專利名稱：搬運(yùn)機(jī)器人、其基板搬運(yùn)方法、以及基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及搬運(yùn)基板的搬運(yùn)機(jī)器人、以及其基板搬運(yùn)方法。又，本發(fā)明涉及將在兩個(gè)搬運(yùn)機(jī)器人之間被傳遞的基板進(jìn)行中轉(zhuǎn)的基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)
>J-U ρ α裝直。
背景技術(shù)：
對(duì)基板實(shí)施加工處理的基板處理系統(tǒng)是已知的。基板處理系統(tǒng)具備移送機(jī)器人、搬運(yùn)機(jī)器人和基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置。移送機(jī)器人形成為在FOUP (front opening unifiedpod ;前開式晶圓傳送盒)和基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置之間移送基板的結(jié)構(gòu)，并且搬運(yùn)機(jī)器人形成為在進(jìn)行加工處理的腔室和基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置之間搬運(yùn)基板的結(jié)構(gòu)。而且，基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置可載置移送及搬運(yùn)過來的基板地構(gòu)成，并且輔助在移送機(jī)器人和搬運(yùn)機(jī)器人之間的基板的傳遞。作為這樣的基板處理系統(tǒng)的搬運(yùn)機(jī)器人的一個(gè)示例，具有例如像專利文獻(xiàn)I記載的那樣的基板搬運(yùn)用機(jī)器人。該基板搬運(yùn)用機(jī)器人具有兩個(gè)手部，并且在這兩個(gè)手部上可以分別放置一個(gè)基板并保持?；灏徇\(yùn)用機(jī)器人用一方的手部接收例如位于基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置上的一個(gè)基板，而使另一方的手部處于空閑狀態(tài)。之后，基板搬運(yùn)用機(jī)器人使另一方的手部移動(dòng)至腔室并接收位于腔室內(nèi)的處理后的基板，接著將一方的手部上保持的基板放置到該腔室內(nèi)。而且，使兩個(gè)手部再次返回至基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置，并且使另一方的手部上保持的基板返回至傳遞裝置，并且用一方的手部接收基板。又，作為基板處理 系統(tǒng)的搬運(yùn)機(jī)器人的又一示例，具有例如像專利文獻(xiàn)2記載的那樣的基板處理裝置。該基板處理裝置具備加載鎖定腔室(load lock chamber)部。加載鎖定腔室部具有相當(dāng)于基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置的緩沖單元，通過該緩沖單元的板載置從FOUP搬運(yùn)過來的基板。又，板在上下方向上可升降，并且通過使板上升，轉(zhuǎn)送室部所具備的轉(zhuǎn)送模塊能夠接收載置于板上的基板?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn):
專利文獻(xiàn)1:日本特開2003-179119號(hào)公報(bào)；
專利文獻(xiàn)2:日本特開2010-206139號(hào)公報(bào)。

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題:
在基板處理系統(tǒng)中，要求縮短基板制造工序中所花費(fèi)的制造時(shí)間。然而，縮短處理基板的處理時(shí)間是困難的，因此要求通過縮短基板的搬運(yùn)時(shí)間而縮短制造時(shí)間。作為專利文獻(xiàn)I記載的基板搬運(yùn)用機(jī)器人中縮短搬運(yùn)時(shí)間的方法，想到了通過提高兩個(gè)手部的移動(dòng)速度而縮短時(shí)間的方法。但是，從位置精度和控制精度等的觀點(diǎn)考慮時(shí)移動(dòng)速度也有上限值，并且通過提高移動(dòng)速度能夠縮短的搬運(yùn)時(shí)間也有限度。然而，在基板處理系統(tǒng)中，要求進(jìn)一步縮短搬運(yùn)時(shí)間。
又，作為專利文獻(xiàn)2記載的基板處理裝置中縮短搬運(yùn)時(shí)間的方法，想到了通過提高移送機(jī)器人及搬運(yùn)機(jī)器人的移動(dòng)速度縮短時(shí)間的方法。然而，從位置精度和控制精度等的觀點(diǎn)考慮時(shí)移動(dòng)速度也有上限值，并且通過提高移動(dòng)速度能夠縮短的搬運(yùn)時(shí)間也有限度。因此，本發(fā)明的目的是提供即使不提高移動(dòng)速度也可以縮短搬運(yùn)時(shí)間的搬運(yùn)裝置、使用該裝置的搬運(yùn)方法、以及基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置。解決問題的手段:
本發(fā)明的搬運(yùn)機(jī)器人具備:具有用于分別保持基板的多個(gè)保持部的第一手部；具有用于分別保持基板的多個(gè)保持部的第二手部；和使所述第一手部及所述第二手部分別移動(dòng)至放置有所述基板的待機(jī)位置及彼此不同的多個(gè)搬運(yùn)位置的移動(dòng)裝置。根據(jù)本發(fā)明，在待機(jī)位置上，例如通過第一手部的多個(gè)保持部可以一次接收多個(gè)基板，并且通過第二手部的多個(gè)保持部可以一次轉(zhuǎn)移多個(gè)基板。因此，例如可以連續(xù)地轉(zhuǎn)移保持在第一手部上的基板，或者可以通過第二手部連續(xù)地接收基板，而在多個(gè)位置上傳遞結(jié)束后再次回到待機(jī)位置上即可。借助于此，在整個(gè)搬運(yùn)過程中的第一手部及第二手部的移動(dòng)距離可以變短，可以縮短直至對(duì)整個(gè)搬運(yùn)位置搬運(yùn)基板的搬運(yùn)時(shí)間。在上述發(fā)明中，優(yōu)選的是所述移動(dòng)裝置形成為在所述第一手部的多個(gè)保持部上保持并接收置于所述待機(jī)位置上的多個(gè)基板，之后，將保持在所述保持部上的所述多個(gè)基板對(duì)各搬運(yùn)位置依次轉(zhuǎn)移，同時(shí)通 過所述第二手部的保持部接收置于所述各搬運(yùn)位置上的基板的結(jié)構(gòu)。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，可以對(duì)其他的多個(gè)搬運(yùn)位置連續(xù)地執(zhí)行基板的接收作業(yè)。因此，無需每當(dāng)進(jìn)行向各搬運(yùn)位置的搬運(yùn)作業(yè)時(shí)返回到待機(jī)位置并在第一手部上保持基板，或者每當(dāng)此時(shí)將在第二手部上保持的基板放到待機(jī)位置，而能夠?qū)Ω靼徇\(yùn)位置連續(xù)地進(jìn)行接收作業(yè)。因此，可以縮短第一手部及第二手部的移動(dòng)距離，可以縮短直至對(duì)所有搬運(yùn)位置搬運(yùn)基板的搬運(yùn)時(shí)間。在上述發(fā)明中，優(yōu)選的是所述待機(jī)位置是能夠使所述多個(gè)基板處于待機(jī)狀態(tài)，并且用于在與FOUP之間通過移送機(jī)器人傳遞所述基板的位置，所述移動(dòng)裝置使所述第一手部及所述第二手部運(yùn)動(dòng)而將由所述第二手部的多個(gè)保持部保持的所述多個(gè)基板放置于所述待機(jī)位置上。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，可以通過移送機(jī)器人事先將多個(gè)基板從FOUP移送至待機(jī)位置而在待機(jī)位置上處于待機(jī)狀態(tài)。借助于此，通過第一手部可以一次保持多個(gè)基板，可以縮短搬運(yùn)時(shí)間。又，相反地，可以將保持在第一手部上的多個(gè)基板放下至待機(jī)位置并通過移送機(jī)器人返回至F0UP。因此，不需一個(gè)一個(gè)卸載基板，可以縮短搬運(yùn)時(shí)間。在本發(fā)明中，如上所述，可以在相同的待機(jī)位置上進(jìn)行第一手部的傳遞作業(yè)和第二手部的接收作業(yè)，因此可以縮短第一手部及第二手部的移動(dòng)距離，可以縮短搬運(yùn)時(shí)間。在上述發(fā)明中，優(yōu)選的是所述移動(dòng)裝置形成為在一個(gè)搬運(yùn)過程中，向預(yù)先規(guī)定的N個(gè)所述搬運(yùn)位置分別轉(zhuǎn)移所述基板的結(jié)構(gòu)；所述第一手部具有所述N以上的所述保持部；所述第二手部具有所述N以上的所述保持部。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，可以連續(xù)地進(jìn)行在一個(gè)搬運(yùn)過程中應(yīng)轉(zhuǎn)移基板的N個(gè)搬運(yùn)位置上的接收作業(yè)，可以更加縮短搬運(yùn)時(shí)間。
在上述發(fā)明中，優(yōu)選的是所述移動(dòng)裝置形成為一起轉(zhuǎn)動(dòng)所述第一手部及第二手部的結(jié)構(gòu)，相對(duì)于所述待機(jī)位置所述轉(zhuǎn)動(dòng)方向的一方側(cè)和另一方側(cè)上分別具有N個(gè)搬運(yùn)位置，所述移動(dòng)裝置形成為以下結(jié)構(gòu)，在第一搬運(yùn)工序中，從所述待機(jī)位置接收N個(gè)基板后向所述一方側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)所述第一手部及第二手部并將所述基板依次分別轉(zhuǎn)移至位于所述一方側(cè)上的所述N個(gè)搬運(yùn)位置上，并且在第二搬運(yùn)工序中，從所述待機(jī)位置接收N個(gè)基板后向所述另一方側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)所述第一手部及第二手部并將所述基板依次分別轉(zhuǎn)移至位于所述另一方側(cè)上的所述N個(gè)搬運(yùn)位置上。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，可以抑制保持部的數(shù)量的同時(shí)抑制第一手部及第二手部的移動(dòng)距離。借助于此，可以抑制部件數(shù)量的增加的同時(shí)可以實(shí)現(xiàn)搬運(yùn)時(shí)間的縮短。在上述發(fā)明中，優(yōu)選的是所述搬運(yùn)位置的數(shù)量N為2。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)部件數(shù)量的增加的抑制和搬運(yùn)時(shí)間縮短。在上述發(fā)明中，優(yōu)選的是所述移動(dòng)裝置形成為使所述第一手部及第二手部運(yùn)動(dòng)以通過所述第一手部的所述多個(gè)保持部一次保持并接收置于所述待機(jī)位置上的多個(gè)基板，同時(shí)由所述第二手部的所述多個(gè)保持部分別保持的多個(gè)基板一次放置在所述待機(jī)位置上而進(jìn)行轉(zhuǎn)移的結(jié)構(gòu)。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，在待機(jī)位置上可以通過第一手部一次保持多個(gè)基板，且通過第二手部可以一次放置多個(gè)基板。