅(qū)動(dòng)軸、所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件、所述隔離構(gòu)件及所述主體內(nèi)形成有通道， 用于將外部電源供給到所述臂驅(qū)動(dòng)部的電纜經(jīng)過(guò)所述通道。
9.一種基板搬運(yùn)裝置，其包括: 支撐構(gòu)件； 升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件，其可升降并可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在所述支撐構(gòu)件的上面； 搬運(yùn)單元，其設(shè)置在所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件上，用于搭載和支撐基板，并設(shè)置成能夠與所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件一同運(yùn)動(dòng)且相對(duì)于所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)，從而搬運(yùn)基板；第一臂，其一端可旋轉(zhuǎn)地支撐于所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件； 第二臂，其呈彎曲狀，一端可旋轉(zhuǎn)地支撐于所述搬運(yùn)單元，另一端可旋轉(zhuǎn)地支撐于所述第一臂的另一端； 臂驅(qū)動(dòng)部，其設(shè)置在所述第一臂`上，使所述第二臂的另一端以所述第一臂的另一端為基準(zhǔn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，使得所述第一臂與所述第二臂以相互折疊或展開(kāi)的形態(tài)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，在所述第一臂與所述第二臂的運(yùn)動(dòng)過(guò)程中，當(dāng)連接所述第一臂的兩端的虛擬直線和連接所述第二臂的兩端的虛擬直線以相互重疊而平行的狀態(tài)排列時(shí)，使所述第二臂的另一端以所述第一臂的另一端為基準(zhǔn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)以使所述第二臂從所述第一臂展開(kāi)，從而消除死點(diǎn)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于， 所述第二臂呈彎曲狀，并包括第一主體部和第二主體部， 所述第一主體部的端部可旋轉(zhuǎn)地支撐于所述搬運(yùn)單元，所述第二主體部的端部可旋轉(zhuǎn)地支撐于所述第一臂的另一端并通過(guò)所述臂驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行旋轉(zhuǎn)， 所述第一主體部的長(zhǎng)度大于所述第二主體部的長(zhǎng)度。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于， 所述第二臂呈彎曲狀，并包括第一主體部和第二主體部， 所述第一主體部的端部可旋轉(zhuǎn)地支撐于所述搬運(yùn)單元，所述第二主體部的端部可旋轉(zhuǎn)地支撐于所述第一臂的另一端并通過(guò)所述臂驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行旋轉(zhuǎn)， 所述第一主體部的長(zhǎng)度小于等于所述第二主體部的長(zhǎng)度。
12.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于， 所述第一主體部和第二主體部分別形成為直線形和弧形中的一個(gè)形狀。
13.—種基板搬運(yùn)裝置，其包括: 支撐構(gòu)件； 升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件，其可升降并可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在所述支撐構(gòu)件的上面； 搬運(yùn)單元，其設(shè)置在所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件上，用于搭載和支撐基板，并設(shè)置成能夠與所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件一同運(yùn)動(dòng)且相對(duì)于所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)，從而搬運(yùn)基板； 第一臂，其一端可旋轉(zhuǎn)地支撐于所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件； 第二臂，其構(gòu)成為一對(duì)，每個(gè)呈彎曲狀，且一端可旋轉(zhuǎn)地支撐于所述搬運(yùn)單元，另一端可旋轉(zhuǎn)地支撐于所述第一臂的另一端； 臂驅(qū)動(dòng)部，其設(shè)置在所述第一臂上，并使所述第二臂的另一端以所述第一臂的另一端為基準(zhǔn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，使得所述第一臂與所述第二臂以相互折疊或展開(kāi)的形態(tài)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，在所述第一臂與所述第二臂的運(yùn)動(dòng)過(guò)程中，當(dāng)連接所述第一臂的兩端的虛擬直線和連接所述第二臂的兩端的虛擬直線相互重疊而平行排列時(shí)，使所述第二臂的另一端以所述第一臂的另一端為基準(zhǔn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)以使所述第二臂從所述第一臂展開(kāi)，從而消除死點(diǎn)。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于， 一對(duì)所述第二臂呈彎曲狀，并各包括第一主體部和第二主體部。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于， 所述第一主體部和所述第二主體部形成為一體。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于， 一對(duì)所述第二臂相互面向且對(duì)稱。
17.根據(jù)權(quán)利要求14所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于， 所述第一主體部的長(zhǎng)度大于所述第二主體部的長(zhǎng)度。
18.根據(jù)權(quán)利要求14所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于， 所述第一主體部的長(zhǎng)度小于等于所述第二主體部的長(zhǎng)度。
