專利名稱：一種有機電致發(fā)光器件及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種有機電致發(fā)光器件及其制作方法，特別是實現(xiàn)全彩色的有機電致發(fā)光器件及其制作方法。
背景技術(shù)：
有機電致發(fā)光器件(OLED)具有自發(fā)光、色飽和度高、省電、視角寬、節(jié)省空間、響應(yīng)速度快等優(yōu)點，已經(jīng)開始進入中小尺寸的顯示終端領(lǐng)域，被認為是很有可能替代液晶顯示器(IXD)的一種顯示平板技術(shù)。圖I是現(xiàn)有技術(shù)的有機電致發(fā)光器件(OLED)采用紅、綠、藍獨立發(fā)光器件方法實現(xiàn)全彩色的結(jié)構(gòu)示意圖。其中包括襯底100，透明導(dǎo)電電極101，鈍化保護層102， 共同的空穴傳輸層111，紅色發(fā)光層121,綠色發(fā)光層122,藍色發(fā)光層123,共同的金屬電極131。其中，各個像素的透明導(dǎo)電電極相互分立而且單獨驅(qū)動。圖Ia-圖If是現(xiàn)有技術(shù)的有機電致發(fā)光器件(OLED)采用紅、綠、藍分立發(fā)光器件實現(xiàn)全彩色的制作方法。制作步驟包括(101)在相互分立的透明導(dǎo)電電極101上涂布聚合物并光刻形成鈍化保護層102，見圖Ia ；(102)制作共同的空穴傳輸層111，見圖Ib ;(103)利用掩膜板190制作紅色發(fā)光層121，見圖Ic ;移動掩膜板190制作綠色發(fā)光層122，見圖Id ;再移動掩膜板190制作藍色發(fā)光層123，見圖Ie ;利用掩膜板190制作這三個顏色發(fā)光層的順序可以有變化；制作共同的金屬電極131，見圖If。用紅、綠、藍獨立發(fā)光器件方法實現(xiàn)全彩色受掩膜板開口面積的限制，難以實現(xiàn)高顯示分辨率。圖2是現(xiàn)有技術(shù)的有機電致發(fā)光器件(OLED)采用白光發(fā)光器件加彩色濾光膜(color filter)方法實現(xiàn)全彩色的結(jié)構(gòu)示意圖。其中包括襯底200,金屬電極231,鈍化保護層202，白光發(fā)光層224，透明導(dǎo)電電極201。其中，各個像素的金屬電極相互分立而且單獨驅(qū)動。另一個襯底250，制作在襯底250上的紅色濾光膜251，綠色濾光膜252，藍色濾光膜253。圖2a-圖2f是現(xiàn)有技術(shù)的有機電致發(fā)光器件(OLED)采用白光發(fā)光器件加彩色濾光膜(color filter)方法實現(xiàn)全彩色的制作方法。制作步驟包括(201)在相互分立的金屬電極231上涂布聚合物并光刻形成鈍化保護層202，見圖2a ；(202)制作白光發(fā)光層224，見圖2b ；(203)制作透明導(dǎo)電電極201，見圖2c ；(204)在另一個襯底250上制作紅色濾光膜251，綠色濾光膜252，藍色濾光膜253，見圖 2d。
(205)將襯底200和襯底250對應(yīng)粘接在一起，見圖2e。白色光通過紅色濾光膜251，綠色濾光膜252，藍色濾光膜253，分別形成紅色光、綠色光和藍色光。這種方法由于采用彩色濾光膜，難以提高發(fā)光效率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種高顯示分辨率、高發(fā)光效率的有機電致發(fā)光器件及制造方法。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提出一種實現(xiàn)全彩色的有機電致發(fā)光器件結(jié)構(gòu)，其中實現(xiàn)全彩色的紅、綠、藍三色發(fā)光器件具有共同的空穴傳輸層，紅色和綠色發(fā)光器件具有共同的發(fā)光層，之后這個共同發(fā)光層的光再通過紅色和綠色濾光膜分別形成紅色光和綠色光，藍色利用共同的空穴傳輸層發(fā)出藍色光，藍色發(fā)光器件不需要藍色濾光膜。在這個有機電致發(fā)光器件的制作過程中，紅色和綠色器件由于采用共同發(fā)光層，可以降低對掩膜板(shadow mask)精度的要求進而提高顯示分辨率；藍色發(fā)光器件利用共同的空穴、電子傳輸 層發(fā)出的藍光，不需要采用掩膜板單獨制作，提高了生產(chǎn)效率，而且藍光不采用濾光膜可以提高發(fā)光效率和藍色光色純度。同時雖然紅色光和綠色光通過濾光膜實現(xiàn)，導(dǎo)致紅色光和綠色光效率有所降低，但是由于共同發(fā)光層中的紅色和綠色有機發(fā)光材料的效率比藍色有機發(fā)光材料效率高，可以更好的實現(xiàn)三種顏色光的效率的平衡。