專利名稱：具有柔性電極的壓電陶瓷執(zhí)行器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
具有柔性電極的壓電陶瓷執(zhí)行器技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及壓電陶瓷領(lǐng)域，特別涉及一種具有柔性電極的壓電陶瓷執(zhí)行器。
技術(shù)背景[0002]壓電陶瓷執(zhí)行器的制作是公知技術(shù)，壓電陶瓷執(zhí)行器的制作方法來(lái)源于獨(dú)石電容器的制作，它是利用多個(gè)具有內(nèi)電極的膜片按照一定的方式疊堆，通過(guò)等靜壓壓制， 然后切割成所需大小后共燒；也可采用先制成壓電陶瓷單片，再利用其銀電極在加高溫時(shí)粘接或采用膠粘劑粘接的假獨(dú)石方法。[0003]在傳統(tǒng)的壓電陶瓷執(zhí)行器中，兩組內(nèi)電極通過(guò)涂覆在堆垛的兩個(gè)側(cè)面的金屬層連接引出。當(dāng)壓電陶瓷執(zhí)行器在外加電壓的作用下不斷伸長(zhǎng)或縮短，這些金屬涂層受到較大的交變應(yīng)力的作用，很易導(dǎo)致外電極產(chǎn)生裂紋，該裂紋能導(dǎo)致外電極的電阻變大而產(chǎn)生電弧，電弧使外電極很快斷裂。外電極斷裂導(dǎo)致電流的阻斷，從而不能正常的工作，這些都是傳統(tǒng)的壓電陶瓷執(zhí)行器的制作方法所存在的問(wèn)題。[0004]傳統(tǒng)的器件在生產(chǎn)的過(guò)程中使用的是一些導(dǎo)電的柔性膠或者金屬膜及其他的一些外電極材料。其主要是弊端是操作復(fù)雜，不易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化生產(chǎn)，金屬膜的形變小，在執(zhí)行器工作過(guò)程中易與器件脫開，造成器件的外電極導(dǎo)通不良，導(dǎo)致器件不工作。發(fā)明內(nèi)容[0005]為了克服上述缺陷，本實(shí)用新型提供了一種具有良好的導(dǎo)通性的柔性電極的壓電陶瓷執(zhí)行器。[0006]本實(shí)用新型為了解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是1、一種柔性電極的壓電陶瓷執(zhí)行器，包括多個(gè)壓電陶瓷層，每個(gè)壓電陶瓷層設(shè)有內(nèi)電極，內(nèi)電極按照奇、偶數(shù)分別沿壓電陶瓷層兩相對(duì)側(cè)向外延伸，所述奇數(shù)列和偶數(shù)列的內(nèi)電極分別并聯(lián)連接兩個(gè)外電極， 所述兩個(gè)外電極上貼覆有一柔性導(dǎo)電層。[0007]作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述柔性導(dǎo)電層為具有柔性的壓敏被膠布，且壓敏被膠布的表面涂有高導(dǎo)電 金屬涂層，壓敏被膠布具有很高的抗拉伸的特性，抗疲勞的拉伸能力。[0008]作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述外電極采用化學(xué)沉積、或氣相沉積、或印刷的其中一種方法制成。[0009]作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述外電極為銅、鎳、鈀、鋁中的至少一種材料。[0010]作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述高導(dǎo)電金屬涂層包括銅、鎳、鈀、鋁的至少一種材料。[0011]本實(shí)用新型的有益效果是壓電陶瓷執(zhí)行器是具有布置在一個(gè)堆中的多個(gè)壓電陶瓷層結(jié)構(gòu)的器件，各層具有一個(gè)相對(duì)獨(dú)立的電極的結(jié)構(gòu)，內(nèi)電極需向外延伸，形成一個(gè)并聯(lián)的整體工作的結(jié)構(gòu)，多個(gè)內(nèi)電極必須與外電極接觸良好，電極與電極在工作的時(shí)候會(huì)產(chǎn)生一個(gè)相對(duì)的位移，相對(duì)的位移會(huì)在外電極上形成裂縫，會(huì)給外電極的連通帶來(lái)隱患，本實(shí)用新型的壓敏被膠布具有高的導(dǎo)電性和很高的柔韌性，能保證緊密貼合在外電極上，并且在內(nèi)電極工作的時(shí)候產(chǎn)生相對(duì)應(yīng)的伸長(zhǎng)動(dòng)作，同步于內(nèi)電極的工作，保證外電極和各個(gè)內(nèi)電極的良好的導(dǎo)通性，從而保證期間的正常工作，本實(shí)用新型中的壓敏布還具有高強(qiáng)的粘附性，保證與器件貼合的緊密；器件在工作的時(shí)候由于布材料具有良好的抗拉伸的能力，加上緊密的貼合保證了器件工作時(shí)候的如有外電極開裂也能保證其連通性，從而保證了器件的整體工作；另外由于是壓敏被膠布，操作簡(jiǎn)單，且易于自動(dòng)化的生產(chǎn)。

