專利名稱：層疊型壓電致動器以及壓電振動裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及采用了隔著陶瓷層層疊有多個內(nèi)部電極的層疊型陶瓷燒結(jié)體的層疊型壓電致動器，更詳細(xì)而言涉及采用了在最外層具有不活潑層的陶瓷燒結(jié)體的層疊型壓電致動器。此外，本發(fā)明涉及具備振動板并且在振動板上接合了層疊型壓電致動器的壓電振動裝置。
背景技術(shù)：
以往，提出了各種采用了隔著壓電陶瓷層層疊有多個內(nèi)部電極的層疊型陶瓷燒結(jié)體的層疊型壓電致動器、壓電蜂鳴器等。例如，在下述的專利文獻I中公開了在上述層疊型陶瓷燒結(jié)體上粘貼由鋼板構(gòu)成的振動板的壓電蜂鳴器。其中，層疊型陶瓷燒結(jié)體的振動板側(cè)的陶瓷層沒有進行極化處理。據(jù)此,該陶瓷層作為緩和層。因此,能夠使由陶瓷燒結(jié)體和振動板構(gòu)成的振動體的彎曲振動
平滑化。但是，在將專利文獻I所記載的壓電蜂鳴器應(yīng)用于壓電致動器時，未被極化處理的陶瓷層成為不活潑的陶瓷層。即，成為對壓電效果沒有貢獻的不活潑層。因此，不活潑層成為約束層，位移量有可能變小。相對于此，在下述的專利文獻2中公開了具有圖15所示的構(gòu)造的層疊型壓電致動器1001。在層疊型壓電致動器1001中，在層疊型陶瓷燒結(jié)體1002內(nèi)在層疊方向上交替配置有多個第I內(nèi)部電極1003和多個第2內(nèi)部電極1004。此外，在陶瓷燒結(jié)體1002的第I端面形成有第I外部電極1005。在陶瓷燒結(jié)體1002的第2端面形成有第2外部電極1006。在陶瓷燒結(jié)體1002的上表面，按照在層疊方向上俯視時與最上部的第I內(nèi)部電極1003重疊的方式形成有表面電極100 6a。另一方面，在陶瓷燒結(jié)體1002的下表面沒有形成表面電極。因此，最下部的第I內(nèi)部電極1003與陶瓷燒結(jié)體1002的下表面之間的陶瓷層、即最下層的陶瓷層被設(shè)為不活潑層。該不活潑層的厚度被設(shè)為比作為活性層的其它陶瓷層的厚度薄。因為作為不活潑層的最下層的陶瓷層的厚度被設(shè)定得較薄，所以難以約束層疊型壓電致動器1001的位移?，F(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻I JP特開昭61-103397號公報專利文獻2 JP特開2005-285817號公報

發(fā)明內(nèi)容
-發(fā)明要解決的課題-在專利文獻2所記載的層疊型壓電致動器1001等中，第1、第2外部電極1005、1006通過導(dǎo)電糊的涂敷/燒接等而形成。在該情況下，如圖16的箭頭A所示，第2外部電極1006從陶瓷燒結(jié)體1002的第2端面卷繞到下表面，形成卷繞部1006b。在卷繞部1006b的長度(從作為與第2外部電極1006連接的部分的基端到卷繞部1006b的頂端的尺寸)較長的情況下，在層疊方向上俯視時卷繞部1006b隔著最下層的陶瓷層與最下部的第I內(nèi)部電極1003重疊。因此，如圖16所示，作為不活潑層的最下層的陶瓷層的一部分成為活性部。因為作為不活潑層的最下層的陶瓷層的厚度較薄，所以在上述活性部，與作為活性層的其他陶瓷層相比，施加較高的電場。因此，陶瓷層有可能在高電場區(qū)域X內(nèi)被破壞。此外，如圖15所示，在縮短了第1、第2內(nèi)部電極1003、1004的長度(從作為第1、第2內(nèi)部電極1003、1004的端面?zhèn)炔糠值幕说降?、第2內(nèi)部電極1003、1004的頂端的尺寸)的情況下，即使形成了圖16所示的卷繞部，卷繞部與最下部的第I內(nèi)部電極1003在層疊方向上俯視時隔著最下層的陶瓷層也不重疊。但是，在該情況下，第1、第2內(nèi)部電極1003、1004在層疊方向上俯視時重疊的部分即活性部的長度、即連結(jié)陶瓷燒結(jié)體1002的第1、第2端面間的方向上的該活性部的長度L變短。而且，在該活性部的上述長度方向兩側(cè)存在不活潑部，不活潑部變大。因此，層疊型壓電致動器1001的位移受阻礙。尤其在層疊型壓電致動器1001是利用了彎曲模式的壓電致動器的情況下，若第
1、第2端面?zhèn)鹊牟换顫姴孔兇?，則層疊型壓電致動器1001的位移受到較大阻礙。另外，在使第1、第2內(nèi)部電極1003、1004的長度變長的情況下，如圖16所示，在層疊方向上俯視時，最下部的第I內(nèi)部電極1003的頂端側(cè)部分有可能隔著最下層的陶瓷層與卷繞部1006b重疊。本發(fā)明的目的在于提供一種層疊型壓電致動器和具備該層疊型壓電致動器的壓電振動裝置，即使將最外層的陶瓷層設(shè)為不活潑層，通過使該不活潑層的厚度變薄從而提高了位移量，也難以產(chǎn)生陶瓷燒結(jié)體中的破壞。-用于解決課題的手段_本發(fā)明所涉及的層疊型壓電致動器陶瓷燒結(jié)體，其由壓電陶瓷構(gòu)成，并且具有上表面、下表面以及相對置的第I端面、第2端面；多個第I內(nèi)部電極，形成在陶瓷燒結(jié)體內(nèi)，并且被引出到第I端面；多個第2內(nèi)部電極，形成在陶瓷燒結(jié)體內(nèi)，并且被引出到第2端面；多個陶瓷層，形成在陶瓷燒結(jié)體內(nèi)，并且與第I內(nèi)部電極以及第2內(nèi)部電極一起層疊；第I外部電極，其形成在陶瓷燒結(jié)體的第I端面；以及第2外部電極，其形成在陶瓷燒結(jié)體的第2端面。