專利名稱：具有內(nèi)含位置圖案的電極的觸敏裝置的制造方法
具有內(nèi)含位置圖案的電極的觸敏裝置的制造方法
背景技術(shù)：
觸敏裝置通過減少或消除對機(jī)械按鈕、鍵區(qū)、鍵盤和點(diǎn)擊裝置的需求，而允許用戶方便地與電子系統(tǒng)和顯示器進(jìn)行交互。例如，用戶只需要在由圖標(biāo)標(biāo)識(shí)的位置觸摸即顯觸摸屏，即可執(zhí)行一系列復(fù)雜的指令。有若干類型的技術(shù)用于實(shí)施觸敏裝置，包括例如電阻、紅外、電容、表面聲波、電磁、近場成像等方式。人們已經(jīng)發(fā)現(xiàn)電容式觸敏裝置在大量應(yīng)用中有很好的效果。在許多觸敏裝置中，當(dāng)傳感器內(nèi)的導(dǎo)電物體電容耦合至導(dǎo)電性觸摸工具(例如用戶的手指)時(shí)，會(huì)感測到輸入。一般來講，只要兩個(gè)導(dǎo)電構(gòu)件彼此靠近但未實(shí)際接觸，這兩者之間便會(huì)形成電容。就電容式觸敏裝置而言，手指之類的物體接近觸敏表面時(shí)，該物體與貼近該物體的感測點(diǎn)之間會(huì)形成微小的電容。通過檢測每個(gè)感測點(diǎn)處電容的變化并記錄該感測點(diǎn)的位置，感測電路就能識(shí)別多個(gè)物體并確定當(dāng)物體在觸摸表面上移動(dòng)時(shí)物體的特性。用于以電容方式測量觸摸情況的已知技術(shù)有兩種。第一種是測量對地電容，其中信號施加到電極上。貼近電極的觸摸導(dǎo)致信號電流從電極經(jīng)過手指之類的物體流到電氣接地。用于以電容方式測量觸摸情況的第二種技術(shù)是通過互電容。互電容式觸摸屏將信號施加至被驅(qū)動(dòng)電極上，該被驅(qū)動(dòng)電極通過電場而電容耦合至接收電極。貼近的物體會(huì)減小這兩個(gè)電極之間的信號耦合，因?yàn)檫@樣會(huì)減小電容耦合。用戶越來越需要其他的功能性，而不是僅僅只識(shí)別對觸敏裝置表面的觸摸。這樣的其他功能性包括手寫識(shí)別和直接筆記功能(例如使用觸筆)。參考美國專利公開N0.2010/0001962(Doray)，其描述了包括觸摸板的多點(diǎn)觸摸式顯示系統(tǒng)，該觸摸板上具有位置圖案。

發(fā)明內(nèi)容
本文所公開的實(shí)施例描述了觸摸屏中的導(dǎo)電元件，所述導(dǎo)電元件本身包括位置圖案，所述位置圖案可以用經(jīng)合適配置的傳感器來識(shí)別，經(jīng)合適配置的傳感器例如是照相機(jī)或其他感測裝置。所述導(dǎo)電元件可以為觸摸傳感器中的電極，這在一些實(shí)施例中會(huì)消除對另一包括位置圖案的層的需要。在一個(gè)實(shí)施例中，一種對在基底上的導(dǎo)體進(jìn)行圖案化的方法，所述方法包括提供通過自組裝單層膜形成分子著墨并且具有含有凸起特征的凸紋圖案的彈性壓模，所述凸起特征界定出包括獨(dú)特位置標(biāo)記的位置圖案；使著墨的壓模的凸起特征接觸涂覆金屬的對可見光透明基底；以及對所述金屬進(jìn)行蝕刻，以在所述對可見光透明基底上形成與所述著墨的壓模的凸起特征相對應(yīng)的導(dǎo)電微圖案。本發(fā)明還討論了相關(guān)方法、系統(tǒng)和制品。本專利申請的這些和其他方面從以下具體實(shí)施方式
中將顯而易見。然而，在任何情況下都不應(yīng)將上述發(fā)明內(nèi)容理解為是對要求保護(hù)的主題的限制，要求保護(hù)的主題僅由所附權(quán)利要求書限定，并且在審查期間可以進(jìn)行修改。


