專利名稱：一種非晶微晶硅疊層薄膜太陽能電池的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于非晶/微晶硅疊層薄膜太陽能電池領(lǐng)域，涉及非晶/微晶硅疊層薄膜太陽能電池的組成結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
世界能源的需求使太陽電池技術(shù)得到了迅猛的發(fā)展，特別是今天，薄膜太陽能電池應(yīng)用越來越廣泛，人們?yōu)榱嗽黾悠髽I(yè)的競爭力，在太陽能電池領(lǐng)域開發(fā)了很多新的產(chǎn)品，如非晶/微晶硅疊層薄膜太陽能電池，人們對非晶/微晶硅疊層薄膜太陽能電池的背電極的制作工藝一直在摸索中前行，傳統(tǒng)的氧化鋅和金屬復(fù)合而成的背電極層的原材料成本還有待降低、且導(dǎo)電性和熱傳導(dǎo)性還有待提高。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型為了在現(xiàn)有技術(shù)的基礎(chǔ)上降低背電極層的原料成本、及提高背電極的導(dǎo)電性和熱傳導(dǎo)性，設(shè)計了一種非晶微晶硅疊層薄膜太陽能電池，本實用新型提供的背電極具有良好的導(dǎo)電性和熱傳導(dǎo)性，且達到了降低原材料的成本的目的。本實用新型采用的技術(shù)方案是一種非晶微晶硅疊層薄膜太陽能電池，結(jié)構(gòu)中包括TCO玻璃、非晶硅/微晶硅疊層、背電極層、及背板玻璃，關(guān)鍵在于所述的背電極層是由4層金屬膜層組成的復(fù)合結(jié)構(gòu)。所述的4層金屬膜層由里到外依次為鈦層、鎳層、銀層、及鎳釩合金層。本實用新型的關(guān)鍵在于1)鈦層，由于鈦Ti這種金屬具有好的粘附性，所以用此金屬可起到好的粘附作用，有效地防止膜層脫落；2)鎳層，鎳Ni為過渡金屬；3)銀層，起到增加光的反射；4)鎳釩合金層，主要起到防止銀層被氧化的作用。本實用新型的有益效果是其一、本實用新型中的背電極較傳統(tǒng)的氧化鋅和金屬復(fù)合而成的背電極層的原材料成本降低；其二、本實用新型的背電極具有良好的導(dǎo)電性和熱傳導(dǎo)性。

圖I是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖中，I是TCO玻璃，2是非晶硅/微晶硅疊層，3是鈦層，4是鎳層、5是銀層，6是鎳f凡合金層。
具體實施方式
一種非晶微晶硅疊層薄膜太陽能電池，結(jié)構(gòu)中包括TCO玻璃I、非晶硅/微晶硅疊層2、背電極層、及背板玻璃，重要的是所述的背電極層是由4層金屬膜層組成的復(fù)合結(jié)構(gòu)。所述的4層金屬膜層由里到外依次為鈦層3、鎳層4、銀層5、及鎳釩合金層6。[0012]所述的鈦層3的膜層厚度為95— 120nm。所述的鎳層4的膜層厚度為80 — lOOnm。所述的銀層5的膜層厚度為280— 300nm。所述的鎳鑰;合金層6的膜層厚度為50—60nm。在具體實施時，如圖I所示，在TCO玻璃I上沉積非晶硅/微晶硅疊層2后，再在非晶硅/微晶硅疊層2上依次沉積鈦層3、鎳層4、銀層5、及鎳釩合金層6。其中，沉積鈦層3時的沉積速率15 — 20A/S，膜層厚度為95— 120nm ;之后在鈦層3上沉積鎳層4，沉積速率為5 — 10A/S，膜層厚度為80 — IOOnm ;然后在鎳層4上沉積銀層5，沉積速率為15 — 20A/S，膜層厚度為280— 300nm ;最后在銀層5上沉積一層鎳釩合金層6，沉積速率為5 — 9A/S，膜層厚度為50— 60nm。本實用新型中的背電極鍍膜工藝采用蒸發(fā) 的方法進行，可以大大地降低原材料的成本；且該背電極具有良好的導(dǎo)電性和熱傳導(dǎo)性。
權(quán)利要求1.一種非晶微晶硅疊層薄膜太陽能電池，結(jié)構(gòu)中包括TCO玻璃(I)、非晶硅/微晶硅疊層(2)、背電極層、及背板玻璃，其特征在于所述的背電極層是由4層金屬膜層組成的復(fù)合結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種非晶微晶硅疊層薄膜太陽能電池，其特征在于所述的4層金屬膜層由里到外依次為鈦層(3)、鎳層(4)、銀層(5)、及鎳釩合金層(6)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種非晶微晶硅疊層薄膜太陽能電池，其特征在于所述的鈦層(3)的膜層厚度為95— 120nm。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種非晶微晶硅疊層薄膜太陽能電池，其特征在于所述的鎳層(4)的膜層厚度為80 — lOOnm。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種非晶微晶硅疊層薄膜太陽能電池，其特征在于所述的銀層(5)的膜層厚度為280— 300nm。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種非晶微晶硅疊層薄膜太陽能電池，其特征在于所述的鎳釩合金層(6)的膜層厚度為50— 60nm。
專利摘要一種非晶微晶硅疊層薄膜太陽能電池，結(jié)構(gòu)中包括TCO玻璃、非晶硅/微晶硅疊層、背電極層、及背板玻璃，關(guān)鍵在于所述的背電極層是由4層金屬膜層組成的復(fù)合結(jié)構(gòu)。本實用新型的有益效果是其一、本實用新型中的背電極較傳統(tǒng)的氧化鋅和金屬復(fù)合而成的背電極層的原材料成本降低；其二、本實用新型的背電極具有良好的導(dǎo)電性和熱傳導(dǎo)性。
文檔編號H01L31/0224GK202487592SQ20122013632
公開日2012年10月10日 申請日期2012年4月1日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月1日
發(fā)明者劉秀, 李兆廷, 王小軍, 邢麗芬, 陳志維 申請人:東旭集團有限公司, 成都泰軼斯太陽能科技有限公司