在本發(fā)明中，第I內(nèi)部電極和第2內(nèi)部電極在陶瓷燒結(jié)體內(nèi)隔著陶瓷層相對置，夾在第I內(nèi)部電極與第2內(nèi)部電極之間的陶瓷層作為活性層，具有多個活性層，在陶瓷燒結(jié)體內(nèi)，多個第I內(nèi)部電極、第2內(nèi)部電極中的位于最上部的內(nèi)部電極與陶瓷燒結(jié)體的上表面之間的陶瓷層作為第I不活潑層，多個第I內(nèi)部電極、第2內(nèi)部電極中的位于最下部的內(nèi)部電極與陶瓷燒結(jié)體的下表面之間的陶瓷層作為第2不活潑層。此外，作為不活潑層的陶瓷層的厚度比作為活性層的陶瓷層的厚度薄，并且在將第I內(nèi)部電極或者第2內(nèi)部電極的長度設(shè)為從引出該第I內(nèi)部電極或者第2內(nèi)部電極的第I端面或者第2端面到該第I內(nèi)部電極或者第2內(nèi)部電極的頂端的距離時，位于最上部的內(nèi)部電極以及位于最下部的內(nèi)部電極的長度的至少一方比其他內(nèi)部電極的長度短。此外，在陶瓷燒結(jié)體的層疊方向上俯視時，第I外部電極、第2外部電極形成為隔著不活潑層而不與最上部以及最下部的內(nèi)部電極中的連接于不同的電位的內(nèi)部電極重疊。
在本發(fā)明所涉及的層疊型壓電致動器的某特定方面，第I外部電極、第2外部電極形成在陶瓷燒結(jié)體的第I端面、第2端面上，并且設(shè)置為不到達陶瓷燒結(jié)體的上表面以及下表面。在該情況下，在陶瓷燒結(jié)體的上下兩面以及下表面?zhèn)鹊牟换顫妼?，難以施加電場。因此，更難以產(chǎn)生不活潑層中的破壞。在本發(fā)明所涉及的層疊型壓電致動器的某特定方面，第I外部電極、第2外部電極具有位于陶瓷燒結(jié)體的第I端面、第2端面的端面部、和與端面部連接并且到達陶瓷燒結(jié)體的上表面以及下表面的至少一方的卷繞部，卷繞部被配置為在陶瓷燒結(jié)體的層疊方向上俯視時該卷繞部和最上部以及最下部的內(nèi)部電極中的連接于不同的電位的內(nèi)部電極隔著不活潑層而不重疊。如此即使在第1、第2外部電極存在卷繞部的情況下，在陶瓷燒結(jié)體的層疊方向上俯視時，也配置為卷繞部和最上部以及最下部的內(nèi)部電極中的連接于不同的電位的內(nèi)部電極隔著不活潑層而不重疊，所以難以產(chǎn)生成為最上層或者最下層的最外層的陶瓷層即不活潑層中的破壞。在本發(fā)明所涉及的層疊型壓電致動器的另一特定方面，卷繞部是用于與其他構(gòu)件接合的表面電極。在該情況下，利用表面電極，能夠容易地安裝到振動板、基板等。在本發(fā)明所涉及的層疊型壓電致動器的另一特定方面，構(gòu)成活性層的陶瓷層的厚度相等。在該情況下，能夠使用同一陶瓷生片來容易地形成不活潑層以外的陶瓷層。在本發(fā)明所涉及的層疊型壓電致動器的另一特定方面，在將不活潑層的厚度設(shè)為L、將活性層的厚度設(shè)為H時，O < (1/2)H。在該情況下，能夠更可靠地抑制不活潑層對位移的約束，能夠可靠地獲得更大的位移量。本發(fā)明所涉及的壓電振動裝置具備振動板，并且在該振動板上接合了本發(fā)明所涉及的層疊型壓電致動器。在該情況下，根據(jù)本發(fā)明，能夠提供以彎曲模式振動的、并且位移量大的壓電振動裝置。-發(fā)明效果-在本發(fā)明所涉及的層疊型壓電致動器中，作為不活潑層的陶瓷層的厚度比作為活性層的陶瓷層的厚度薄，所以作為不活潑層的陶瓷層不那么約束作為活性層的陶瓷層的位移，能夠獲得較大的位移量。而且，位于最上部的內(nèi)部電極以及位于最下部的內(nèi)部電極的長度的至少一方比其他內(nèi)部電極的長度短，并且在陶瓷燒結(jié)體的層疊方向上俯視時，第1、第2外部電極形成為隔著不活潑層而不與最上部以及最下部的內(nèi)部電極中的連接于不同的電位的內(nèi)部電極重疊，所以在厚度較薄的不活潑層中難以產(chǎn)生電場施加時的破壞。


圖1 (a)是表示本發(fā)明的第I實施方式所涉及的層疊型壓電致動器的正面剖視圖，(b)是表示其變形例的正面剖視圖。圖2是表示本發(fā)明的第I實施方式所涉及的層疊型壓電致動器的立體圖。圖3是表示本發(fā)明的第2實施方式所涉及的層疊型壓電致動器的正面剖視圖。圖4是表示實施例1所涉及的彎曲型壓電致動器的正面剖視圖。圖5是表示比較例I的彎曲型壓電致動器的正面剖視圖。圖6是表示比較例2的彎曲型壓電致動器的正面剖視圖。圖7是表示比較例3的彎曲型壓電致動器的正面剖視圖。
圖8是表示比較例4的彎曲型壓電致動器的正面剖視圖。圖9是表示本發(fā)明的第2實施方式所涉及的彎曲型壓電致動器的正面剖視圖。圖10是表示本發(fā)明的第3實施方式所涉及的彎曲型壓電致動器的正面剖視圖。圖11是表示本發(fā)明所涉及的壓電致動器的變形例的正面剖視圖。圖12是示意性表示圖11所示的變形例的壓電致動器的內(nèi)部構(gòu)造的立體圖。圖13是表示本發(fā)明所涉及的壓電致動器的另一變形例的正面剖視圖。圖14是表示本發(fā)明所涉及的壓電致動器的另一變形例的正面剖視圖。圖15是表示現(xiàn)有層疊型壓電致動器的正面剖視圖。圖16是用于說明圖15所示的現(xiàn)有層疊型壓電致動器的問題點的正面剖視圖。
具體實施例方式以下，參照附圖來說明本發(fā)明的具體實施方式
，由此使本發(fā)明變得清楚?！驳贗實施方式〕圖1 (a)是表示本發(fā)明的第I實施方式所涉及的層疊型壓電致動器I的正面剖視圖，圖2是其立體圖。層疊型壓電致動器I具有由壓電陶瓷構(gòu)成的陶瓷燒結(jié)體2。在本實施方式中，陶瓷燒結(jié)體2由鋯鈦酸鉛系陶瓷構(gòu)成。當(dāng)然，也可以由其他壓電陶瓷形成陶瓷燒結(jié)體2。陶瓷燒結(jié)體2具有長方體狀的形狀，具有上表面2a、下表面2b、第I端面2c和第2端面2d。在陶瓷燒結(jié)體2內(nèi)，配置有包括陶瓷層2e、2f、2g的多個陶瓷層。在陶瓷燒結(jié)體2內(nèi)，與上表面2a以及下表面2b平行地配置有多個第I內(nèi)部電極3a 3d和多個第2內(nèi)部電極4a 4d。多個第I內(nèi)部電極3a 3d被引出到陶瓷燒結(jié)體2的第I端面2c。多個第2內(nèi)部電極4a 4d被引出到陶瓷燒結(jié)體2的與第I端面2c對置的第2端面2d。在陶瓷燒結(jié)體2內(nèi)，層疊了多個陶瓷層、多個第I內(nèi)部電極3a 3d和多個第2內(nèi)部電極4a 4d。在陶瓷燒結(jié)體2中，在層疊方向上，即在連結(jié)上表面2a和下表面2b的方向上交替地配置了第I內(nèi)部電極3a 3d和第2內(nèi)部電極4a 4d。在第I端面2c處形成了第I外部電極5。在第2端面2d處形成了第2外部電極