因此可以縮短保持的時(shí)間及放置的時(shí)間。在上述發(fā)明中，優(yōu)選的是所述移動(dòng)裝置具備使所述第一手部及所述第二手部在各自的延伸方向上獨(dú)立地進(jìn)退的進(jìn)退單元、和使所述第一手部及所述第二手部一起升降的升降單元；并形成為以下結(jié)構(gòu)，通過所述進(jìn)退單元使所述第一手部的所述多個(gè)保持部分別向放置于所述待機(jī)位置上的多個(gè)基板的下方行進(jìn)后，通過所述升降單元使所述第一手部及所述第二手部上升，以此由所述第一手部的所述多個(gè)保持部一次保持放置在所述待機(jī)位置上的多個(gè)基板，之后，通過所述進(jìn)退單元使所述第一手部后退而從所述待機(jī)位置接收該多個(gè)基板；通過所述進(jìn)退單元使所述第二手部的所述多個(gè)保持構(gòu)件向所述待機(jī)搬運(yùn)位置的上方行進(jìn)后，通過所述升降單元使所述第`一手部及所述第二手部下降，以此將由所述保持構(gòu)件保持的多個(gè)基板一次放置在所述待機(jī)位置上，之后，通過所述進(jìn)退單元使所述第二手部后退而將該多個(gè)基板轉(zhuǎn)移至所述待機(jī)位置上。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，僅通過使第一手部進(jìn)退及升降，就可以在待機(jī)位置上保持多個(gè)基板，又僅通過使第二手部進(jìn)退及升降，就可以將多個(gè)基板放置在待機(jī)位置上。本發(fā)明的基板搬運(yùn)方法是具備:具有用于分別保持基板的多個(gè)保持部的第一手部；具有用于分別保持基板的多個(gè)保持部的第二手部；和使所述第一手部及所述第二手部分別移動(dòng)至放置有所述基板的待機(jī)位置及彼此不同的多個(gè)搬運(yùn)位置的移動(dòng)裝置的搬運(yùn)機(jī)器人的基板搬運(yùn)方法，該基板搬運(yùn)方法具有:所述移動(dòng)裝置使置于所述待機(jī)位置上的多個(gè)基板保持在所述第一手部的多個(gè)保持部上而接收的接收工序；和保持工序后，將保持在所述保持部上的所述多個(gè)基板對(duì)各搬運(yùn)位置依次轉(zhuǎn)移，同時(shí)通過所述第二手部的保持部搬運(yùn)置于所述各搬運(yùn)位置上的基板的搬運(yùn)工序。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，第一手部可以保持多個(gè)基板，因此在待機(jī)位置上可以通過第一手部保持多個(gè)基板。又，第二手部也可以保持多個(gè)基板，因此通過第一手部及第二手部對(duì)多個(gè)搬運(yùn)位置連續(xù)進(jìn)行基板的接收。因此，可以使多個(gè)基板集中地進(jìn)行第一手部上保持基板后卸載的作業(yè)、將基板放下至第二手部上后保持的作業(yè)等，可以縮短搬運(yùn)時(shí)間。在上述發(fā)明中，優(yōu)選的是所述待機(jī)位置是能夠使所述多個(gè)基板處于待機(jī)狀態(tài)，并且用于在與FOUP之間通過移送機(jī)器人傳遞所述基板的位置，所述移動(dòng)裝置具有使所述第一手部及所述第二手部運(yùn)動(dòng)而將由所述第二手部的多個(gè)保持部保持的所述多個(gè)基板放置于所述待機(jī)位置上的轉(zhuǎn)移工序。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，可以在待機(jī)位置上進(jìn)行第一手部的轉(zhuǎn)移作業(yè)和第二手部的接收作業(yè)，因此不需要在傳遞作業(yè)中使第一手部及第二手部運(yùn)動(dòng)。因此可以縮短第一手部及第二手部的移動(dòng)距離，可以縮短搬運(yùn)時(shí)間。又，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，通過移送機(jī)器人從FOUP取出的基板在待機(jī)位置上處于待機(jī)狀態(tài)，之后，通過第一手部連續(xù)地轉(zhuǎn)移至各搬運(yùn)位置。又，轉(zhuǎn)移之前，通過第一手部接收位于該搬運(yùn)位置上的基板并保持，在轉(zhuǎn)移至各搬運(yùn)位置后，被轉(zhuǎn)移至待機(jī)位置。而且，轉(zhuǎn)移至待機(jī)位置的基板通過移送機(jī)器人可以返回至F0UP。因此，可以省略待機(jī)位置和FOUP之間的傳遞時(shí)間，因此可以謀求搬運(yùn)時(shí)間的縮短。在上述發(fā)明中，優(yōu)選的是所述接收工序和所述轉(zhuǎn)移工序同時(shí)進(jìn)行。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)， 可以省略接收基板之前的等待時(shí)間及轉(zhuǎn)移之前的等待時(shí)間。因此可以更加縮短搬運(yùn)時(shí)間。在上述發(fā)明中，優(yōu)選的是在所述搬運(yùn)工序中，將所述基板依次轉(zhuǎn)移至相鄰的所述相鄰的搬運(yùn)位置。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，可以縮短第一手部及第二手部的移動(dòng)距離。借助于此，可以進(jìn)一步縮短搬運(yùn)時(shí)間。本發(fā)明的基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置是在具備用于保持基板的手部的兩個(gè)機(jī)器人之間傳遞所述基板時(shí)中轉(zhuǎn)所述基板的基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置，該基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置具備:具有用于支持所述基板的第一支持部，通過上升由所述第一支持部接收支持于所述手部上的基板并支持，通過下降將由所述第一支持部支持的基板轉(zhuǎn)移至所述手部上的第一支持體；在所述第一支持部的上方具有用于支持所述基板的第二支持部，通過上升由所述第二支持部接收支持于所述手部上的基板并支持，通過下降將由所述第二支持部支持的基板轉(zhuǎn)移至所述手部上的第二支持體；形成為使所述第一支持體升降的結(jié)構(gòu)的第一升降機(jī)構(gòu)；和形成為使所述第二支持體升降的結(jié)構(gòu)的第二升降機(jī)構(gòu)；所述第二升降機(jī)構(gòu)形成為在所述第一升降機(jī)構(gòu)使所述第一支持體向上方移動(dòng)時(shí)使所述第二支持體向下方移動(dòng)，而在所述第一升降機(jī)構(gòu)使所述第一支持體向下方移動(dòng)時(shí)使第二支持體向上方移動(dòng)的結(jié)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明，通過使第一支持體下降，將由第一支持體支持的基板轉(zhuǎn)移至手部，且通過使第二支持體上升，可以由第二支持部接收保持在手部上的基板并支持。相反地，通過使第一支持體上升，可以由第一支持部接收保持在手部上的基板并支持，且通過使第二支持體下降，可以將由第二支持部支持的基板轉(zhuǎn)移至手部。因此，可以同時(shí)進(jìn)行從基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置向手部的基板的轉(zhuǎn)移、和從手部向基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置的基板的接收。借助于此，可以縮短手部和基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置之間的傳遞時(shí)間，從而可以縮短搬運(yùn)時(shí)間。在上述發(fā)明中，優(yōu)選的是至少一方的所述機(jī)器人至少具有第一手部及第二手部的兩個(gè)手部；所述第一手部及第二手部在上下方向上以規(guī)定間隔并列設(shè)置，并且各自具有分別保持所述基板的N (N為2以上的整數(shù))個(gè)保持部；所述第一支持體具有在上下方向上以規(guī)定間隔并列設(shè)置，并且用于在上下方向上排列地分別支持所述基板的N個(gè)第一支持部；所述第二支持體具有在上下方向上以規(guī)定間隔并列設(shè)置，并且能在上下方向上排列地分別支持所述基板的N個(gè)第二支持部；N個(gè)所述第一支持部形成為與所述第一手部的N個(gè)保持部相對(duì)應(yīng)地設(shè)置，并且通過所述第一支持體升降而在與所述相對(duì)應(yīng)的保持部之間傳遞所述基板的結(jié)構(gòu)#個(gè)所述第二支持部形成為與所述第二手部的N個(gè)保持部相對(duì)應(yīng)地設(shè)置，并且通過所述第二支持體升降而在與所述相對(duì)應(yīng)的保持部之間傳遞所述基板的結(jié)構(gòu)。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，可以將多個(gè)基板同時(shí)從中轉(zhuǎn)裝置轉(zhuǎn)移至手部，且中轉(zhuǎn)裝置從手部同時(shí)接收多個(gè)基板。因此，通過一個(gè)作業(yè)可以傳遞多個(gè)基板。借助于此，可以縮短搬運(yùn)時(shí)間。在上述發(fā)明中，優(yōu)選的是所述第一支持部及第二支持部是在水平的規(guī)定方向上夾入空間配置，并且是分別形成于所述第一支持體及第二支持體上的一對(duì)爪狀的部分，以支持所述基板的外緣部。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，由于在一對(duì)爪狀的部分之間存在空間，因此在一對(duì)爪狀的部分上支持基板的狀態(tài)下，使手部的保持部位于其下方并使第一支持體下降，以此可以將基板從一對(duì)爪狀的部分轉(zhuǎn)移至手部，相反地，通過使手部的保持部位于一對(duì)爪狀的部分及上方并使第一支持體上升，以此可以由一對(duì)爪狀的部分從手部接收基板。對(duì)于第二支持體也是同樣的，從而在機(jī)器人和基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置之間的基板的傳遞變得容易。在上述發(fā)明中，優(yōu)選的是所述第一升降機(jī)構(gòu)是使所述第一支持體升降的升降氣缸機(jī)構(gòu)，所述第二升降機(jī)構(gòu)是與所述第一支持體的升降相配合且其升降反方向地使第二支持體升降的齒輪齒條機(jī)構(gòu)。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，通過簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)可以實(shí)現(xiàn)，可以抑制部件數(shù)量。借助于此，可以抑制基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置的制造成本。發(fā)明效果:
根據(jù)本發(fā)明，即使不提高·移動(dòng)速度也可以縮短搬運(yùn)時(shí)間。本發(fā)明的上述目的、其他目的、特征及優(yōu)點(diǎn)是參照附圖的基礎(chǔ)上，從以下優(yōu)選的實(shí)施形態(tài)的詳細(xì)說明中變得清楚。