通過結(jié)合以下對附圖的詳細(xì)說明，可以更加全面地理解本文所述的實(shí)施例，其中:
圖1示意性地示出了數(shù)字轉(zhuǎn)換器系統(tǒng)；
圖2、圖2a和圖2b示意性地示出了觸摸屏的電極；
圖3、圖3a和圖3b示意性地示出了觸摸屏的電極；
圖4a、圖4b和圖4c示意性地示出了觸摸屏電極的細(xì)節(jié)；
圖5示意性地示出了觸筆形式的檢測裝置；
圖6為示出了制造觸摸屏元件的方法的流程圖。
在這些附圖中，類似的附圖標(biāo)記指代類似元件。
具體實(shí)施方式
本文所述的實(shí)施例涉及數(shù)字轉(zhuǎn)換器系統(tǒng)，其包括嵌在微導(dǎo)體圖案內(nèi)的位置圖案，所述微導(dǎo)體圖案包括觸摸傳感器中的電極，所述位置圖案可以使用檢測裝置來感測出，并且還可以基于該感測而確定出所述位置圖案相對所述電極的位置，并由此在一些實(shí)施例中確定其相對于觸摸傳感器的位置。微導(dǎo)體為例如由以下項(xiàng)構(gòu)成的導(dǎo)電特征:元素態(tài)金屬、金屬合金、金屬間化合物、金屬氧化物、金屬硫化物、金屬碳化物、金屬氮化物以及它們的組合。微導(dǎo)體優(yōu)選地由以下項(xiàng)形成:金、銀、鈀、鉬、銠、銅、鎳、鐵、銦、錫、鉭以及這些元素的混合物、合金和化合物。
這些電極被稱為是透明的，盡管某種程度上，它們可能會(huì)減少到達(dá)觀察位置的可見光的量，例如，因?yàn)橐肓艘恍┲Ｎ恢脠D案為包括獨(dú)特的位置標(biāo)記的圖案，所述獨(dú)特的位置標(biāo)記獨(dú)特地限定了所述位置圖案的區(qū)域。即使觸摸傳感器處于非激活狀態(tài)(即，它是“斷開的”)，仍可以執(zhí)行位置檢測操作，這是因?yàn)樵谝恍?shí)施例中，它的運(yùn)作并不需要位置圖案中有激活部件。
在一些實(shí)施例中，在電極本身的組成部件中添加位置圖案可以減少或消除對另一個(gè)位置圖案的需要，另一個(gè)位置圖案本身可能會(huì)需要傳感器堆疊結(jié)構(gòu)中的額外層，或者可能會(huì)對觸摸傳感器后方顯示圖像的透射率產(chǎn)生不利影響。
本文所公開的數(shù)字轉(zhuǎn)換器系統(tǒng)利用的是可以使用檢測裝置感測出的位置圖案。所述位置圖案可以是在標(biāo)題為 “Methods of Patterning a Conductor on a Substrate (對基底上的導(dǎo)體進(jìn)行圖案化的方法)”的美國專利申請公開N0.2009-0218310 (Zu和Frey ;下文稱為Zu)中所描述的那種類型的圖案化的微導(dǎo)體，該專利申請的公開內(nèi)容以全文引用的方式并入此說明書中。一般來講，Zu提出了一種對基底上的導(dǎo)體進(jìn)行圖案化的方法，由此形成了一種由金屬構(gòu)成的導(dǎo)電微圖案。如本文所提出的那樣，這種金屬圖案可以嵌有位置圖案。檢測裝置可以感測出該金屬圖案，其方法或者是感測從該圖案反射的可見光，或者是感測其他波長。例如，包括位置圖案的金屬圖案可以由吸收或反射可見光譜中的輻射、或者紅外線(IR)輻射、或者紫外線(UV)輻射的化合物構(gòu)成。包括位置圖案的金屬圖案還可以涂覆有提供相同特征的層。
