專(zhuān)利名稱(chēng)：密封材料及使用其的糊劑材料的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及密封材料和使用其的糊劑材料，具體來(lái)說(shuō)涉及用于利用激光的密封處理(以下，激光密封)的密封材料及使用其的糊劑材料。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，作為平板顯示面板，有機(jī)EL顯示器受到注目。有機(jī)EL顯示器能夠由直流電壓驅(qū)動(dòng)，因而能夠使驅(qū)動(dòng)電路簡(jiǎn)化，并且沒(méi)有如液晶顯示器那樣的視野角依賴(lài)性，還具有由于自發(fā)光而明亮、進(jìn)而響應(yīng)速度快等優(yōu)點(diǎn)。目前，有機(jī)EL顯示器主要被利用于便攜電話(huà)等小型便攜設(shè)備中，但今后期待向超薄型電視的應(yīng)用。另外，有機(jī)EL顯示器與液晶顯示器一祥，主流是將薄膜晶體管(TFT)等有源元件配置在各像素而使其驅(qū)動(dòng)的方式。
有機(jī)EL顯示器由2個(gè)玻璃基板、金屬等的陰電極、有機(jī)發(fā)光層、ITO等的陽(yáng)電扱、粘接材料等構(gòu)成。作為粘接材料，有時(shí)使用具有低溫固化性的環(huán)氧樹(shù)脂、或者紫外線(xiàn)固化樹(shù)脂等有機(jī)樹(shù)脂系粘接材料。然而，有機(jī)樹(shù)脂系粘接材料雖然具有能夠在低溫下使玻璃基板之間粘接的優(yōu)點(diǎn)，但還具有無(wú)法完全阻斷氣體或水分的侵入的缺點(diǎn)。因此，無(wú)法保持有機(jī)EL顯示器內(nèi)部的氣密性，對(duì)氧氣和水分的耐性低的有機(jī)發(fā)光層容易劣化。因此，容易產(chǎn)生有機(jī)EL顯示器的顯示特性隨時(shí)間劣化的不良情況，在長(zhǎng)時(shí)間使用有機(jī)EL顯示器的情況下，顯示器的可靠性容易降低。因此，有時(shí)代替有機(jī)樹(shù)脂系粘接材料而使用含有玻璃粉末的密封材料。該含有玻璃粉末的密封材料與有機(jī)樹(shù)脂系粘接材料相比，耐水性?xún)?yōu)異的同吋，適于有機(jī)EL顯示器內(nèi)部的氣密性的確保。然而，玻璃粉末通常軟化點(diǎn)為300°C以上，因此，難以用于有機(jī)EL顯示器。具體說(shuō)明的話(huà)，在用上述密封材料對(duì)玻璃基板之間進(jìn)行密封的情況下，有必要在電爐中投入有機(jī)EL顯示器全體，在玻璃粉末的軟化點(diǎn)以上的溫度下進(jìn)行燒成，使玻璃粉末軟化流動(dòng)。然而，用于有機(jī)EL顯示器的有源元件只具有120 130°C左右的耐熱性，因而若通過(guò)該方法對(duì)玻璃基板之間進(jìn)行密封，則有源元件會(huì)被熱損傷，有機(jī)EL顯示器的顯示特性劣化。另外，有機(jī)發(fā)光材料也缺乏耐熱性，若通過(guò)該方法對(duì)玻璃基板之間進(jìn)行密封，則有機(jī)發(fā)光材料會(huì)被熱損傷，有機(jī)EL顯示器的顯示特性劣化。鑒于這樣的事實(shí)，近年來(lái)，作為對(duì)有機(jī)EL顯示器進(jìn)行密封的方法，研究了激光密封。根據(jù)激光密封，能夠僅對(duì)應(yīng)密封的部位進(jìn)行局部加熱，因而在防止有源元件等的熱劣化的基礎(chǔ)上，還能夠?qū)ΣＡЩ逯g進(jìn)行密封。例如，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1、2中記載了對(duì)場(chǎng)致發(fā)射顯示器等的顯示裝置的前面玻璃基板與背面玻璃基板進(jìn)行激光密封?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)I :美國(guó)專(zhuān)利第6416375號(hào)說(shuō)明書(shū)