根據(jù)本發(fā)明的一個方面，紅、綠、藍三色發(fā)光器件具有的共同空穴傳輸層材料可以采用包括但不限制于N，N’ - 二苯基-N，N’ - (I-萘基-聯(lián)苯_4，4’ -二胺(a_NPB)、N，N’ - 二苯基-N，N’ -二(2-萘基)-1，1’ -聯(lián)苯 _4，4’ -二胺(β-NPB)、N，N，N’，N’ -四苯基 _1，1’ -聯(lián)苯 _4，4’ -二胺(TPB)、Ν，Ν’ - 二苯基-Ν，Ν’ -二(3-甲基苯基-聯(lián)苯-4，4’_ 二胺(TH))、含有上述基團的聚合物、聚乙烯基咔唑(PVK)、聚芴(PF)等空穴傳輸材料。根據(jù)本發(fā)明的一個方面，上述共同空穴傳輸層材料也可以作為主體摻雜藍色發(fā)光客體摻雜劑材料，藍色發(fā)光客體摻雜劑材料采用包括但不限制于雙(4，6- 二氟苯基吡啶-N，C2)吡啶甲酰合銥(FIrpic)，(0C-6-33)-雙[3，5-二氟-2-(2-吡啶基-KN)苯基-KC][四(1H-吡唑基-KN1)硼酸(1-)-ΚΝ2，ΚΝ2，]-銥(FIr6)等材料。根據(jù)本發(fā)明的一個方面，紅色和綠色發(fā)光器件具有的共同發(fā)光層的主體材料可以采用包括但不限制于3-苯基-4- (I’ -萘基)-5-苯基-1，2，4-三唑(TAZ)、4，4 ’ - 二(9-咔唑)聯(lián)苯(CBP)、聚乙烯基咔唑(PVK)、8-羥基喹啉鋁(Alq3)、雙(2_甲基_8_羥基喹啉-NI，08) - (I, I, _ 聯(lián)苯-4-輕基)招(BAlq)等。根據(jù)本發(fā)明的一個方面，紅色和綠色發(fā)光器件具有的共同發(fā)光層的紅色發(fā)光客體摻雜劑材料可以采用包括但不限制于2，3，7，8，12，13，17，18-八乙基-21H，23H-卟啉鉬(PtOEP)、(Btp)2IHacac)、Ir (piq)3、4_( 二巰基亞甲基)_2_ 甲基 _6_(對二甲氨基苯乙烯基)-4H-吡喃(DCM)、4-( 二氰基亞甲基)-2-甲基-6-[2-(2，3，6，7-四氫-1H，5H_苯并[ij]喹嗪-9-基)乙烯基]-4H-吡喃(DCM2)、DCJTB，直接黃光材料紅熒烯(Rubrene)、Tris (2- (benzo [b] thiophen-2-yl) pyridine-Iridium(III)等。[24]根據(jù)本發(fā)明的一個方面，紅色和綠色發(fā)光器件具有的共同發(fā)光層的綠色發(fā)光客體摻雜劑材料可以采用包括但不限制于三(2-苯基吡啶)合銥(Ir (ppy)3)、乙酰丙酮酸二(2-苯基卩比唳)銥(Ir(ppy)2(acac))等材料。根據(jù)本發(fā)明的一個方面，電子傳輸材料和空穴阻擋材料采用包括但不限制于2，
9-二甲基-4，7-聯(lián)苯-1，10-鄰二氮雜菲(BCP)、8_羥基喹啉鋁(Alq3)、雙(2_甲基_8_羥基喹啉-NI，08)-(1，I’-聯(lián)苯-4-羥基)鋁(BAlq)、1，3，5-三(I-苯基-IH-苯并咪唑_2_基)苯(TPBi)等材料。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還可以采用的一個具體器件結(jié)構(gòu)，即利用紅、綠、藍、白色發(fā)光器件實現(xiàn)全彩色，其中實現(xiàn)全彩色的紅、綠、藍和白色發(fā)光器件具有共同的空穴傳輸層，紅色、綠色和白色發(fā)光器件具有共同的發(fā)光層，之后這個共同發(fā)光層、共同電子傳輸層發(fā)出的光再通過紅色、綠色濾光膜分別形成紅色光和綠色光，白色發(fā)光器件區(qū)域不用采用濾光膜，藍色利用共同的空穴、電子傳輸層發(fā)出藍色光，藍色發(fā)光器件不需要藍色濾光膜。在這個有機電致發(fā)光器件的制作過程中，紅色、綠色和白色器件由于采用共同發(fā)光層，可以降低對掩膜板(shadow mask)精度的要求進而提高顯示分辨率；藍色發(fā)光器件利用共同的 空穴、電子傳輸層發(fā)出的藍光，提高了生產(chǎn)效率，而且藍光不采用濾光膜可以提高發(fā)光效率和藍色光色純度。紅色、綠色和白色發(fā)光器件具有共同的發(fā)光層可以采用主體材料摻雜上述的紅色、綠色和藍色發(fā)光客體摻雜劑材料。