結(jié)合了對IR敏感的光學(xué)成像系統(tǒng)的檢測裝置(例如形式為觸筆的檢測裝置)例如可以用于讀取位置圖案以確定觸筆的絕對位置和移動(dòng)。為了讀取位置圖案，可以將位置圖案暴露于IR，IR可以產(chǎn)生于數(shù)字轉(zhuǎn)換器的后方(例如，產(chǎn)生于由顯示器或由其他光源所產(chǎn)生的熱)或者產(chǎn)生于數(shù)字轉(zhuǎn)換器的前方(例如，從檢測裝置本身發(fā)射出)。類似的技術(shù)可以用于其他類型的輻射(可見光、UV等)。本文所公開的數(shù)字轉(zhuǎn)換器適用于那些可以從絕對坐標(biāo)輸入裝置中獲益的系統(tǒng)。在示例性實(shí)施例中，本文所公開的數(shù)字轉(zhuǎn)換器可以并入到包括電極的任何系統(tǒng)中，所述電極用于感測觸摸或接近觸摸(near touch)。例如,包括X-電極和Y-電極的投射式電容觸摸屏可以會(huì)因結(jié)合了本文所述的位置圖案而受益，以有助于額外地支持一個(gè)或多個(gè)觸筆。包括位置圖案的觸摸屏的電極可以使用檢測裝置來感測出，檢測裝置隨后(經(jīng)由與計(jì)算機(jī)的無線電連接或以其他方式)提供指示該位置圖案的信息，并且隨后計(jì)算機(jī)基于該信息確定觸筆相對于觸摸表面的位置。如果觸摸屏是透明的，那么它可以放在顯示器的前方，并且有助于與該顯示器的交互作用。另外，表面電容式觸摸屏通常采用由導(dǎo)電氧化物組成的連續(xù)電阻層，表面電容式觸摸屏相反可以包括一個(gè)連續(xù)圖案化的表面，該表面包括位置圖案?，F(xiàn)有技術(shù)可進(jìn)行以下操作:具有成像傳感器的觸筆可以遵循印在一張紙上的可見編碼網(wǎng)格，如例如在美國專利 N0.5,051, 736、N0.5, 852, 434;N0.6，502，756;N0.6，548，768 ; N0.6，570，104; N0.6，586，588 ; N0.6，666，376 ; N0.6，674，427 ; N0.6，698，660 ; Nο.6，722，574 ;和N0.6，732，927中所描述的那樣，這些專利中每一個(gè)都以引用的方式被完整地并入到本文檔中。在美國專利公開N0.2006/0139338 (Robrecht)中描述了可以被涂覆到或者可能被覆蓋到位置圖案上的墨水(其具有一定透明度)，所述專利公開全文以引用的方式并入本文中。圖1是數(shù)字轉(zhuǎn)換器系統(tǒng)100的圖，該系統(tǒng)包括設(shè)置在顯示器150上方的觸摸傳感器110，所述顯示器150是透過觸摸傳感器110能看見的。觸摸傳感器110包括由導(dǎo)電元件構(gòu)成的透明電極，所述導(dǎo)電元件按位置圖案進(jìn)行布置，所述位置圖案包括獨(dú)特的位置標(biāo)記。檢測裝置120感測該獨(dú)特的位置標(biāo)記，并使用包括在檢測裝置120內(nèi)的電子器件來由此確定檢測裝置120的尖端相對于觸摸傳感器110的坐標(biāo)(且因此確定相對于顯示器150的坐標(biāo))。作為另一種選擇，檢測裝置120可以將指示所感測到的位置圖案的信息經(jīng)由信號傳輸信道170提供給系統(tǒng)電子器件160，并且所述系統(tǒng)電子器件160可以由此確定檢測裝置120尖端的位置。系統(tǒng)電子器件160隨后可以將指示檢測裝置120位置的信息提供給通信耦接的計(jì)算機(jī)(圖1中未圖示)，該計(jì)算機(jī)耦接到顯示器150。顯示器150上顯示的圖像可以被更新為包括指示檢測裝置120的所感測位置的信息。例如，光標(biāo)可以在顯示器150上移動(dòng)，且其移動(dòng)方式與用戶操作下檢測裝置120的移動(dòng)同步。檢測裝置120包括光學(xué)成像系統(tǒng)，例如相機(jī)或電荷耦合裝置，在一些實(shí)施例中還包括透鏡、孔隙和關(guān)聯(lián)于此成像系統(tǒng)的其他部件。光學(xué)成像系統(tǒng)對顯示器150的透明電極中所包括的位置圖案進(jìn)行解析。