本發(fā)明涉及基板收納狀態(tài)檢查裝置及包括該裝置的基板收納設(shè)備，所述基板收納狀態(tài)檢查裝置，在收納形成為圓板狀的半導(dǎo)體基板的收納空間，支持半導(dǎo)體基板的外周部的支持體以沿上下方向分開的狀態(tài)并列多層而設(shè)置，并且將設(shè)置有在收納空間與外部之間取放半導(dǎo)體基板的開口部的輸送容器作為檢查對象。

背景技術(shù)：
在日本特開2005-64515號公報(專利文獻1)中公開了如上所述的基板收納狀態(tài)檢查裝置的一個例子。在專利文獻1的構(gòu)成中，用拍攝裝置拍攝在輸送容器內(nèi)部收納的半導(dǎo)體基板，基于所拍攝的圖像算出半導(dǎo)體基板相對于水平方向的傾斜角度，判別半導(dǎo)體基板是否為以在左右方向為傾斜姿勢的狀態(tài)被收納等異常的收納狀態(tài)。專利文獻1的基板收納狀態(tài)檢查裝置需要對多個半導(dǎo)體基板的都進行如下的麻煩的分析：從所拍攝的半導(dǎo)體基板的圖像提取沿半導(dǎo)體基板的外周部的周方向排列的多個部位的邊緣，求出各個半導(dǎo)體基板的連結(jié)多個邊緣的直線，從該直線相對于水平方向的傾斜角度求出半導(dǎo)體基板的傾斜度。因此，判別在輸送容器內(nèi)半導(dǎo)體基板是否為異常的收納狀態(tài)的構(gòu)成變得復(fù)雜。

技術(shù)實現(xiàn)要素：
鑒于上述背景，期望實現(xiàn)一種能以簡單的構(gòu)成判別輸送容器內(nèi)半導(dǎo)體基板是否為異常的收納狀態(tài)的基板收納狀態(tài)檢查裝置及包括該基板收納狀態(tài)檢查裝置的基板收納設(shè)備。本發(fā)明所涉及的基板收納狀態(tài)檢查裝置，在收納形成為圓板狀的半導(dǎo)體基板的收納空間，支持所述半導(dǎo)體基板的外周部的支持體以沿上下方向分開的狀態(tài)并列多層而設(shè)置，并且將設(shè)置有在所述收納空間與外部之間取放所述半導(dǎo)體基板的開口部的輸送容器作為檢查對象，包括：照明裝置，經(jīng)由所述開口部向收納在位于檢查用位置的所述輸送容器的所述半導(dǎo)體基板照射光；拍攝裝置，拍攝由所述照明裝置照射光的所述半導(dǎo)體基板；以及基板收納狀態(tài)判別部，基于由所述拍攝裝置拍攝的圖像，執(zhí)行判別所述半導(dǎo)體基板的收納姿勢是否正常的基板收納狀態(tài)判別處理，此處，所述照明裝置在位于所述檢查用位置的所述輸送容器的開口部的前面?zhèn)?，包括沿與所述開口部的上下方向正交的寬度方向分開而設(shè)置的第一照明部和第二照明部，所述基板收納狀態(tài)判別部執(zhí)行輝點檢測處理，在由所述拍攝裝置拍攝的檢查對象圖像中，檢測利用所述第一照明部和所述第二照明部照射的光而在所述半導(dǎo)體基板的周緣部的周方向上分開的部位產(chǎn)生的一對高輝度部分，并且基于通過所述輝點檢測處理而在所述檢查對象圖像上檢測的所述一對高輝度部分的上下方向的位置的對應(yīng)關(guān)系，執(zhí)行判別所述半導(dǎo)體基板的收納姿勢是否異常的姿勢判別處理。即，利用在位于檢查用位置的輸送容器的開口部的前面?zhèn)妊卦撻_口部的寬度方向(開口寬度方向)分開而設(shè)置的第一照明部與第二照明部，向收納在輸送容器的半導(dǎo)體基板照射光。因此，在收納空間內(nèi)收納半導(dǎo)體基板時，在由拍攝裝置拍攝的檢查對象圖像中，在半導(dǎo)體基板的周緣部的周方向上分開的部位會產(chǎn)生一對高輝度部分。