圖案化基片上的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的制作方法
【專利摘要】在含通孔的基片表面上形成自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)等。具有圖案的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)這樣形成，使得所述導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)中的至少一些導(dǎo)電材料到達(dá)孔中，有時(shí)甚至通過所述孔到達(dá)所述基片的相對(duì)表面?；砻嫔系木W(wǎng)絡(luò)電連接至孔中的導(dǎo)電材料，且具有良好的電導(dǎo)。
【專利說明】圖案化基片上的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)
[0001]相關(guān)申請(qǐng)的交叉參考
[0002]本申請(qǐng)要求于2011年10月29日提交的美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)序列第61/553，192號(hào)的優(yōu)先權(quán)，該文的全部?jī)?nèi)容通過弓I用納入本文。
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0003]本發(fā)明涉及圖案化基片上的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)，具體來說，涉及在含通孔的基片上的自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)。
[0004]背景
[0005]在光伏領(lǐng)域，高性能的太陽能電池效率需要多個(gè)昂貴的加工步驟來在太陽能電池中制備所需的特征。因?yàn)楦郊拥募庸こ杀?，這些步驟限制了太陽能電池的實(shí)用性。
[0006]在常規(guī)的太陽能電池設(shè)計(jì)中，把光生電流驅(qū)動(dòng)到兩電極:(1)在太陽能電池底部的底(通常是連續(xù)的和均勻的)電極，以及(2)在與該底部相對(duì)的正面(受照射側(cè))上精細(xì)印刷的線陣列?？赏ㄟ^把銀漿絲網(wǎng)印刷成精細(xì)的線圖案，來形成太陽能電池正面上的精細(xì)印刷的線陣列。例如，尋求通過改善太陽能電池上電極的圖案化，來改善太陽能電池的性能(如單位面積產(chǎn)生的瓦特?cái)?shù)(Watt))。
[0007]本領(lǐng)域期望通過減小太陽能電池正面上的印刷銀面積，來改善太陽能電池的性能。銀面積減小允許更多的光進(jìn)入太陽能電池的光伏部分，由此改善效率。已經(jīng)設(shè)計(jì)了金屬覆蓋穿通(metal wrap through) (MWT)作為實(shí)現(xiàn)這個(gè)想法的一種方式,其中太陽能電池正面和底部的電接觸通過使用硅穿孔(TSV)來形成。
[0008]改善在太陽能電池上或穿過太陽能電池形成導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的方法可帶來益處。更一般地，改善在膜基片上或穿過膜基片形成導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的方法可帶來益處，包括在其他光伏(如薄膜光伏器件)應(yīng)用中的應(yīng)用，以及更普遍的電子應(yīng)用(包括用于平板顯示器、透明加熱器、發(fā)光等的透明電極應(yīng)用)。
[0009]概述
[0010]在一方面中，本發(fā)明的特征是在含通孔的基片表面上的自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)。具有圖案的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)這樣形成,使得所述導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)中的至少一些導(dǎo)電材料到達(dá)孔中，有時(shí)甚至通過所述孔到達(dá)所述基片的相對(duì)表面。在孔中形成導(dǎo)電材料，而在基片表面上形成導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)。基片表面上的網(wǎng)絡(luò)電連接至孔中的導(dǎo)電材料，且具有良好電導(dǎo)。在一些實(shí)施方式中，通過基片表面上的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)收集的電流可通過孔中的導(dǎo)電材料導(dǎo)向基片的相對(duì)側(cè)。這種基片可用于光伏電池，例如具有金屬覆蓋穿通(metal wrap through) (MWT)設(shè)計(jì)的電池。在孔中甚至在第二表面上一步形成(如通過自組裝)導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)和導(dǎo)電材料，可簡(jiǎn)化制造工藝、改善加工通量和降低成本，同時(shí)在表面和孔之間、在表面和與該表面相對(duì)的一側(cè)之間提供良好電導(dǎo)。