6。在本實施方式中，第I外部電極5具有位于第I端面2c處的端面部5a、與端面部5a連接并且到達上表面2a的卷繞部5b、和與端面部5a連接并且到達下表面2b的卷繞部5c。第2外部電極6具有位于第2端面2d處的端面部6a、與端面部6a連接并且到達上表面2a的卷繞部6b、和與端面部6a連接并且到達下表面2b的卷繞部6c。第1、第2內(nèi)部電極3a 3d、4a 4d由AgPd構(gòu)成。當(dāng)然,第1、第2內(nèi)部電極3a 3d、4a 4d也可以由Ag、Au、Cu、Ni或者它們的合金等適當(dāng)?shù)慕饘俨牧闲纬伞＞哂猩鲜龅?、第2內(nèi)部電極3a 3d、4a 4d的陶瓷燒結(jié)體2是能夠通過公知的陶瓷一體燒成技術(shù)獲得的層疊型陶瓷燒結(jié)體。第1、第2外部電極5、6通過導(dǎo)電糊的涂敷/燒接而形成。當(dāng)然，也可以通過蒸鍍法或者濺射法或者鍍覆法等形成。在本實施方式中，第1、第2外部電極5、6通過濺射法形成。第1、第2外部電極5、6能夠由適當(dāng)?shù)慕饘倩蛘吆辖鹦纬伞Ｔ谔沾蔁Y(jié)體2中，第I內(nèi)部電極3a 3d中的任意一個與第2內(nèi)部電極4a 4d中的任意一個之間夾著的部分作為活性層發(fā)揮功能。這里，所謂活性層，是指在施加了電場時通過壓電效果而進行伸縮的部分。在陶瓷燒結(jié)體2中，相鄰的活性層在層疊方向上按相反方向被進行極化處理。驅(qū)動層疊型壓電致動器I時，在第1、第2外部電極5、6間施加電壓。其結(jié)果，對由第I內(nèi)部電極3a 3d與第2內(nèi)部電極4a 4d夾著的多個陶瓷層2e施加電場。因此，施加上述電場時，層疊型壓電致動器I在連結(jié)第1、第2端面2c、2d的方向中央，呈現(xiàn)中央向上方突出的姿態(tài)和中央向下方突出的姿態(tài)。即，以彎曲模式進行位移。另外，構(gòu)成多個活性層的各陶瓷層2e的厚度相等。因此，如后述那樣，能夠減少形成各陶瓷層2e時所需要的生片(green sheet)的種類，能夠提高生產(chǎn)率。在本實施方式中，對作為最下層、即位于第I內(nèi)部電極3d的下方的陶瓷層2f不施加上述電場。因此，陶瓷層2f是不活潑層。同樣地，對作為最上層、即位于第2內(nèi)部電極4a的上方的陶瓷層2g不施加上述電場。即，陶瓷層2g與陶瓷層2f同樣，是不活潑層。所謂不活潑層，是指在從第1、第2外部電極5、6施加了電壓時，未被施加電場的層。本實施方式的層疊型壓電致動器I的特征在于，上述陶瓷層2f、2g的厚度比作為活性層的陶瓷層2e的厚度要薄。如前所述，不活潑層按照約束活性層的位移的方式起作用。在本實施方式中，因為作為不活潑層的陶瓷層2f、2g的厚度較薄，所以不那么約束作為活性層的陶瓷層2e的位移。因此，能夠獲得較大的位移量。本實施方式的層疊型壓電致動器I的其他特征在于，第1、第2內(nèi)部電極3a 3d、4a 4d中的位于最下部的第I內(nèi)部電極3d的長度、以及位于最上部的第2內(nèi)部電極4a的長度比剩下的第1、第2內(nèi)部電極3a 3c、4b 4d要短。這里，所謂內(nèi)部電極的長度，是指從引出內(nèi)部電極的陶瓷燒結(jié)體的端面到內(nèi)部電極的頂端的尺寸、即各內(nèi)部電極在連結(jié)第1、第2端面2c、2d的方向上的尺寸。此外，在本實施方式的層疊型壓電致動器I中，第2外部電極6的卷繞部6c被設(shè)置為在層疊方向上俯視時隔著陶瓷層2f不與第I內(nèi)部電極3d重疊。S卩，使第I內(nèi)部電極3d的長度按照在層疊方向上俯視時隔著陶瓷層2f不與卷繞部6c重疊的方式變短，并且卷繞部6c的長度被縮短。另外，所謂卷繞部6c的長度，是指從第2端面2d到卷繞部6c的頂端、即第I端面2c側(cè)的端部的尺寸。第2外部電極6的卷繞部6c和第I內(nèi)部電極3d連接于相互不同的電位。同樣，在陶瓷燒結(jié)體2的上方部分，第I外部電極5的卷繞部5b也被設(shè)置為在層疊方向上俯視時隔著陶瓷層2g不與第2內(nèi)部電極4a重疊。S卩，使第2內(nèi)部電極4a的長度按照在層疊方向上俯視時隔著陶瓷層2g不與卷繞部5b重疊的方式變短，并且卷繞部5a的長度也被縮短。第I外部電極5的卷繞部5b和第2內(nèi)部電極4a連接于相互不同的電位。如圖16所示，在現(xiàn)有層疊型壓電致動器1001A中，在最下部的第I內(nèi)部電極1003及與該內(nèi)部電極連接于不同的電位的第2外部電極1006的卷繞部1006b之間施加電場，有可能形成高電場區(qū)域X。因此，在最外層的較薄的陶瓷層中有可能產(chǎn)生破壞。與此相對，在本實施方式中，在陶瓷層2f、2g中不形成這種高電場區(qū)域。因此，SP使在最外層設(shè)置厚度相對薄的陶瓷層2f、2g，擴大了位移量，也難以產(chǎn)生該陶瓷層2f、2g中的破壞。圖1 (b)是表示第I實施方式的變形例所涉及的層疊型壓電致動器11的正面剖視圖。在本變形例中，第1、第2外部電極5、6僅具有端面部5a、6a。即，沒有設(shè)置第I實施方式中的卷繞部5b、5c、6b、6c。