而且，如果半導(dǎo)體基板是被構(gòu)成同一層的單個或者多個支持體(例如在上下方向相同高度的一對支持體)支持的適當(dāng)?shù)氖占{狀態(tài)，則在檢查對象圖像中，在與該支持體對應(yīng)的上下方向的位置會產(chǎn)生一對高輝度部分。另一方面，在半導(dǎo)體基板為傾斜姿勢等半導(dǎo)體基板沒有被支持體適當(dāng)支持時，一對高輝度部分的一個不會在與該支持體對應(yīng)的上下方向的位置產(chǎn)生。所以，在半導(dǎo)體基板被支持體適當(dāng)支持時，在檢查對象圖像上檢測的一對高輝度部分的各上下方向的位置互相相同，在半導(dǎo)體基板沒有被支持體適當(dāng)支持時，這一對高輝度部分的各上下方向的位置互不相同。因此，通過檢查在與檢查對象圖像上檢測到的高輝度部分相同高度、與該高輝度部分在開口寬度方向不同的位置是否產(chǎn)生了其他高輝度部分，能夠判別收納姿勢是否適合。這樣，用對在檢查對象圖像上檢測的沿開口寬度方向分開的一對高輝度部分的上下方向的位置進行比較這樣的簡單方法，能夠判別半導(dǎo)體基板在收納空間內(nèi)是否以適當(dāng)?shù)氖占{姿勢被收納。所以，根據(jù)上述構(gòu)成，能夠得到能以簡單的構(gòu)成判別在輸送容器內(nèi)半導(dǎo)體基板是否為異常的收納狀態(tài)的基板收納狀態(tài)檢查裝置。下面，說明本發(fā)明的優(yōu)選實施方式的例子。在本發(fā)明所涉及的基板收納狀態(tài)檢查裝置的實施方式中，優(yōu)選的是各個所述第一照明部和所述第二照明部包括沿上下方向構(gòu)成為長條狀的光源而構(gòu)成。即，對于被沿收納空間的上下方向包括多層的支持體支持的所有的半導(dǎo)體基板，能夠以盡可能均一的條件經(jīng)由開口部照射光。因此，在由拍攝裝置拍攝的檢查對象圖像中，無論被上下方向的哪個位置的支持體支持的半導(dǎo)體基板都能適當(dāng)產(chǎn)生高輝度部分。所以，能夠與收納空間內(nèi)的上下方向的位置無關(guān)地適當(dāng)檢測在半導(dǎo)體基板產(chǎn)生的高輝度部分。在本發(fā)明所涉及的基板收納狀態(tài)檢查裝置的實施方式中，優(yōu)選的是所述拍攝裝置由1臺拍攝用照相機構(gòu)成。即，在拍攝沿開口寬度方向分開的一對高輝度部分時，由于拍攝裝置由1臺拍攝用照相機構(gòu)成，因此與例如對于一對高輝度部分的各個各別地包括拍攝裝置的構(gòu)成相比，能夠簡化設(shè)備構(gòu)成。此外，在該情況下，如果將1臺拍攝用照相機的視場設(shè)定在能拍攝收納空間中在上下方向收納多個的半導(dǎo)體基板的各自的一對高輝度部分的全部的區(qū)域，則能夠用1次拍攝得到檢查用圖像。在本發(fā)明所涉及的基板收納狀態(tài)檢查裝置的實施方式中，優(yōu)選的是設(shè)置有顯示所述基板收納狀態(tài)判別部的判別結(jié)果的顯示裝置，所述基板收納狀態(tài)判別部構(gòu)成為在判別為在與通過所述輝點檢測處理在所述檢查對象圖像上檢測到的高輝度部分對應(yīng)的高度、與該高輝度部分在所述寬度方向不同的位置設(shè)定的對應(yīng)部分不存在其他高輝度部分的情況下，將該對應(yīng)部分判別為不存在所述半導(dǎo)體基板的異常部分，執(zhí)行異常顯示處理，所述異常顯示處理是將示出所述高輝度部分的高輝度記號和示出所述異常部分的異常記號，與所述檢查對象圖像中的所述高輝度部分和所述異常部分的相對位置關(guān)系建立對應(yīng)，在所述顯示裝置顯示的處理。