專(zhuān)利文獻(xiàn)2 :日本特開(kāi)2006-315902號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的問(wèn)題然而，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1、2中，對(duì)于含有玻璃粉末的密封材料的具體材料構(gòu)成沒(méi)有任何記載，并不清楚怎樣的材料構(gòu)成是適于激光密封的。因此，即使對(duì)密封材料照射激光，密封材料也無(wú)法準(zhǔn)確地吸收激光，在密封部位中，難以有效地將激光轉(zhuǎn)換為熱能。另外，若提高激光的輸出功率，則即使不對(duì)材料構(gòu)成進(jìn)行最適化，也能夠進(jìn)行激光密封，但在此情況下，存在有源元件等被加熱而有機(jī)EL顯示器的顯示特性劣化的可能。另外，玻璃粉末的軟化點(diǎn)越低則激光密封的效率越提高。具體來(lái)說(shuō)，在玻璃粉末的軟化點(diǎn)越低，越在短時(shí)間完成激光密封的同時(shí)，還能夠在激光密封時(shí)提高密封強(qiáng)度。
因此，本發(fā)明的技術(shù)課題在干，通過(guò)發(fā)明適于激光密封的密封材料，提高有機(jī)EL顯示器等的長(zhǎng)期可靠性。用于解決問(wèn)題的方法本發(fā)明人等進(jìn)行深入研究的結(jié)果，發(fā)現(xiàn)通過(guò)添加規(guī)定量的吸收激光的顔料的同時(shí)，采用SnO玻璃粉末，能夠解決上述技術(shù)課題，并將其作為第一方案而提出。即，第一方案涉及的密封材料，其特征在于，其含有80 99. 7質(zhì)量％的含有含SnO的玻璃粉末的無(wú)機(jī)粉末和O. 3 20質(zhì)量％的顏料，并且該密封材料用于激光密封。這里，“含SnO的玻璃粉末”是指作為玻璃組成，含有20摩爾％以上的SnO的玻璃粉末(以下同樣)。另外，“無(wú)機(jī)粉末”是指顏料以外的無(wú)機(jī)材料粉末，通常是指玻璃粉末與耐火性填料的混合物(以下同樣)。上述的無(wú)機(jī)粉末含有含SnO的玻璃粉末。由此，玻璃粉末的軟化點(diǎn)降低，密封材料的軟化點(diǎn)也降低。其結(jié)果是，在短時(shí)間內(nèi)完成激光密封的同時(shí)，還能夠在激光密封時(shí)提高密封強(qiáng)度。上述的密封材料含有80 99. 7質(zhì)量％的含有含SnO的玻璃粉末的無(wú)機(jī)粉末。由此，能夠確保有機(jī)EL顯示器內(nèi)部的氣密性，因而能夠防止使有機(jī)發(fā)光層劣化的H2O或O2等侵入有機(jī)EL顯示器內(nèi)部，其結(jié)果是能夠提高有機(jī)EL顯示器的可靠性。另外，若無(wú)機(jī)粉末的含量少于80質(zhì)量％，則激光密封時(shí)缺乏密封材料的軟化流動(dòng)，另外，難以提高密封強(qiáng)度。上述的密封材料含有O. 3 20質(zhì)量％的顏料。若將顏料的含量限定為O. 3質(zhì)量％以上，能夠有效地將激光轉(zhuǎn)換為熱能，因此容易僅對(duì)應(yīng)密封的部位進(jìn)行局部加熱，其結(jié)果是，在防止有源元件等的熱劣化的基礎(chǔ)上，還能夠?qū)ΣＡЩ逯g進(jìn)行激光密封。另一方面，若將顏料的含量限定為20質(zhì)量％以下，則能夠防止激光密封時(shí)玻璃失透的事態(tài)。上述的密封材料，其特征在于，其用于激光密封。本發(fā)明的密封材料能夠準(zhǔn)確吸收激光，因而能夠適合用于激光密封。另外，如上所述，根據(jù)激光密封，能夠僅對(duì)應(yīng)密封的部位進(jìn)行局部加熱，因而在防止有源元件等的熱劣化的基礎(chǔ)上，還能夠?qū)ΣＡЩ逯g進(jìn)行密封。