適用于圖1所述系統(tǒng)中的檢測裝置可以例如包括如美國專利N0.7，588，191 (Pettersson等人)在第15欄第5行至第29行以及第44行至第67行(Pettersson所著的整篇公開以引用的方式并入本文中)中所述的檢測裝置，或者美國專利N0.7，672，513 (Bjorklund等人)中所述的檢測裝置，該專利描述了用于對位置進(jìn)行解碼的設(shè)備并且以引用的方式全文并入本文中。可以適用于本文所述系統(tǒng)的其他檢測裝置可以從瑞典公司安諾拓技術(shù)股份有限公司(Anoto AB)購得，該公司特別是生產(chǎn)本文所引用類型的檢測裝置。
檢測裝置120可以經(jīng)由信號傳輸信道170通信耦接到系統(tǒng)電子器件160，所述信號傳輸信道可以是有線的或無線的。如果是無線的，那么可以還包括額外的天線和電路(圖1中未示出)，并且它們可以實(shí)施以商標(biāo)名“Bluetooth”(藍(lán)牙)指定的標(biāo)準(zhǔn)所關(guān)聯(lián)的通信規(guī)范和協(xié)議。
顯示器150可以為任何可尋址的電子顯示器，例如，液晶顯示器(IXD)、陰極射線管、有機(jī)電致發(fā)光顯示器、等離子顯示器、電泳顯示器等等。另外，顯示器150可以為靜態(tài)圖像或圖形，或者不可尋址的電子顯示器(例如，電子照明標(biāo)志)，其單獨(dú)地被提供或與可尋址電子顯示器一起被提供。
系統(tǒng)電子器件160除了從檢測裝置160接收信息之外還可以被配置為驅(qū)動(dòng)包括在觸摸傳感器110內(nèi)的一些電極，隨后接收感測信號，所述感測信號指示在觸摸傳感器110內(nèi)所包括的各電極之間的電容。指示這種電容的變化值表明手指之類的物體進(jìn)行的觸摸(touch)或接近觸摸(near touch)。集成電路是可購得的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)電子器件160。例如，賽普拉斯半導(dǎo)體公司(Cypress Semiconductor)在市場上推出一種市售名稱為“TrueTouch觸摸屏控制器(TrueTouch Touch Screen Controller)”的觸摸屏控制器,它可以被配置為驅(qū)動(dòng)觸摸傳感器110并解析觸摸相關(guān)信息。其他電子器件也可從市面上購得。
圖2示意性地示出了觸摸傳感器(例如，觸摸傳感器110)的一個(gè)層11。層11包括多個(gè)行電極20，它們布置為彼此相對平行(但它們也可以按其他配置來布置)。行電極20電耦接到引導(dǎo)線3，該引導(dǎo)線通信耦接到引線(圖2中未圖示)，該引線繼而通信耦接到電子器件160。層11還包括位于行與行之間的隔離行22，所述隔離行部分地用于將行電極20彼此電隔離。層11的部件通常位于另一層某種載體材料(例如，聚酯或玻璃)上。對層11的部件進(jìn)行圖案化的工藝已在Zu所著專利申請公開中詳細(xì)描述，該專利申請公開先前已經(jīng)以引用方式并入此。
圖2a所不為微導(dǎo)體圖案2a (圖2)的分解圖,所述微導(dǎo)體圖案包括行電極20的一部分。圖2a中的微導(dǎo)體圖案包括連續(xù)的蜂窩狀圖案。圖2b所示為微導(dǎo)體圖案2b (圖2)的分解圖，所述微導(dǎo)體圖案包括隔離行22的一部分。這里的蜂窩狀圖案是不連續(xù)的，它包括間隙，這些間隙使微導(dǎo)體相互電隔離。
圖2a和圖2b (以及通過擴(kuò)展，圖2)中所示的微導(dǎo)體圖案包括基本相同形狀(在這種情況下是正六邊形)的重復(fù)圖案，并且不包括位置圖案。