即，由于在與由開口寬度方向的一側(cè)檢測的高輝度部分對應(yīng)的高度不存在開口寬度方向的另一側(cè)的高輝度部分的情況下，在顯示裝置顯示示出高輝度部分不存在的部分的異常記號，因此，使用者能夠利用顯示在顯示裝置的記號，容易得知在半導(dǎo)體基板的收納姿勢產(chǎn)生異常、以及該收納姿勢的異常在收納空間的哪個位置產(chǎn)生。所以，得知在半導(dǎo)體基板的收納姿勢產(chǎn)生異常的使用者為了更正該輸送容器內(nèi)的半導(dǎo)體基板的輸送姿勢，能夠進行用于更正半導(dǎo)體基板的收納姿勢的處理。這樣，根據(jù)上述構(gòu)成，能夠提供對于使用者易用性好的基板收納狀態(tài)檢查裝置。在本發(fā)明所涉及的基板收納狀態(tài)檢查裝置的實施方式中，優(yōu)選的是所述檢查用位置設(shè)定在輸送所述輸送容器的輸送路徑上，所述第一照明部和所述第二照明部設(shè)置在所述輸送路徑中的所述輸送容器的移動范圍的所述寬度方向的兩側(cè)部、且不與所述移動范圍重疊的位置，所述拍攝裝置設(shè)置在所述輸送路徑的上方、且不與所述移動范圍重疊的位置。即，由于在對輸送容器進行輸送的輸送路徑上設(shè)置的檢查用位置拍攝收納在輸送容器的半導(dǎo)體基板，在為了處理輸送容器而輸送的情況下，在其輸送中途能夠為了獲取檢查對象圖像而拍攝收納空間內(nèi)的半導(dǎo)體基板。而且，由于照明裝置和拍攝裝置設(shè)置在不與在輸送路徑移動的輸送容器的移動范圍重疊的位置，因此照明裝置和拍攝裝置不會干擾移動的輸送容器。因此，例如，每次拍攝照明裝置或者拍攝裝置，向與輸送容器的移動范圍重疊的輸送容器的前面移動，拍攝結(jié)束后隱蔽至不與輸送容器的移動范圍重疊部位的構(gòu)成相比，不設(shè)置用于使照明裝置、拍攝裝置移動的構(gòu)成即可，因此構(gòu)成簡單。進一步，由于不使照明裝置或者拍攝裝置移動即可，因此在使輸送容器位于檢查用位置后，能夠迅速拍攝半導(dǎo)體基板。本發(fā)明所涉及的基板收納設(shè)備包括所述各構(gòu)成的基板收納狀態(tài)檢查裝置，包括容器收納架，所述容器收納架包括多個收納所述輸送容器的收納部；其中，所述基板收納狀態(tài)檢查裝置設(shè)置在所述容器收納架的入庫口、或者向所述入庫口輸送所述輸送容器的輸送裝置。即，由于基板收納狀態(tài)檢查裝置設(shè)置在容器收納架的入庫口、或者向入庫口輸送輸送容器的輸送裝置，因此在收納在輸送容器的半導(dǎo)體基板的收納姿勢有異常的情況下，使用者也能夠在向容器收納架保管用的入庫時，得知半導(dǎo)體基板的收納姿勢有異常。所以，使用者能夠有效利用保管輸送容器的時間，進行用于更正半導(dǎo)體基板的收納姿勢的異常的處理。附圖說明圖1是示出包括基板收納狀態(tài)檢查裝置的基板收納設(shè)備的主要部分的圖，圖2是說明在輸送裝置包括基板收納狀態(tài)檢查裝置的構(gòu)成的圖，圖3是輸送容器的正視圖，圖4是示出位于檢查用位置的輸送容器與照明裝置和拍攝用照相機的位置關(guān)系的圖，圖5是示出位于檢查用位置的輸送容器與照明裝置和拍攝用照相機的位置關(guān)系的圖，圖6是控制框圖，圖7是姿勢判別處理的流程圖，圖8是示出異常顯示處理時的顯示內(nèi)容的圖。附圖標(biāo)記說明1輸送裝置；19入庫口；51拍攝裝置；61照明裝置；C輸送容器；Co開口部；Cs支持體；D顯示裝置；H2基板收納狀態(tài)判別部；K移動范圍；P檢查處；S收納空間；W半導(dǎo)體基板；Y1高輝度記號；Y2異常記號。