圖1是示出具備根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)的搬運(yùn)機(jī)器人的基板處理系統(tǒng)的俯視圖； 圖2是示出圖1所示的基板處理系統(tǒng)的電氣結(jié)構(gòu)的框 圖3是示出圖1所示的基板處理系統(tǒng)所具備的基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置的主視 圖4是從右側(cè)方觀察圖4所示的基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置的側(cè)視 圖5是示出使圖4所示的基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置的第一支持體及第二支持體分別上升及下降的狀態(tài)的主視 圖6是將圖1所示的搬運(yùn)機(jī)器人所具備的第一手部及第二手部放大示出的放大立體
圖7是示出通過搬運(yùn)機(jī)器人進(jìn)行的搬運(yùn)處理的步驟的流程 圖8是示出向基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置傳遞基板時(shí)的第一手部及第二手部及基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置的支持體的動(dòng)作的概略 圖9是放大示出實(shí)施搬運(yùn)處理時(shí)的搬運(yùn)機(jī)器人的動(dòng)作的放大俯視圖；圖10是示出在第二實(shí)施形態(tài)的基板處理系統(tǒng)中，向基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置傳遞基板時(shí)的第一手部及第二手部及基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置的支持體的動(dòng)作的概略圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照上述

具備根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)的搬運(yùn)機(jī)器人50的基板處理系統(tǒng)I。另外，實(shí)施形態(tài)中的上下、左右以及前后等的方向的概念是便于說明而使用的，關(guān)于搬運(yùn)機(jī)器人50及基板處理系統(tǒng)I，并不是用于啟示將這些結(jié)構(gòu)的配置及朝向等限定在該方向上。又，以下說明的搬運(yùn)機(jī)器人50及基板處理系統(tǒng)I只是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施形態(tài)，本發(fā)明并不限于實(shí)施形態(tài)，在不脫離發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)可以增加、刪除、變更?！椿逄幚硐到y(tǒng)〉
基板處理系統(tǒng)I是用于對(duì)半導(dǎo)體晶圓和玻璃基板等的基板，實(shí)施熱處理、雜質(zhì)導(dǎo)入處理、薄膜形成處理、光刻處理、清洗處理及平坦化處理等各種加工處理的裝置。基板處理系統(tǒng)I具備如圖1所示的前端模塊(簡(jiǎn)稱:EFEM ；equipment front end module) 2、處理模塊3和控制裝置4。[EFEM]
前端模塊2是用于將基板6移送至處理模塊3的裝置，并且具備外殼7及移動(dòng)機(jī)器人
8。外殼7在俯視下形成為大致矩形狀，在外殼7的一方的側(cè)面部(圖1的左側(cè)面部)上安裝有多個(gè)FOUP 9 (本實(shí)施形態(tài)中為四個(gè)FOUP 9)。FOUP 9形成為能夠?qū)⒍鄠€(gè)基板6堆積在上方并容納的結(jié)構(gòu)，并且其中的基板6通過微環(huán)境(min1-environment)保持清潔度。又，F(xiàn)OUP 9上形成有連接口 9a，與該連接口 9a相對(duì)應(yīng)地在外殼7上也形成有連接口 7a。借助于此，各FOUP 9內(nèi)和外殼7內(nèi)通過連接口 9a、7a相連接。又，在各連接口 7a、9a上設(shè)置有門，通過該門能夠開閉連接口 7a、9a。這樣構(gòu)成的外殼7內(nèi)容納移送機(jī)器人8。移送機(jī)器人8是用于將基板6移送至處理模塊3中的機(jī)器人，例如由水平三軸機(jī)器人構(gòu)成。移送機(jī)器人8具備基臺(tái)11、三個(gè)臂部12、13、14和手部15?；_(tái)11固定于外殼7上，在基臺(tái)11上設(shè)置有在上下方向上可升降或可伸縮的軸構(gòu)件(未圖示)。又，在軸構(gòu)件的上端部設(shè)置有第一臂部12。又，第一臂部12形成為其基端部安裝于軸構(gòu)件上，而相對(duì)于軸構(gòu)件可轉(zhuǎn)動(dòng)的結(jié)構(gòu)。又，在第一臂部12的梢端部上，可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝有第二臂部13的基端部，在第二臂部13的梢端部上可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝有第三臂部14。此外，在第三臂部14的梢端部上固定有手部15。手部15從固定于第三臂部14的基端部向梢端部寬度變寬地形成，并且從手部15的中間部至梢端部分叉為二股狀。此外，在手部15的上表面安裝有用于在其上放置基板6并進(jìn)行夾持的夾持機(jī)構(gòu)(未圖示)，并且能夠在手部15上放置并保持基板6。又，移送機(jī)器人8具備如圖2所示的升降單元16、及第一轉(zhuǎn)動(dòng)單元至第三轉(zhuǎn)動(dòng)單元17 19。升降單元16設(shè)置于基臺(tái)11上。升降單元16具有使軸構(gòu)件在上下方向上升降或者伸縮的功能，例如由氣缸機(jī)構(gòu)和泵構(gòu)成。另一方面，第一轉(zhuǎn)動(dòng)單元至第三轉(zhuǎn)動(dòng)單元17 19分別設(shè)置于基臺(tái) 11、第一臂部12及第二臂部13內(nèi)。第一轉(zhuǎn)動(dòng)單元至第三轉(zhuǎn)動(dòng)單元17 19形成為分別轉(zhuǎn)動(dòng)第一臂部12、第二臂部13及第三臂部14的結(jié)構(gòu)，例如由電動(dòng)機(jī)以及齒輪機(jī)構(gòu)和皮帶機(jī)構(gòu)等的傳遞機(jī)構(gòu)構(gòu)成。這四個(gè)單元16 19與控制裝置4連接,其動(dòng)作由控制裝置4控制。
具有這樣的結(jié)構(gòu)的移送機(jī)器人8通過升降單元16使軸構(gòu)件上下運(yùn)動(dòng)而使手部15升降，并且通過第一轉(zhuǎn)動(dòng)單元至第三轉(zhuǎn)動(dòng)單元17 19轉(zhuǎn)動(dòng)三個(gè)臂部12、13、14能夠使手部15移動(dòng)到任意的位置上。通過組合這些動(dòng)作，移送機(jī)器人8可以在手部15上保持位于FOUP 9內(nèi)的基板6，而且可以將基板6移送至處理模塊3。像這樣，被移送過來基板6的處理模塊3設(shè)置于前端模塊2的另一方側(cè)的側(cè)面部(圖1的右側(cè)面部)上。[處理模塊]
處理模塊3具備加載鎖定腔室21、機(jī)器人腔室22和處理腔室23。加載鎖定腔室21是形成加載鎖定室24的真空腔室，設(shè)置于前端模塊2內(nèi)。在前端模塊2和加載鎖定腔室21之間設(shè)置有第一閘門71，并且通過該第一閘門71，前端模塊2內(nèi)和加載鎖定室24相連接。加載鎖定室24形成為移送機(jī)器人8的手部15通過第一閘門71能夠行進(jìn)至其中間，并且在其中間設(shè)置有基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25。基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25是用于中轉(zhuǎn)基板6的裝置，并且形成為能夠放置多個(gè)基板6并支持的結(jié)構(gòu)。以下，說明基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25的具體結(jié)構(gòu)。基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25如圖3及圖4所示，具備底架26、升降驅(qū)動(dòng)單元27和兩個(gè)支持體28、29。底架26形成為大致長(zhǎng)方體狀，其中設(shè)置有升降驅(qū)動(dòng)單元27的結(jié)構(gòu)的至少一部分。升降驅(qū)動(dòng)單元27具有升降用氣缸機(jī)構(gòu)30、升降板31、第一升降機(jī)構(gòu)32、聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)33、第二升降機(jī)構(gòu)34和壓力供給源45。升降用氣缸機(jī)構(gòu)30具有氣缸30a和桿30b。氣缸30a固定于底架26上，桿30b可進(jìn)退地設(shè)置于 氣缸30a中。又，氣缸30a與設(shè)置于底架26外的泵等的壓力供給源45連接，并且通過接收來自于壓力供給源45的壓力供給，桿30b在上下方向上能夠伸縮。在該桿30b的梢端部上固定有升降板31。升降板31是在底架26的長(zhǎng)度方向(圖3的左右方向)上延伸的平板，并且與桿30b聯(lián)動(dòng)而能夠升降。在升降板31上安裝有升降引導(dǎo)機(jī)構(gòu)35。升降引導(dǎo)機(jī)構(gòu)35是固定于底架26的滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，并且具有向上下方向引導(dǎo)升降的升降板31的功能。又，在升降板31的長(zhǎng)度方向兩端部上分別設(shè)置有第一升降機(jī)構(gòu)32。即，在升降板31上設(shè)置有一對(duì)第一升降機(jī)構(gòu)32。另外，一對(duì)第一升降機(jī)構(gòu)32分別設(shè)置于彼此成為旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的位置上，以下僅說明配置于圖4的右側(cè)的第一升降機(jī)構(gòu)32的結(jié)構(gòu)，對(duì)于配置在左側(cè)的第一升降機(jī)構(gòu)32的結(jié)構(gòu)，標(biāo)以相同的符號(hào)并省略說明。第一升降機(jī)構(gòu)32具有第一升降可動(dòng)部36、和第一滑動(dòng)機(jī)構(gòu)37。第一升降可動(dòng)部36是從右側(cè)面觀察時(shí)形成為L(zhǎng)字狀的板狀構(gòu)件，并且豎立設(shè)置于升降板31上。豎立設(shè)置的第一升降可動(dòng)部36具有從升降板31向上方延伸的第一延伸部36a、和從其上側(cè)部分向前方屈曲的第一屈曲部36b,該第一屈曲部36b上設(shè)置有第一滑動(dòng)機(jī)構(gòu)37。第一滑動(dòng)機(jī)構(gòu)37具有導(dǎo)軌37a和滑動(dòng)部37b。導(dǎo)軌37a豎立設(shè)置于底架26的上部以在上下方向上延伸，在導(dǎo)軌37a上設(shè)置有滑動(dòng)部37b?；瑒?dòng)部37b形成為大致長(zhǎng)方體狀，并且沿著導(dǎo)軌37a在上下方向上能夠移動(dòng)。第一升降可動(dòng)部36固定于該滑動(dòng)部37b上，并且在上下方向上由第一滑動(dòng)機(jī)構(gòu)37引導(dǎo)。又,在第一升降可動(dòng)部36的第一延伸部36a上設(shè)置有圖3所示的第一支持體28。第一支持體28具有兩個(gè)第一支持部38、39。