[0011]在另一方面中，本發(fā)明的特征是一種制品，其包括基片、導(dǎo)電材料和自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)。所述基片包括第一表面、第二表面、從所述第一表面到所述第二表面的厚度，以及穿過所述基片厚度延伸的一個(gè)或更多個(gè)孔。所述導(dǎo)電材料在所述一個(gè)或更多個(gè)孔中。所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)在所述第一表面上且包括所述導(dǎo)電材料。所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)與在所述一個(gè)或更多個(gè)孔中的導(dǎo)電材料有電連接。
[0012]在另一方面中，本發(fā)明的特征是一種方法，其包括提供一種基片，該基片包括第一表面、第二表面、從所述第一表面到所述第二表面的厚度，以及穿過所述基片厚度延伸的一個(gè)或更多個(gè)孔；以及把一種乳液和分散于該乳液中的非揮發(fā)性組分施涂至所述基片的第一表面上。所述乳液和非揮發(fā)性組分自組裝成在所述基片的第一表面上的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)以及在所述一個(gè)或更多個(gè)孔中的導(dǎo)電材料。所述導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)和所述導(dǎo)電材料有電連接，從而把電流從所述第一表面通過所述一個(gè)或更多個(gè)孔導(dǎo)向所述第二表面。
[0013]本發(fā)明的特征還在于下述的一種或更多種實(shí)施方式。所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)延伸進(jìn)入所述一個(gè)或更多個(gè)孔，且在所述一個(gè)或更多個(gè)孔中的導(dǎo)電材料是所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的延伸部分。所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)穿過所述一個(gè)或更多個(gè)孔延伸，到達(dá)第二表面上。在所述一個(gè)或更多個(gè)孔中的導(dǎo)電材料與所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)有電連接，從而把電流從所述第一表面導(dǎo)向所述第二表面。所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)具有遠(yuǎn)離所述一個(gè)或更多個(gè)孔的第一各向異性以及靠近所述一個(gè)或更多個(gè)孔的第二各向異性，且所述第二各向異性高于所述第一各向異性。所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)在遠(yuǎn)離所述一個(gè)或更多個(gè)孔處是各向同性的。所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)包括金屬跡線和在所述跡線之間的網(wǎng)孔，且靠近所述一個(gè)或更多個(gè)孔的金屬跡線以徑向圖案的方式延伸到并進(jìn)入所述一個(gè)或更多個(gè)孔。所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)由金屬納米顆粒形成。所述金屬納米顆粒包括銀納米顆粒。所述基片包括半導(dǎo)體、聚合物膜或者玻璃。所述一個(gè)或更多個(gè)孔由激光鉆孔或蝕刻形成。
[0014]本發(fā)明的特征還在于下述的一種或更多種實(shí)施方式。所述一個(gè)或更多個(gè)孔中的導(dǎo)電材料是所述導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的延伸部分，且在所述導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)自組裝時(shí)形成。所述乳液和所述非揮發(fā)性組分自組裝成導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)，該導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)穿過所述一個(gè)或更多個(gè)孔延伸并到達(dá)第二表面上。在基片中的所述一個(gè)或更多個(gè)孔由激光鉆孔或蝕刻形成。所述乳液包括油包水乳液或者水包油乳液。所述非揮發(fā)性組分包括金屬或陶瓷納米顆粒。