具體實施方式基于附圖說明包括本發(fā)明的基板收納狀態(tài)檢查裝置的基板收納設(shè)備的實施方式。如圖1所示，基板收納設(shè)備包括儲料器3、以及作為向該儲料器3的入庫口19輸送半導(dǎo)體基板收納用的輸送容器C的輸送裝置的輸送機1。儲料器3在其內(nèi)部包括容器收納架，容器收納架包括多個收納輸送容器C的收納部(未圖示)。輸送機1跨儲料器3的內(nèi)部與外部之間將輸送容器C送入和送出。輸送機1中的與儲料器3相反一側(cè)的端部側(cè)處是操作者用轉(zhuǎn)送處P，進行將從儲料器3送出的輸送容器C在儲料器3的外部卸下的卸下轉(zhuǎn)送、將送入儲料器3的輸送容器C抓取到儲料器3的外部的抓取轉(zhuǎn)送。另外，位于儲料器3的內(nèi)部的輸送機1的端部側(cè)處(儲料器3側(cè)的端部側(cè)處)是儲料器內(nèi)轉(zhuǎn)送處Q，進行將從儲料器3送出的輸送容器C抓取到儲料器3的內(nèi)部的抓取轉(zhuǎn)送、將送入儲料器3的輸送容器C在儲料器3的內(nèi)部卸下的卸下轉(zhuǎn)送。而且，操作者在操作者用轉(zhuǎn)送處P附近，以站立的姿勢進行接受位于輸送機1的操作者用轉(zhuǎn)送處P的輸送容器C，或者向輸送機1的操作者用轉(zhuǎn)送處P供給輸送容器C轉(zhuǎn)送操作。儲料器3和輸送機1設(shè)置在具備空氣凈化裝置的無塵室內(nèi)。在無塵室的底板側(cè)，從樓板5的上方以隔開間隔的狀態(tài)設(shè)置有多孔狀的柵板6，在無塵室的天花板側(cè)從天花板至下方隔開間隔地設(shè)置有由HEPA過濾器等構(gòu)成的空氣過濾器(未圖示)?？諝鈨艋b置包括形成于柵板6的下方側(cè)的進氣室、形成于空氣過濾器的上方側(cè)的腔室、將進氣室和腔室連通的循環(huán)通路，在循環(huán)通路包括通風(fēng)風(fēng)扇和預(yù)過濾器。而且，通過使空氣凈化裝置的通風(fēng)風(fēng)扇工作，從天花板側(cè)到底板側(cè)形成清凈空氣的下降流。在儲料器3的內(nèi)部設(shè)置有升降式的庫內(nèi)轉(zhuǎn)送裝置4。庫內(nèi)轉(zhuǎn)送裝置4包括：可沿著豎直設(shè)置在柵板6的庫內(nèi)升降引導(dǎo)7自由升降的升降體8；以及經(jīng)由旋轉(zhuǎn)臺9和鏈接機構(gòu)10安裝在該升降體8的庫內(nèi)轉(zhuǎn)送用載放臺11。在儲料器3的內(nèi)部設(shè)置有載放支持輸送容器C的多個收納臺(未圖示)，在各個收納臺的上部空間形成收納輸送容器C的收納部。收納部在上下方向為多層，并且平面視下圍住庫內(nèi)轉(zhuǎn)送裝置4而排列為放射狀。而且，通過組合升降體8的升降工作、旋轉(zhuǎn)臺9的旋轉(zhuǎn)工作和鏈接機構(gòu)10的伸縮工作，使庫內(nèi)轉(zhuǎn)送用載放臺11的位置移動且使庫內(nèi)轉(zhuǎn)送用載放臺11的平面視姿勢變更，進行送出用帶入操作、送入用帶出操作。此處，送出用帶入操作是抓取在收納臺以載放支持的狀態(tài)收納在收納部的輸送容器C，使該輸送容器C載放支持在輸送機1的儲料器內(nèi)轉(zhuǎn)送處Q設(shè)置的儲料器內(nèi)載放臺1Q的操作。另外，送入用帶出操作是抓取載放支持在儲料器內(nèi)載放臺1Q的輸送容器C，使該輸送容器C載放支持在空狀態(tài)的收納部中的收納臺的操作。