這種第1、第2外部電極5、6能夠通過導(dǎo)電糊的涂敷/燒接、蒸鍍法或者鍍覆法或者濺射法等適當(dāng)?shù)姆椒ㄐ纬?。在本變形例中，因為沒有設(shè)置卷繞部5b、5c、6b、6c，所以在陶瓷層2f、2g中難以進一步施加高電場。即，因為第I內(nèi)部電極3d及與該第I內(nèi)部電極3d連接于不同的電位的第2外部電極6在層疊方向上俯視時隔著陶瓷層2f不會重疊，并且因為第I內(nèi)部電極3d的頂端與第2外部電極6之間的距離比第I實施方式大，所以在陶瓷層2f更難以施加高電場。同樣，第2內(nèi)部電極4a的頂端與第I外部電極5之間的距離也比第I實施方式的情況大，在陶瓷層2g更難以施加高電場。因此，根據(jù)本變形例，更難以產(chǎn)生絕緣破壞。如此，在本發(fā)明中，也可以不設(shè)置卷繞部5b、5c、6b、6c。圖3是表示本發(fā)明的第2實施方式所涉及的層疊型壓電致動器21的正面剖視圖。在第2實施方式中，在陶瓷燒結(jié)體2的下表面2b，第I外部電極5的卷繞部5c的面積比第I實施方式的情況變大，即卷繞部5c構(gòu)成了表面電極。同樣,第2外部電極6的卷繞部6c的面積也比第I實施方式的情況變大，卷繞部6c也構(gòu)成表面電極。這里，表面電極在將層疊型壓電致動器21連接于其他構(gòu)件時，例如后述的實施例那樣連接于振動板時，作為接合部分發(fā)揮功能。這種作為接合部分發(fā)揮功能的表面電極與第I實施方式的卷繞部5c、6c相比需要具有較大的面積，由此，能夠提高接合的可靠性。在第2實施方式中，形成了作為上述表面電極發(fā)揮功能的卷繞部5c、6c。因此，最下部的第I內(nèi)部電極3d的長度與第I實施方式的情況相比進一步變短。S卩，在本實施方式的層疊型壓電致動器21中，第I內(nèi)部電極3d和與第I內(nèi)部電極3d連接于不同的電位的第2外部電極6的卷繞部6c被配置為在層疊方向上俯視時隔著作為不活潑層的陶瓷層2f不重疊。在該情況下，作為表面電極發(fā)揮功能的卷繞部6c的面積變大，連結(jié)第1、第2端面2c、2d的方向上的長度變長，所以相應(yīng)地第I內(nèi)部電極3d的長度變短。由此，難以在陶瓷層2f施加高電場。如此，在本發(fā)明中，也可以擴大卷繞部5c、6c的面積，提高連接于振動板時的接合的可靠性，在該情況下，也可以將最下部的第I內(nèi)部電極3d和與第I內(nèi)部電極3d連接于不同的電位的第2外部電極6的卷繞部6c配置為在層疊方向上俯視時隔著作為不活潑層的陶瓷層2f不重疊。接下來，對于將上述第I實施方式的層疊型壓電致動器I粘貼在振動板上構(gòu)成的壓電振動裝置，且以彎曲模式變形的彎曲型壓電致動器的具體的實施例，與比較例一起進行說明。作為實施例1，制作了圖4所示的彎曲型壓電致動器31。在彎曲型壓電致動器31中，在振動板32上通過粘合劑層33粘貼了具有與前述的第I實施方式的層疊型壓電致動器I同樣構(gòu)造的層疊型壓電致動器34。振動板32受到層疊型壓電致動器34的位移而被動地位移。其結(jié)果，彎曲型壓電致動器31整體以彎曲模式進行位移。在實施例1中，作為振動板32，使用了厚度0.8mm的玻璃環(huán)氧板。此外，作為上述粘合劑層33，使用了環(huán)氧系粘合劑。在使用振動板32形成彎曲型壓電致動器31時，上述振動板32的材料不限定于上述玻璃環(huán)氧板。即，振動板32能夠通過合成樹脂、金屬等合適的材料來構(gòu)成。當(dāng)然，期望振動板32的熱膨脹系數(shù)以及楊氏模量與陶瓷燒結(jié)體2的熱膨脹系數(shù)以及楊氏模量接近。因此，若考慮壓電陶瓷的熱膨脹系數(shù)以及楊氏模量，則期望振動板32由42鎳、低膨脹玻璃環(huán)氧構(gòu)成。在制造陶瓷燒結(jié)體2時，使用了公知的陶瓷一體燒成技術(shù)。即，準(zhǔn)備以壓電陶瓷材料為主體的陶瓷生片，在該陶瓷生片的上表面印刷AgPd糊以形成母體的內(nèi)部電極圖案。另夕卜，在印刷上述內(nèi)部電極圖案時，在形成前述最上部的第2內(nèi)部電極4a以及最下部的內(nèi)部電極3d的部分，按照最終內(nèi)部電極的長度變短的方式，印刷了母體的內(nèi)部電極圖案。通過這種方式，層疊印刷了母體的內(nèi)部電極圖案的糊劑的多枚母陶瓷生片，進而在上下層疊比其他陶瓷生片薄的陶瓷生片，在層疊方向上壓接，得到母陶瓷成形體。另外，在上述實施例1中，與構(gòu)成活性層的陶瓷生片相比，使構(gòu)成不活潑層的陶瓷生片的厚度變薄。作為其他方法，也可以使構(gòu)成活性層的陶瓷生片的枚數(shù)比構(gòu)成不活潑層的陶瓷生片的枚數(shù)多。將如上述那樣得到的母陶瓷成形體切斷為各個層疊型壓電致動器單位的陶瓷成形體。對個片化后的陶瓷成形體進行燒成，得到陶瓷燒結(jié)體2。在該陶瓷燒結(jié)體2的第1、第2端面2c、2d通過濺射法制作了第1、第2外部電極5、6。然后，在第1、第2外部電極5、6間施加直流電壓，在層疊方向上，按照極化軸一致的方式將相鄰的活性層在層疊方向上按相反方向進行了極化處理。如上述那樣得到層疊型壓電致動器34，將該層疊型壓電致動器34通過粘合劑層33粘貼到前述的振動板32上。按照這種方式，得到實施例1的彎曲型壓電致動器31。為了進行比較，準(zhǔn)備了圖5所示的比較例I的彎曲型壓電致動器1051。彎曲型壓電致動器1051除了使用層疊型壓電致動器1052代替上述實施例1的彎曲型壓電致動器31中的層疊型壓電致動器34之外，與上述實施例1同樣。該層疊型壓電致動器1052具有陶瓷燒結(jié)體1053。陶瓷燒結(jié)體1053具有上表面、下表面、第I端面1053c和第2端面1053d。在陶瓷燒結(jié)體1053內(nèi)，與上表面以及下表面平行地配置了多個第I內(nèi)部電極1054a 1054d和多個第2內(nèi)部電極1055a 1055d。