圖I是現(xiàn)有技術(shù)的有機電致發(fā)光器件(OLED)采用紅、綠、藍分立發(fā)光器件方法實現(xiàn)全彩色的結(jié)構(gòu)示意圖。圖Ia-圖If是現(xiàn)有技術(shù)的有機電致發(fā)光器件(OLED)采用紅、綠、藍分立發(fā)光器件實現(xiàn)全彩色的制作方法。圖2是現(xiàn)有技術(shù)的有機電致發(fā)光器件(OLED)采用白光發(fā)光器件加彩色濾光膜(color filter)方法實現(xiàn)全彩色的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2a-圖2e是現(xiàn)有技術(shù)的有機電致發(fā)光器件(OLED)采用白光發(fā)光器件加彩色濾光膜(color filter)方法實現(xiàn)全彩色的制作方法。圖3是根據(jù)本發(fā)明的第一實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3a_圖3f是根據(jù)本發(fā)明的第一實施方式的制作方法。圖4是根據(jù)本發(fā)明的第二實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。圖5是根據(jù)本發(fā)明的第三實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。圖6是根據(jù)本發(fā)明的第四實施方式的制作方法。圖7是根據(jù)本發(fā)明的第五實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。圖8為根據(jù)本發(fā)明的第六實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。圖9為根據(jù)本發(fā)明的第七實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。圖9a_圖9f是根據(jù)本發(fā)明的第七實施方式的制作方法。圖10為根據(jù)本發(fā)明的第八實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。圖IOa-圖IOf是根據(jù)本發(fā)明的第八實施方式的制作方法。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖描述本發(fā)明的具體實施方式
。
實施方式一。圖3是根據(jù)本發(fā)明的第一實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。其中包括襯底300，金屬電極331，鈍化保護層302，共同的空穴傳輸層311，紅色和綠色發(fā)光器件具有共同的發(fā)光層325，共同的透明導(dǎo)電電極301，其中，各個像素的金屬電極相互分立而且單獨驅(qū)動；還包括襯底350，紅色濾光膜351，綠色濾光膜352。金屬電極331采用鎂銀合金(Mg:Ag)和氧化銦錫(ITO)雙層電極(其中，氧化銦錫電極主要是減少空穴注入勢壘)，共同的空穴傳輸層311采用N, N，- 二苯基-N，N，- 二 (3-甲基苯基)-I，I’ -聯(lián)苯-4，4，-二胺(TPD)，紅色和綠色發(fā)光器件具有共同的發(fā)光層325采用4，4’ - 二(9-咔唑)聯(lián)苯(CBP)主體材料摻雜2，3，7，8，12，13，17，18-八乙基-21H，23H-卟啉鉬(PtOEP)紅色客體摻雜劑或Bis (1-phenylisoquinoline) (acetylacetonate) -Iridium(III)和三(2_ 苯基批P定)合銥(Ir(PPy)3)綠色客體摻雜劑，共同的透明導(dǎo)電電極301采用鎂銀合金(Mg:Ag)和氧化銦錫 材料雙層電極，其中鎂銀合金(Mg:Ag)層為了提高光通過率厚度很薄。圖3a_圖2f是根據(jù)本發(fā)明第一實施方式的制作方法。制作步驟包括(301)在相互分立的金屬電極331上涂布聚合物并光刻形成鈍化保護層302，見圖3a ；(302)蒸發(fā)制作作為共同的空穴傳輸層311的，見N，N’_ 二苯基_N，N’_ 二(3-甲基苯基-聯(lián)苯-4，4，-二胺(TPD)，見圖3b ；(303)利用掩膜板390蒸發(fā)制作紅色和綠色發(fā)光器件具有共同的發(fā)光層325，采用4，4’ - 二(9-咔唑)聯(lián)苯(CBP)主體材料摻雜2，3，7，8，12，13，17，18-八乙基-21H, 23H-卩卜啉鉬(PtOEP)紅色客體慘雜劑或Bis (1-phenylisoquinoline)(acetylacetonate)-Iridium(III)和三(2_苯基批卩定)合銥(Ir(ppy)3)綠色客體摻雜劑，見圖3c ；(304)制作共同透明導(dǎo)電電極301的鎂銀合金(Mg:Ag)和氧化銦錫材料雙層電極，見圖3d ；(305)在另一個襯底350上制作紅色濾光膜351，綠色濾光膜352，見圖3e ;(306)將襯底300和襯底350對應(yīng)粘接在一起，見圖3f。