另外，如圖6所示，設(shè)置有控制輸送機1和庫內(nèi)轉(zhuǎn)送裝置4的工作的輸送控制裝置Hv。輸送機1構(gòu)成為設(shè)置在從柵板6起與操作者的腰的高度一致的設(shè)定高度的上方，利用沿著水平方向的輸送面的往返移動的載放臺20，輸送對象的輸送容器C在操作者用轉(zhuǎn)送處P與儲料器內(nèi)轉(zhuǎn)送處Q之間被載放輸送。載放臺20在沿著其長邊方向走行的走行體23的上端包括構(gòu)成輸送機1的輸送機框架22的內(nèi)部。走行體23在下端包括走行車輪（未圖示），在操作者用轉(zhuǎn)送處P與儲料器內(nèi)轉(zhuǎn)送處Q之間自由走行移動地構(gòu)成。而且，在操作者用轉(zhuǎn)送處P和儲料器內(nèi)轉(zhuǎn)送處Q，通過使載放臺20在其上面與輸送面一致的輸送用上升位置、位于該輸送用上升位置的下方的轉(zhuǎn)送用下降位置進行升降，在操作者用轉(zhuǎn)送處P，將輸送容器C在載放臺20與檢查用載放臺1P之間轉(zhuǎn)送，或者在儲料器內(nèi)轉(zhuǎn)送處Q，將輸送容器C在載放臺20與儲料器內(nèi)載放臺1Q之間轉(zhuǎn)送。此外，所述輸送面是位于輸送機框架22的上面的上方的假想面。如圖1和圖2所示，在輸送機1的操作者用轉(zhuǎn)送處P，檢查用載放臺1P安裝固定在輸送機框架22的上面板。檢查用載放臺1P將輸送容器C以使其前面的開口部Co與儲料器3對置的狀態(tài)下，并且開口部Co的開口方向(即基板的取放方向)從水平面向上方傾斜設(shè)定角度(本例中為5度)的狀態(tài)進行支持而設(shè)置。另外，在輸送機1的儲料器內(nèi)轉(zhuǎn)送處Q，儲料器內(nèi)載放臺1Q安裝固定在輸送機框架22的上面板。儲料器內(nèi)載放臺1Q也與檢查用載放臺1P同樣，安裝固定在輸送機框架22的上面板，使得將輸送容器C以輸送容器C的開口部Co的開口方向從水平面向上方傾斜5度的狀態(tài)進行支持。輸送容器的構(gòu)成輸送容器C如圖3所示，包括收納形成為圓板狀的晶片W(半導(dǎo)體基板)的收納空間S。在收納空間S，支持晶片W的外周部的支持體Cs(本例中為一對支持體Cs)沿上下方向分開的狀態(tài)并列多層而設(shè)置。在輸送容器C的前面?zhèn)仍O(shè)置有在收納空間S與外部之間取放晶片W的開口部Co。此外，關(guān)于輸送容器C的上下方向是收納空間S內(nèi)的晶片W的層疊方向(圖3中的上下方向)。此外，輸送容器C是以SEMI(SemiconductorEquipmentandMaterialsInternational：國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料)規(guī)格為基準的合成樹脂制的氣密容器，例如稱為FOSB或FOUP。在這些FOSB或FOUP通常設(shè)置有用于阻塞開口部Co的前面蓋，但在本實施方式中，如上所述以在無塵室內(nèi)部使用為前提，使用的開口部Co不用前面蓋阻塞。輸送容器C在收納在儲料器3前，即在向儲料器3的入庫口19輸送輸送容器C的輸送機1的操作者用轉(zhuǎn)送處P，執(zhí)行對于該輸送容器C的收納空間S中的晶片W的收納姿勢是否正常的檢查。即，在本實施方式中，操作者用轉(zhuǎn)送處P相當(dāng)于本發(fā)明的“檢查用位置”。所以，檢查用位置設(shè)定在輸送輸送容器C的輸送路徑上?