專利名稱：機(jī)械手的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種機(jī)械手，尤其涉及一種用于抓取單晶硅的機(jī)械手。
背景技術(shù)：
在生產(chǎn)制造硅片時(shí)，需要將用來固定單晶硅的晶硅夾具、樹酯以及單晶硅通過膠水按序粘接起來。目前，在國內(nèi)，將所述晶硅夾具、樹酯以及單晶硅粘接起來是通過手工來實(shí)現(xiàn)的。這樣使得硅片的生產(chǎn)效率比較低下、生產(chǎn)成本較高，不利于實(shí)現(xiàn)硅片的大規(guī)模生產(chǎn)。而要實(shí)現(xiàn)硅片的大規(guī)模自動(dòng)化生產(chǎn)，則必須解決單晶硅的取放問題。又由于單晶硅上具有灰塵，從而使得單晶硅與樹酯粘接時(shí)不牢固。鑒于上述問題，有必要提供一種機(jī)械手，以解決上述問題。

發(fā)明內(nèi)容
針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明解決的技術(shù)問題是提供一種機(jī)械手，該機(jī)械手能夠?qū)尉Ч柽M(jìn)行清洗。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的:
一種機(jī)械手，包括主機(jī)械手、安裝在所述主機(jī)械手上的副機(jī)械手以及安裝在所述主機(jī)械手上的清洗裝置，所述主機(jī)械手包括主氣缸、安裝在所述主氣缸上的主連接件以及安裝在所述主連接件上的主吸盤；所述副機(jī)械手包括副氣缸、安裝在所述副氣缸上的副連接件以及安裝在所述副連接件上的副吸盤；所述清洗裝在安裝在所述主連接件上。進(jìn)一步地,所述副氣缸在安裝在所述主連接件的一側(cè)。

進(jìn)一步地，所述主吸盤的數(shù)量為三。進(jìn)一步地，所述副吸盤的數(shù)量為二。本發(fā)明的有益效果是:相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明所述機(jī)械手不僅能夠抓取單晶硅，還能對單晶硅進(jìn)行清洗。


圖1為本發(fā)明機(jī)械手的立體示意圖。
具體實(shí)施例方式為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述。請參閱圖1所示，本發(fā)明機(jī)械手100包括主機(jī)械手10、安裝在所述主機(jī)械手10上的副機(jī)械手20以及安裝在所述主機(jī)械手10上的清洗裝置30。所述主機(jī)械手10包括主氣缸11、安裝在所述主氣缸11上的主連接件12以及安裝在所述主連接件12上的主吸盤13，所述主連接件12可以在所述主氣缸11的作用下進(jìn)行上下運(yùn)動(dòng)，所述主吸盤13用來吸住單晶硅40。所述副機(jī)械手20包括副氣缸21、安裝在所述副氣缸21上的副連接件22以及安裝在所述副連接件22上的副吸盤23，所述副連接件22可以在所述副氣缸21的作用下進(jìn)行上下運(yùn)動(dòng)。所述副氣缸21安裝在所述主連接件12的一側(cè)。在本實(shí)施例中，所述主吸盤13的數(shù)量為三，所述副吸盤23的數(shù)量為二。所述清洗裝置30安裝在所述主連接12上，其所使用清洗液為酒精。當(dāng)使用本發(fā)明機(jī)械手100時(shí)，如果要吸取較大的單晶硅時(shí)，則使用主機(jī)械手10 ;當(dāng)要吸取較小的單晶硅時(shí)，則使用副機(jī)械手20。當(dāng)需要清洗單晶硅時(shí)，則打開所述清洗裝置30對單晶硅進(jìn)行清洗。相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明所述機(jī)械手100不僅能夠抓取單晶硅，還能對單晶硅進(jìn)行清洗。特別需要指出，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在本發(fā)明的教導(dǎo)下所作的針對本發(fā)明的等效變化， 仍應(yīng)包含在本發(fā)明申請專利范圍所主張的范圍中。
權(quán)利要求
1.一種機(jī)械手，其特征在于:所述機(jī)械手包括主機(jī)械手、安裝在所述主機(jī)械手上的副機(jī)械手以及安裝在所述主機(jī)械手上的清洗裝置，所述主機(jī)械手包括主氣缸、安裝在所述主氣缸上的主連接件以及安裝在所述主連接件上的主吸盤；所述副機(jī)械手包括副氣缸、安裝在所述副氣缸上的副連接件以及安裝在所述副連接件上的副吸盤；所述清洗裝在安裝在所述主連接件上。
2.如權(quán)利要求1所述的機(jī)械手，其特征在于:所述副氣缸在安裝在所述主連接件的一側(cè)。
3.如權(quán)利要求2所述的機(jī)械手，其特征在于:所述主吸盤的數(shù)量為三。
4.如權(quán)利要求3所 述的機(jī)械手，其特征在于:所述副吸盤的數(shù)量為二。
全文摘要
本發(fā)明揭示了一種機(jī)械手，包括主機(jī)械手、安裝在所述主機(jī)械手上的副機(jī)械手以及安裝在所述主機(jī)械手上的清洗裝置，所述主機(jī)械手包括主氣缸、安裝在所述主氣缸上的主連接件以及安裝在所述主連接件上的主吸盤；所述副機(jī)械手包括副氣缸、安裝在所述副氣缸上的副連接件以及安裝在所述副連接件上的副吸盤；所述清洗裝在安裝在所述主連接件上。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所述機(jī)械手不僅能夠抓取單晶硅，還能對單晶硅進(jìn)行清洗。
文檔編號(hào)H01L21/683GK103227139SQ20131015499
公開日2013年7月31日 申請日期2013年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2013年4月28日
發(fā)明者李佳 申請人:蘇州工業(yè)園區(qū)高登威科技有限公司