專利名稱：具有柔性電極的壓電陶瓷執(zhí)行器的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及壓電陶瓷領域，特別涉及一種具有柔性電極的壓電陶瓷執(zhí)行器。
背景技術：
壓電陶瓷執(zhí)行器的制作是公知技術，壓電陶瓷執(zhí)行器的制作方法來源于獨石電容器的制作，它是利用多個具有內電極的膜片按照一定的方式疊堆，通過等靜壓壓制，然后切割成所需大小后共燒；也可采用先制成壓電陶瓷單片，再利用其銀電極在加高溫時粘接或采用膠粘劑粘接的假獨石方法。在傳統(tǒng)的壓電陶瓷執(zhí)行器中，兩組內電極通過涂覆在堆垛的兩個側面的金屬層連接引出。當壓電陶瓷執(zhí)行器在外加電壓的作用下不斷伸長或縮短，這些金屬涂層受到較大的交變應力的作用，很易導致外電極產(chǎn)生裂紋，該裂紋能導致外電極的電阻變大而產(chǎn)生電·弧，電弧使外電極很快斷裂。外電極斷裂導致電流的阻斷，從而不能正常的工作，這些都是傳統(tǒng)的壓電陶瓷執(zhí)行器的制作方法所存在的問題。傳統(tǒng)的器件在生產(chǎn)的過程中使用的是一些導電的柔性膠或者金屬膜及其他的一些外電極材料。其主要是弊端是操作復雜，不易實現(xiàn)自動化生產(chǎn)，金屬膜的形變小，在執(zhí)行器工作過程中易與器件脫開，造成器件的外電極導通不良，導致器件不工作。

發(fā)明內容
為了克服上述缺陷，本發(fā)明提供了一種具有良好的導通性的柔性電極的壓電陶瓷執(zhí)行器。本發(fā)明為了解決其技術問題所采用的技術方案是1、一種柔性電極的壓電陶瓷執(zhí)行器，包括多個壓電陶瓷層，每個壓電陶瓷層設有內電極，內電極按照奇、偶數(shù)分別沿壓電陶瓷層兩相對側向外延伸，所述奇數(shù)列和偶數(shù)列的內電極分別并聯(lián)連接兩個外電極，所述兩個外電極上貼覆有一柔性導電層。作為本發(fā)明的進一步改進，所述柔性導電層為具有柔性的壓敏被膠布，且壓敏被膠布的表面涂有高導電金屬涂層，壓敏被膠布具有很高的抗拉伸的特性，抗疲勞的拉伸能力。作為本發(fā)明的進一步改進，所述外電極采用化學沉積、或氣相沉積、或印刷的其中一種方法制成。作為本發(fā)明的進一步改進，所述外電極為銅、鎳、鈀、鋁中的至少一種材料。作為本發(fā)明的進一步改進，所述高導電金屬涂層包括銅、鎳、鈀、鋁的至少一種材料。本發(fā)明的有益效果是壓電陶瓷執(zhí)行器是具有布置在一個堆中的多個壓電陶瓷層結構的器件，各層具有一個相對獨立的電極的結構，內電極需向外延伸，形成一個并聯(lián)的整體工作的結構，多個內電極必須與外電極接觸良好，電極與電極在工作的時候會產(chǎn)生一個相對的位移，相對的位移會在外電極上形成裂縫，會給外電極的連通帶來隱患，本發(fā)明的壓敏被膠布具有高的導電性和很高的柔韌性，能保證緊密貼合在外電極上，并且在內電極工作的時候產(chǎn)生相對應的伸長動作，同步于內電極的工作，保證外電極和各個內電極的良好的導通性，從而保證期間的正常工作，本發(fā)明中的壓敏布還具有高強的粘附性，保證與器件貼合的緊密；器件在工作的時候由于布材料具有良好的抗拉伸的能力，加上緊密的貼合保證了器件工作時候的如有外電極開裂也能保證其連通性，從而保證了器件的整體工作；另外由于是壓敏被膠布，操作簡單，且易于自動化的生產(chǎn)。


圖I為本發(fā)明結構示意 圖2為圖I的側視圖?！?br> 具體實施例方式為了加深對本發(fā)明的理解，下面將結合實施例和附圖對本發(fā)明作進一步詳述，該實施例僅用于解釋本發(fā)明，并不構成對本發(fā)明保護范圍的限定。圖1-2出示了本發(fā)明一種柔性電極的壓電陶瓷執(zhí)行器的一種實施方式，包括多個壓電陶瓷層1，每個壓電陶瓷層I設有內電極2，內電極2按照奇、偶數(shù)分別沿壓電陶瓷層I兩相對側向外延伸，所述奇數(shù)列和偶數(shù)列的內電極2分別并聯(lián)連接兩個外電極3，所述兩個外電極3上貼覆有一柔性導電層4，所述柔性導電層4為具有柔性的壓敏被膠布，且壓敏被膠布的表面涂有高導電金屬涂層，所述外電極3采用化印刷制成，外電極3為銅材料，所述高導電金屬涂層銅材料，制作時將執(zhí)行器的外電極表面清洗干凈，然后將壓敏膠布貼制在器件外電極表面，加上一定的壓力壓制一段時間即可，操作極為簡單。
權利要求
1.ー種具有柔性電極的壓電陶瓷執(zhí)行器，包括多個壓電陶瓷層(1)，每個壓電陶瓷層(I)設有內電極(2)，內電極(2)按照奇、偶數(shù)分別沿壓電陶瓷層(I)兩相對側向外延伸，所述奇數(shù)列和偶數(shù)列的內電極(2)分別并聯(lián)連接兩個外電極(3)，其特征在于所述兩個外電極(3)上貼覆有ー柔性導電層(4)。
2.根據(jù)權利要求I所述的柔性電極的壓電陶瓷執(zhí)行器，其特征在于所述柔性導電層(4)為具有柔性的壓敏被膠布，且壓敏被膠布的表面涂有高導電金屬涂層。
3.根據(jù)權利要求I所述的柔性電極的壓電陶瓷執(zhí)行器，其特征在于所述外電極(3)采用化學沉積、或氣相沉積、或印刷的其中ー種方法制成。
4.根據(jù)權利要求I或3所述的柔性電極的壓電陶瓷執(zhí)行器，其特征在于所述外電極(3)為銅、鎳、鈀、鋁的至少ー種材料。
5.根據(jù)權利要求2所述的柔性電極的壓電陶瓷執(zhí)行器，其特征在于所述高導電金屬涂層包括銅、鎳、鈀、鋁的至少ー種材料。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種柔性電極的壓電陶瓷執(zhí)行器，包括多個壓電陶瓷層，每個壓電陶瓷層設有內電極，內電極按照奇、偶數(shù)分別沿壓電陶瓷層兩相對側向外延伸，所述奇數(shù)列和偶數(shù)列的內電極分別并聯(lián)連接兩個外電極，所述兩個外電極上貼覆有一柔性導電層，本發(fā)明的壓敏被膠布具有高的導電性和很高的柔韌性，能保證緊密貼合在外電極上，并且在內電極工作的時候產(chǎn)生相對應的伸長動作，同步于內電極的工作，保證外電極和各個內電極的良好的導通性，從而保證期間的正常工作；另外由于是壓敏被膠布，操作簡單，且易于自動化的生產(chǎn)。
文檔編號H01L41/083GK102790168SQ20121028161
公開日2012年11月21日 申請日期2012年8月9日 優(yōu)先權日2012年8月9日
發(fā)明者王曉峰 申請人:昆山攀特電陶科技有限公司