技術總結
本發(fā)明提供一種金屬微腔光耦合太赫茲量子阱光子探測器，包括：半導體襯底、金屬反射層、多量子阱結構、以及金屬光柵。所述金屬光柵、多量子阱結構與金屬反射層組成法布里?珀羅結構的金屬共振微腔，調整所述金屬光柵的周期、金屬條的寬度以及多量子阱結構的厚度，使入射光子在腔體內形成符合法布里?珀羅結構的共振模，可以在金屬共振微腔中形成強場區(qū)，提高了入射光的有效強度，進而提高器件的響應率、探測靈敏度和工作溫度。本發(fā)明結構簡單，效果顯著，實用性強，適用于工業(yè)生產。

技術研發(fā)人員：郭旭光;曹俊誠;張戎;張真真;譚智勇
受保護的技術使用者：中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所
文檔號碼：201210092230
技術研發(fā)日：2012.03.31
技術公布日：2016.12.14