多個第I內(nèi)部電極1054a 1054d被引出到陶瓷燒結(jié)體1053的第I端面1053c。多個第2內(nèi)部電極1055a 1055d被引出到陶瓷燒結(jié)體1053的與第I端面1053c對置的第2端面1053d。在陶瓷燒結(jié)體1053中，在層疊方向上交替地配置了第I內(nèi)部電極1054a 1054d和第2內(nèi)部電極1055a 1055d。此外，相鄰的陶瓷層在層疊方向上按相反方向進行了極化處理。由第I內(nèi)部電極1054a 1054d和第2內(nèi)部電極1055a 1055d夾著的陶瓷層即活性層的厚度全部相等。而且，在第I端面1053c形成了第I外部電極1056。在第2端面1053d形成了第2外部電極1057。這里，第I外部電極1056具有位于第I端面1053c的端面部1056a、與端面部1056a連接并且到達陶瓷燒結(jié)體1053的上表面的同時在層疊方向上俯視時與最上部的第2內(nèi)部電極1055a重疊地設(shè)置的卷繞部1056b、和與端面部1056a連接并且到達陶瓷燒結(jié)體1053的下表面的卷繞部1056c。因此，最上層的陶瓷層作為活性層發(fā)揮作用。同樣，第2外部電極1057具有位于第2端面1053d的端面部1057a、與端面部1057a連接并且到達陶瓷燒結(jié)體1053的上表面的卷繞部1057b、和與端面部1057a連接并且到達陶瓷燒結(jié)體1053的下表面的卷繞部1057c。卷繞部1057c向第I端面1053c側(cè)延伸，在層疊方向上俯視時，與最下部的第I內(nèi)部電極1054d隔著陶瓷層而重疊。因此，最下層的陶瓷層也作為活性層發(fā)揮功能。
在層疊型壓電致動器1052中，上述最外層的陶瓷層作為活性層發(fā)揮功能，最外層的陶瓷層被設(shè)為與其他陶瓷層相同的厚度。對上述實施例1以及比較例I的彎曲型壓電致動器31、1051在60°C的溫度以及相對濕度93%的氣氛中施加±12V的電壓進行驅(qū)動，測量了直到發(fā)生故障為止的時間B10。結(jié)果如下述的表1所示。[表 1]
直到發(fā)生故障為止的時間BlO(小時)
實施例1 540 比較例I 140由表I可知，與比較例I相比，根據(jù)實施例1，能夠使直到故障為止的時間BlO延長到約4倍左右。在比較例I中在比較短的時間發(fā)生了故障的原因，可以考慮在高溫高濕下，空氣中的水分到達內(nèi)部的活性層，產(chǎn)生了內(nèi)部電極中的Ag的遷移。在實施例1中，具有與上述第I實施方式的層疊型壓電致動器I同樣構(gòu)造的層疊型壓電致動器34，最外層的陶瓷層是不活潑層。因此，空氣中的水分難以到達層疊型壓電致動器內(nèi)部的活性層，在作為活性層的陶瓷層中難以產(chǎn)生裂紋。因此，可認(rèn)為層疊型壓電致動器34的壽命變長。接下來，準(zhǔn)備了上述實施例1的彎曲型壓電致動器31和圖6所示的比較例2的彎曲型壓電致動器1061。在比較例2的彎曲型壓電致動器1061中，除了使用層疊型壓電致動器1062代替上述實施例1的彎曲型壓電致動器31中的層疊型壓電致動器34之外，與上述實施例1同樣。而且，層疊型壓電致動器1062與比較例I的層疊型壓電致動器1052同樣地具有陶瓷燒結(jié)體1053、多個第I內(nèi)部電極1054a 1054d、多個第2內(nèi)部電極1055a 1055d、第I外部電極1056和第2外部電極1057。層疊型壓電致動器1062具有與用于前述的專利文獻I所記載的壓電蜂鳴器中的層疊型壓電體同樣的構(gòu)造。在比較例I中，在陶瓷燒結(jié)體1053的上表面以及下表面，第I外部電極1056的卷繞部1056b以及第2外部電極1057的卷繞部1057c形成為在層疊方向上俯視時與連接于不同的電位的第2內(nèi)部電極1055a或者第I內(nèi)部電極1054d重疊。因此，最外層的陶瓷層成為活性層。與此相對，在比較例2的彎曲型壓電致動器1061中，與卷繞部1056c、1057b同樣地，卷繞部1056b以及卷繞部1057c連接于端面部1056a、1057a，并且形成為到達陶瓷燒結(jié)體1053的上表面或者下表面。因此，最外層的陶瓷層大致成為不活潑層。對于其他部分，與比較例I相同。另外，在實施例1中，作為不活潑層的最外層的陶瓷層的厚度為活性層的陶瓷層的厚度的1/2。在使作為不活潑層的最外層的陶瓷層和活性層的陶瓷層使用同一厚度的陶瓷層制造層疊型壓電致動器的情況下，使活性層為2層的陶瓷層且使不活潑層為I層的陶瓷層的L = (1/2)H時，與使活性層為3層的陶瓷層且使不活潑層為2層的陶瓷層等其他條件相比，因為層疊工序的數(shù)目最小，所以制造變得容易從而優(yōu)選。而且，若使陶瓷層的厚度和材料相同，則能夠利用同一工序來準(zhǔn)備陶瓷層，所以制造變得更加容易從而優(yōu)選。
對于上述實施例1以及比較例2的彎曲型壓電致動器31、1061的位移量，施加±12V的電壓，將連結(jié)第1、第2端面的方向作為長度方向時，求出了彎曲型壓電致動器31、1061的長度方向中央處的位移量。其結(jié)果，在比較例2中位移量為79 μ m。與此相對，在實施例I中位移量為87μπι。因此，可知通過使不活潑層的厚度變薄，根據(jù)實施例1，能夠擴大