自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)包括形成一種導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)，該導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)在遠(yuǎn)離所述一個(gè)或更多個(gè)孔處具有低各向異性，且在靠近所述一個(gè)或更多個(gè)孔處具有高各向異性。形成在靠近所述一個(gè)或更多個(gè)孔處具有高各向異性的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)包括形成金屬跡線，所述金屬跡線以徑向圖案的方式延伸到并進(jìn)入所述一個(gè)或更多個(gè)孔。燒結(jié)所述導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)。
[0015]通過說明書和附圖，不難了解其它的特征、目的和優(yōu)點(diǎn)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]圖1是基片表面上的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的顯微照片。
[0017]圖2，3A, 3B和4是含通孔的基片表面上的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的顯微照片。
[0018]圖5A是含通孔的基片上的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的示意圖。
[0019]圖5B是包含排布成圖案的通孔的基片的示意圖。
[0020]圖5C是含通孔的基片表面上的無規(guī)導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的示意圖。
[0021]圖是含通孔的基片表面上的具有本發(fā)明特征的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的示意圖。
[0022]發(fā)明詳述
[0023]在一些實(shí)施方式中，乳液的自組裝性質(zhì)可優(yōu)選地用于在表面上制備有用的圖案，包括制造無規(guī)金屬網(wǎng)格(mesh)。這種無規(guī)金屬網(wǎng)格也可用于光伏電池。例如，圖1顯示了這種金屬網(wǎng)格的顯微照片，其中深色的區(qū)域是銀跡線，淡色的區(qū)域是跡線之間非導(dǎo)電的、透光的空穴或網(wǎng)孔。美國(guó)專利第7，601，406號(hào)中描述了無規(guī)金屬網(wǎng)格，且美國(guó)專利申請(qǐng)公開第2011/0175065號(hào)描述了把這種網(wǎng)格應(yīng)用到光伏電池中，以上兩文的全部?jī)?nèi)容通過引用納入本文。
[0024]使用包括乳液或泡沫(如與氣體互混的液相)的自組裝涂層材料，來在具有孔或通孔(vias)的基片上形成透明的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)。例如，所述透明的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)可以是具有TSV的太陽能電池上的正面電極。這種方法相對(duì)于用于產(chǎn)生無規(guī)金屬網(wǎng)格的方法有優(yōu)勢(shì)，因?yàn)檫@些方法可通過自組裝制備環(huán)繞和/或穿過所述孔的特別優(yōu)選的網(wǎng)絡(luò)圖案。具體來說，可在一步中自組裝環(huán)繞和/或穿過所述孔的網(wǎng)絡(luò)圖案以及遠(yuǎn)離所述孔的網(wǎng)絡(luò)圖案。乳液或泡沫滲入孔中，從而在孔中形成導(dǎo)電材料，作為其中限定了孔的表面上的網(wǎng)絡(luò)圖案的延伸部分。
[0025]無規(guī)網(wǎng)格導(dǎo)體只有標(biāo)稱的各向同性面電阻，但更加優(yōu)化的、非均勻網(wǎng)格圖案可用于在電流濃縮點(diǎn)(如孔或通孔)處為這種導(dǎo)電網(wǎng)格產(chǎn)生定向性(各向異性)。
[0026]可通過乳液和基片之間的直接相互作用來形成(如自組裝)優(yōu)選的圖案(如導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò))。所述基片、涂層材料和方法可具有下述特征。
[0027]基片-可使用多種未圖案化的基片。如果目標(biāo)是制備具有透明導(dǎo)電涂層的制品，基片優(yōu)選地對(duì)可見光區(qū)(400-800nm)的光是基本上透明的。合適的基片的示例包括玻璃、聚合物材料(如聚甲基丙烯酸甲酯、聚乙烯、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚丙烯或聚碳酸酯)、陶瓷(例如，透明的金屬氧化物)和半導(dǎo)體材料(如硅或鍺)?；芍苯邮褂?，或者預(yù)處理以改變它的表面性質(zhì)。例如，可預(yù)處理基片以改善涂層和基片表面之間的粘附性，或者增加或控制基片的表面能。物理和化學(xué)預(yù)處理都可使用。物理預(yù)處理的示例包括電暈、等離子體、紫外線、熱處理或火焰處理?；瘜W(xué)預(yù)處理的示例包括蝕刻劑(如酸蝕刻劑)、底漆、減反射涂層或者硬涂層(如，為了提供耐刮性)。具體來說，基片可以是包括光伏電池的基片，例如半導(dǎo)體基片。
