專利名稱：一種制備太陽能電池減反射絨面裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
—種制備太陽能電池減反射絨面裝置技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及太陽能電池加工領(lǐng)域，尤其是涉及一種能夠在制備太陽能電池減反射絨面時避免絨面產(chǎn)生黑紋的裝置。背景技術(shù)：
公知的，在制作太陽能電池的工序流程中，由于第一道清洗制絨工序減反射絨面的制備能夠直接影響擴散方塊電阻的均勻性、磷硅玻璃層厚度的均勻性、氮化硅膜的均勻性以及印刷和燒結(jié)的質(zhì)量，因此，清洗制絨屬于太陽能電池制作流程的一道重要工序；目前，制備減反射絨面一般是采用濕法槽式制絨，即利用機械臂將裝有太陽能級硅片的硅片承載盒依次放入相應的溶液槽槽內(nèi)進行操作，從而完成硅片減反射絨面的制備；然而，現(xiàn)有的制備硅片減反射絨面的裝置卻存在有如下不足由于硅片承載盒內(nèi)·的硅片在存放有HF和HN03混合溶液的溶液槽內(nèi)完成減反射絨面制備后，必須由機械臂將硅片承載盒提起并放到?jīng)_洗槽內(nèi)對硅片進行沖洗，因此，在這個換槽的過程中，依附在太陽能級硅片表面的混合溶液會受重力的影響沿硅片表面下滑，且在下滑的過程中繼續(xù)對硅片進行反應；由于混合溶液在下滑的過程中分布極不均勻且伴隨有放熱反應，這極易造成太陽能級硅片的局部表面反應時間延長及溫度升高，從而發(fā)生局部表面反應過腐蝕現(xiàn)象，導致產(chǎn)生黑紋，進而極大的降低了太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率；為解決因黑紋而降低太陽能電池轉(zhuǎn)換效率的問題，現(xiàn)有的辦法是針對濕法槽式制絨設(shè)備中的機械臂進行如下改造；一、通過在換槽時加快機械臂的行進速度來減少混合溶液在下滑時與硅片表面接觸的時間，從而以降低硅片表面反應過腐蝕的發(fā)生機率來避免黑紋的產(chǎn)生；但是，這種辦法在應用時不僅會增加機械臂的磨損程度及降低操作的穩(wěn)定性，而且其還只能減少黑紋的產(chǎn)生，卻不能根除黑紋；二、在機械臂上加裝噴淋管，從而利用噴淋管在換槽過程中對硅片承載盒內(nèi)的硅片進行噴淋，避免混合溶液與硅片表面發(fā)生反應，從而杜絕黑紋的產(chǎn)生；然而，這種辦法卻會導致噴淋出的水將硅片表面的混合溶液沖擊的四處飛濺，從而極易造成周邊的設(shè)備部件被腐蝕，嚴重時不但會影響設(shè)備的使用壽命，而且還會引發(fā)安全事故。
發(fā)明內(nèi)容為了克服背景技術(shù)中的不足，本實用新型公開了一種制備太陽能電池減反射絨面裝置，所述的裝置能夠在制備太陽能電池硅片表面減反射絨面的過程中有效解決黑紋的產(chǎn)生，從而避免太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率受到黑紋的影響。為實現(xiàn)上述發(fā)明目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案一種制備太陽能電池減反射絨面裝置，所述的裝置包含溶液槽、槽蓋板和噴淋頭；所述的溶液槽槽壁設(shè)有連通儲存混合溶液的儲液罐的進液口，溶液槽的槽底至少設(shè)有一個出液口，溶液槽上部槽口設(shè)有槽蓋板，槽蓋板上至少設(shè)有一個朝向溶液槽槽內(nèi)的噴淋頭；所述的噴淋頭與噴淋水路連通。所述的制備太陽能電池減反射絨面裝置，所述的儲液罐內(nèi)安置冷卻水盤管。所述的制備太陽能電池減反射絨面裝置，所述的溶液槽槽底設(shè)置有兩個用于分別排出混合溶液和排出噴淋水液的出液口。所述的制備太陽能電池減反射絨面裝置，所述的出液口設(shè)置有氣動閥。所述的制備太陽能電池減反射絨面裝置，所述的噴淋頭對應放置在溶液槽中硅片承載盒盒內(nèi)的娃片。所述的制備太陽能電池減反射絨面裝置，所述的噴淋頭通過噴淋水路與儲存噴淋用水的儲水罐連通。由于采用如上所述的技術(shù)方案，本實用新型具有如下有益效果本實用新型所述的制備太陽能電池減反射絨面裝置能夠在不改變現(xiàn)有太陽能電池硅片表面減反射絨面制備工序的大環(huán)境前提下，有效的解決在制備減反射絨面時出現(xiàn)黑紋的問題，即所述裝置能夠簡單有效的解決因黑紋而降低太陽能電池轉(zhuǎn)換效率的問題。
圖I是本實用新型的示意圖；圖中1、溶液槽；2、槽蓋板；3、噴淋頭；4、進液口 ；5、出液口 ；6、儲液罐；7、冷卻水盤管；8、儲水罐；9、氣動閥。
具體實施方式
