技術(shù)特征：
1.一種無金屬線切口問題的金屬濕法蝕刻方法，其特征在于，該方法包含以下步驟：步驟1、在晶圓上依次濺鍍鈦金屬層、氮化鈦層和鋁金屬層，再在鋁金屬層的表面上濺鍍一層氮化鈦薄膜；步驟2、采用光刻，在鋁金屬層上的整個氮化鈦薄膜的表面上涂覆光刻膠，再根據(jù)光刻掩膜版的設(shè)計進行顯影，在晶圓上需要制成金屬線的區(qū)域內(nèi)保留光刻膠；步驟3、對氮化鈦薄膜表面上涂覆的光刻膠進行紫外線硬化工藝處理；步驟4、在未涂覆有光刻膠的區(qū)域內(nèi)采用濕法蝕刻去除鋁金屬層和鋁金屬層表面上氮化鈦薄膜，從而在涂覆有光刻膠的區(qū)域內(nèi)制成鍍有氮化鈦薄膜的金屬線；步驟5、將鍍有氮化鈦薄膜的金屬線上所涂覆的光刻膠去除；步驟6、清洗晶圓表面以及其上制成的鍍有氮化鈦薄膜的金屬線；步驟7、將未制成金屬線區(qū)域內(nèi)的鈦金屬層、氮化鈦層，以及金屬線上鍍有的氮化鈦薄膜采用濕法蝕刻去除，完成金屬線的制成；步驟8、對晶圓進行蝕刻后灰化處理；步驟9、對晶圓進行蝕刻后檢查。2.如權(quán)利要求1所述的一種無金屬線切口問題的金屬濕法蝕刻方法，其特征在于，所述的步驟5中，采用金屬濕法蝕刻后的灰化處理去除光刻膠。3.如權(quán)利要求1所述的一種無金屬線切口問題的金屬濕法蝕刻方法，其特征在于，所述的步驟6中，在晶圓表面以及其晶圓表面制成的鍍有氮化鈦薄膜的金屬線上采用涂覆清洗溶劑及超聲波進行清洗。4.如權(quán)利要求1所述的一種無金屬線切口問題的金屬濕法蝕刻方法，其特征在于，所述的步驟8中，對制成金屬線的晶圓進行55秒的后道制程的灰化處理。5.如權(quán)利要求1所述的一種無金屬線切口問題的金屬濕法蝕刻方法，其特征在于，所述的步驟9中，晶圓的蝕刻后檢查采用全檢或抽樣檢查。