[0028]基片還可以是圖案化基片。例如，可在把透明導(dǎo)電涂層施涂至基片之前，圖案化該未圖案化的基片。在一些實(shí)施方式中，例如可用激光鉆孔或者蝕刻圖案化半導(dǎo)體基片，以形成通孔。在一些實(shí)施方式中，在圖案化所述基片或?qū)⑺龌糜谛纬蓪?dǎo)電網(wǎng)絡(luò)之前，所述基片可以是包含基于乳液形成的第一無規(guī)網(wǎng)絡(luò)的基片。形成第一無規(guī)網(wǎng)絡(luò)的示例如在專利代理人卷號(hào)第17709-0031P01中所述，該文與本申請(qǐng)同一天提交，且該文的全部?jī)?nèi)容通過引用納入本文。
[0029]涂層材料-適用的涂層材料可包括非揮發(fā)性組分和液體載體。液體載體是乳液的形式，包括連續(xù)相和分散在該連續(xù)相中的結(jié)構(gòu)域(domain)。
[0030]合適的非揮發(fā)性組分的示例包括金屬和陶瓷納米顆粒。納米顆粒的D9tl值優(yōu)選地小于約100納米。具體示例包括根據(jù)U.S.5，476，535和U.S.7，544，229所述的方法制備的金屬納米顆粒，以上兩文的全部?jī)?nèi)容通過引用納入本文。如上面兩篇專利所述，一般通過形成兩種金屬之間的合金來制備納米顆粒；例如銀和鋁之間的合金，用堿性或者酸性溶浸劑來溶浸其中一種金屬以形成多孔金屬聚集體；且隨后崩解該聚集體(如，使用機(jī)械分散器、機(jī)械勻化器、超聲勻化器或者研磨裝置)以形成納米顆粒?？稍诒澜庵巴扛布{米顆粒，以抑制聚集。在一些實(shí)施方式中，顆?？纱笥诩{米尺寸。用于大于或等于納米尺寸顆粒的材料也可包括玻璃料。[0031]可用于制備納米顆粒的金屬的示例包括銀、金、鉬、鈀、鎳、鈷、銅、鈦、銥、鋁、鋅、鎂、錫以及它們的組合?？捎糜谕扛布{米顆粒以抑制聚集的材料的示例包括脫水山梨醇酯、聚氧乙烯酯、醇、甘油、聚乙二醇類、有機(jī)酸、有機(jī)酸鹽、有機(jī)酸酯、硫醇、膦類(phosphines)、低分子量聚合物以及它們的組合。
[0032]液體載體中非揮發(fā)性組分(如納米顆粒)的濃度范圍通常是1-50重量％，優(yōu)選地
1-10重量％。選定具體的用量，以產(chǎn)生可涂覆在基片表面上的組合物。當(dāng)需要導(dǎo)電的涂層時(shí)，選擇用量以產(chǎn)生干燥涂層中合適的導(dǎo)電率水平。
[0033]液體載體是乳液的形式，其特征是連續(xù)相和分散在該連續(xù)相中的結(jié)構(gòu)域。在一些實(shí)施方式中，乳液是油包水(W/0)乳液，其中一種或更多種有機(jī)液體形成連續(xù)相，以及一種或更多種水性液體形成分散的結(jié)構(gòu)域。在另一些實(shí)施方式中，乳液是水包油(0/W)乳液，其中一種或更多種水性液體形成連續(xù)相，以及一種或更多種有機(jī)液體形成分散的結(jié)構(gòu)域。在兩種情況下，水性和有機(jī)液體相互間基本上是不互溶的，從而形成兩種不同的相。
[0034]用于W/0或0/W乳液的合適的水性液體示例包括水、甲醇、乙醇、乙二醇、甘油、二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、乙腈、二甲亞砜、N-甲基吡咯烷酮以及它們的組合。用于W/0或Ο/ff乳液的合適的有機(jī)液體示例包括石油醚、己烷、庚烷、甲苯、苯、二氯乙烷、三氯乙烯、氯仿、二氯甲烷、硝基甲烷、二溴甲烷、環(huán)戊酮、環(huán)己酮以及它們的組合。應(yīng)選擇溶劑，從而乳液的連續(xù)相的溶劑蒸發(fā)得比分散的結(jié)構(gòu)域的溶劑更快。例如，在一些實(shí)施方式中，乳液是W/0乳液，其中有機(jī)液體蒸發(fā)得比水性液體更快。
[0035]液體載體還可包括其它添加劑。具體示例包括反應(yīng)性或者非反應(yīng)性稀釋劑、氧清除劑、硬涂覆組分、抑制劑、穩(wěn)定劑、著色劑、顏料、IR吸收劑、表面活性劑、潤(rùn)濕劑、流平劑、流動(dòng)控制劑、流變改性劑、增滑劑、分散助劑、消泡劑、粘合劑、膠粘劑、促進(jìn)劑、腐蝕抑制劑
及其組合。
[0036]在一些實(shí)施方式中，涂層材料可具有在與氣體互混的液相(如泡沫形式)中的非揮發(fā)性成分。在一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施方式中，非揮發(fā)性成分是金屬納米顆粒。金屬顆?？煞稚⒂诨谒囊后w分散體中，并與空氣混合以形成泡沫。在一些實(shí)施方式中，這種分散體是水性的，且無需不互溶的有機(jī)溶劑和乳液。這種涂層材料的描述見美國(guó)專利申請(qǐng)公開第2011/0193032號(hào)，該文的全部?jī)?nèi)容通過引用納入本文。
