技術(shù)總結(jié)
基板收納狀態(tài)檢查裝置包括照明裝置和拍攝裝置和基板收納狀態(tài)判別部。照明裝置在位于檢查用位置的輸送容器的開口部的前面?zhèn)龋ㄑ卦撻_口部的寬度方向分開而設(shè)置的第一照明部和第二照明部。基板收納狀態(tài)判別部對(duì)由拍攝裝置拍攝的檢查對(duì)象圖像，檢測(cè)利用第一照明部和第二照明部照射的光而在半導(dǎo)體基板的周緣部的周方向上分開的部位產(chǎn)生的一對(duì)高輝度部分，基于關(guān)于該一對(duì)高輝度部分的上下方向的位置的對(duì)應(yīng)關(guān)系，判別半導(dǎo)體基板的收納姿勢(shì)是否異常。

技術(shù)研發(fā)人員：安部健史;藤原浩二
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社大福
文檔號(hào)碼：201310161834
技術(shù)研發(fā)日：2013.05.06
技術(shù)公布日：2017.06.23