激光密封中可以使用各種激光，但在容易處理的觀點(diǎn)上優(yōu)選例如半導(dǎo)體激光、YAG激光、CO2激光、準(zhǔn)分子激光、紅外激光等(以下同樣)。第二，第一方案涉及的密封材料，優(yōu)選含SnO的玻璃粉末含有作為玻璃組成的以摩爾％計(jì)為35 70%的SnOUO 30%的P205。由此，在維持玻璃的低熔點(diǎn)特性的基礎(chǔ)上，容易提高玻璃的耐水性。第三，第一方案涉及的密封材料，優(yōu)選含SnO的玻璃粉末進(jìn)ー步含有作為玻璃組成的以摩爾％計(jì)為I 20%的Ζη0、1 20%的B203、0. I 10%的A1203。由此，在使玻璃的熱膨脹系數(shù)降低的基礎(chǔ)上，容易提高玻璃的熱穩(wěn)定性。第四，第一方案涉及的密封材料，優(yōu)選顏料為選自C (碳)、Co304、CuO、Cr203、Fe203、MnO2AnCKTinO2lri (n為整數(shù))中的ー種或ニ種以上。這些顏料具有優(yōu)異的發(fā)色性，激光的吸收性良好。特別是，作為顏料，基于下述理由而優(yōu)選碳。即，碳為廉價(jià)，且激光的吸收性特別良好。另外，碳還具有防止激光密封時(shí)含SnO的玻璃粉末變質(zhì)的事態(tài)的效果，也就是說(shuō)防止激光密封時(shí)玻璃組成中的SnO氧化成SnO2的事態(tài)的效果。第五，第一方案涉及的密封材料，優(yōu)選在無(wú)機(jī)粉末中含有O. I 60體積％的耐火性填料。
第六，第一方案涉及的密封材料，優(yōu)選耐火性填料為選自堇青石、鋯石、氧化錫、氧化鈮、磷酸鋯、磷酸鎢酸鋯、NbZr (PO4) 3中的ー種或ニ種以上。第七，第一方案涉及的密封材料，優(yōu)選用于有機(jī)EL器件的密封。這里，“有機(jī)EL器件”包括有機(jī)EL顯示器、有機(jī)EL照明等。第八，第一方案涉及的糊劑材料為含有密封材料和載色劑的糊劑材料，其特征在于，密封材料為上述密封材料，并且載色劑含有脂肪族聚烯烴系碳酸酷。第九，第一方案涉及的糊劑材料，優(yōu)選載色劑含有N，N’ - ニ甲基甲酰胺、こニ醇、ニ甲基亞砜、碳酸ニ甲酷、碳酸亞丙酷、丁內(nèi)酷、己內(nèi)酷、N-甲基-2-吡咯烷酮、ニ甘醇單苯醚(PhDG)、鄰苯ニ甲酸ニ丁酯(DBP)、こニ醇單芐醚(BzG)、ニ甘醇單芐醚(BzDG)、こニ醇單苯醚(PhG)中的ー種或ニ種以上。第十，第一方案涉及的糊劑材料，優(yōu)選被供給于惰性氣氛中的去粘合劑處理。這里，“惰性氣氛”包括N2氣體氣氛、Ar氣體氣氛等中性氣體氣氛、真空氣氛等減壓氣氛。第十一，第一方案涉及的糊劑材料，優(yōu)選被供給于惰性氣氛中的激光密封。另外，本發(fā)明人等進(jìn)行深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，通過(guò)將含有規(guī)定量的SnO玻璃粉末和規(guī)定粒度的顔料的密封材料用于激光密封，能夠解決上述技術(shù)課題，將其作為第二方案提出。S卩，第二方案涉及的密封材料，其特征在于，其含有99 99. 95質(zhì)量％的含有含SnO的玻璃粉末的無(wú)機(jī)粉末、和O. 05 I質(zhì)量％的顏料的密封材料，顏料的一次粒子的平均粒徑D5tl為I lOOnm，并且所述密封材料用于激光密封。這里，在表示為“Dn(η為任意的值)”吋，是指利用激光衍射法測(cè)定的值，表示在通過(guò)激光衍射法測(cè)定時(shí)的體積基準(zhǔn)的累積粒度分布曲線(xiàn)中，其累積量由粒子小的一方開(kāi)始累積而為η%的粒徑(以下同樣)的值。即，“D5(l”表示在通過(guò)激光衍射法測(cè)定時(shí)的體積基準(zhǔn)的累積粒度分布曲線(xiàn)中，其累積量由粒子小的一方開(kāi)始累積而為50%的粒徑。上述的無(wú)機(jī)粉末含有含SnO的玻璃粉末。由此，玻璃粉末的軟化點(diǎn)降低，因而密封材料的軟化點(diǎn)也降低。