兩個(gè)第一支持部38、39在俯視下形成為大致圓弧狀，其兩端部上分別設(shè)置有爪部38a、39a。作為爪狀的構(gòu)件的爪部38a、39a設(shè)置于兩端部而成對(duì),并且第一支持部38、39形成為通過該一對(duì)爪部38a能夠支持基板6的外緣部的結(jié)構(gòu)。這兩個(gè)第一支持部39在俯視下相互重疊，且在上下方向上隔著間隔配置，并且其間隔為能夠插入手部15及下述的刀片55、56的程度。第一支持體28設(shè)置于左右兩側(cè)的第一升降可動(dòng)部36上并成對(duì)，并且該一對(duì)第一支持體28彼此相對(duì)，并且配置為左右遠(yuǎn)離。借助于此，兩個(gè)第一支持部38、39在其之間夾入空間配置并成對(duì)，通過一對(duì)第一支持部38、39分別支持基板6的外緣部的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的位置，并且通過第一支持體28可以同時(shí)支持兩個(gè)基板6。這樣構(gòu)成的一對(duì)第一支持體28固定于左右兩側(cè)的第一升降可動(dòng)部36上，而一對(duì)第一升降可動(dòng)部36能夠與升降板31 —起運(yùn)動(dòng)。因此，一對(duì)第一支持體28形成為通過使升降用氣缸機(jī)構(gòu)30工作而彼此聯(lián)動(dòng)地升降，并且在保持基板6的平行狀態(tài)下能夠升降的結(jié)構(gòu)。為了使第二升降機(jī)構(gòu)34與像這樣構(gòu)成的第一升降機(jī)構(gòu)32的升降動(dòng)作聯(lián)動(dòng)地工作，在第一升降可動(dòng)部36上設(shè)置有聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)33。聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)33由所謂的齒輪齒條機(jī)構(gòu)構(gòu)成，并且如圖4所示具有兩個(gè)齒條構(gòu)件33a、33b和小齒輪構(gòu)件33c。第一齒條構(gòu)件33a設(shè)置于第一升降可動(dòng)部36的背面?zhèn)?，并且與小齒輪構(gòu)件33c嚙合。小齒輪構(gòu)件33c可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于設(shè)置于底架26的安裝臺(tái)40上，并且通過第一齒條構(gòu)件33a升降，小齒輪構(gòu)件33c能夠轉(zhuǎn)動(dòng)。又，小齒輪構(gòu)件33c與第二齒條構(gòu)件33b嚙合。第二齒條構(gòu)件33b位于第一齒條構(gòu)件33a的相反側(cè)(即，后側(cè))上并且其間夾入小齒輪構(gòu)件33c，形成為小齒輪構(gòu)件33c轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)與第一齒條構(gòu)件33a反方向移動(dòng)的結(jié)構(gòu)。即，第二齒條構(gòu)件33b形成為當(dāng)?shù)谝积X條構(gòu)件33a下降時(shí)上升，并且當(dāng)?shù)谝积X條構(gòu)件33a上升時(shí)下降的結(jié)構(gòu)。這樣構(gòu)成的第二齒條構(gòu)件33b與第二升降機(jī)構(gòu)34 —體地設(shè)置。第二升降機(jī)構(gòu)34具有第二升降可動(dòng)部41和第二滑動(dòng)機(jī)構(gòu)42。第二升降可動(dòng)部41是從右側(cè)面觀察時(shí)形成為L(zhǎng)字狀的板狀構(gòu)件，并且具有在上下方向上延伸的第二延伸部41a、和從其上側(cè)部分向前方屈曲的第二屈曲部41b。第二延伸部41a與第一升降可動(dòng)部36的延伸部36a并列設(shè)置，并且在朝向該延伸部36a的一側(cè)的前面部的下端側(cè)上一體地設(shè)置有第二齒條構(gòu)件33b。第二屈曲部41b上，在與延伸部36a連接的基部的部分上設(shè)置有第二滑動(dòng)機(jī)構(gòu)42。第二滑動(dòng)機(jī)構(gòu)42與第一滑動(dòng)機(jī)構(gòu)37相同地，具有導(dǎo)軌42a和滑動(dòng)部42b。導(dǎo)軌42a豎立設(shè)置于底架26的上部以在上下方向上延伸，在該導(dǎo)軌42a上設(shè)置有沿著該導(dǎo)軌42a可移動(dòng)的滑動(dòng)部42b。該滑動(dòng)部42b固定于第二屈曲部41b的基部的部分上。又，第二屈曲部41b的梢端部延伸至第一滑動(dòng)機(jī)構(gòu)37的導(dǎo)軌37a，并且固定有滑動(dòng)部37c。該滑動(dòng)部37c沿著第一滑動(dòng)機(jī)構(gòu)37的導(dǎo)軌37a可升降地設(shè)置。像這樣，第二升降可動(dòng)部41由第一滑動(dòng)機(jī)構(gòu)37及第二滑動(dòng)機(jī)構(gòu)42可升降地引導(dǎo)，并且在其第二屈曲部41b的中間部分上設(shè)置有第二支持體29。第二支持體29具有兩個(gè)第二支持部43、44。第二支持部43、44在俯視下形成為大致圓弧狀，并且在其兩端部上分別設(shè)置有爪部43a、44a。作為爪狀的構(gòu)件的爪部43a、44a設(shè)置于兩端部并成對(duì)，第二支持部43、44形成為通過該一對(duì)爪部43a、44a能夠支持基板6的外緣部的結(jié)構(gòu)。這些第二支持部43、44在俯視下彼此重疊且在上下方向上隔著間隔配置，其間隔為能夠插入手部15及下述的刀片55、56的程度。第二支持體 29設(shè)置于左右兩側(cè)的第二升降可動(dòng)部41上并成對(duì)，并且該一對(duì)第一支持體29彼此相對(duì)，并且配置為左右遠(yuǎn)離。借助于此，兩個(gè)支持部43、44在其之間夾入空間配置并成對(duì)，通過一對(duì)第二支持部43、44分別支持基板6的外緣部的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的位置，并且通過第二支持體29可以同時(shí)支持兩個(gè)基板6。這樣構(gòu)成的一對(duì)第二支持體29固定于左右兩側(cè)的第二升降可動(dòng)部41上，第二升降可動(dòng)部41與第一升降可動(dòng)部36聯(lián)動(dòng)地工作。因此，一對(duì)第二支持體29，與一對(duì)第一升降可動(dòng)部36聯(lián)動(dòng)的情況相同地彼此聯(lián)動(dòng)地升降，并且保持基板6平行的狀態(tài)下能夠升降。又，第二升降可動(dòng)部41在與第一升降可動(dòng)部36運(yùn)動(dòng)的方向的反方向上運(yùn)動(dòng)，因此一對(duì)第二支持體29也能夠在與一對(duì)第一支持體28運(yùn)動(dòng)的方向的反方向上運(yùn)動(dòng)。例如,如圖5所不，當(dāng)使一對(duì)第一支持體28向下方移動(dòng)時(shí),可以使一對(duì)第二支持體29向上方移動(dòng)。因此,一對(duì)第一支持體28和一對(duì)第二支持體29形成為使其上下方向的間隔在上下方向上最接近的基準(zhǔn)間隔和與其相比在上下方向上遠(yuǎn)離的分開間隔之間能夠改變的結(jié)構(gòu)。像這樣構(gòu)成的基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25通過驅(qū)動(dòng)壓力供給源45使氣壓供給至升降用氣缸機(jī)構(gòu)30，以此使第一支持體28及第二支持體29各自向反方向上升及下降。包含該壓力供給源45的升降驅(qū)動(dòng)單元27與控制裝置4連接，其動(dòng)作(具體的是壓力供給源45的供給動(dòng)作)由控制裝置4控制。此外，基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25如圖2、圖3及圖5所示具有四個(gè)激光傳感器46 49。四個(gè)激光傳感器46 49分別與第一支持部38、39及第二支持部43、44對(duì)應(yīng)地設(shè)置。第一激光傳感器至第四激光傳感器46 49分別設(shè)置于對(duì)應(yīng)的支持部38、39、43、44的中間部分。激光傳感器46 49是所謂的透過型激光傳感器或反射型激光傳感器，并且具有檢測(cè)基板6是否載置于各支持部38、39上的功能。激光傳感器46 49與控制裝置4連接，而將檢測(cè)結(jié)果發(fā)送至控制裝置4。這樣構(gòu)成的基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25如圖1所示從第一閘門71進(jìn)入并位于加載鎖定腔室21的中間。從該中間進(jìn)一步向前行進(jìn)時(shí)，設(shè)置有可開閉的第二閘門72，并且在該第二閘門72的前面設(shè)置有機(jī)器人腔室22。機(jī)器人腔室22是抽真空的真空腔室，其中容納搬運(yùn)機(jī)器人50。 搬運(yùn)機(jī)器人50具備基臺(tái)51、和兩個(gè)手部52、53?；_(tái)51可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于機(jī)器人腔室22內(nèi)，其上設(shè)置有兩個(gè)手部52、53。第一手部52及第二手部53具有相同的結(jié)構(gòu)。以下只對(duì)第一手部52的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明，而關(guān)于第二手部53的結(jié)構(gòu)，標(biāo)以相同的符號(hào)并省略說明。第一手部52具有手部主體54、和兩個(gè)刀片55、56。手部主體54在俯視下形成為大致平板形狀，并且相對(duì)于基臺(tái)51可進(jìn)退地構(gòu)成。手部主體54形成為通過進(jìn)退能夠在至少一部分從基臺(tái)51突出的傳遞位置和俯視下與基臺(tái)51重疊地被縮回的轉(zhuǎn)動(dòng)位置之間移動(dòng)的結(jié)構(gòu)。進(jìn)一步詳細(xì)地說，手部主體54形成為例如其基端部通過未圖示的滑塊機(jī)構(gòu)安裝于基臺(tái)51上，并且通過該滑塊機(jī)構(gòu)能夠進(jìn)退的結(jié)構(gòu)。又，在手部主體54的梢端部上一體地安裝有兩個(gè)刀片55、56。兩個(gè)刀片55、56如圖6所不在與手部主體54的行進(jìn)方向相同的方向延伸，從其中間部分至梢端部分叉為二股狀而在俯視下具有大致U字形狀。另外，圖6是為了便于說明，從第一手部52及第二手部53的手部主體54中僅示出前部分。兩個(gè)刀片55、56在上下方向上隔著間隔且彼此在俯視下重疊地安裝于手部主體54上。又，兩個(gè)刀片55、56在上下方向上隔著其之間至少能夠插入基板6的程度的間隔并配置。另外，優(yōu)選的是刀片55、56的間隔與兩個(gè)第一支持部38、39的間隔以及兩個(gè)第二支持部43、44的間隔相等。又，兩個(gè)刀片55、56形成為能夠在其上分別載置基板6的結(jié)構(gòu)，并且在其上表面上安裝有夾持載置的基板6并保持的未圖不的保持機(jī)構(gòu)。這樣構(gòu)成的第一手部52可以在兩個(gè)刀片55、56上同時(shí)載置基板6，并且可以同時(shí)保持兩個(gè)基板6。另一方面，第二手部53與第一手部52在俯視下重疊并位于其下方，并且在與第一手部52之間至少具有能夠在第二手部53的上側(cè)的刀片55上插入基板6的程度的間隔并安裝于基臺(tái)51上。