[0037]方法-合適的涂覆方法可包括絲網(wǎng)印刷、手動(dòng)施涂器和手動(dòng)鋪展。還可使用其它合適的技術(shù)如旋涂、噴涂、噴墨印刷、膠版印刷、邁耶(mayer)棒涂布、凹版涂布、微凹版涂布、簾式涂布和任何合適的技術(shù)。在施涂了涂層材料之后，采用或不采用高于環(huán)境的溫度，把溶劑從乳液中蒸發(fā)掉。優(yōu)選地，在約室溫到約850°C的溫度范圍中燒結(jié)剩余的涂層。燒結(jié)優(yōu)選在常壓條件下進(jìn)行。
[0038]作為替代或補(bǔ)充，燒結(jié)過程的全部或一部分可以在存在化學(xué)物質(zhì)的條件下進(jìn)行，所述化學(xué)物質(zhì)能夠引發(fā)所述燒結(jié)過程。合適的化學(xué)物質(zhì)的例子包括醛或酸，例如甲酸、乙酸和鹽酸。所述化學(xué)物質(zhì)可以為蒸氣或者液體的形式，沉積的顆粒與之接觸?；蛘?，可以在沉積之前，將所述化學(xué)物質(zhì)結(jié)合入包含納米顆粒的組合物中，或者可以在顆粒沉積到基材上之后，將所述化學(xué)物質(zhì)沉積在所述納米顆粒上。
[0039]所述工藝還可以包括燒結(jié)后處理步驟，在此步驟中，可對(duì)形成的導(dǎo)電層進(jìn)一步燒結(jié)、退火，或者進(jìn)行以下的其它形式的后處理:使用加熱、激光、紫外光、酸或其它處理以及/或者接觸化學(xué)物質(zhì)，例如金屬鹽、堿或離子液體。處理過的導(dǎo)電層可以用水或者其它化學(xué)洗滌溶液(例如酸溶液、丙酮或其它合適的液體)洗滌?？梢允褂瞄g歇式工藝設(shè)備或連續(xù)型涂覆設(shè)備對(duì)基材進(jìn)行后處理，所述后處理可以是實(shí)驗(yàn)室小規(guī)?；蚬I(yè)較大規(guī)模的，包括輥到輥的工藝。
[0040]合適的基片、涂層材料和工藝以及自組裝工藝還可參見美國(guó)專利申請(qǐng)第12/809，195號(hào)(于2011年7月26日提交)、美國(guó)臨時(shí)申請(qǐng)第61/495，582號(hào)(于2011年6月10日提交)以及美國(guó)專利第7，566，360號(hào)，以上各文的全部?jī)?nèi)容通過引用納入本文。
實(shí)施例
[0041]實(shí)施例1
[0042]使用4密耳的三菱ElOO聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(PET)基片(三菱聚酯膜(Mitsubishi Polyester Film),三菱(Mitsubishi)，日本)的用底漆處理的一側(cè)。
[0043]通過激光鉆孔來制備基片，以形成穿過所述PET基片厚度的、直徑為約100微米的孔(即通孔)。使用Epilog Mini 24 30W激光器系統(tǒng)(格而登(Golden)，科羅拉多州)，且按正方形圖案形成孔，間距為約I英寸。
[0044]用Misonix 3000超聲混合器在燒杯中于40瓦下超聲40秒，來混合包括具有表1
所示組成(數(shù)值的單位是 克)的乳液的涂層材料。
[0045]
[0046]
【權(quán)利要求】
1.一種制品，其包括: 基片，所述基片包括第一表面、第二表面、從所述第一表面到所述第二表面的厚度，以及穿過所述基片厚度延伸的一個(gè)或更多個(gè)孔； 在所述一個(gè)或更多個(gè)孔中的導(dǎo)電材料；以及 在所述第一表面上的自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)，所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)包括導(dǎo)電材料，且與在所述一個(gè)或更多個(gè)孔中的導(dǎo)電材料有電連接。
2.如權(quán)利要求1所述的制品，其特征在于，所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)延伸進(jìn)入所述一個(gè)或更多個(gè)孔，且在所述一個(gè)或更多個(gè)孔中的導(dǎo)電材料是所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的延伸部分。
3.如權(quán)利要求2所述的制品，其特征在于，所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)穿過所述一個(gè)或更多個(gè)孔延伸，并到達(dá)第二表面上。
4.如權(quán)利要求1所述的制品，其特征在于，在所述一個(gè)或更多個(gè)孔中的導(dǎo)電材料與所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)有電連接，從而把電流從所述第一表面導(dǎo)向所述第二表面。
5.如權(quán)利要求1所述的制品，其特征在于，所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)具有遠(yuǎn)離所述一個(gè)或更多個(gè)孔的第一各向異性，以及靠近所述一個(gè)或更多個(gè)孔的第二各向異性，且所述第二各向異性高于所述第一各向異性。
6.如權(quán)利要求5所述的制品，其特征在于，所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)在遠(yuǎn)離所述一個(gè)或更多個(gè)孔處是各向同性的。