其結(jié)果是，在短時(shí)間完成激光密封的同時(shí)，還能夠在激光密封時(shí)提高密封強(qiáng)度。上述的密封材料含有99 99. 95質(zhì)量％的含有含SnO的玻璃粉末的無(wú)機(jī)粉末。由此，能夠確保有機(jī)EL顯示器內(nèi)部的氣密性，因而能夠防止使有機(jī)發(fā)光層劣化的H2O或O2等侵入有機(jī)EL顯示器內(nèi)部的事態(tài)，其結(jié)果是，能夠提高有機(jī)EL顯示器的可靠性。另外，若無(wú)機(jī)粉末的含量少于99質(zhì)量％，則激光密封時(shí)缺乏密封材料的軟化流動(dòng)，另外還難以提高密封強(qiáng)度。上述的密封材料含有O. 05 I質(zhì)量％的顏料。若將顏料的含量限定為O. 05質(zhì)量％以上，則能夠有效地將激光轉(zhuǎn)換為熱能，因而容易僅對(duì)應(yīng)密封的部分進(jìn)行局部加熱，其結(jié)果是，在防止有源元件等的熱劣化的基礎(chǔ)上，還能夠?qū)ΣＡЩ逯g進(jìn)行激光密封。另ー方面，若將顏料的含量限定為I質(zhì)量％以下，則能夠抑制激光照射時(shí)的過(guò)剩加熱，同時(shí)還能夠在激光密封時(shí)防止玻璃失透的事態(tài)。上述的密封材料中，顏料的一次粒子的平均粒徑D5tl被限定為I lOOnm。若顏料的一次粒子的平均粒徑D5tl過(guò)小，則顏料之間容易聚集，因而難以在密封材料中均勻地分散顏料，在激光密封時(shí)存在玻璃局部無(wú)法軟化流動(dòng)的可能。另ー方面，即使顏料的一次粒子的 平均粒徑D5tl過(guò)大，也難以在密封材料中均勻地分散顔料，在激光密封時(shí)存在玻璃局部無(wú)法軟化流動(dòng)的可能。因此，顔料的一次粒子的平均粒徑D5tl優(yōu)選限定為上述數(shù)值范圍，在此情況下密封材料中均勻地分散顔料，在激光密封時(shí)玻璃容易軟化流動(dòng)。即，通過(guò)激光密封，容易維持高密封強(qiáng)度。上述的密封材料，其特征在于，其用于激光密封。本發(fā)明的密封材料能夠準(zhǔn)確吸收激光，因而適合激光密封。另外，如上所述，根據(jù)激光密封，能夠僅對(duì)應(yīng)密封的部分進(jìn)行局部加熱，因而在防止有源元件等的熱劣化的基礎(chǔ)上，還能夠?qū)ΣＡЩ逯g進(jìn)行密封。第二，第二方案涉及的密封材料優(yōu)選顏料為碳。這些顔料的發(fā)色性?xún)?yōu)異，激光的吸收性良好。另外，碳還具有防止在激光密封時(shí)含SnO的玻璃粉末變質(zhì)的事態(tài)的效果，也就是說(shuō)防止在激光密封時(shí)玻璃組成中的SnO氧化為SnO2的事態(tài)的效果。另外，作為碳，可以使用各種材料。第三，第二方案涉及的密封材料，優(yōu)選顏料為無(wú)定形碳或石墨。第四，第二方案涉及的密封材料，優(yōu)選含SnO的玻璃粉末含有作為玻璃組成的以摩爾％計(jì)為35 70%的SnOUO 30%的P205。由此，在維持玻璃的低熔點(diǎn)特性的基礎(chǔ)上，容易提高玻璃的耐水性。第五，第二方案涉及的密封材料，優(yōu)選含SnO的玻璃粉末進(jìn)ー步含有作為玻璃組成的I 20摩爾％的ZnO。第六，第二方案涉及的密封材料，優(yōu)選含SnO的玻璃粉末進(jìn)ー步含有作為玻璃組成的I 20摩爾％的B203。第七，第二方案涉及的密封材料，優(yōu)選含SnO的玻璃粉末進(jìn)ー步含有作為玻璃組成的O. I 10摩爾%的Al2O3O第八，第二方案涉及的密封材料，優(yōu)選在無(wú)機(jī)粉末中含有O. I 60體積％的耐火性填料。第九，第二方案涉及的密封材料，優(yōu)選所添加的耐火性填料為選自堇青石、鋯石、氧化錫、氧化鈮、磷酸鋯系陶瓷、NbZr (PO4) 3中的ー種或ニ種以上。第十，第二方案涉及的密封材料，優(yōu)選用于有機(jī)EL器件的密封。這里，“有機(jī)EL器件”包括有機(jī)EL顯示器、有機(jī)EL照明等。