像這樣安裝的第二手部53形成為能夠與第一手部52相同方向且彼此獨(dú)立地進(jìn)退的結(jié)構(gòu)。又，搬運(yùn)機(jī)器人50中如圖2所示具備轉(zhuǎn)動(dòng)單元57、第一進(jìn)退單元58、第二進(jìn)退單元59及升降單元60，并且形成為通過這些單元57 60使第一手部52及第二手部53轉(zhuǎn)動(dòng)、進(jìn)退及升降的結(jié)構(gòu)。以下，說明各單元的動(dòng)作。轉(zhuǎn)動(dòng)單元57設(shè)置于機(jī)器人腔室22中。轉(zhuǎn)動(dòng)單元57是所謂的電動(dòng)機(jī)，具有轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)基臺(tái)51的功能。又，第一進(jìn)退單元58及第二進(jìn)退單元59設(shè)置于基臺(tái)51上。第一進(jìn)退單元58具有使第一手部52進(jìn)退的功能，并且第二進(jìn)退單元59具有使第二手部53進(jìn)退的功能。第一進(jìn)退單元58及第二進(jìn)退單元59例如由電動(dòng)機(jī)、皮帶等的動(dòng)力傳遞機(jī)構(gòu)、下述的滑動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成。又，升降單元60設(shè)置于基臺(tái)51上。升降單元60例如由氣缸機(jī)構(gòu)及壓力供給源構(gòu)成，具有使第一手部52及第二手部53升降的功能。這四個(gè)單元57 60與控制裝置4連接，其動(dòng)作由控制裝置4控制。這樣構(gòu)成的搬運(yùn)機(jī)器人50通過由轉(zhuǎn)動(dòng)單元57使基臺(tái)51轉(zhuǎn)動(dòng)以改變第一手部52及第二手部53的可進(jìn)退方向(即，朝向)，并且通過第一進(jìn)退單元58及第二進(jìn)退單元59可以使第一手部52及第二手部53進(jìn)退。通過組合這些動(dòng)作，可以將第一手部52及第二手部53移動(dòng)至具有基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25的待機(jī)位置并接收由基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25支持的基板6，并且可以將接收的基板6搬運(yùn)至設(shè)置于機(jī)器人腔室22的周圍的多個(gè)處理腔室23內(nèi)。處理腔室23是抽真空的腔室，其中具備用于載置基板6并實(shí)施上述的各種加工處理的裝置。處理腔室23設(shè)置于機(jī)器人腔室22的外周部，并且相對(duì)于基臺(tái)51的轉(zhuǎn)動(dòng)中心LI輻射狀配置。在本實(shí)施形 態(tài)中，處理模塊3具有四個(gè)處理腔室23，并且相對(duì)于基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25在基臺(tái)51的轉(zhuǎn)動(dòng)方向一方側(cè)及另一方側(cè)上分別設(shè)置有兩個(gè)。在本實(shí)施形態(tài)中，第一手部52及第二手部53的刀片55、56與分別設(shè)置于該轉(zhuǎn)動(dòng)方向一方側(cè)及另一方側(cè)上的處理腔室23的數(shù)量及基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25的各支持體28、29所具有的支持部38、39、43、44的數(shù)量相對(duì)應(yīng)地被設(shè)置。即，分別設(shè)置于轉(zhuǎn)動(dòng)方向一方側(cè)及另一方側(cè)上的處理腔室23的數(shù)量為兩個(gè)，又，各支持體28、29所具有的支持部的數(shù)量為三個(gè)，因此刀片55、56的數(shù)量也成為兩個(gè)。另外，四個(gè)處理腔室23中，相對(duì)于基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25位于轉(zhuǎn)動(dòng)方向一方側(cè)上的兩個(gè)處理腔室23為第一處理腔室23A及第二處理腔室23B，其兩個(gè)之中靠近基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25的一方為第一處理腔室23A。另一方面，相對(duì)于基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25位于轉(zhuǎn)動(dòng)方向另一方側(cè)上的兩個(gè)處理腔室23為第三處理腔室23C及第四處理腔室23D，其兩個(gè)之中靠近基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25的一方為第三處理腔室23C。又，處理腔室23通過第三閘門73設(shè)置于機(jī)器人腔室22中，通過打開第三閘門73處理腔室23內(nèi)和機(jī)器人腔室22內(nèi)相連通，通過關(guān)閉阻斷處理腔室23內(nèi)和機(jī)器人腔室22內(nèi)。該第三閘門73形成為朝向基臺(tái)51的轉(zhuǎn)動(dòng)中心LI，并且在第一手部52及第二手部53上放置基板6的狀態(tài)下能夠通過其中的結(jié)構(gòu)。因此，通過轉(zhuǎn)動(dòng)基臺(tái)51使第一手部52及第二手部53的行進(jìn)方向適合于第三閘門73的開口面，并使第一手部52及第二手部53前進(jìn)，以此將位于其上的基板6搬運(yùn)至位于搬運(yùn)位置上的處理腔室23內(nèi)的載置臺(tái)(未圖示)上，并且將處理腔室23內(nèi)的載置臺(tái)上的基板可以放置在其上。又，放置后，通過使手部主體54后退，可以將基板6搬出至處理腔室23外。[控制裝置]
這樣構(gòu)成的基板處理系統(tǒng)I具備控制裝置4，通過該控制裝置4控制各機(jī)器人8、50及裝置25的動(dòng)作?？刂蒲b置4具有存儲(chǔ)部62、控制部63、移送機(jī)器人驅(qū)動(dòng)部64、中轉(zhuǎn)裝置驅(qū)動(dòng)部65和搬運(yùn)機(jī)器人驅(qū)動(dòng)部66。存儲(chǔ)部62具有存儲(chǔ)程序和各種信息等的功能，并且與控制部63連接?？刂撇?3與第一激光傳感器至第四激光傳感器46 49連接，并且判定通過哪一個(gè)支持部38、39、43、44支持基板6，并且還具有將該結(jié)果存儲(chǔ)至存儲(chǔ)部62中的功能。又，控制部63與移送機(jī)器人驅(qū)動(dòng)部64、中轉(zhuǎn)裝置驅(qū)動(dòng)部65、搬運(yùn)機(jī)器人驅(qū)動(dòng)部66和閘門驅(qū)動(dòng)部67連接，并且具有基于存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部62中的程序控制所述驅(qū)動(dòng)部64 67的動(dòng)作的功能。移送機(jī)器人驅(qū)動(dòng)部64與移送機(jī)器人8的升降單元16連接，并且具有通過驅(qū)動(dòng)升降單元16使手部15升降的功能。又，移送機(jī)器人驅(qū)動(dòng)部64還與移送機(jī)器人8的第一轉(zhuǎn)動(dòng)單元至第三轉(zhuǎn)動(dòng)單元17 19連接,并且具有通過驅(qū)動(dòng)第一轉(zhuǎn)動(dòng)單元至第三轉(zhuǎn)動(dòng)單元17 19使移送機(jī)器人8的臂部12 14轉(zhuǎn)動(dòng)的功能。中轉(zhuǎn)裝置驅(qū)動(dòng)部65與基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25的升降驅(qū)動(dòng)單元27連接，并且具有通過驅(qū)動(dòng)升降驅(qū)動(dòng)單元27使支持部38、39、43、44升降的功能。又，搬運(yùn)機(jī)器人驅(qū)動(dòng)部66與搬運(yùn)機(jī)器人50的轉(zhuǎn)動(dòng)單元57、第一進(jìn)退單元58、第二進(jìn)退單元59和升降單元60連接。搬運(yùn)機(jī)器人驅(qū)動(dòng)部66具有通過轉(zhuǎn)動(dòng)單元57改變第一手部52及第二手部53的方向，并且通過第一進(jìn)退單元58及第二進(jìn)退單元59使第一手部52及第二手部53分別獨(dú)立地進(jìn)退，進(jìn)一步通過升降單元60使手部主體54升降的功能。

此外，控制部63與閘門驅(qū)動(dòng)部67連接，該閘門驅(qū)動(dòng)部67具有驅(qū)動(dòng)開閉第一閘門至第三閘門71 73的開閉單元(未圖示)而開閉所述第一閘門至第三閘門71 73的功能?；逄幚硐到y(tǒng)I中具有這樣的功能的控制裝置4基于存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部62中的程序控制移送機(jī)器人8、基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25及搬運(yùn)機(jī)器人50的動(dòng)作，以執(zhí)行以下那樣的移送處理及搬運(yùn)處理。以下，首先，參照?qǐng)D1至圖6說明移送處理。[移送處理]
當(dāng)在外殼7上安裝FOUP 9并運(yùn)行基板處理系統(tǒng)I時(shí)，在處理腔室23等的抽真空結(jié)束后，實(shí)施移送處理。在移送處理中，首先，控制裝置4控制第一轉(zhuǎn)動(dòng)單元至第三轉(zhuǎn)動(dòng)單元17 19的動(dòng)作以轉(zhuǎn)動(dòng)第一臂部至第三臂部12 14而使手部15移動(dòng)至FOUP 9面前。接著，控制裝置4為了使手部15配置于所述FOUP 9內(nèi)的所指定的基板6的正下方，而控制升降單元16的動(dòng)作以調(diào)節(jié)手部15的高度。之后，控制裝置4轉(zhuǎn)動(dòng)第一臂部至第三臂部12 14而將手部15插入到FOUP 9內(nèi)，進(jìn)而通過升降單元16使手部15上升并在手部15上放置基板6并保持。保持后，控制裝置4轉(zhuǎn)動(dòng)第一臂部至第三臂部12 14并將手部15從FOUP9內(nèi)拔出，并且打開第一閘門71而通過升降單元16使手部15下降的同時(shí)移動(dòng)至基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25。在將手部15移動(dòng)至基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25時(shí)，控制裝置4控制第一臂部至第三臂部12 14的動(dòng)作以使該手部15在俯視下位于一對(duì)第二支持部44、44之間，且手部15上的基板6的外周緣部的至少一部分與一對(duì)第二支持部44、44的兩端部重疊。此外，手部15的高度配置為位于比一對(duì)第二支持部44、44稍微高的位置上。當(dāng)這樣配置手部15時(shí)，控制裝置4使升降單元16工作而使手部15下降。借助于此，手部15上的基板6被放置在一對(duì)第二支持部44、44上，并且基板6被轉(zhuǎn)移至一對(duì)第二支持體29上。之后，控制裝置4轉(zhuǎn)動(dòng)第一臂部至第三臂部12 14并從基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25中拔出手部15。此時(shí)，控制裝置4通過第一激光傳感器46及第二激光傳感器47檢測(cè)出基板6放置在第一支持體28上的情況時(shí)，控制裝置4轉(zhuǎn)動(dòng)第一臂部至第三臂部12 14而將手部15配置在該基板6的正下方。配置后，控制裝置4使升降單元16工作以使手部15上升，并將基板6放置在手部15上并接收，再次從基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25中拔出手部15。拔出的手部15返回至用于容納處理后的基板6的又一 FOUP 9的面前,從而將被放置的基板6容納于所述FOUP 9內(nèi)。之后，控制裝置4還使手部15工作并將又一指定的基板6與上述相同的方法轉(zhuǎn)移至一對(duì)第二支持部43、43上，或者通過手部15接收一對(duì)第一支持體28上的基板6?？刂蒲b置4控制移送機(jī)器人驅(qū)動(dòng)部64的動(dòng)作以重復(fù)進(jìn)行這樣的傳遞作業(yè)；