7.如權(quán)利要求5所述的制品，其特征在于，所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)包括金屬跡線和在該跡線之間的網(wǎng)孔，且靠近所述一個(gè)或更多個(gè)孔的金屬跡線以徑向圖案的方式延伸到并進(jìn)入所述一個(gè)或更多個(gè)孔。
8.如權(quán)利要求1所述的制品，其特征在于，所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)由金屬納米顆粒形成。
9.如權(quán)利要求8所述的制品，其特征在于，所述金屬納米顆粒包含銀納米顆粒。
10.如權(quán)利要求1所述的制品，其特征在于，所述基片包括半導(dǎo)體、聚合物膜或者玻璃。
11.如權(quán)利要求1所述的制品，其特征在于，所述一個(gè)或更多個(gè)孔由激光鉆孔或蝕刻形成。
12.—種方法，其包括: 提供一種基片，所述基片包括第一表面、第二表面、從所述第一表面到所述第二表面的厚度，以及穿過所述基片厚度延伸的一個(gè)或更多個(gè)孔；以及 把一種乳液和分散于該乳液中的非揮發(fā)性組分施涂至所述基片的第一表面上，其中所述乳液和非揮發(fā)性組分自組裝成位于所述基片的第一表面上的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)以及位于所述一個(gè)或更多個(gè)孔中的導(dǎo)電材料，所述導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)和所述導(dǎo)電材料有電連接，從而把電流從所述第一表面通過所述一個(gè)或更多個(gè)孔導(dǎo)向所述第二表面。
13.如權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，所述一個(gè)或更多個(gè)孔中的導(dǎo)電材料是所述導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的延伸部分，且在所述導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)于所述第一表面上自組裝時(shí)形成。
14.如權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，所述乳液和所述非揮發(fā)性組分自組裝成導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)，該導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)穿過所述一個(gè)或更多個(gè)孔延伸并到達(dá)第二表面上。
15.如權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，所述方法還包括通過激光鉆孔或者蝕刻在所述基片中形成所述一個(gè)或更多個(gè)孔。
16.如權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，所述乳液包括油包水乳液或者水包油乳液。
17.如權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，所述非揮發(fā)性組分包括金屬或陶瓷納米顆粒。
18.如權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，所述自組裝成導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)包括形成一種導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)，該導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)在遠(yuǎn)離所述一個(gè)或更多個(gè)孔處具有低各向異性，且在靠近所述一個(gè)或更多個(gè)孔處具有高各向異性。
19.如權(quán)利要求18所述的方法，其特征在于，形成在靠近所述一個(gè)或更多個(gè)孔處具有高各向異性的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)包括形成金屬跡線，所述金屬跡線以徑向圖案的方式延伸到并進(jìn)入所述一個(gè)或更多個(gè)孔。
20.如權(quán)利要求 12所述的方法，其特征在于，所述方法還包括燒結(jié)所述導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)。
【文檔編號(hào)】H01L29/40GK103999223SQ201280062860
【公開日】2014年8月20日 申請(qǐng)日期:2012年10月29日 優(yōu)先權(quán)日:2011年10月29日
【發(fā)明者】E·L·格蘭士特姆, A·賈巴, L·曼戈利尼 申請(qǐng)人:西瑪耐諾技術(shù)以色列有限公司