第^^ 一，第二方案涉及的糊劑材料為含有密封材料和載色劑的糊劑材料，其特征在于，密封材料為上述密封材料，并且載色劑含有脂肪族聚烯烴系碳酸酷。第十二，第二方案涉及的糊劑材料，優(yōu)選載色劑進(jìn)一歩含有選自N，N’ - ニ甲基甲酰胺、こニ醇、ニ甲基亞砜、碳酸ニ甲酷、碳酸亞丙酷、丁內(nèi)酷、己內(nèi)酷、N-甲基-2-吡咯烷酮、ニ甘醇單苯醚(PhDG)、鄰苯ニ甲酸ニ丁酯(DBP)、こニ醇單芐醚(BzG)、ニ甘醇單芐醚(BzDG)、こニ醇單苯醚(PhG)中的ー種或ニ種以上。第十三，第二方案涉及的糊劑材料，優(yōu)選被供給于惰性氣氛中的去粘合劑處理。這里，“惰性氣氛”包括N2氣體氣氛、Ar氣體氣氛等中性氣體氣氛、真空氣氛等減壓氣氛。第十四，第二方案涉及的糊劑材料，優(yōu)選被供給于惰性氣氛中的激光密封。進(jìn)ー步，本發(fā)明人等進(jìn)行深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)通過(guò)在使用至少含有含SnO的玻璃 粉末、耐火性填料、及顏料的密封材料的同時(shí)，將含SnO的玻璃粉末的粒度和耐火性填料的粒度限定為規(guī)定范圍，能夠解決上述技術(shù)課題，將其作為第三方案提出。S卩，第三方案涉及的密封材料，其特征在于，其為至少含有含SnO的玻璃粉末、耐火性填料、及顏料的密封材料，(含SnO的玻璃粉末的平均粒徑D5tl) / (耐火性填料的平均粒徑D5tl)比為O. 6 4，并且所述密封材料用于激光密封。上述的密封材料至少含有含SnO的玻璃粉末、耐火性填料及顏料。由此，能夠提高激光密封的效率、可靠性。另外，含SnO的玻璃粉末由于軟化溫度低，因而能夠在低溫下軟化流動(dòng)。耐火性填料由于熱膨脹系數(shù)低，因而能夠使密封材料的熱膨脹系數(shù)降低。顔料的發(fā)色性?xún)?yōu)異，因而激光的吸收性良好。本發(fā)明人等發(fā)現(xiàn)若使燒成膜與被密封物(玻璃基板等)密接，則能夠以低輸出功率的激光進(jìn)行激光密封，同時(shí)還發(fā)現(xiàn)若將(含SnO的玻璃粉末的平均粒徑D5tl)バ耐火性填料的平均粒徑D5tl)比限定為O. 6 4，則燒成膜(釉膜)的表面平滑性提高，燒成膜與被密封物的密接性顯著提高。因此，上述的密封材料能夠以低輸出功率的激光進(jìn)行激光密封。其結(jié)果是，能夠準(zhǔn)確地確保有機(jī)EL顯示器內(nèi)部的氣密性，因而能夠防止使有機(jī)發(fā)光層劣化的H2O或O2等侵入有機(jī)EL顯示器內(nèi)部的事態(tài)，其結(jié)果是，能夠提高有機(jī)EL顯示器的長(zhǎng)期可靠性。第二，第三方案涉及的密封材料，優(yōu)選含SnO的玻璃粉末的平均粒徑D5tl為I. O
3.O μ m0第三，第三方案涉及的密封材料，優(yōu)選耐火性填料的平均粒徑D5tl為O. 5 2. O μ m。第四，第三方案涉及的密封材料，優(yōu)選顏料為無(wú)定形碳或石墨。無(wú)定形碳或石墨的發(fā)色性?xún)?yōu)異，因而激光的吸收性良好，同時(shí)還具有防止在激光密封時(shí)含SnO的玻璃粉末變質(zhì)的事態(tài)的效果，也就是說(shuō)防止在激光密封時(shí)玻璃組成中的SnO氧化為SnO2的事態(tài)的效