通過下面的實施例可以更詳細的解釋本發(fā)明，公開本實用新型的目的旨在保護本實用新型范圍內(nèi)的一切變化和改進，本實用新型并不局限于下面的實施例；結(jié)合附圖I所述的制備太陽能電池減反射絨面裝置，所述的裝置包含溶液槽I、槽蓋板2和噴淋頭3 ;所述的溶液槽I槽壁設(shè)有連通儲存混合溶液的儲液罐6的進液口 4，即便于將混合溶液由儲液罐6內(nèi)輸入至溶液槽I內(nèi)與硅片發(fā)生相應的反應，從而制出減反射絨面；溶液槽I的槽底至少設(shè)有一個用于排出溶液槽I槽內(nèi)液體的出液口 5 ;溶液槽I上部槽口設(shè)有槽蓋板2，槽蓋板2上至少設(shè)有一個朝向溶液槽I槽內(nèi)的噴淋頭3，且噴淋頭3通過噴淋水路與儲存噴淋用水的儲水罐8連通，從而在制絨結(jié)束后，能夠利用噴淋頭3對放置在溶液槽I中硅片承載盒盒內(nèi)的硅片表面進行噴淋，即達到了不用換槽就能夠?qū)埩粼诠杵砻娴幕旌先芤阂后w沖刷掉，避免硅片表面反應過腐蝕現(xiàn)象的發(fā)生，進而杜絕了產(chǎn)生黑紋的目的；為確保噴淋能夠全面均勻，所述的噴淋頭3設(shè)置在對應放置在溶液槽I中硅片承載盒盒內(nèi)硅片的位置，即設(shè)置的噴淋頭3能夠滿足全面均勻的對硅片表面進行噴淋的要求；根據(jù)實際情況，能夠選擇在溶液槽I槽底設(shè)置一個用于輪換排出混合溶液及噴淋水液的出液口 5，或者是設(shè)置兩個分別對應排出混合溶液和排出噴淋水液的出液口 5 ;為便于控制排出混合溶液及噴淋水液，所述的出液口 5設(shè)置有能夠控制開合的氣動閥9 ;此外，由溶液槽I排出的混合溶液能夠通過相應管路輸送回儲液罐6，或者是輸送至其他相應的容器內(nèi)，從而達到了讓資源循環(huán)利用，為使用方節(jié)省成本的目的。實施本實用新型所述的制備太陽能電池減反射絨面裝置時，只需通過安置在儲液罐6內(nèi)的冷卻水盤管7將混合溶液冷卻至適合的溫度，再將混合溶液輸入至溶液槽I內(nèi)，然后將放置有硅片的硅片承載盒放入溶液槽I內(nèi)進行減反射絨面的制備；當制備完成后，打開出液口 5，排出混合溶液，并利用噴淋頭3對硅片表面殘留的混合溶液液體進行噴淋沖刷；當噴淋結(jié)束后，通過機械臂提取硅片承載盒即可進行后續(xù)操作。本實用新型未詳述部分為現(xiàn)有技術(shù)，故本實用新型未對其進行詳述。
權(quán)利要求1.一種制備太陽能電池減反射絨面裝置，其特征是所述的裝置包含溶液槽(I)、槽蓋板(2)和噴淋頭(3);所述的溶液槽(I)槽壁設(shè)有連通儲存混合溶液的儲液罐￠)的進液口(4)，溶液槽(I)的槽底至少設(shè)有一個出液口(5)，溶液槽(I)上部槽口設(shè)有槽蓋板(2)，槽蓋板(2)上至少設(shè)有一個朝向溶液槽(I)槽內(nèi)的噴淋頭(3);所述的噴淋頭(3)與噴淋水路連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的制備太陽能電池減反射絨面裝置，其特征是所述的溶液槽(I)槽底設(shè)置有兩個用于分別排出混合溶液和排出噴淋水液的出液口(5)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的制備太陽能電池減反射絨面裝置，其特征是所述的噴淋頭(3)對應放置在溶液槽(I)中硅片承載盒盒內(nèi)的硅片。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的制備太陽能電池減反射絨面裝置，其特征是所述的儲液罐(6)內(nèi)安置冷卻水盤管(7)。
5.根據(jù)權(quán)利要求I或3所述的制備太陽能電池減反射絨面裝置，其特征是所述的噴淋頭(3)通過噴淋水路與儲存噴淋用水的儲水罐(8)連通。
6.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的制備太陽能電池減反射絨面裝置，其特征是所述的出液口(5)設(shè)置有氣動閥(9)。
專利摘要一種涉及太陽能電池加工領(lǐng)域的制備太陽能電池減反射絨面裝置，所述的裝置包含溶液槽、槽蓋板和噴淋頭；所述的溶液槽槽壁設(shè)有進液口，槽底設(shè)有出液口，溶液槽上部槽口設(shè)有槽蓋板，槽蓋板上設(shè)有噴淋頭；所述的噴淋頭與噴淋水路連通；所述的裝置能夠在制備太陽能電池硅片表面減反射絨面的過程中有效解決黑紋的產(chǎn)生，從而避免太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率受到黑紋的影響。
文檔編號H01L21/306GK202564189SQ20122015623
公開日2012年11月28日 申請日期2012年4月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月13日
發(fā)明者韓帥君, 劉緒紅, 梁冬青, 段少雷, 李洋 申請人:上海超日(洛陽)太陽能有限公司