19.根據(jù)權(quán)利要求14所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于， 一對(duì)所述第二臂中，每個(gè)第一主體部的端部分別可旋轉(zhuǎn)地支撐于所述搬運(yùn)單元，每個(gè)第二主體部的端部分別可旋轉(zhuǎn)地支撐于所述第一臂的另一端并通過(guò)所述臂驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行旋轉(zhuǎn)， 分別被所述搬運(yùn)單元可旋轉(zhuǎn)地支撐的某一個(gè)所述第二臂的第一主體部的端部和另一個(gè)所述第二臂的第一主體部的端部，以被所述搬運(yùn)單元支撐的旋轉(zhuǎn)中心為基準(zhǔn)形成同心，分別被所述第一臂可旋轉(zhuǎn)地支撐的某一個(gè)所述第二臂的第二主體部的端部與另一個(gè)所述第二臂的第二主體部的端部，以被所述第一臂支撐的旋轉(zhuǎn)中心為基準(zhǔn)形成同心。
20.根據(jù)權(quán)利要求9或13所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于， 所述第二臂的熱膨脹系數(shù)小于所述第一臂的熱膨脹系數(shù)。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于， 所述第一臂由鋁材形成，所述第二臂由鋼材形成。
22.根據(jù)權(quán)利要求9或13所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于， 在所述第一臂設(shè)置有冷卻裝置。
23.根據(jù)權(quán)利要求9或13所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于， 所述第一臂呈盒狀，并具備: 主體，其內(nèi)部形成有空間以設(shè)置所述臂驅(qū)動(dòng)部，該主體的上側(cè)與下側(cè)中至少一側(cè)是開(kāi)放的； 蓋，與所述主體的開(kāi)放的上側(cè)或下側(cè)結(jié)合。
24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，在所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和所述搬運(yùn)單元之間設(shè)置有隔離構(gòu)件， 在所述支撐構(gòu)件的內(nèi)部設(shè)置有對(duì)所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件進(jìn)行升降和旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)軸， 在所述驅(qū)動(dòng)軸、所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件、所述隔離構(gòu)件及所述主體內(nèi)形成有通道， 用于將外部電源供給到所述臂驅(qū)動(dòng)部的電纜經(jīng)過(guò)所述通道。
25.—種基板搬運(yùn)裝置，其包括: 支撐構(gòu)件； 升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件，其可升降并可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在所述支撐構(gòu)件的上面； 搬運(yùn)單元，其設(shè)置在所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件上，用于搭載和支撐基板，并設(shè)置成能夠與所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件一同運(yùn)動(dòng)且相對(duì)于所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)，從而搬運(yùn)基板；第一臂，其一端可旋轉(zhuǎn)地支撐于所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件； 第二臂，其一端可旋轉(zhuǎn)地支撐于所述搬運(yùn)單元，另一端可旋轉(zhuǎn)地支撐于所述第一臂的另一端; 臂驅(qū)動(dòng)部，其設(shè)置在所述第一臂上，并使所述第二臂的另一端以所述第一臂的另一端為基準(zhǔn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，使得所述第一臂與所述第二臂以相互折疊或展開(kāi)的形態(tài)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，在所述第一臂與所述第二臂的運(yùn)動(dòng)過(guò)程中，當(dāng)連接所述第一臂的兩端的虛擬直線和連接所述第二臂的兩端的虛擬直線相互重疊而平行排列時(shí)，使所述第二臂的另一端以所述第一臂的另一端為基準(zhǔn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)以使所述第二臂從所述第一臂展開(kāi)，從而消除死點(diǎn)， 所述第二臂的熱膨脹系數(shù)小于所述第一臂的熱膨脹系數(shù)。
26.根據(jù)權(quán)利要求25所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于， 所述第一臂由鋁材形成，所述第二臂由鋼材形成。
27.根據(jù)權(quán)利要求25所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于， 在所述第一臂設(shè)置有冷卻裝置。
28.根據(jù)權(quán)利要求25所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于， 所述第一臂呈盒狀，并具備: 主體，內(nèi)部形成有空間以設(shè)置所述臂驅(qū)動(dòng)部，該主體的上側(cè)與下側(cè)中至少一側(cè)是開(kāi)放的； 蓋，與所述主體的開(kāi)放的上側(cè)或下側(cè)結(jié)合。
29.根據(jù)權(quán)利要求25所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于， 在所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與所述搬運(yùn)單元之間設(shè)置有隔離構(gòu)件， 在所述支撐構(gòu)件的內(nèi)部設(shè)置有對(duì)所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件進(jìn)行升降和旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)軸， 在所述驅(qū)動(dòng)軸、所述升降及旋轉(zhuǎn)構(gòu)件、所述隔離構(gòu)件及所述主體內(nèi)形成有通道， 用于將外部電源供給到所述臂驅(qū)動(dòng)部的電纜經(jīng)過(guò)所述通道。
【文檔編號(hào)】H01L21/677GK103730398SQ201310388957
【公開(kāi)日】2014年4月16日 申請(qǐng)日期:2013年8月30日 優(yōu)先權(quán)日:2012年10月11日
【發(fā)明者】李壽鐘, 崔恩載, 李成杓, 崔炳參, 金允范, 金賢柱, 樸宰完, 金正勇, 池昌泫, 樸宰玉 申請(qǐng)人:株式會(huì)社Tes