圖3類似于圖2，不同之處在于圖3 (示出了觸摸傳感器的層52)中行電極24包括導(dǎo)電元件中的位置圖案，所述導(dǎo)電元件包括微導(dǎo)體圖案(可以從圖3a中更詳細(xì)地看出，圖3a所示為圖3中微導(dǎo)體圖案3a的分解圖)。類似地，隔離行26包括類似的位置圖案(可以從圖3b中更詳細(xì)地看出，圖3b所示為圖3中微導(dǎo)體圖案3b的分解圖)。
從圖3a和圖3b中可以看出，包括在微圖案中的六邊形并不是規(guī)則的，相反它有大小不同的邊。美國專利N0.7，172，131 (Pettersson等人)描述了六邊形光柵圖案,并描述了該圖案可以如何使用位置信息進(jìn)行編碼的，并且該專利先前以引用方式并入本公開中。對頂點(diǎn)的修改可以通過適當(dāng)結(jié)構(gòu)化的方式來實(shí)現(xiàn)。在六邊形為規(guī)則的情況下，如果每個(gè)頂點(diǎn)的位置可以向其所在位置的左方或右方移動(dòng)一個(gè)單位，那么每個(gè)頂點(diǎn)可以具有五個(gè)可能位置中的一個(gè)。
六邊形具有六個(gè)頂點(diǎn)，每個(gè)頂點(diǎn)具有五個(gè)可能位置，從而提供出6~5或7，776種可能的獨(dú)特六角形。另外，每個(gè)六邊形具有六個(gè)最近的相鄰六邊形。如果最近鄰居的位置圖案是位置編碼信息的一部分，那么獨(dú)特位置圖案的數(shù)目則變?yōu)?，776~6或221，073, 919，720, 733，357，899，776個(gè)。通過使用由檢測裝置分辨出的最小六邊形尺寸，這種數(shù)目的獨(dú)特位置遠(yuǎn)遠(yuǎn)足夠用于覆蓋任何合理尺寸的傳感器?？梢岳闷渌幋a方法來使用這些六邊形。不是向右或向左移動(dòng)六邊形頂點(diǎn)，而是可以向其他方向移動(dòng)這些頂點(diǎn)，例如，沿著六邊形的邊，或者在任意方向中以不同的量發(fā)生移動(dòng)。這些方法中每個(gè)方法都在將位置信息編碼到位置圖案中這方面提供了額外的自由。除了六邊形之外的其他多邊形也可以用作包括位置圖案的微圖案。例如，圖4a所示為四邊形，圖4b所示為三邊形。圖4c所示為微圖案的另一項(xiàng)實(shí)施例，其中所述微圖案包括額外的記號，例如連接到所述微圖案的劃線，或者與所述微圖案電隔離的圓點(diǎn)，這些記號本身包括獨(dú)特的位置標(biāo)記。在此實(shí)施例中，微圖案本身可以主要由重復(fù)形狀構(gòu)成，并且獨(dú)特的位置標(biāo)記可以例如全部涵蓋在位置劃線或圓點(diǎn)相對于重復(fù)形狀頂點(diǎn)的布置中。另外，正如技術(shù)人員能理解的那樣，頂點(diǎn)的波動(dòng)可以與劃線和圓點(diǎn)相組合。先前引用的Pettersson所著文獻(xiàn)中另外還描述了可以如何使用位置信息來編碼其他的光柵圖案。先前引用的Robrecht所著文獻(xiàn)中另外還描述了可以如何實(shí)現(xiàn)編碼圖案。在觸摸傳感器構(gòu)造中，層52可以被層合到類似配置的層，該類似配置的層包括列電極，其行電極與列電極被電介質(zhì)層隔開，從而形成互電容式觸摸傳感器網(wǎng)格。包括位置圖案的層52可以包括微導(dǎo)體圖案，所述微導(dǎo)體圖案經(jīng)特定處理、配制或涂覆以由檢測裝置120來感測?？梢赃m用的一些涂層已描述于美國專利申請N0.2006/0139338 (Robrecht)中，該專利申請先前以引用方式并入此。對應(yīng)層可以不包括這樣的涂層，或者可以包括某種并不包括微圖案的其他材料(例如，配置成連續(xù)條形狀的導(dǎo)電氧化物)。