位移量。另外，在比較例2中，卷繞部1056b和最上部的第2內(nèi)部電極1055a存在在層疊方向上俯視時隔著最上層的陶瓷層的一部分而重疊的部分。同樣，卷繞部1057c和最下部的第I內(nèi)部電極1054d存在在層疊方向上俯視時隔著最下層的陶瓷層的一部分而重疊的部分。因此，最外層是不活潑層，而不活潑層的一部分成為活性部。因此，如前所述，若在成為該活性部的部分施加高的電場，則在最外層的陶瓷層由于壓電效果通過與所施加的電場相應(yīng)地產(chǎn)生的應(yīng)力以及由壓電致動器的位移引起的應(yīng)力，有可能在陶瓷層產(chǎn)生破壞。尤其若在厚度比被內(nèi)部電極夾著的活性層變薄、破壞耐力變小的最外層的陶瓷層混合存在活性部和非活性部，則因為在被施加高電場的活性部與非活性部的邊界發(fā)生的應(yīng)力差和由壓電致動器的位移引起的應(yīng)力重疊，所以在厚度相對薄的最外層的陶瓷層容易產(chǎn)生破壞。接下來，準(zhǔn)備了上述實施例1的彎曲型壓電致動器31和圖7所示的比較例3的彎曲型壓電致動器1071。在比較例3的彎曲型壓電致動器1071中，除了使用層疊型壓電致動器1072代替上述實施例1的彎曲型壓電致動器31中的層疊型壓電致動器34之外，與上述實施例1相同。層疊型壓電致動器1072除了最外層的陶瓷層的厚度為其他陶瓷層的厚度的1/2之外，具有與比較例2的彎曲型壓電致動器1061的層疊型壓電致動器1062相同的構(gòu)造。該構(gòu)造是與前述的專利文獻2所記載的層疊型壓電致動器相同的構(gòu)造。在上述實施例1的彎曲型壓電致動器31以及比較例3的彎曲型壓電致動器1071施加矯頑電場的2倍的直流電壓，對陶瓷燒結(jié)體進行了極化。S卩，在第1、第2外部電極間施加矯頑電場的2倍的電壓，使作為活性層發(fā)揮功能的陶瓷層在層疊方向上極化。其結(jié)果，在比較例3的彎曲型壓電致動器1071中所使用的層疊型壓電致動器1072中，在10個樣本中10個都發(fā)生了故障，在實施例1的彎曲型壓電致動器31中所使用的層疊型壓電致動器34中，10個樣本中發(fā)生了故障的數(shù)目為O。另外，所謂故障，是指在極化處理時在相鄰的電極間產(chǎn)生了短路的數(shù)目。如上所述，在使用于比較例3的彎曲型壓電致動器1071的層疊型壓電致動器1072中，產(chǎn)生了故障的原因可以考慮如下。即，因為最外層的陶瓷層的厚度變薄，所以在卷繞部1056b和最上部的第2內(nèi)部電極1055a在層疊方向上俯視時隔著最上層的陶瓷層的一部分重疊的部分B以及卷繞部1057c和最下部的第I內(nèi)部電極1054d在層疊方向上俯視時隔著最下層的陶瓷層的一部分重疊的部分D處施加高電場。因此，可考慮產(chǎn)生了短路。與此相對，在實施例1中，如上所述，最上部的第2內(nèi)部電極4a和卷繞部5b在層疊方向上俯視時隔著最上層的陶瓷層不重疊，并且最下部的第I內(nèi)部電極3d和卷繞部6c在層疊方向上俯視時隔著最下層的陶瓷層不重疊。因此，不對最外層的陶瓷層即不活潑層施加高電場。因此，可認(rèn)為沒有產(chǎn)生極化時的故障。接下來，準(zhǔn)備上述實施例1的彎曲型壓電致動器31和圖8所示的比較例4的彎曲型壓電致動器1081，對比了位移量。在比較例4的彎曲型壓電致動器1081中，除了使用了與上述實施例1的彎曲型壓電致動器31中的層疊型壓電致動器34不同構(gòu)造的層疊型壓電致動器之外，與上述實施例1相同。比較例4的彎曲型壓電致動器1081的層疊型壓電致動器具有陶瓷燒結(jié)體1082。陶瓷燒結(jié)體1082具有上表面、下表面、第I端面1082c和第2端面1082d。在陶瓷燒結(jié)體1082內(nèi)，與上表面以及下表面平行地配置了多個第I內(nèi)部電極1083a 1083c和多個第2內(nèi)部電極1084a 1084c。多個第I內(nèi)部電極1083a 1083c被引出到陶瓷燒結(jié)體1082的第I端面1082c。多個第2內(nèi)部電極1084a 1084c被引出到與陶瓷燒結(jié)體1082的第I端面1082c對置的第2端面1082d。在陶瓷燒結(jié)體1082中，在層疊方向上交替地配置第I內(nèi)部電極1083a 1083c和第2內(nèi)部電極1084a 1084c，并且在層疊方向上俯視時隔著陶瓷層重疊。此外，相鄰的陶瓷層在層疊方向上按相反方向進行極化處理。而且，在第1、第2內(nèi)部電極1083a 1083c、1084a 1084c被層疊的部分的上方，配置了第1、第2虛設(shè)(dummy)電極1085、1086。第1、第2虛設(shè)電極1085、1086分別被引出到第I端面1082c以及第2端面1082d。第1、第2虛設(shè)電極1085、1086在陶瓷燒結(jié)體1082的長度方向中央處對置。同樣，在第1、第2內(nèi)部電極1083a 1083c、1084a 1084c被層疊的部分的下方，也與第1、第2虛設(shè)電極1085、1086同樣地構(gòu)成了第1、第2虛設(shè)電極1087、1088。這里，第I內(nèi)部電極1083a 1083c以及第2內(nèi)部電極1084a 1084c在層疊方向上俯視時隔著陶瓷層重疊的部分是活性部。而且，第2虛設(shè)電極1086和最上部的第I內(nèi)部電極1083a在層疊方向上俯視時隔著陶瓷層在層疊方向上俯視時重疊的部分也作為活性層發(fā)揮功能。同樣，第I虛設(shè)電極1087和最下部的第2內(nèi)部電極1084c在層疊方向上俯視時重疊的部分也作為活性層發(fā)揮功能。另外，第1、第2外部電極1089、1090與實施例1的第1、第2外部電極5、6同樣地構(gòu)成。在計算在上述實施例1的彎曲型壓電致動器31以及比較例4的彎曲型壓電致動器1081施加了 ±12V的電壓時的位移量時，在比較例4中位移量為81 μ m，而根據(jù)實施例1，與前述的比較例2的對比的情況相同地位移量為87 μ m。因此可知，在比較例4中位移量較小，而根據(jù)實施例1，可以有效地提高位移量。這可以考慮，在比較例4中，虛設(shè)電極1085的下方部分的陶瓷層以及虛設(shè)電極1088的上方部分的陶瓷層也作為不活潑層發(fā)揮功能，由此約束了位移?！驳?