果O第五，第三方案涉及的密封材料，優(yōu)選顏料的一次粒子的平均粒徑D5tl為I IOOnm0第六，第三方案涉及的密封材料，優(yōu)選顏料的含量為O. 05 I質(zhì)量％。若將顏料的含量限定為O. 05質(zhì)量％以上，則能夠有效地將激光轉(zhuǎn)換為熱能，因而容易僅對(duì)應(yīng)密封的部分進(jìn)行局部加熱，其結(jié)果是，在防止有源元件等的熱劣化的基礎(chǔ)上，容易對(duì)玻璃基板之間進(jìn)行激光密封。另ー方面，若將顏料的含量限定為I質(zhì)量％以下，則能夠抑制激光照射時(shí)的過(guò)剩加熱的同時(shí)，在容易防止激光密封時(shí)玻璃失透的事態(tài)。第七，第三方案涉及的密封材料，優(yōu)選含SnO的玻璃粉末含有作為玻璃組成的以摩爾％計(jì)為35 70%的Sn0、10 30%的P2O5。第八，第三方案涉及的密封材料，其特征在于，含SnO的玻璃粉末含有作為玻璃組成的I 20摩爾％的ZnO。第九，第三方案涉及的密封材料，優(yōu)選含SnO的玻璃粉末含有作為玻璃組成的I 20摩爾％的B2O3。第十，第三方案涉及的密封材料，優(yōu)選含SnO的玻璃粉末含有作為玻璃組成的
O.I 10摩爾％的Al2O3O 第^^ 一，第三方案涉及的密封材料，優(yōu)選含SnO的玻璃粉末與耐火性填料的混合比例以體積％計(jì)為40 99. 9% : O. I 60%。第十二，第三方案涉及的密封材料，優(yōu)選含有選自堇青石、鋯石、氧化錫、氧化鈮、磷酸鋯系陶瓷、NbZr (PO4) 3中的ー種或ニ種以上作為耐火性填料。第十三，第三方案涉及的密封材料，優(yōu)選用于有機(jī)EL器件的密封。這里，“有機(jī)EL器件”包括有機(jī)EL顯示器、有機(jī)EL照明裝置等。第十四，第三方案涉及的糊劑材料，其為含有密封材料和載色劑的糊劑材料，其特征在干，密封材料為上述密封材料。第十五，第三方案涉及的糊劑材料，優(yōu)選載色劑含有脂肪族聚烯烴系碳酸酷。第十六，第三方案涉及的糊劑材料，優(yōu)選載色劑進(jìn)一歩含有選自N，N’ - ニ甲基甲酰胺、こニ醇、ニ甲基亞砜、碳酸ニ甲酷、碳酸亞丙酷、丁內(nèi)酷、己內(nèi)酷、N-甲基-2-吡咯烷酮、ニ甘醇單苯醚(PhDG)、鄰苯ニ甲酸ニ丁酯(DBP)、こニ醇單芐醚(BzG)、ニ甘醇單芐醚(BzDG)、こニ醇單苯醚(PhG)中的ー種或ニ種以上。第十七，第三方案涉及的糊劑材料，優(yōu)選被供給于惰性氣氛中的去粘合劑處理。這里，“惰性氣氛”包括N2氣體氣氛、Ar氣體氣氛等中性氣體氣氛、真空氣氛等減壓氣氛。第十八，第三方案涉及的糊劑材料，優(yōu)選被供給于惰性氣氛中的激光密封。第十九，第三方案涉及的燒成膜的制造方法，其特征在于，其為對(duì)糊劑材料進(jìn)行燒成而制作燒成膜的燒成膜的制造方法，按照燒成膜的表面粗糙度Ra為O. 6 μ m以下，表面粗糙度RMS為I. Oym以下的方式，對(duì)上述糊劑材料進(jìn)行燒成。這里，“表面粗糙度Ra”是指通過(guò)基于JIS B0601 2001的方法測(cè)定的值。另外，“表面粗糙度RMS”是指通過(guò)基于JISB0601 2001的方法測(cè)定的值。第二十，第三方案涉及的激光密封方法，其特征在干，對(duì)通過(guò)上述制造方法制作的燒成膜照射激光，進(jìn)行激光密封。


圖I為表示在用大(マクα )型DTA裝置測(cè)定時(shí)的密封材料(或玻璃粉末)的軟化點(diǎn)的示意圖。
具體實(shí)施例方式說(shuō)明本發(fā)明的第I實(shí)施方式。該第I實(shí)施方式涉及的密封材料含有80 99. 7質(zhì)量1^的含有含SnO的玻璃粉末的無(wú)機(jī)粉末、和O. 3 20質(zhì)量％的顏料。無(wú)機(jī)粉末的含量為90 99質(zhì)量％、優(yōu)選為95 99質(zhì)量％、特別優(yōu)選為97 99質(zhì)量％。若無(wú)機(jī)粉末的含量過(guò)少，則激光密封時(shí)缺乏密封材料的軟化流動(dòng)，另外難以提高密封強(qiáng)度。另ー方面，若無(wú)機(jī)粉末的含量過(guò)多，則相對(duì)地顏料的含量變少，因而難以將激光轉(zhuǎn)換為熱能。顔料的含量?jī)?yōu)選為O. 4 10質(zhì)量％、特別優(yōu)選為O. 6 10質(zhì)量％。若顏料的含量過(guò)少，則難以將激光轉(zhuǎn)換為熱能。另ー方面，若顔料的含量過(guò)多，則玻璃的熱穩(wěn)定性容易降低。第I實(shí)施方式涉及的密封材料中，含SnO的玻璃粉末的平均粒徑D5tl不足15 μ m、優(yōu)選為O. 5 10 μ m、特別優(yōu)選為I 5 μ m。若將含SnO的玻璃粉末的平均粒徑D5tl限定為不足15 μ m,則容易使兩玻璃基板間的間隙狹小化，在此情況下，能夠縮短激光密封所需的時(shí)間，同吋，即使在玻璃基板與密封材料的熱膨脹系數(shù)存在差異，也難以在玻璃基板或密封部位產(chǎn)生裂紋等。

