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外延結(jié)構(gòu)體的制作方法與工藝

文檔序號(hào):12041816閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種外延結(jié)構(gòu)體,其中,所述外延結(jié)構(gòu)體包括依次層疊設(shè)置的一基底,一石墨烯層及一外延層,所述基底與所述外延層接觸的表面具有多個(gè)凹陷,形成一圖案化的表面,所述石墨烯層設(shè)置于所述圖案化的表面,所述外延層與所述基底接觸的表面與所述圖案化的表面耦合。

技術(shù)研發(fā)人員:魏洋;范守善
受保護(hù)的技術(shù)使用者:清華大學(xué);鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司
文檔號(hào)碼:201210122568
技術(shù)研發(fā)日:2012.04.25
技術(shù)公布日:2016.12.14

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