實施方式〕圖9是表示本發(fā)明的第2實施方式所涉及的彎曲型壓電致動器51的正面剖視圖。在第2實施方式所涉及的彎曲型壓電致動器51中，在振動板52上通過粘合劑層54粘貼了層疊型壓電致動器53。振動板52具有在絕緣性基板52a的表面形成了電極膜52b、52c的構(gòu)造。在該電極膜52b、52c上通過粘合劑層54粘貼了層疊型壓電致動器53。這里，與圖1(b)所示的層疊型壓電致動器11同樣地，第1、第2外部電極5、6的卷繞部5c、6c形成為與卷繞部5b、6b相比具有較大的面積，作為表面電極發(fā)揮功能。該卷繞部5c、6c分別與電極膜52b、52c接合。對于其他構(gòu)造，第2實施方式所涉及的彎曲型壓電致動器51與實施例1的彎曲型壓電致動器31相同。這里，因為卷繞部5c、6c具有較大的面積，所以對于電極膜52b、52c能夠可靠地接合。即便在本實施方式中，其他構(gòu)造也與實施例1相同，所以能夠獲得較大的位移量，并且能夠有效地抑制Ag等的遷移。
〔第3實施方式〕圖10是表示本發(fā)明的第3實施方式所涉及的彎曲型壓電致動器61的正面剖視圖。彎曲型壓電致動器61與第2實施方式相反，構(gòu)成為陶瓷燒結(jié)體2的上表面?zhèn)鹊木砝@部5b、6b的面積相對變大,作為表面電極發(fā)揮功能。另一方面，下表面?zhèn)鹊木砝@部5c、6c的面積相對變小，作為通常的卷繞部。對于其他部分，與實施例1的彎曲型壓電致動器31相同。在第3實施方式中，在陶瓷燒結(jié)體2的上表面?zhèn)仍O(shè)置了具有比較大的面積且作為表面電極發(fā)揮功能的卷繞部5b、6b，所以在陶瓷燒結(jié)體2的上表面?zhèn)饶軌蛉菀椎剡M行與外部的電連接。在該情況下，卷繞部5b和相互電絕緣且連接于不同的電位的最上部的第2內(nèi)部電極4a在層疊方向上俯視時隔著最上層的陶瓷層也不重疊。因此，與上述實施例1同樣地，能夠獲得較大的位移量，并且也難以產(chǎn)生不活潑層的陶瓷層的破壞?！沧冃卫硤D11是用于說明本發(fā)明的壓電致動器的另一變形例的正面剖視圖，圖12是示意性表示其內(nèi)部構(gòu)造的立體圖。本變形例的壓電致動器71具有通過粘合劑層75粘貼到振動板72上的層疊型壓電致動器。該層疊型壓電致動器具有陶瓷燒結(jié)體2A。在陶瓷燒結(jié)體2A內(nèi)，第I內(nèi)部電極3a、3b和第2內(nèi)部電極4a、4b隔著陶瓷層交替層疊。如圖12所示，第I內(nèi)部電極3a、3b具有向陶瓷燒結(jié)體2A的長度方向一端側(cè)的端面延伸的電極引出部。電極引出部的寬度比第I內(nèi)部電極3a、3b的其他部分變窄。此外，第2內(nèi)部電極4a、4b也具有向陶瓷燒結(jié)體2A的長度方向一端側(cè)的端面延伸的電極引出部。該電極引出部的寬度也比第2內(nèi)部電極4a、4b的其他部分變窄。而且，如圖12所示，在陶瓷燒結(jié)體2A的上述一端側(cè)的端面形成有第I端面電極73以及第2端面電極74。第I端面電極73設(shè)置為與第I內(nèi)部電極3a、3b的電極引出部電連接。同樣，第2端面電極74設(shè)置為與第2內(nèi)部電極4a、4b的電極引出部電連接。在本變形例中，如上所述，第I內(nèi)部電極3a、3b以及第2內(nèi)部電極4a、4b引出到陶瓷燒結(jié)體2A的長度方向一端側(cè)的端面。而且，在該端面，第I內(nèi)部電極3a、3b與第I端面電極73電連接，第2內(nèi)部電極4a、4b與第2端面電極74電連接。因此，在陶瓷燒結(jié)體2A的長度方向一端側(cè)能夠?qū)崿F(xiàn)與外部的電連接。在本變形例中，也使陶瓷燒結(jié)體2A的作為不活潑層的最外層的陶瓷層比作為活性層的其他陶瓷層薄,并且使第1、第2內(nèi)部電極3a、3b、4a、4b中位于最上部的第2內(nèi)部電極4a的長度、以及位于最下部的第I內(nèi)部電極3b的長度比其他內(nèi)部電極短，由此第I端面電極73的卷繞部設(shè)置為在層疊方向上俯視時隔著最上層的陶瓷層不與第2內(nèi)部電極4a重疊，第2端面電極74的卷繞部設(shè)置為在層疊方向上俯視時隔著最下層的陶瓷層不與第I內(nèi)部電極3b重疊，由此能夠獲得與實施例1 3同樣的效果。圖13是表示本發(fā)明的壓電致動器的另一變形例的正面剖視圖。本變形例的壓電致動器81通過粘合劑層83粘貼在振動板82上。具有層疊型壓電致動器。在本變形例中，與壓電致動器71同樣地，在陶瓷燒結(jié)體2A內(nèi)，第I內(nèi)部電極3a、3b以及第2內(nèi)部電極4a、4b隔著陶瓷層交替層疊。在陶瓷燒結(jié)體2A內(nèi)，第I內(nèi)部電極3a、3b和第2內(nèi)部電極4a、4b隔著陶瓷層交替層疊。在層疊方向上俯視時，內(nèi)部電極彼此隔著陶瓷層重疊的部分構(gòu)成活性層。此外，在本變形例中，陶瓷燒結(jié)體2A的最下層的陶瓷層即不活潑層2h的厚度比其他陶瓷層的厚度薄。此外，通過使與不活潑層2h相鄰的最下部的第I內(nèi)部電極3b的長度比第I內(nèi)部電極3a短，從而第2端面電極6的卷繞部設(shè)置為在層疊方向上俯視時隔著不活潑層2h不與第I內(nèi)部電極3b重疊，通過使與最上層的陶瓷層相鄰的最上部的第2內(nèi)部電極4a的長度比第2內(nèi)部電極4b短，從而第I端面電極5的卷繞部設(shè)置為在層疊方向上俯視時隔著最上層的陶瓷層不與第2內(nèi)部電極4a重疊。因此，在本實施方式中，也能夠獲得與實施例I 3同樣的效果。當(dāng)然，如前述的第I實施方式那樣，期望在上下設(shè)置厚度較薄的不活潑層。在圖13中在陶瓷燒結(jié)體2A的最下層設(shè)置了不活潑層2h，但是如圖14所示的變形例的壓電致動器91那樣，也可以在最上層設(shè)置厚度相對薄的不活潑層2i。符號說明I…壓電致動器2，2A…陶瓷燒結(jié)體2a…上表面2b…下表面2c…第I端面2d…第2端面2e…陶瓷層2f…陶瓷層2g…陶瓷層2h…不活潑層2i…不活潑層3a 3d…第I內(nèi)部電極4a 4d…第2內(nèi)部電極5…第I外部電極5a…端面部5b, 5c…卷繞部6…第2外部電極6a…端面部6b，6c…卷繞部11…層疊型壓電致動器21…層疊型壓電致 動器31...彎曲型壓電致動器32…振動板33...粘合劑層34…層疊型壓電致動器51...彎曲型壓電致動器52...振動板52a…絕緣性基板