第I實(shí)施方式涉及的密封材料中，含SnO的玻璃粉末的最大粒徑D99為30 μ m以下，優(yōu)選為20 μ m以下，特別優(yōu)選為IOym以下。若將含SnO的玻璃粉末的最大粒徑D99限定為30μπι以下，則容易使兩玻璃基板間的間隙狹小化，在此情況下，能夠縮短激光密封所需的時(shí)間，同時(shí)即使玻璃基板與密封材料的熱膨脹系數(shù)存在差異，也難以在玻璃基板或密封部位產(chǎn)生裂紋等。第I實(shí)施方式涉及的密封材料中，含SnO的玻璃優(yōu)選含有作為玻璃組成的35 70%的5110、10 30%的己05。下述示出如上所述地限定玻璃組成范圍的理由。另外，在玻璃組成范圍的說(shuō)明中，關(guān)于％表示，除了特別規(guī)定的情況以外都是指摩爾％。SnO為使玻璃低熔點(diǎn)化的成分，為必需成分。其含量為35 70%、優(yōu)選為40 70%、特別優(yōu)選為50 68%。特別是，若SnO的含量為50%以上，則激光密封時(shí)玻璃容易軟化流動(dòng)。另外，若SnO的含量少于35%，則玻璃的粘性變得過(guò)高，難以以期望的激光輸出功率進(jìn)行激光密封。另ー方面，若SnO的含量多于70%，則存在玻璃化變得困難的傾向。P2O5為玻璃形成氧化物，且為提高玻璃的熱穩(wěn)定性的成分。其含量為10 30%、優(yōu)選為15 27%、特別優(yōu)選為15 25%。若P2O5的含量少于10%，則玻璃的熱穩(wěn)定性容易降低。另ー方面，若P2O5的含量多于30%,貝u玻璃的耐氣候性降低,難以確保有機(jī)EL器件等的長(zhǎng)期可靠性。除了上述成分以外，還可以添加以下成分。ZnO為中間氧化物，且為使玻璃穩(wěn)定化的成分。其含量為O 30%、優(yōu)選為I 20%、特別優(yōu)選為I 15%。若ZnO的含量多于30%，則玻璃的熱穩(wěn)定性容易降低。B2O3為玻璃形成氧化物，且為使玻璃穩(wěn)定化的成分。另外，B2O3為提高玻璃的耐氣候性的成分。其含量為O 20%、優(yōu)選為I 20%、特別優(yōu)選為2 15%。若B2O3的含量多于20 %，則玻璃的粘性變得過(guò)高，難以以期望的激光輸出功率進(jìn)行激光密封。Al2O3為中間氧化物，且為使玻璃穩(wěn)定化的成分。另外，Al2O3為使玻璃的熱膨脹系數(shù)降低的成分。其含量?jī)?yōu)選為O. I 10%、特別優(yōu)選為O. 5 5%。若Al2O3的含量多于10%,則玻璃粉末的軟化點(diǎn)不適當(dāng)?shù)厣仙y以以期望的激光輸出功率進(jìn)行激光密封。SiO2為玻璃形成氧化物，且為使玻璃穩(wěn)定化的成分。其含量?jī)?yōu)選為O 15%、特別優(yōu)選為O 5%。若SiO2的含量多于15%，則玻璃粉末的軟化點(diǎn)不適當(dāng)?shù)厣仙?，難以以期望的激光輸出功率進(jìn)行激光密封。