；迨占{狀態(tài)檢查裝置說明對晶片W的收納姿勢是否正常進行檢查的基板收納狀態(tài)檢查裝置?；迨占{狀態(tài)檢查裝置如圖1、圖2、圖4和圖5所示，包括經(jīng)由輸送容器C的開口部Co向收納在位于操作者用轉(zhuǎn)送處P的輸送容器C的晶片W照射光的照明裝置61；以及作為拍攝由照明裝置61照射光的收納空間S內(nèi)的晶片W的拍攝裝置的拍攝用照相機51。照明裝置61沿輸送容器C的開口部Co的寬度方向分開地包括一對由多個紅外線LED在上下方向排列為長條狀而配置的照明部62。此處，開口部Co的寬度方向(開口寬度方向)是與上下方向和開口部Co的開口方向這兩者正交的方向(圖3中的左右方向、圖4中的上下方向)。一對照明部62的一個相當(dāng)于本發(fā)明的“第一照明部”，另一個相當(dāng)于本發(fā)明的“第二照明部”。各個一對照明部62在本實施方式中，被從與檢查用載放臺1P中的輸送機1的長邊方向正交的寬度方向的兩側(cè)的各個側(cè)部在垂直方向豎直設(shè)置的垂直支持體60v、以及從沿垂直支持體60v的上下方向分開的2處沿水平方向延伸的水平支持體60h固定支持在輸送機框架22。即，照明裝置61包括沿上下方向構(gòu)成為長條狀的光源。而且，照明裝置61在位于操作者用轉(zhuǎn)送處P的輸送容器C的開口部Co的前面?zhèn)龋ㄑ亻_口寬度方向(左右方向)分開而設(shè)置的一對照明部62。另外，一對照明部62中的各個如圖4所示，設(shè)置在輸送路徑中的輸送容器C的移動范圍K的開口寬度方向的兩側(cè)部、且不與該移動范圍K重疊的位置。拍攝用照相機51被從與輸送機1的長邊方向正交的寬度方向的單側(cè)的側(cè)部在垂直方向豎直設(shè)置的垂直支持體50v、從垂直支持體50v的上端部沿水平方向延伸的水平支持體50h、以及安裝在水平支持體50h的支持支架50b固定支持在輸送機框架22。此外，支持支架50b在平面視下與輸送機1重疊的位置、與輸送機1的長邊方向正交的寬度方向的中央部，支持拍攝用照相機51。拍攝用照相機51能拍攝由所述紅外線LED照射的紅外線所生成的像，其視場設(shè)定為能拍攝收納在輸送容器C的收納空間S的所有晶片W的范圍。即，一對照明部62如圖4所示，設(shè)置在輸送路徑中的輸送容器C的移動范圍的開口寬度方向的兩側(cè)部、且不與移動范圍K重疊的位置，拍攝用照相機51如圖5所示，設(shè)置在輸送路徑的上方且不與移動范圍K重疊的位置?；迨占{狀態(tài)檢查裝置如圖6所示，包括判別用控制裝置H，判別用控制裝置H包括拍攝控制器H1和基板收納狀態(tài)判別部H2而構(gòu)成。判別用控制裝置H例如由包括儲存裝置和計算處理裝置的計算機構(gòu)成，構(gòu)成拍攝控制器H1的程序進程和構(gòu)成基板收納狀態(tài)判別部H2的程序進程由該計算機的計算處理裝置執(zhí)行。另外，在判別用控制裝置H經(jīng)由控制用接口或者數(shù)據(jù)收發(fā)用接口連接有拍攝用照相機51和照明裝置61。拍攝控制器H1構(gòu)成為與拍攝用照相機51之間自由接受拍攝指令的指令和拍攝數(shù)據(jù)，并且構(gòu)成為與拍攝指令同步自由指示向照明裝置61的工作指令(向LED通電的指令)。而且，拍攝控制器H1，作為拍攝處理，向照明裝置61指示工作指令并且向拍攝用照相機51指示拍攝指令，將由拍攝用照相機51拍攝的圖像作為檢查對象圖像，提交給基板收納狀態(tài)判別部H2。雖然未圖示，但在檢查用載放臺1P包括檢測載放了輸送容器C的載放檢測傳感器，若載放檢測傳感器檢測到在檢查用載放臺1P載放了輸送容器C，則判別用控制裝置H執(zhí)行所述拍攝處理?