實施方式二圖4是根據(jù)本發(fā)明的第二實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。其中包括襯底400，金屬電極431，鈍化保護層402，共同的空穴傳輸層411，紅色和綠色發(fā)光器件具有共同的發(fā)光層425，共同的空穴阻擋層、電子傳輸層426，共同的透明導(dǎo)電電極401，其中，各個像素的金屬電極相互分立而且單獨驅(qū)動；還包括襯底450，紅色濾光膜451，綠色濾光膜452。金屬電極431采用鎂銀合金(Mg:Ag)和氧化銦錫(ITO)雙層電極(其中，氧化銦錫電極主要是減少空穴注入勢壘)，共同的空穴傳輸層411采用N，N’_ 二苯基-N，N’_ 二(3-甲基苯基聯(lián)苯-4，4’-二胺(TH))，紅色和綠色發(fā)光器件具有共同的發(fā)光層425采用4，4’-二(9-咔唑)聯(lián)苯(CBP)主體材料摻雜2，3，7，8，12，13，17，18-八乙基-21H，23H-卟啉鉬(PtOEP)紅色客體慘雜劑或 Bis (1-phenylisoquinoline) (acetylacetonate) -Iridium(III)和三(2-苯基吡啶)合銥(Ir(ppy)3)綠色客體摻雜劑，共同的空穴阻擋層426采用2，9-二甲基-4，7-聯(lián)苯-1，10-鄰二氮雜菲(BCP)，共同的透明導(dǎo)電電極401采用鎂銀合金(Mg:Ag)和氧化銦錫材料雙層電極，鎂銀合金(Mg:Ag)層為了提高通過率厚度很薄。
實施方式三圖5是根據(jù)本發(fā)明的第二實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。其中包括襯底500，透明導(dǎo)電電極501，鈍化保護層502，共同的空穴傳輸層511，紅色和綠色發(fā)光器件具有共同的發(fā)光層525,共同的空穴阻擋層526,共同的電子傳輸層527,共同的金屬電極531,其中，各個像素的透明導(dǎo)電電極相互分立而且單獨驅(qū)動；還包括襯底550，紅色濾光膜551，綠色濾光膜552。金屬電極531采用鎂銀合金(Mg:Ag)和氧化銦錫(ITO)雙層電極(其中，氧化銦錫電極主要是減少空穴注入勢壘)，共同的空穴傳輸層511采用N，N’ - 二苯基-N，N’ - 二(3-甲基苯基-聯(lián)苯-4，4’ -二胺(TPD)摻雜藍色發(fā)光客體摻雜劑材料雙(4，6_ 二氟苯基吡啶-N，C2)吡啶甲酰合銥(F Irpic)，紅色和綠色發(fā)光器件具有共同的發(fā)光層525采用4，4’ -二(9-咔唑)聯(lián)苯(CBP)主體材料摻雜2，3，7，8，12，13，17，18-八乙基-21H，23H-卟啉鉬(PtOEP)紅色客體摻雜劑或 Bis (1-phenylisoquinoline)(acetylacetonate)-Iridium(III)和三(2_苯基批卩定)合銥(Ir(ppy)3)綠色客體摻雜劑，共同的空穴阻擋層526采用2，9- 二甲基-4，7-聯(lián)苯-I，10-鄰二氮雜菲(BCP)，共同的透明導(dǎo)電電極501采用鎂銀合金(Mg:Ag)和氧化銦錫材料雙層電極，其中鎂銀合金(Mg:Ag)層為了提高通過率厚度很薄。實施方式四圖6是根據(jù)本發(fā)明的第四實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。其中包括襯底600，金屬電極631,鈍化保護層602,空穴傳輸層611,紅色和綠色發(fā)光器件具有共同的發(fā)光層625,共同的空穴阻擋層626,共同的電子傳輸層627,共同的透明導(dǎo)電電極601,其中，各個像素的金屬電極相互分立而且單獨驅(qū)動；還包括襯底650，紅色濾光膜651，綠色濾光膜652。