[搬運(yùn)處理]
又，控制裝置4，與通過移送機(jī)器人8 移送基板6的移送處理并進(jìn)地，執(zhí)行圖7記載的流程圖中所示的那樣的搬運(yùn)處理。搬運(yùn)處理與移送處理相同地，在處理腔室23等的抽真空結(jié)束后實(shí)施。開始搬運(yùn)處理并轉(zhuǎn)到步驟SI時(shí)，第一搬運(yùn)過程開始進(jìn)行，并且控制裝置4首先轉(zhuǎn)動(dòng)基臺(tái)51而使第一手部52及第二手部53朝向基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25的方向，從而能夠?qū)⒌谝皇植?2及第二手部53插入至基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25內(nèi)。達(dá)到該狀態(tài)時(shí)，轉(zhuǎn)到步驟S2。在步驟S2中，控制裝置4基于來自第一激光傳感器至第四激光傳感器46 49的信號(hào)檢測(cè)在基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25的第一支持體28及第二支持體29上是否有基板6，并且判定是否滿足可搬運(yùn)條件。在這里可搬運(yùn)條件是指基板6未載置于第一支持體28上，且在第二支持體29上載置有兩個(gè)基板6的情況?？刂蒲b置4判定為不滿足可搬運(yùn)條件時(shí)使搬運(yùn)機(jī)器人50待機(jī)，并且重復(fù)進(jìn)行判定直至滿足可搬運(yùn)條件。判定為滿足可搬運(yùn)條件時(shí)，轉(zhuǎn)到步驟S3。在步驟S3中，首先控制裝置4打開第二閘門72，接著使第一進(jìn)退單元58及第二進(jìn)退單元59工作而使第一手部52及第二手部53前進(jìn)至基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25所在的待機(jī)位置。此時(shí)，在基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25中，一對(duì)第一支持體28及一對(duì)第二支持體29位于分開位置(參照?qǐng)D5)，并且第一手部52的兩個(gè)刀片55、56分別位于一對(duì)第二支持部43、43及一對(duì)第二支持部44、44上的基板6的正下方，而在下述的工序中被放置在第二手部53的兩個(gè)刀片55、56上的基板6分別位于一對(duì)第一支持部38、38及一對(duì)第一支持部39、39的正上方(參照?qǐng)D8 (a))。像這樣使第一手部52及第二手部53前進(jìn)至待機(jī)位置時(shí)，轉(zhuǎn)到步驟S4。在步驟S4中，控制裝置4使基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25的升降驅(qū)動(dòng)單元27工作而使一對(duì)第一支持體28上升。借助于此，第二手部53上的兩個(gè)基板6被放置在一對(duì)第一支持部38,38及第一支持部39、39上并被提升(參照?qǐng)D8 (b))，從而兩個(gè)基板6從第二手部53轉(zhuǎn)移至一對(duì)第一支持體28上。又，一對(duì)第二支持體29與一對(duì)第一支持體28的上升聯(lián)動(dòng)地下降，從而一對(duì)的第二支持部43、43及第二支持部44、44上的基板6被放置在第一手部52的兩個(gè)刀片55、56上(參照?qǐng)D8 (C))。借助于此，一對(duì)第二支持體29上的兩個(gè)基板6轉(zhuǎn)移至第一手部52上。在基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25和搬運(yùn)機(jī)器人50之間的基板6的傳遞結(jié)束時(shí)，轉(zhuǎn)到步驟S5。 在步驟S5中，控制裝置4通過第一進(jìn)退單元58及第二進(jìn)退單元59使第一手部52及第二手部53后退并從基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25中拔出。而且，控制裝置4使第一手部52及第二手部53后退至基臺(tái)51和手部主體54重疊的轉(zhuǎn)動(dòng)位置，并且關(guān)閉第二閘門72。當(dāng)?shù)谝皇植?2及第二手部53返回至轉(zhuǎn)動(dòng)位置時(shí),轉(zhuǎn)到步驟S6。在步驟S6中，控制部63對(duì)存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部62中的變量X (初始值O)進(jìn)行加I運(yùn)算。對(duì)變量X加I后，轉(zhuǎn)到步驟S7。在步驟S7中，控制裝置4轉(zhuǎn)動(dòng)基臺(tái)51并改變第一手部52及第二手部53的朝向，使第一手部52及第二手部53朝向第X處理腔室23 (X=l、2、3、4)的第三閘門73。例如X=I時(shí)，第一手部52及第二手部53朝向第一處理腔室23A的第三閘門73。像這樣朝向被改變后，轉(zhuǎn)到步驟S8。在步驟S8中，控制裝置4首先打開第三閘門73，接著使第二手部53前進(jìn)并移動(dòng)至第一處理腔室23A的載置臺(tái)(未圖示)。在該載置臺(tái)上載置有在第一處理腔室23A中被處理的處理后的基板6，第二手部53的高度由控制裝置4調(diào)節(jié)以使其上側(cè)的刀片55位于處理后的基板6的下側(cè)。另外，第二手部53的高度的調(diào)節(jié)也可以在使其前進(jìn)之前及在前進(jìn)中的任意情況下執(zhí)行。移動(dòng)至載置臺(tái)后，控制裝置4通過升降單元60使第二手部53上升，從而使基板6放置在置于載置臺(tái)上的上側(cè)的刀片56上并提升。這樣，搬運(yùn)機(jī)器人50通過第二手部53接收第一處理腔室23A內(nèi)的處理后的基板6。接收后，控制裝置4通過第二進(jìn)退單元59使第二手部53后退，當(dāng)?shù)诙植?3返回至轉(zhuǎn)動(dòng)位置時(shí),轉(zhuǎn)到步驟S9。在步驟S9中，通過第一進(jìn)退單元58使第一手部52前進(jìn)并移動(dòng)至第一處理腔室23A的載置臺(tái)。第一手部52的高度由控制裝置4調(diào)節(jié)以使其下側(cè)的刀片55上的未處理的基板6位于比載置臺(tái)高的位置 上。另外，第一手部52的高度的調(diào)節(jié)也可以在使其前進(jìn)之前及在前進(jìn)中的任意情況下執(zhí)行。移動(dòng)至載置臺(tái)后，控制裝置4通過升降單元60使第一手部52下降而將下側(cè)的刀片55上的基板6放置在載置臺(tái)上并離開。借助于此，在第一處理腔室23A內(nèi)未處理的基板6從第二手部53轉(zhuǎn)移至載置臺(tái)。轉(zhuǎn)移后，控制裝置4通過第一進(jìn)退單元58使第一手部52后退并關(guān)閉第三閘門73。而且，當(dāng)?shù)谝皇植?2返回至轉(zhuǎn)動(dòng)位置時(shí)，轉(zhuǎn)到步驟SlO。在步驟SlO中，判定變量X到底滿足第一條件至第三條件中的哪一個(gè)條件。第一條件是X古N、X古NX 2，第二條件是X=N，第三條件是X=NX 2。在這里，N是第一手部52及第二手部53分別具有的刀片數(shù)量，在本實(shí)施形態(tài)中為N=2。例如X=I時(shí)，判定為滿足第一條件，并返回到步驟S6。在步驟S6中，對(duì)X進(jìn)行加I運(yùn)算后轉(zhuǎn)到步驟S7。在步驟S7中，使第一手部52及第二手部53按照?qǐng)D9的箭頭A轉(zhuǎn)動(dòng)并朝向第X+1處理腔室23的第三閘門73、即第二處理腔室23B的第三閘門73，而轉(zhuǎn)到步驟S8。在步驟S8中，控制裝置使第二手部53前進(jìn)并接收第二處理腔室23B的載置臺(tái)上的處理后的基板6。此時(shí)，在第二手部53的上側(cè)的刀片56上已載置有處理后的基板6。因此，第二手部53的高度由控制裝置4調(diào)節(jié)而使其下側(cè)的刀片55位于載置臺(tái)上的處理后的基板6的下側(cè)。而且，控制裝置4使第二手部53移動(dòng)至載置臺(tái)，并且使其移動(dòng)后上升而將載置臺(tái)上的基板6放置在下側(cè)的刀片55上并提升。像這樣，搬運(yùn)機(jī)器人50通過第二手部53接收在第二處理腔室23B內(nèi)的處理后的基板6。接收后，控制裝置4使第二手部53后退，當(dāng)?shù)诙植?3返回至轉(zhuǎn)動(dòng)位置時(shí)，轉(zhuǎn)到步驟S9。在步驟S9中，控制裝置4使第一手部52前進(jìn)并將未處理的基板6轉(zhuǎn)移至第二處理腔室23B的載置臺(tái)上。此時(shí)，只有在第一手部52的上側(cè)的刀片56上載置有未處理的基板6。因此，第一手部52的高度由控制裝置4調(diào)節(jié)而使其上側(cè)的刀片56上的未處理的基板6位于比載置臺(tái)高的位置上。而且，控制裝置4使第一手部52移動(dòng)至載置臺(tái)，并且移動(dòng)后使第一手部52下降而將上側(cè)的刀片56上的基板6放置在載置臺(tái)上并離開。借助于此，未處理的基板6從搬運(yùn)機(jī)器人50轉(zhuǎn)移至第二處理腔室23B的載置臺(tái)上?？刂蒲b置4使第一手部52后退并關(guān)閉第三閘門73。而且，當(dāng)?shù)谝皇植?2返回至轉(zhuǎn)動(dòng)位置時(shí)，將基板6搬運(yùn)至第一處理腔室23A及第二處理腔室23B的第一搬運(yùn)過程結(jié)束。當(dāng)?shù)谝话徇\(yùn)過程結(jié)束時(shí)，再次轉(zhuǎn)到步驟S10。此時(shí)的步驟SlO中，由于變量X為2，因此控制部63判定為滿足第二條件，并返回至步驟SI，開始第二搬運(yùn)過程。在步驟SI中，控制裝置4使第一手部52及第二手部53從第二處理腔室23B按照箭頭B轉(zhuǎn)動(dòng)并使第一手部52及第二手部53朝向基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25。而且，在步驟S2中，判定是否滿足可搬運(yùn)條件，在判定為滿足的情況下，通過步驟S3使第一手部52及第二手部53前進(jìn)，并且通過步驟S4使基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25的第一支持體28及第二支持體29升降并在基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25和第一手部52及第二手部53之間進(jìn)行未處理的基板6和處理后的基板6的傳遞。