；迨占{狀態(tài)判別部H2基于由拍攝用照相機51拍攝的圖像，判別晶片W的收納空間S中的收納姿勢是否正常。在判別用控制裝置H包括可進行圖像輸出的顯示裝置D作為輸出接口，顯示裝置D構(gòu)成為可顯示判別用控制裝置H所涉及的處理結(jié)果。另外，在判別用控制裝置H包括定點設(shè)備(鼠標(biāo)等)和字符輸入裝置(鍵盤等)作為輸入接口?；趫D7的流程圖說明基板收納狀態(tài)判別部H2執(zhí)行的處理?；迨占{狀態(tài)判別部H2執(zhí)行輝點檢測處理，檢測在所述拍攝處理中由拍攝用照相機51拍攝的檢查對象圖像中，利用照明裝置61(本例中為一對照明部62)照射的光而在晶片W的周緣部的周方向上分開的部位產(chǎn)生的一對或者多對高輝度部分(步驟＃1)。此外，在收納空間S收納有一片晶片W的情況下，檢測一對高輝度部分；在收納空間S收納有多片晶片W的情況下，檢測多對高輝度部分。輝點檢測處理是在檢查對象圖像上檢測被一對照明部62的光照射而產(chǎn)生的沿晶片W的開口寬度方向分開的輝點的處理。接下來，執(zhí)行姿勢判定處理，對于利用輝點檢測處理在檢查對象圖像上檢測的沿開口寬度方向分開的高輝度部分，通過判別是存在與在開口寬度方向的一側(cè)檢測的高輝度部分對應(yīng)的高度的另一側(cè)的高輝度部分的正常狀態(tài)，還是不存在該另一側(cè)的高輝度部分的異常狀態(tài)，判別半導(dǎo)體基板的收納姿勢是否異常(步驟＃2)。即，在姿勢判定處理中，判別為在與利用輝點檢測處理在檢查對象圖像上檢測到的高輝度部分對應(yīng)的高度、設(shè)定在與該高輝度部分在開口寬度方向不同位置的對應(yīng)部分，不存在其他高輝度部分的情況下，判定為是異常狀態(tài)。在步驟＃2中判別為是異常狀態(tài)的情況(步驟＃2：是)下，基板收納狀態(tài)判別部H2將不存在高輝度部分的部分(所述對應(yīng)部分)判別為不存在晶片W的異常部分，執(zhí)行異常顯示處理(步驟＃5)。該異常顯示處理如圖8所示，是將示出高輝度部分的高輝度記號Y1和示出異常部分的異常記號Y2與檢查對象圖像中的高輝度部分和異常部分的相對位置關(guān)系建立對應(yīng)，顯示在顯示裝置D的處理。在圖8所示的例子中，在異常顯示處理中，如圖8的顯示區(qū)域右上所示，作為綜合判定結(jié)果顯示E而顯示“NG”。此外，在異常顯示處理的執(zhí)行時，基板收納狀態(tài)判別部H2向輸送控制裝置Hv指示輸送停止指令。另外，在步驟＃2中判別為是正常狀態(tài)的情況(步驟＃2：否)下，執(zhí)行正常顯示處理，基板收納狀態(tài)判別部H2在顯示裝置D顯示檢查對象圖像，僅顯示在與該檢查對象圖像重疊的狀態(tài)下示出高輝度部分的高輝度記號Y1的存在位置(步驟＃3)。關(guān)于正常顯示處理省略圖示，但作為示出正常狀態(tài)的綜合判定結(jié)果顯示E而顯示“OK”。另外，接著正常顯示處理(步驟＃3)，基板收納狀態(tài)判別部H2向輸送控制裝置Hv指示輸送指令。由此，輸送機1和庫內(nèi)轉(zhuǎn)送裝置4工作，輸送容器C收納在儲料器3。在本實施方式中，顯示裝置D相當(dāng)于顯示基板收納狀態(tài)判別部H2的判別結(jié)果的“顯示裝置”。而且，基板收納狀態(tài)判別部H2構(gòu)成為，基于關(guān)于利用輝點檢測處理在檢查對象圖像上檢測的沿開口寬度方向分開的高輝度部分的上下方向的位置的對應(yīng)關(guān)系，執(zhí)行判別半導(dǎo)體基板的收納姿勢是否異常的姿勢判別處理。