金屬電極631采用鎂銀合金(Mg:Ag)和氧化銦錫(ITO)雙層電極(其中，氧化銦錫電極主要是減少空穴注入勢壘)，共同的空穴傳輸層611采用N，N’-二苯基-N，N’-二(3-甲基苯基)_1，I’-聯(lián)苯-4，4’_ 二胺(TH))，紅色和綠色發(fā)光器件具有共同的發(fā)光層625采用4，4’_ 二(9-咔唑)聯(lián)苯(CBP)主體材料摻雜2，3，7，8，12，13，17，18-八乙基-21H，23H-卟啉鉬(PtOEP)紅色客體慘雜劑或Bis (1-phenylisoquinoline) (acetylacetonate) -Iridium(III)和三(2_ 苯基吡啶)合銥(IHppy)3)綠色客體摻雜劑，共同的空穴阻擋層626采用2，9-二甲基-4，7-聯(lián)苯-I，10-鄰二氮雜菲(BCP)，共同的電子傳輸層627采用8-羥基喹啉鋁(Alq3)，共同的透明導(dǎo)電電極601采用鎂銀合金(Mg:Ag)和氧化銦錫材料雙層電極，其中鎂銀合金(Mg:Ag)層為了提高通過率厚度很薄。實施方式五圖7是根據(jù)本發(fā)明的第五實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。其中包括襯底700，金屬電極731，鈍化保護層702，空穴傳輸層711，紅色和綠色發(fā)光器件具有共同的發(fā)光層725，共同的空穴阻擋層726，共同的電子傳輸層727，共同的透明導(dǎo)電電極701，其中，各個像素的金屬電極相互分立而且單獨驅(qū)動；還包括襯底750，紅色濾光膜751，綠色濾光膜752。金屬電極731采用鎂銀合金(Mg:Ag)和氧化銦錫(ITO)雙層電極(其中，氧化銦錫電極主要是減少空穴注入勢壘)，共同的空穴傳輸層711采用N，N’ - 二苯基-N，N’ -二(3-甲基苯基)-1，I’-聯(lián)苯-4，4’-二胺(TPD)摻雜藍色發(fā)光客體摻雜劑材料雙(4，6-二氟苯基吡啶-N，C2)吡啶甲酰合銥(FIrpic)，紅色和綠色發(fā)光器件具有共同的發(fā)光層725采用4，4’_二(9-咔唑)聯(lián)苯(CBP)主體材料摻雜2，3，7，8，12，13，17，18-八乙基-21H，23H-卟啉鉬(PtOEP)紅色客體慘雜劑或Bis (1-phenylisoquinoline) (acetylacetonate) -Iridium(III)和三(2_ 苯基吡啶)合銥(IHppy)3)綠色客體摻雜劑，共同的空穴阻擋層726采用2，9-二甲基-4，7-聯(lián)苯-I，10-鄰二氮雜菲(BCP)，共同的電子傳輸層727采用8-羥基喹啉鋁(Alq3)，共同的透明導(dǎo)電電極701采用鎂銀合金(Mg:Ag)和氧化銦錫材料雙層電極，其中鎂銀合金(Mg:Ag)層為了提高通過率厚度很薄。實施方式六圖8是根據(jù)本發(fā)明的第六實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。其中包括襯底800，金屬電極831，鈍化保護層802，空穴傳輸層811，紅色、綠色和黃色發(fā)光器件具有共同的發(fā)光層825，共同的空穴阻擋層826，共同的電子傳輸層827，共同的透明導(dǎo)電電極801，其中，各個像素的金屬電極相互分立而且單獨驅(qū)動；還包括襯底850，紅色濾光膜851，綠色濾光膜852，黃色濾光膜854。金屬電極831采用鎂銀合金(Mg:Ag)和氧化銦錫(ITO)雙層電極(其中，氧化銦錫電極主要是減少空穴注入勢壘)，共同的空穴傳輸層811采用N，N’ - 二苯基-N，N’ - 二(3-甲基苯基)-I，I’ -聯(lián)苯-4，4’ - 二胺(TPD)摻雜藍色發(fā)光客體摻雜劑材料雙(4，6-二氟苯基吡啶-N，C2)吡啶甲酰合銥(FIrpic)，紅色、綠色和黃色發(fā)光器件具有共·同的發(fā)光層825采用4，4，- 二 (9-咔唑)聯(lián)苯(CBP)主體材料摻雜2，3，7，8，12，13，17，18-八乙基-21H，23H-卟啉鉬(PtOEP)紅色客體摻雜劑或 Bis (1-phenyl isoquinoline)(acetylacetonate)-Iridium(III)、三(2_苯基批卩定)合銥(Ir(ppy)3)綠色客體摻雜劑和黃色客體摻雜劑紅螢烯(Rubrene)，共同的空穴阻擋層726采用2，9- 二甲基-4，7-聯(lián)苯-I，