層52可以包括列電極或者行電極，并且優(yōu)選地定向?yàn)轫攲?形成互電容式矩陣傳感器的兩層中的頂層，即，布置在用戶與包括不包括位置圖案的電極的層之間)。當(dāng)然，其他層也可以被包括在內(nèi)，例如，頂電極層與用戶之間的玻璃鋪層，或者硬敷層。對于互電容式網(wǎng)格，它包括行電極與列電極，這兩種電極由電介質(zhì)層隔開并形成矩陣，除了所述互電容式網(wǎng)格之外，微導(dǎo)體圖案的連續(xù)的單電極層也可以在傳統(tǒng)的比率尺度(ratio metric)方法中使用來檢測觸摸位置信息。結(jié)合了單連續(xù)層的這些比率尺度方法有時(shí)被稱作表面電容技術(shù)，并且在業(yè)內(nèi)眾所周知。單層構(gòu)造也可以用于具有行電極與列電極的矩陣型互電容式觸摸屏。這種構(gòu)造通常具有作為第一層設(shè)置在基底上的整行電極，并且在這些行電極之間具有位于該基底同樣的第一層上的列電極的電隔離部分。電介質(zhì)(例如光學(xué)透明的粘合劑)選擇性地涂在行電極的以下部分，即在那里，列電極的隔離部分需要橋接行電極，隨后導(dǎo)體(例如導(dǎo)電氧化物)進(jìn)一步涂在列電極的隔離部分之間，由此來橋接行電極并形成列電極。在這種構(gòu)造中，第一層電極(行和列)可以由微導(dǎo)體構(gòu)成，所述微導(dǎo)體包括位置圖案(這些電極之間的區(qū)域具有不連續(xù)圖案，所述不連續(xù)圖案類似地包括所述位置圖案)，并且橋接可以包括某種導(dǎo)體(例如，透明的導(dǎo)電氧化物)，檢測裝置160被配置為不檢測此導(dǎo)體，或者，該導(dǎo)體對檢測裝置160并不可見。
圖5示意性地示出了觸筆形式的檢測裝置320 ;它包括具有尖324和背部338的殼體322。尖324包括孔隙326，用于接收(以及在某些實(shí)施例用于發(fā)射)輻射以分辨編碼的圖案。透鏡327可以包括在內(nèi)，用于將輻射聚焦在成像裝置328上。從成像裝置獲得的信息可以由解碼電路332來進(jìn)行解碼，并且所生成的信號可以由數(shù)據(jù)傳輸單元334傳輸?shù)较到y(tǒng)電子器件。也可提供電源336，使得觸筆320可以為獨(dú)立的無需連接的裝置。電源336可以為完全自備式電源，例如，電池，或者可以是RF激勵(lì)電源電路，其由遠(yuǎn)離觸筆的一個(gè)位置處產(chǎn)生的RF信號來驅(qū)動(dòng)。檢測裝置320另外還可以用于檢測和記錄觸筆筆劃，無論觸筆是否與位置編碼導(dǎo)電微圖案結(jié)合使用。例如，觸筆可以包括可伸縮的注墨尖，該注墨尖可以用于在紙上進(jìn)行書寫。如果紙上印有編碼圖案，而該編碼圖案可以由檢測觸筆檢測出，那么觸筆在書寫時(shí)的位置可以被記錄在位于觸筆內(nèi)的存儲(chǔ)裝置中。視情況，信息可以經(jīng)由有線連接或無線連接而被傳達(dá)到主機(jī)系統(tǒng)或用于處理、記錄和/或存儲(chǔ)的其他裝置中。通過將觸筆埠接而使其連接到計(jì)算機(jī)或以其他方式使其與計(jì)算機(jī)連接(經(jīng)由有線連接或無線連接)，使得所存儲(chǔ)的觸針筆劃信息可以被加載到計(jì)算機(jī)中。視情況，觸筆筆劃可以被記錄和存儲(chǔ)在包括在觸筆內(nèi)的存儲(chǔ)器裝置中，甚至是當(dāng)觸筆與數(shù)字轉(zhuǎn)換器鋪層結(jié)合使用時(shí)，例如，以便于信息能容易地轉(zhuǎn)移到另一個(gè)計(jì)算機(jī)裝置。圖6為圖示觸摸屏所用元件的制造方法的流程圖。