52b，52c…電極膜53…層疊型壓電致動器54…粘合劑層61...彎曲型壓電致動器71…壓電致動器73…第I端面電極74…第2端面電極81…壓電致動器82…振動板91…壓電致動器
權(quán)利要求
1.一種層疊型壓電致動器，具備: 陶瓷燒結(jié)體，其由壓電陶瓷構(gòu)成，并且具有上表面、下表面以及相對置的第I端面、第2端面； 多個第I內(nèi)部電極，形成在所述陶瓷燒結(jié)體內(nèi)，并且被引出到所述第I端面； 多個第2內(nèi)部電極，形成在所述陶瓷燒結(jié)體內(nèi)，并且被引出到所述第2端面； 多個陶瓷層，形成在所述陶瓷燒結(jié)體內(nèi)，并且與所述第I內(nèi)部電極以及所述第2內(nèi)部電極一起層疊； 第I外部電極，其形成在所述陶瓷燒結(jié)體的第I端面；以及 第2外部電極，其形成在所述陶瓷燒結(jié)體的第2端面， 所述第I內(nèi)部電極和所述第2內(nèi)部電極在陶瓷燒結(jié)體內(nèi)隔著所述陶瓷層相對置，夾在所述第I內(nèi)部電極與第2內(nèi)部電極之間的陶瓷層作為活性層，具有多個活性層，在所述陶瓷燒結(jié)體內(nèi)，所述多個第I內(nèi)部電極、第2內(nèi)部電極中的位于最上部的內(nèi)部電極與陶瓷燒結(jié)體的上表面之間的陶瓷層作為第I不活潑層，所述多個第I內(nèi)部電極、第2內(nèi)部電極中的位于最下部的內(nèi)部電極與陶瓷燒結(jié)體的下表面之間的陶瓷層作為第2不活潑層， 在作為所述不活潑層的陶瓷層的厚度比作為所述活性層的陶瓷層的厚度薄，并且將第I內(nèi)部電極或者第2內(nèi)部電極的長度設(shè)為從引出該第I內(nèi)部電極或者第2內(nèi)部電極的第I端面或者第2端面到該第I內(nèi)部電極或者第2內(nèi)部電極的頂端的距離時，位于所述最上部的內(nèi)部電極以及位于最下部的內(nèi)部電極的長度的至少一方比其他內(nèi)部電極的長度短，在所述陶瓷燒結(jié)體的層疊方向上俯視時，所述第I外部電極、第2外部電極形成為隔著不活潑層而與最上部以及最下部的所述內(nèi)部電極中的連接于不同的電位的內(nèi)部電極不重疊。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的層疊型壓電致動器，其中， 所述第I外部電極、第2外部電極被設(shè)置為形成在所述陶瓷燒結(jié)體的第I端面、第2端面上，并且不到達所述陶瓷燒結(jié)體的上表面以及下表面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的層疊型壓電致動器，其中， 所述第I外部電極、第2外部電極具有位于所述陶瓷燒結(jié)體的第I端面、第2端面的端面部、及與端面部連接并且到達所述陶瓷燒結(jié)體的上表面以及下表面的至少一方的卷繞部，卷繞部被配置為在所述陶瓷燒結(jié)體的層疊方向上俯視時該卷繞部和最上部以及最下部的所述內(nèi)部電極中的連接于不同的電位的內(nèi)部電極隔著所述不活潑層而不重疊。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的層疊型壓電致動器，其中， 所述卷繞部是用于與其他構(gòu)件接合的表面電極。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中任一項所述的層疊型壓電致動器，其中， 構(gòu)成所述活性層的陶瓷層的厚度相等。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 5中任一項所述的層疊型壓電致動器，其中， 在將所述不活潑層的厚度設(shè)為L、將所述活性層的厚度設(shè)為H時，O < L < (1/2)H。
7.一種壓電振動裝置，其具備振動板，并且在該振動板上接合有權(quán)利要求1 6中任一項所述的層疊型壓電致動器。
全文摘要
本發(fā)明提供一種層疊型壓電致動器及壓電振動裝置，即便使作為最外層的陶瓷層的不活潑層的厚度變薄從而提高了位移量，也難以產(chǎn)生陶瓷燒結(jié)體的破壞。層疊型壓電致動器(1)在由壓電陶瓷構(gòu)成的陶瓷燒結(jié)體(2)內(nèi)，第1內(nèi)部電極(3a～3d)和第2內(nèi)部電極(4a～4d)隔著陶瓷層而對置，夾在第1內(nèi)部電極(3a～3d)與第2內(nèi)部電極(4a～4d)之間的陶瓷層作為活性層，在層疊了活性層的部分的上方配置第1不活潑層(2g)，在下方配置第2不活潑層(2f)，作為不活潑層的陶瓷層(2f、2g)的厚度比作為活性層的陶瓷層(2e)的厚度薄，并且在陶瓷燒結(jié)體2的層疊方向上俯視時，內(nèi)部電極形成為隔著不活潑層不與連接于不同的電位的第1、第2外部電極(5、6)重疊。
文檔編號H01L41/083GK103155191SQ201180046820
公開日2013年6月12日 申請日期2011年10月24日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月1日
發(fā)明者進藤智 申請人:株式會社村田制作所