10-鄰二氮雜菲(BCP)，共同的電子傳輸層727采用8-羥基喹啉鋁(Alq3)，共同的透明導(dǎo)電電極701采用鎂銀合金(Mg:Ag)和氧化銦錫材料雙層電極，其中鎂銀合金(Mg:Ag)層為了提高通過率厚度很薄。實施方式七圖9是根據(jù)本發(fā)明的第七實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。其中包括襯底950，紅色濾光膜951，綠色濾光膜952，平坦層902，共同的透明導(dǎo)電電極901采用氧化銦錫材料，倒梯形光刻膠903，同時制作的空穴傳輸層911，同時制作的紅色和綠色共同發(fā)光層925，同時制作的空穴阻擋層926，同時制作的金屬電極931，其中，各個像素的金屬電極由于倒梯形光刻膠903的隔離作用相互分立而且單獨驅(qū)動。金屬電極931采用鎂銀合金(Mg:Ag)，同時制作的空穴傳輸層411采用N，N’ - 二苯基-N，N’ - 二(3-甲基苯基-聯(lián)苯_4，4’ -二胺(TH))，紅色和綠色發(fā)光器件具有同時制作的共同發(fā)光層925采用4，4’ - 二(9-咔唑)聯(lián)苯(CBP)主體材料摻雜2，3，7，8，12，13，17，18-八乙基-21H，23H-卟啉鉬(PtOEP)紅色客體慘雜劑或Bis (1-phenylisoquinoline) (acetylacetonate) -Iridium(III)和三(2_ 苯基吡啶)合銥(IHppy)3)綠色客體摻雜劑，同時制作的空穴阻擋層926采用2，9_ 二甲基-4，7-聯(lián)苯-1，10-鄰二氮雜菲(BCP)，共同的透明導(dǎo)電電極901采用氧化銦錫材料。圖9還包括襯底960，柵電極961，柵絕緣層962，晶體管有源層963，源漏電極964，鈍化層965，彈性隔墊材料966，像素電極967，其中，柵電極961采用鋁釹合金(AlNd)材料，柵絕緣層962采用氮化硅(SiNx)材料，晶體管有源層963采用氧化銦鎵鋅(IGZO)，源漏電極964采用金屬鑰(Mo)材料，鈍化層965采用氮化硅(SiNx)材料，像素電極967采用銦材料。圖9a_圖9f是根據(jù)本發(fā)明的第七實施方式的制作方法。制作步驟包括(401)在襯底960上濺射制作金屬鋁釹合金材料，光刻形成柵電極961 ;利用化學(xué)氣象沉積制作氮化硅膜形成柵絕緣層962 ;利用濺射制作氧化銦鎵鋅(IGZO)膜，光刻形成晶體管有源層963 ;利用濺射制作金屬鑰材料，光刻形成源漏電極；利用化學(xué)氣象沉積制作氮化硅膜形成鈍化層965并光刻形成連接過孔；利用旋轉(zhuǎn)涂布和光刻制作彈性隔墊材料966 ;濺射金屬銦膜并光刻形成像素電極967，見圖9a ；(402)在襯底950上利用旋轉(zhuǎn)涂布和光刻制作紅色濾光膜951和綠色濾光膜952 ；利用旋轉(zhuǎn)涂布制作平坦層902 ;利用濺射共同的透明導(dǎo)電電極901的氧化銦錫材料，見圖9b ；(403)利用旋轉(zhuǎn)涂覆負性光刻膠材料并光刻形成倒梯形903 ;蒸發(fā)制作作為共同的空穴傳輸層311的N，N’ - 二苯基-N，N’ - 二(3-甲基苯基-聯(lián)苯_4，4’ -二胺(TPD)，見圖 9c ；(404)利用掩膜板990蒸發(fā)制作紅色和綠色發(fā)光器件具有共同的發(fā)光層 925，采用4，4’ - 二 (9-咔唑)聯(lián)苯(CBP)主體材料摻雜2，3，7，8，12，13，17，18-八乙基-21H, 23H-卩卜啉鉬(PtOEP)紅色客體慘雜劑或Bis (1-phenylisoquinoline)(acetylacetonate)-Iridium(III)和三(2_苯基批卩定)合銥(Ir(ppy)3)綠色客體摻雜劑，見圖9d ；(405)蒸發(fā)2，9_ 二甲基-4，7_聯(lián)苯-1，10-鄰二氮雜菲(BCP)作為同時制作的空穴阻擋層926 ;蒸發(fā)制作鎂銀合金金屬，由于倒梯形光刻膠的作用形成在相互分立的金屬電極931，見圖9e ；(406)加熱襯底960使像素電極967的銦金屬熔化，將兩個襯底按照像素對應(yīng)的壓接在一起，這樣像素電極967和金屬電極931連接在一起，見圖9f。實施方式八圖10是根據(jù)本發(fā)明的第八實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。其中包括襯底1050，紅色濾光膜1051，綠色濾光膜1052。還包括襯底1060，柵電極1061，柵絕緣層1062，晶體管有源層1063，源漏電極1064，鈍化層1065，其中，柵電極1061采用鋁釹合金材料，柵絕緣層1062采用氮化硅材料，晶體管有源層1063采用氧化銦鎵鋅(IGZO)、低溫多晶硅或者非晶硅，源漏電極1064采用金屬鑰材料，鈍化層1065采用氮化硅材料。圖9還包括金屬電極1031，鈍化保護層1002，共同的空穴傳輸層1011，紅色和綠色發(fā)光器件具有共同的發(fā)光層1025，共同的空穴阻擋層1026，共同的透明導(dǎo)電電極1001。