該工藝在美國專利申請公開N0.2009-0218310 (Zu等人)中進(jìn)行了進(jìn)一步地詳細(xì)描述，該專利申請公開先前以全文引用方式并入此。首先提供包括位置圖案的著墨的彈性壓模(步驟601)。接下來，使壓模的凸起特征與金屬涂布基底接觸(步驟610)，因此著墨部分被傳遞到該金屬涂布基底。最后，蝕刻去除未涂墨的金屬(步驟620)，使得只剩下涂覆金屬的基底的形成位置圖案的部分。除非另外指明，否則本說明書和權(quán)利要求書中用來表示數(shù)量、特性量度等的所有數(shù)值都應(yīng)當(dāng)理解為由術(shù)語“約”修飾。因此，除非有相反的指示，否則本說明書和權(quán)利要求書中列出的數(shù)值參數(shù)均為近似值，這些近似值可根據(jù)本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員利用本專利申請的教導(dǎo)內(nèi)容想要獲得的所需特性而改變。并不旨在將等同原則的應(yīng)用限制在權(quán)利要求書范圍內(nèi)，至少應(yīng)該根據(jù)所記錄的有效數(shù)位的數(shù)目和通過應(yīng)用慣常的四舍五入法來解釋每個(gè)數(shù)值參數(shù)。雖然給出本發(fā)明寬范圍的數(shù)值范圍和參數(shù)是近似值，但就任何數(shù)值均在本文所述具體實(shí)例中列出來說，其記錄盡可能地精確并合理。然而，任何數(shù)值可以包括與測試或測量限制相關(guān)的誤差。在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的前提下，對本發(fā)明的各種修改和更改對于本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員將顯而易見，而且應(yīng)當(dāng)理解，本發(fā)明不限于本文所列出的示例性實(shí)施例。例如，除非另外指明，否則讀者應(yīng)當(dāng)理解，所公開的一項(xiàng)實(shí)施例的特征也可應(yīng)用于所公開的所有其他實(shí)施例。還應(yīng)當(dāng)理解，本文引用的所有美國專利、專利申請公開案和其他專利和非專利文獻(xiàn)均在不與上述公開內(nèi)容相抵觸的情況下以引用方式并入。
權(quán)利要求
1.一種對基底上的導(dǎo)體進(jìn)行圖案化的方法，所述方法包括: 提供通過自組裝單層膜形成分子著墨并且具有含有凸起特征的凸紋圖案的彈性壓模，所述凸起特征限定包括獨(dú)特位置標(biāo)記的位置圖案； 使著墨的所述壓模的所述凸起特征接觸涂覆金屬的對可見光透明的基底；以及 對所述金屬進(jìn)行蝕刻，以在所述對可見光透明的基底上形成與著墨的所述壓模的所述凸起特征相對應(yīng)的導(dǎo)電微圖案。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中接觸步驟的接觸時(shí)間在0.1秒至30秒的范圍內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中低密度區(qū)域具有介于1%與5%之間的凸起特征平均面積密度值。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述壓模中鄰近印刷表面處的自組裝單層膜形成分子的濃度介于0.05毫摩爾與20毫摩爾之間，并且接觸步驟的接觸時(shí)間在0.1秒至10秒的范圍內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中所述自組裝單層膜形成分子包括十八硫醇。