此外，當(dāng)通過步驟S5使第一手部52及第二手部53后退時(shí)，轉(zhuǎn)到步驟S6。在步驟S6中，對(duì)X進(jìn)行加I運(yùn)算而轉(zhuǎn)到步驟S7，在步驟S7中使第一手部52及第二手部53按照?qǐng)D9的箭頭C轉(zhuǎn)動(dòng)并朝向第三處理腔室23C。而且，與在第一處理腔室23A中傳遞處理后的基板6及未處理的基板6的方法相同地，在第三處理腔室23C中進(jìn)行基板6的傳遞(步驟S8及S9)，當(dāng)結(jié)束時(shí)轉(zhuǎn)到步驟S10。在此時(shí)的步驟SlO中，由于變量X為3，因此控制部63判定為滿足第一條件，并返回至步驟S6。在步驟S6中，對(duì)X加I后轉(zhuǎn)到步驟S7，并且在步驟S7中使第一手部52及第二手部53按照?qǐng)D9的箭頭D·轉(zhuǎn)動(dòng)并朝向第四處理腔室23D。而且，與在第一處理腔室23A中傳遞處理后的基板6及未處理的基板6的方法相同地，在第四處理腔室23D中進(jìn)行基板6的傳遞(步驟S8及S9)，當(dāng)傳遞結(jié)束時(shí)，將基板6搬運(yùn)至第三處理腔室23A及第四處理腔室23B的第二搬運(yùn)過程結(jié)束。當(dāng)?shù)诙徇\(yùn)過程結(jié)束時(shí)，轉(zhuǎn)到步驟S10。此時(shí)的步驟SlO中，由于變量X為4，因此控制部63判定為滿足第三條件，并轉(zhuǎn)到步驟S11。在步驟Sll中，從X中減去N，即執(zhí)行X=X — N的減法運(yùn)算而使X=0。當(dāng)執(zhí)行該減法運(yùn)算時(shí)，返回至步驟SI，再次開始第一搬運(yùn)過程。像這樣本實(shí)施形態(tài)的搬運(yùn)機(jī)器人50，在位于待機(jī)位置的基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25中通過第一手部52的兩個(gè)刀片55、56同時(shí)接收兩個(gè)基板6，并且可以通過第二手部53的兩個(gè)刀片55、56同時(shí)轉(zhuǎn)移兩個(gè)基板6。又，可以將保持在第一手部52上的兩個(gè)基板6連續(xù)地轉(zhuǎn)移至兩個(gè)處理腔室23中，又通過第二手部53從兩個(gè)處理腔室23內(nèi)連續(xù)地接收兩個(gè)處理后的基板6。借助于此，在兩個(gè)處理腔室23中進(jìn)行基板6的傳遞后返回至基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25即可，可以縮短一個(gè)搬運(yùn)過程中的第一手部52及第二手部53的移動(dòng)距離，并且可以縮短直至對(duì)所有的搬運(yùn)位置搬運(yùn)基板為止的搬運(yùn)時(shí)間。
又，在本實(shí)施形態(tài)的基板處理系統(tǒng)I中，與搬運(yùn)機(jī)器人50的搬運(yùn)處理并進(jìn)地執(zhí)行移送機(jī)器人8的移送處理，在執(zhí)行搬運(yùn)處理的期間通過移送處理兩個(gè)基板6從FOUP 9移送至基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25。因此，可以省略基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25和FOUP 9之間的傳遞的時(shí)間，因此可以縮短搬運(yùn)時(shí)間。又，在進(jìn)行搬運(yùn)處理的期間移送機(jī)器人8通過移送處理接收載置在基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25上的處理后的兩個(gè)基板6，因此將由第二手部52的刀片55、56保持的處理后的基板6在基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25中與接收同時(shí)地進(jìn)行轉(zhuǎn)移，以此不需要從基板搬運(yùn)裝置25到FOUP 9的移送。因此，可以縮短搬運(yùn)時(shí)間。又，在本實(shí)施形態(tài)的搬運(yùn)機(jī)器人50中，在第一搬運(yùn)過程及第二搬運(yùn)過程中應(yīng)搬運(yùn)的處理腔室23的數(shù)量、和第一手部52及第二手部53所具有的刀片55、56的數(shù)量成為相同數(shù)量，從而對(duì)在第一搬運(yùn)過程及第二搬運(yùn)過程中需分別搬運(yùn)的所有處理腔室23可以連續(xù)地進(jìn)行傳遞作業(yè)。借助于此，每當(dāng)結(jié)束對(duì)于各處理腔室23的傳遞作業(yè)時(shí)不需要返回至基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25，可以縮短搬運(yùn)時(shí)間。此外，相對(duì)于基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25在轉(zhuǎn)動(dòng)方向一方側(cè)和另一方側(cè)上形成相同數(shù)量的處理腔室23，并且將面向配置在一方側(cè)上的處理腔室23A、23B的搬運(yùn)過程作為第一搬運(yùn)過程，而將面向配置在另一方側(cè)上的處理腔室23A、23B的搬運(yùn)過程作為第二搬運(yùn)過程以進(jìn)行劃分，以此可以防止搬運(yùn)機(jī)器人50旋轉(zhuǎn)一次，而連接搬運(yùn)機(jī)器人50的各結(jié)構(gòu)和控制裝置的未圖示的電纜等被纏繞的情況。又，通過在基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25的轉(zhuǎn)動(dòng)方向兩側(cè)上配置相同數(shù)量，以此使第一搬運(yùn)過程及第二搬運(yùn)過程的移動(dòng)距離大致相同，并且可以縮短第一搬運(yùn)過程及第二搬運(yùn)過程中的總移動(dòng)距離。借助于此，可以實(shí)現(xiàn)搬運(yùn)時(shí)間的縮短。此外，通過分為兩個(gè)搬運(yùn)過程，可以抑制刀片55、56的數(shù)量，并且可以抑制移動(dòng)距離。因此，可同時(shí)實(shí)現(xiàn)抑制部件數(shù)量的增加和搬運(yùn)時(shí)間的縮短。又，在本實(shí)施形態(tài)中，可以在第一手部52及第二手部53和基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25之間同時(shí)進(jìn)行傳遞作業(yè)，因此可以縮短第一手部52及第二手部53和基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25之間的傳遞時(shí)間。又，通過在第一手部52及第二手部53和基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25之間同時(shí)進(jìn)行傳遞作業(yè)，不需使第一手部52及第二手部53運(yùn)動(dòng)。因此，可以縮短第一手部52及第二手部53的移動(dòng)距離，并且可以縮短搬運(yùn)時(shí)間。
`
此外，在本實(shí)施形態(tài)的基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25中，通過齒輪齒條機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)第一支持體28及第二支持體29的連動(dòng)，以此可以抑制部件數(shù)量。借助于此，可以抑制基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25的制造成本。<其他實(shí)施形態(tài)>
在本實(shí)施形態(tài)中，盡管使搬運(yùn)機(jī)器人50的第一手部52及第二手部53同時(shí)向基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25前進(jìn)，但是也可以如圖10所示首先使第二手部53前進(jìn)并接收基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25的一對(duì)第一支持體28上的兩個(gè)基板6 (圖10 (a))，之后使第一手部52前進(jìn)并將其上的基板6轉(zhuǎn)移至基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25 (圖10 (b))。此時(shí)，基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25不需要具有升降驅(qū)動(dòng)單元27，只要在從基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25接收兩個(gè)基板6時(shí)使第二手部53上升，并且向基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25傳遞兩個(gè)基板6時(shí)使第一手部52下降即可。像這樣，通過使第一手部52進(jìn)退及升降，可以從基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25接收兩個(gè)基板6，又，僅通過使第二手部53進(jìn)退及升降來使兩個(gè)基板6進(jìn)退及升降，以此可以放置在基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25上。因此，可以縮短保持的時(shí)間及放置的時(shí)間。
又，第一手部52及第二手部53的數(shù)量及其具有的刀片的數(shù)量和處理腔室23的數(shù)量以及配置位置并不限于上述數(shù)量及配置位置，手部和刀片等也可以是兩個(gè)以上，又，處理腔室23也可以是四個(gè)以上。又，即使刀片數(shù)量、處理腔室23的數(shù)量和基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置25的支持部的數(shù)量無上述那樣的關(guān)系也是可以的，只要刀片及支持部的數(shù)量多于至少一個(gè)搬運(yùn)過程中進(jìn)行搬運(yùn)的處理腔室23的數(shù)量即可。由上述說明，本領(lǐng)域技術(shù)人員明白本發(fā)明的較多改良和其他實(shí)施形態(tài)等。因此，上述說明僅作為例示解釋，并且以向本領(lǐng)域技術(shù)人員教導(dǎo)實(shí)施本發(fā)明的最優(yōu)選的形態(tài)為目的而提供的。在不脫離本發(fā)明的精神的范圍內(nèi)，能夠?qū)嵸|(zhì)上改變其結(jié)構(gòu)和/或功能的具體內(nèi)容。符號(hào)說明:
4控制裝置；
6基板；
8移送機(jī)器人；
9FOUP (前開式晶圓傳送盒)；
15 手部；
23 處理腔室；
23A 第一處理腔室；
23B 第二處理腔室；
23C 第三處理腔室；
23D 第四處理腔室；
25 基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置；
28第一支持體；
29第二支持體；
30升降用氣缸機(jī)構(gòu)；
33聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)；
32 第一升降機(jī)構(gòu)；
34第二升降機(jī)構(gòu)；
38,39第一支持部；
43,44第二支持部；