(501)在襯底950上利用旋轉(zhuǎn)涂布和光刻制作紅色濾光膜951和綠色濾光膜952，見圖IOa ；(502)在襯底1060上濺射制作金屬鋁釹合金材料，光刻形成柵電極1061 ;利用化學(xué)氣象沉積制作氮化硅膜形成柵絕緣層1062 ;利用濺射制作氧化銦鎵鋅膜，光刻形成晶體管有源層1063 ;利用濺射制作金屬鑰材料，光刻形成源漏電極1064 ;利用化學(xué)氣象沉積制作氮化硅膜形成鈍化層1065并光刻形成連接過孔；制作金屬鎂銀合金膜和氧化銦錫并光刻形成金屬電極1031，制作鈍化保護層1002，見圖IOb ；(503)蒸發(fā)共同的空穴傳輸層1011,見圖IOc ；(503)利用掩膜板1090蒸發(fā)制作紅色和綠色發(fā)光器件具有共同的發(fā)光層1025，采用 4，4’ - 二 (9-咔唑)聯(lián)苯(CBP)主體材料摻雜 2，3，7，8，12，13，17，18-八乙基-21H, 23H-卩卜啉鉬(PtOEP)紅色客體慘雜劑或Bis (1-phenylisoquinoline)(acetylacetonate)-Iridium(III)和三(2_苯基批卩定)合銥(Ir(ppy)3)綠色客體摻雜劑，見圖IOd ；(504)蒸發(fā)共同的空穴阻擋層1026，濺射共同的透明電極1001，見圖IOe ；(505)將襯底1060和襯底1050對應(yīng)粘接在一起，見圖IOf。 以上針對本發(fā)明的優(yōu)選實施方式進行了描述，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該理解，在不脫離本發(fā)明的精神和權(quán)利要求書的范圍基礎(chǔ)上可以進行各種變化和修改。
權(quán)利要求
1.一種有機電致發(fā)光器件，其特征在于，實現(xiàn)全彩色的紅色像素區(qū)域、綠色像素區(qū)域和藍色像素區(qū)域?qū)?yīng)的各自分立電極、共同電極和夾在兩層電極之間的有機功能層，其中紅色像素區(qū)域和綠色像素區(qū)域具有共同的有機功能層結(jié)構(gòu)，而且紅色像素區(qū)域?qū)?yīng)紅色濾光膜，綠色像素區(qū)域?qū)?yīng)綠色濾光膜；藍色像素區(qū)域的有機功能層結(jié)構(gòu)與紅色像素區(qū)域和綠色像素區(qū)域的有機功能層結(jié)構(gòu)不同。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的有機電致發(fā)光器件，其特征在于，實現(xiàn)全彩色的紅色像素區(qū)域、綠色像素區(qū)域、藍色像素區(qū)域和白色像素區(qū)域?qū)?yīng)的各自分立電極、共同電極和夾在兩層電極之間的有機功能層，其中紅色像素區(qū)域、綠色像素區(qū)域和白色像素區(qū)域具有共同的有機功能層結(jié)構(gòu)，而且紅色像素區(qū)域?qū)?yīng)紅色濾光膜，綠色像素區(qū)域?qū)?yīng)綠色濾光膜，白色像素區(qū)域不存在濾光膜；藍色像素區(qū)域的有機功能層結(jié)構(gòu)與紅色像素區(qū)域、綠色像素區(qū)域和白色像素區(qū)域的有機功能層結(jié)構(gòu)不同。
3.根據(jù)權(quán)利要求1-2所述的有機電致發(fā)光器件，其特征在于，實現(xiàn)全彩色的紅色像素區(qū)域、綠色像素區(qū)域和藍色像素區(qū)域?qū)?yīng)的各自分立電極、共同電極和夾在兩層電極之間的空穴傳輸層和發(fā)光層，其中紅色像素區(qū)域、綠色像素區(qū)域和藍色像素區(qū)域具有共同的空穴傳輸層；紅色像素區(qū)域和綠色像素區(qū)域具有共同的發(fā)光層，而且紅色像素區(qū)域?qū)?yīng)紅色濾光膜，綠色像素區(qū)域?qū)?yīng)綠色濾光膜；藍色像素區(qū)域不存在發(fā)光層，而且藍色像素區(qū)域不存在濾光膜。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-2所述的有機電致發(fā)光器件，其特征在于，實現(xiàn)全彩色的紅色像素區(qū)域、綠色像素區(qū)域和藍色像素區(qū)域?qū)?yīng)的各自分立電極、共同電極和夾在兩層電極之間的空穴傳輸層、發(fā)光層和空穴阻擋層，其中紅色像素區(qū)域、綠色像素區(qū)域和藍色像素區(qū)域具有共同的空穴阻擋層。