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述壓模中鄰近印刷表面處的自組裝單層膜形成分子的濃度介于0.05毫摩爾與5毫摩爾之間，接觸步驟的接觸時(shí)間在0.1秒至10秒的范圍內(nèi)，并且所述自組裝單層膜形成分子包括十六硫醇。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中低密度區(qū)域具有一致的凸起特征平均面積密度值。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中直線區(qū)段具有介于I微米至5微米之間的寬度值。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中在低密度區(qū)域相鄰?fù)蛊鹛卣髦g的最大距離值為500微米。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中在所述凸紋圖案中的所有非凸起點(diǎn)與直線凸起特征在所有方向上具有小于I毫米的最大間距。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中在所述凸紋圖案中的所有非凸起點(diǎn)與直線凸起特征在所有方向上具有小于500微米的最大間距。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述壓模浸有自組裝單層膜形成分子，所述自組裝單層膜形成分子包括硫醇、二烷基二硫化物、二烷基硫化物、烷基黃原酸鹽、二硫代磷酸鹽和二烷基硫代氣基甲酸鹽。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述導(dǎo)電微圖案的低密度區(qū)域包括導(dǎo)電網(wǎng)孔微圖案。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，進(jìn)一步包括將所述導(dǎo)電微圖案電連接到觸摸傳感器驅(qū)動(dòng)裝置。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述凸紋圖案包括經(jīng)測量寬度為至少50微米的凸起特征。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其中單層膜形成分子包括十八硫醇，所述壓模中鄰近印刷表面處的自組裝單層膜形成分子的濃度介于0.5毫摩爾與10毫摩爾之間，并且接觸步驟的接觸時(shí)間在0.5秒至5秒的范圍內(nèi)。
17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其中單層膜形成分子包括十六硫醇，所述壓模中鄰近印刷表面處的自組裝單層膜形成分子的濃度介于0.5毫摩爾與I毫摩爾之間，并且接觸步驟的接觸時(shí)間在0.5秒至5 秒的范圍內(nèi)。
全文摘要
一種對基底上的導(dǎo)體進(jìn)行圖案化的方法，所述導(dǎo)體包括獨(dú)特位置標(biāo)記，所述獨(dú)特位置標(biāo)記可以由傳感裝置來感測，而所述基底上的位置由所述標(biāo)記來確定。
文檔編號H01B13/00GK103221907SQ201180055014
公開日2013年7月24日 申請日期2011年11月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月22日
發(fā)明者比利·L·韋弗, 布洛克·A·哈勃 申請人:3M創(chuàng)新有限公司