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1的側(cè)視圖。
具體實(shí)施方式
為了加深對(duì)本實(shí)用新型的理解，下面將結(jié)合實(shí)施例和附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)ー步·詳述，該實(shí)施例僅用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型保護(hù)范圍的限定。圖1-2出示了本實(shí)用新型一種柔性電極的壓電陶瓷執(zhí)行器的一種實(shí)施方式，包括多個(gè)壓電陶瓷層1，每個(gè)壓電陶瓷層I設(shè)有內(nèi)電極2，內(nèi)電極2按照奇、偶數(shù)分別沿壓電陶瓷層I兩相對(duì)側(cè)向外延伸，所述奇數(shù)列和偶數(shù)列的內(nèi)電極2分別并聯(lián)連接兩個(gè)外電極3，所述兩個(gè)外電極3上貼覆有ー柔性導(dǎo)電層4，所述柔性導(dǎo)電層4為具有柔性的壓敏被膠布，且壓敏被膠布的表面涂有高導(dǎo)電金屬涂層，所述外電極3采用化印刷制成，外電極3為銅材料，所述高導(dǎo)電金屬涂層銅材料，制作時(shí)將執(zhí)行器的外電極表面清洗干凈，然后將壓敏膠布貼制在器件外電極表面，加上一定的壓カ壓制一段時(shí)間即可，操作極為簡(jiǎn)単。
權(quán)利要求1.一種具有柔性電極的壓電陶瓷執(zhí)行器，包括多個(gè)壓電陶瓷層(1)，每個(gè)壓電陶瓷層(I)設(shè)有內(nèi)電極(2)，內(nèi)電極(2)按照奇、偶數(shù)分別沿壓電陶瓷層(I)兩相對(duì)側(cè)向外延伸，所述奇數(shù)列和偶數(shù)列的內(nèi)電極(2)分別并聯(lián)連接兩個(gè)外電極(3)，其特征在于所述兩個(gè)外電極(3)上貼覆有一柔性導(dǎo)電層(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性電極的壓電陶瓷執(zhí)行器，其特征在于所述柔性導(dǎo)電層(4)為具有柔性的壓敏被膠布，且壓敏被膠布的表面涂有高導(dǎo)電金屬涂層。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性電極的壓電陶瓷執(zhí)行器，其特征在于所述外電極(3) 采用化學(xué)沉積、或氣相沉積、或印刷的其中一種方法制成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的柔性電極的壓電陶瓷執(zhí)行器，其特征在于所述外電極 (3)為銅、鎳、鈕、或招。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的柔性電極的壓電陶瓷執(zhí)行器，其特征在于所述高導(dǎo)電金屬涂層包括銅、鎳、鈕、或招。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種柔性電極的壓電陶瓷執(zhí)行器，包括多個(gè)壓電陶瓷層，每個(gè)壓電陶瓷層設(shè)有內(nèi)電極，內(nèi)電極按照奇、偶數(shù)分別沿壓電陶瓷層兩相對(duì)側(cè)向外延伸，所述奇數(shù)列和偶數(shù)列的內(nèi)電極分別并聯(lián)連接兩個(gè)外電極，所述兩個(gè)外電極上貼覆有一柔性導(dǎo)電層，本實(shí)用新型的壓敏被膠布具有高的導(dǎo)電性和很高的柔韌性，能保證緊密貼合在外電極上，并且在內(nèi)電極工作的時(shí)候產(chǎn)生相對(duì)應(yīng)的伸長(zhǎng)動(dòng)作，同步于內(nèi)電極的工作，保證外電極和各個(gè)內(nèi)電極的良好的導(dǎo)通性，從而保證期間的正常工作；另外由于是壓敏被膠布，操作簡(jiǎn)單，且易于自動(dòng)化的生產(chǎn)。
文檔編號(hào)H01L41/09GK202855808SQ20122039294
公開日2013年4月3日 申請(qǐng)日期2012年8月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月9日
發(fā)明者王曉峰 申請(qǐng)人:昆山攀特電陶科技有限公司