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-3所述的有機電致發(fā)光器件，其特征在于，實現(xiàn)全彩色的紅色像素區(qū)域、綠色像素區(qū)域、藍色像素區(qū)域和白色像素區(qū)域?qū)?yīng)的各自分立電極、共同電極和夾在兩層電極之間的空穴傳輸層和發(fā)光層，其中紅色像素區(qū)域、綠色像素區(qū)域、藍色像素區(qū)域和白色像素區(qū)域具有共同的空穴傳輸層；紅色像素區(qū)域、綠色像素區(qū)域和白色像素區(qū)域具有共同的發(fā)光層，而且紅色像素區(qū)域?qū)?yīng)紅色濾光膜，綠色像素區(qū)域?qū)?yīng)綠色濾光膜，白色像素區(qū)域不存在濾光膜；藍色像素區(qū)域不存在發(fā)光層，而且藍色像素區(qū)域不存在濾光膜。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-4所述的有機電致發(fā)光器件，其特征在于，實現(xiàn)全彩色的紅色像素區(qū)域、綠色像素區(qū)域和藍色像素區(qū)域?qū)?yīng)的各自分立電極、共同電極和夾在兩層電極之間的空穴傳輸層、發(fā)光層和空穴阻擋層，其中紅色像素區(qū)域、綠色像素區(qū)域和藍色像素區(qū)域具有共同的空穴阻擋層。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-5所述的有機電致發(fā)光器件及制作方法，其特征在于，采用有源主動器件驅(qū)動，驅(qū)動單元器件有源材料包括硅、金屬氧化物、已知的有機半導(dǎo)體材料，金屬元素包括錫、鋅、硼、鋁、鎵、銦、鐿、鎵、稀土等元素，以上金屬的一種或多種氧化物的整摩爾比或不整摩爾比的組合等。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-6所述的有機電致發(fā)光器件，其特征在于，制作過程包括 (1)在襯底上分別制作紅色和綠色濾光膜，制作成圖形，再制作透明電極； (2)在透明電極襯底上沉積共同的空穴傳輸層；(3)在紅色和綠色像素區(qū)域利用掩膜板(ShadowMask)制作有共同的發(fā)光層，如黃光發(fā)光層；再制作共同空穴阻擋層； (4)制作金屬電極； (5)在另一個襯底上制作有源驅(qū)動矩陣，如金屬氧化物有源驅(qū)動矩陣； (6)每個有源矩陣的像素電極上制作連接作用的金屬電極，和上面步驟制作的有機發(fā)光器件的像素相對應(yīng)； (7)將兩個襯底像素相對應(yīng)地利用具有連接作用的金屬電極通過壓接(WaferBonding)連在一起，起到每個有源主動驅(qū)動器件驅(qū)動每個有機發(fā)光單元器件的作用。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-6所述的有機電致發(fā)光器件，其特征在于，制作過程包括 (1)在襯底上制作硅或金屬氧化物有源主動驅(qū)動矩陣； (2)在有源主動驅(qū)動矩陣上沉積空穴傳輸層； (3)在紅色和綠色發(fā)光器件區(qū)域利用掩膜板(ShadowMask)制作共同的發(fā)光層如黃光發(fā)光層；制作共同空穴阻擋層和電子傳輸層； (4)制作透明電極； (5)在另一個襯底上制作紅色和綠色濾光膜，并制作成圖形； (6)兩個襯底根據(jù)單元像素對應(yīng)粘接在一起。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種實現(xiàn)全彩色的有機電致發(fā)光器件，其中實現(xiàn)全彩色的紅、綠、藍像素區(qū)域發(fā)光器件具有共同的空穴傳輸層，紅色和綠色像素區(qū)域器件具有共同的發(fā)光層，之后這個共同發(fā)光層的光再通過紅色和綠色濾光膜分別形成紅色光和綠色光，藍色像素區(qū)域的藍色發(fā)光器件利用共同的空穴傳輸層發(fā)出藍色光，藍色發(fā)光器件不需要藍色濾光膜。在這個有源矩陣驅(qū)動有機電致發(fā)光器件的制作過程中，紅色和綠色像素區(qū)域器件由于采用共同發(fā)光層，可以降低對掩膜板(Shadow Mask)精度的要求；同時雖然紅色光和綠色光通過濾光膜實現(xiàn)，導(dǎo)致紅色光和綠色光效率有所降低，但是由于共同發(fā)光層中的紅色和綠色有機發(fā)光材料的效率比藍色有機發(fā)光材料效率高，可以更好的實現(xiàn)三種顏色光的效率的平衡。
文檔編號H01L51/52GK102800813SQ20121023165
公開日2012年11月28日 申請日期2012年7月5日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月5日
發(fā)明者孫潤光, 劉宏宇 申請人:孫潤光, 劉宏宇