50 搬運(yùn)機(jī)器人；
52第一手部；
53第二手部；
54手部主體；
55刀片；
56刀片；
57轉(zhuǎn)動(dòng)單元；
58第一進(jìn)退單元；
59第二進(jìn)退單元；
60升降單元；66 搬運(yùn)機(jī)器人 驅(qū)動(dòng)部。
權(quán)利要求
1.一種搬運(yùn)機(jī)器人，具備: 具有用于分別保持基板的多個(gè)保持部的第一手部； 具有用于分別保持基板的多個(gè)保持部的第二手部；和 使所述第一手部及所述第二手部分別移動(dòng)至放置有所述基板的待機(jī)位置及彼此不同的多個(gè)搬運(yùn)位置的移動(dòng)裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬運(yùn)機(jī)器人，其特征在于，所述移動(dòng)裝置形成為在所述第一手部的多個(gè)保持部上保持并接收置于所述待機(jī)位置上的多個(gè)基板，之后，將保持在所述保持部上的所述多個(gè)基板對(duì)各搬運(yùn)位置依次轉(zhuǎn)移，同時(shí)通過所述第二手部的保持部接收置于所述各搬運(yùn)位置上的基板的結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的搬運(yùn)機(jī)器人，其特征在于，所述待機(jī)位置是能夠使所述多個(gè)基板處于待機(jī)狀態(tài)，并且用于在與FOUP之間通過移送機(jī)器人傳遞所述基板的位置； 所述移動(dòng)裝置使所述第一手部及所述第二手部運(yùn)動(dòng)而將由所述第二手部的多個(gè)保持部保持的所述多個(gè)基板放置于所述待機(jī)位置上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的搬運(yùn)機(jī)器人，其特征在于， 所述移動(dòng)裝置形成為在一個(gè)搬運(yùn)過程中，向預(yù)先規(guī)定的N個(gè)所述搬運(yùn)位置分別轉(zhuǎn)移所述基板的結(jié)構(gòu)； 所述第一手部具有所述N以上的所述保持部； 所述第二手部具有所述N以上的所述保持部。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述·的搬運(yùn)機(jī)器人，其特征在于， 所述移動(dòng)裝置形成為一起轉(zhuǎn)動(dòng)所述第一手部及第二手部的結(jié)構(gòu)； 相對(duì)于所述待機(jī)位置所述轉(zhuǎn)動(dòng)方向的一方側(cè)和另一方側(cè)上分別具有N個(gè)搬運(yùn)位置； 所述移動(dòng)裝置形成為以下結(jié)構(gòu)，在第一搬運(yùn)工序中，從所述待機(jī)位置接收N個(gè)基板后向所述一方側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)所述第一手部及第二手部并將所述基板依次分別轉(zhuǎn)移至位于所述一方側(cè)上的所述N個(gè)搬運(yùn)位置上，并且在第二搬運(yùn)工序中，從所述待機(jī)位置接收N個(gè)基板后向所述另一方側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)所述第一手部及第二手部并將所述基板依次分別轉(zhuǎn)移至位于所述另一方側(cè)上的所述N個(gè)搬運(yùn)位置上。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的搬運(yùn)機(jī)器人，其特征在于，所述搬運(yùn)位置的數(shù)量N為2。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的搬運(yùn)機(jī)器人，其特征在于，所述移動(dòng)裝置形成為使所述第一手部及第二手部運(yùn)動(dòng)以通過所述第一手部的所述多個(gè)保持部一次保持并接收置于所述待機(jī)位置上的多個(gè)基板，同時(shí)將由所述第二手部的所述多個(gè)保持部分別保持的多個(gè)基板一次放置在所述待機(jī)位置上而進(jìn)行轉(zhuǎn)移的結(jié)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的搬運(yùn)機(jī)器人，其特征在于，所述移動(dòng)裝置具備使所述第一手部及所述第二手部在各自的延伸方向上獨(dú)立地進(jìn)退的進(jìn)退單元、和使所述第一手部及所述第二手部一起升降的升降單元； 并形成為以下結(jié)構(gòu)，通過所述進(jìn)退單元使所述第一手部的所述多個(gè)保持部分別向放置于所述待機(jī)位置上的多個(gè)基板的下方行進(jìn)后，通過所述升降單元使所述第一手部及所述第二手部上升，以此由所述第一手部的所述多個(gè)保持部一次保持置于所述待機(jī)位置上的多個(gè)基板，之后，通過所述進(jìn)退單元使所述第一手部后退而從所述待機(jī)位置接收該多個(gè)基板； 通過所述進(jìn)退單元使所述第二手部的所述多個(gè)保持構(gòu)件向所述待機(jī)搬運(yùn)位置的上方行進(jìn)后，通過所述升降單元使所述第一手部及所述第二手部下降，以此將由所述保持構(gòu)件保持的多個(gè)基板一次放置在所述待機(jī)位置上，之后，通過所述進(jìn)退單元使所述第二手部后退而將該多個(gè)基板轉(zhuǎn)移至所述待機(jī)位置上。
9.一種基板搬運(yùn)方法，是具備:具有用于分別保持基板的多個(gè)保持部的第一手部；具有用于分別保持基板的多個(gè)保持部的第二手部；和使所述第一手部及所述第二手部分別移動(dòng)至放置有所述基板的待機(jī)位置及彼此不同的多個(gè)搬運(yùn)位置的移動(dòng)裝置的搬運(yùn)機(jī)器人的基板搬運(yùn)方法，該基板搬運(yùn)方法具有: 所述移動(dòng)裝置使置于所述待機(jī)位置上的多個(gè)基板保持在所述第一手部的多個(gè)保持部上而接收的接收工序；和 保持工序后，將保持在所述保持部上的所述多個(gè)基板對(duì)各搬運(yùn)位置依次轉(zhuǎn)移，同時(shí)通過所述第二手部的保持部搬運(yùn)置于所述各搬運(yùn)位置上的基板的搬運(yùn)工序。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板搬運(yùn)方法，其特征在于， 所述待機(jī)位置是能夠使所述多個(gè)基板處于待機(jī)狀態(tài)，并且用于在與FOUP之間通過移送機(jī)器人傳遞所述基板的位置； 所述移動(dòng)裝置具有使所述第一手部及所述第二手部運(yùn)動(dòng)而將由所述第二手部的多個(gè)保持部保持的所述多個(gè)基板放 置于所述待機(jī)位置上的轉(zhuǎn)移工序。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的基板搬運(yùn)方法，其特征在于，所述接收工序和所述轉(zhuǎn)移工序同時(shí)進(jìn)行。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板搬運(yùn)方法，其特征在于，在所述搬運(yùn)工序中，將所述基板依次轉(zhuǎn)移至相鄰的所述相鄰的搬運(yùn)位置。
13.—種基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置，是在具備用于保持基板的手部的兩個(gè)搬運(yùn)機(jī)器人之間傳遞所述基板時(shí)中轉(zhuǎn)所述基板的基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置，該基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置具備: 具有用于支持所述基板的第一支持部，通過上升由所述第一支持部接收支持于所述手部上的基板并支持，通過下降將由所述第一支持部支持的基板轉(zhuǎn)移至所述手部上的第一支持體； 在所述第一支持部的上方具有用于支持所述基板的第二支持部，通過上升由所述第二支持部接收支持于所述手部上的基板并支持，通過下降將由所述第二支持部支持的基板轉(zhuǎn)移至所述手部上的第二支持體； 形成為使所述第一支持體升降的結(jié)構(gòu)的第一升降機(jī)構(gòu)；和 形成為使所述第二支持體升降的結(jié)構(gòu)的第二升降機(jī)構(gòu)； 所述第二升降機(jī)構(gòu)形成為在所述第一升降機(jī)構(gòu)使所述第一支持體向上方移動(dòng)時(shí)使所述第二支持體向下方移動(dòng)，而在所述第一升降機(jī)構(gòu)使所述第一支持體向下方移動(dòng)時(shí)使第二支持體向上方移動(dòng)的結(jié)構(gòu)。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置，其特征在于， 至少一方的所述搬運(yùn)機(jī)器人至少具有第一手部及第二手部的兩個(gè)手部； 所述第一手部及第二手部在上下方向上以規(guī)定間隔并列設(shè)置，并且各自具有分別保持所述基板的N (N為2以上的整數(shù))個(gè)保持部； 所述第一支持體具有在上下方向上以規(guī)定間隔并列設(shè)置，并且用于在上下方向上排列地分別支持所述基板的N個(gè)第一支持部；所述第二支持體具有在上下方向上以規(guī)定間隔并列設(shè)置，并且能在上下方向上排列地分別支持所述基板的N個(gè)第二支持部； N個(gè)所述第一支持部形成為與所述第一手部的N個(gè)保持部相對(duì)應(yīng)地設(shè)置，并且通過所述第一支持體升降而在與所述相對(duì)應(yīng)的保持部之間傳遞所述基板的結(jié)構(gòu)； N個(gè)所述第二支持部形成為與所述第二手部的N個(gè)保持部相對(duì)應(yīng)地設(shè)置，并且通過所述第二支持體升降而在與所述相對(duì)應(yīng)的保持部之間傳遞所述基板的結(jié)構(gòu)。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述第一支持部及第二支持部是在水平的規(guī)定方向上夾入空間配置，并且是分別形成于所述第一支持體及第二支持體上的一對(duì)爪狀的部分，以支持所述基板的外緣部。
16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置，其特征在于， 所述第一升降機(jī)構(gòu)是使所述第一支持體升降的升降氣缸機(jī)構(gòu)； 所述第二升降機(jī)構(gòu)是與所述第一支持體的升降相配合且與其升降反方向地使第二支持體升降的齒輪 齒條機(jī)構(gòu)。
全文摘要
搬運(yùn)機(jī)器人(50)具備具有分別保持基板(6)的兩個(gè)刀片(55、56)的第一手部及第二手部(52、53)；和具有轉(zhuǎn)動(dòng)單元(57)、第一進(jìn)退單元(58)、第二進(jìn)退單元(59)、及升降單元(60)的移動(dòng)裝置，通過該移動(dòng)裝置可以使第一手部及第二手部(52、53)分別移動(dòng)至載置有基板(6)的基板搬運(yùn)中轉(zhuǎn)裝置(25)及四個(gè)處理腔室(23)中。
文檔編號(hào)H01L21/677GK103250238SQ201180061020
公開日2013年8月14日 申請(qǐng)日期2011年12月15日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月24日
發(fā)明者后藤博彥 申請(qǐng)人:川崎重工業(yè)株式會(huì)社