其他實施方式(1)在上述實施方式中，說明了將基板收納狀態(tài)檢查裝置用于收納形成為圓板狀的晶片W的輸送容器C內(nèi)的晶片W的收納姿勢的檢查的情況，但晶片W的形狀不限于平面視正圓形的圓板狀，例如也可以設(shè)置用于示出晶片中的結(jié)晶軸的方向的缺口或定位平臺。另外，在上述實施方式中，說明了不安裝輸送容器C的前面蓋而使用的方式，但不限于這樣的使用方式，例如也可以是用透明的材質(zhì)形成前面蓋，從前面蓋的外側(cè)進行照明裝置所涉及的光的照射和拍攝用照相機所涉及的拍攝的方式。(2)在上述實施方式中，說明了構(gòu)成為將拍攝用照相機51設(shè)置在輸送路徑的上方、且不與輸送容器C的移動范圍K重疊的位置，但不限于這樣的構(gòu)成，例如也可以構(gòu)成為將拍攝用照相機設(shè)置在輸送路徑的下方側(cè)、且不與輸送容器C的移動范圍K重疊的位置。另外，在上述實施方式中，說明了僅使用1臺拍攝用照相機51的構(gòu)成，但也可以構(gòu)成為將2臺以上的拍攝用照相機設(shè)置在不與輸送路徑中的移動范圍K重疊的位置。在該情況下，例如考慮使拍攝用照相機設(shè)置在位于輸送容器C的移動范圍K的開口寬度方向的兩側(cè)部，作為不與輸送路徑中的移動范圍K重疊的位置。(3)在上述實施方式中，說明將一對照明部62中的各個包括沿上下方向構(gòu)成為長條狀的光源而構(gòu)成的例子，但一對照明部62中的各個中的光源的形狀不限于如上所述的構(gòu)成，只要可對支持在收納空間S內(nèi)的全部的支持體Cs的晶片W經(jīng)由輸送容器C的前面的開口部Co照射光，可以使用點狀光源或環(huán)狀光源等、各種形狀的光源。(4)在上述實施方式中，例舉了將基板收納狀態(tài)檢查裝置設(shè)在從作為輸送容器C的輸送源處的輸送機1的檢查用載放臺1P、向儲料器3的入庫口19輸送輸送容器C的輸送機1的構(gòu)成，但在未設(shè)置有輸送機1的情況下，也可以構(gòu)成為在儲料器3的入庫口19設(shè)置基板收納狀態(tài)檢查裝置。另外，輸送輸送容器C的輸送裝置不限于輸送機，也可以是自走式轉(zhuǎn)向架等其他輸送裝置。(5)在上述實施方式中，圖8所示的在顯示裝置D的顯示是異常顯示處理的顯示形態(tài)的一個例子，除圖8所示的圖像顯示以外，例如也可以采用用字符模式畫面僅用字符顯示高輝度記號和異常記號，或者特別擴大顯示異常記號的存在部位周圍的圖像，或者僅顯示綜合判定結(jié)果顯示E等各種顯示形態(tài)。另外，在上述實施方式中，作為異常顯示處理，例舉了在判別用控制裝置H包括的顯示裝置D進行顯示的構(gòu)成，但作為異常顯示處理顯示信息的對象，也可以是可經(jīng)由判別用控制裝置H和網(wǎng)絡(luò)收發(fā)信息的其他計算機的顯示裝置、使用者攜帶的便攜式無線終端的顯示畫面。并且，作為異常顯示處理，除了在顯示裝置D顯示信息以外，也可以使用警告燈的點亮、聲音的信息輸出，另外，這些可以分別單獨使用，也可以復(fù)合使用任意一個或者全部。(6)在上述實施方式中，構(gòu)成為作為照明裝置61使用紅外線LED，拍攝用照相機51能拍攝照明裝置61的紅外線LED的紅外線所涉及的像的結(jié)構(gòu)，但不限于這樣的構(gòu)成，作為照明裝置61也可以使用可見光區(qū)域的光線，作為拍攝用照相機51，也可以使用能拍攝該可見光區(qū)域的光所涉及的像的照相機。