In2O3為提高玻璃的熱穩(wěn)定性的成分,其含量?jī)?yōu)選為O 5%。若In2O3的含量多于5%，則分批成本高漲。Ta2O5為提高玻璃的熱穩(wěn)定性的成分,其含量?jī)?yōu)選為O 5%。若Ta2O5的含量多于5%,則玻璃粉末的軟化點(diǎn)不適當(dāng)?shù)厣仙?，難以以期望的激光輸出功率進(jìn)行激光密封。La2O3為提高玻璃的熱穩(wěn)定性的成分，也是提高玻璃的耐氣候性的成分。其含量為O 15%、優(yōu)選為O 10%、特別優(yōu)選為O 5%。若La2O3的含量多于15%，則分批成本高漲。MoO3為提高玻璃的熱穩(wěn)定性的成分,其含量?jī)?yōu)選為O 5%。若MoO3的含量多于5%,則玻璃粉末的軟化點(diǎn)不適當(dāng)?shù)厣仙?，難以以期望的激光輸出功率進(jìn)行激光密封。WO3為提高玻璃的熱穩(wěn)定性的成分，其含量?jī)?yōu)選為O 5%。若WO3的含量多于5%，則玻璃粉末的軟化點(diǎn)不適當(dāng)?shù)厣仙?，難以以期望的激光輸出功率進(jìn)行激光密封。 Li2O為使玻璃低熔點(diǎn)化的成分,其含量?jī)?yōu)選為O 5%。若Li2O的含量多于5%,則玻璃的熱穩(wěn)定性容易降低。Na2O為使玻璃低熔點(diǎn)化的成分，其含量?jī)?yōu)選為O 10%、特別優(yōu)選為O 5%。若Na2O的含量多于10%，則玻璃的熱穩(wěn)定性容易降低。K2O為使玻璃低熔點(diǎn)化的成分，其含量?jī)?yōu)選為O 5%。若K2O的含量多于5%，則玻璃的熱穩(wěn)定性容易降低。MgO為提高玻璃的熱穩(wěn)定性的成分，其含量?jī)?yōu)選為O 15%。若MgO的含量多于15%,則玻璃粉末的軟化點(diǎn)不適當(dāng)?shù)厣仙?，難以以期望的激光輸出功率進(jìn)行激光密封。BaO為提高玻璃的熱穩(wěn)定性的成分,其含量?jī)?yōu)選為O 10%。若BaO的含量多于10%，則玻璃組成的成分平衡受損，相反玻璃容易失透。F2為使玻璃低熔點(diǎn)化的成分,其含量?jī)?yōu)選為O 5%。若F2的含量多于5%,貝Ij玻璃的熱穩(wěn)定性容易降低。若考慮熱穩(wěn)定性和低熔點(diǎn)特性，則ln203、Ta205、La203、MoO3> WO3> Li2O, Na2O, K2O,MgO, BaO, F2的總量?jī)?yōu)選為10%以下。除了上述成分以外，還可以添加例如達(dá)10%的其他成分(Ca0、Sr0等)。第I實(shí)施方式涉及的密封材料中，從使含SnO的玻璃粉末的分批成本降低的觀點(diǎn)出發(fā)，含SnO的玻璃粉末中的過(guò)渡金屬氧化物的含量?jī)?yōu)選為10%以下，特別優(yōu)選為5%以下，更優(yōu)選基本上不含過(guò)渡金屬氧化物。在基本上不含過(guò)渡金屬氧化物的情況下，容易防止玻璃的熱穩(wěn)定性降低的事態(tài)。這里，“基本上不含過(guò)渡金屬氧化物”是指，玻璃組成中的過(guò)渡金屬氧化物的含量為3000ppm(質(zhì)量)以下,優(yōu)選為IOOOppm(質(zhì)量)以下的情況(以下同樣)。另外，從環(huán)境的觀點(diǎn)出發(fā)，含SnO的玻璃粉末優(yōu)選基本上不含PbO。這里，“基本上不含PbO”是指玻璃組成中的PbO的含量為IOOOppm(質(zhì)量)以下的情況(以下同樣)。第I實(shí)施方式涉及的密封材料中,顏料優(yōu)選為無(wú)機(jī)顏料,更優(yōu)選為選自碳、Co304、CuO、Cr2O3、Fe2O3、MnO2 ,SnCKTinO2lri (η為整數(shù))中的ー種或ニ種以上，特別優(yōu)選為碳。這些顔料的發(fā)色性?xún)?yōu)異，激光的吸收性良好。作為碳，優(yōu)選為無(wú)定形碳或石墨。這些碳具有容易將一次粒子的平均粒徑D5tl加工為I IOOnm的性質(zhì)。從環(huán)境的觀點(diǎn)出發(fā)，顔料優(yōu)選基本上不含Cr系氧化物。這里，“基本上不含Cr系氧化物”是指顏料中的Cr系氧化物的含量為IOOOppm (質(zhì)量)以下的情況(以下同樣)。顏料(聚集體)的平均粒徑D5tl優(yōu)選為O. I 3 μ m、特別優(yōu)選為O. 3 I μ m。另夕卜，顏料的最大粒徑D99優(yōu)選為O. 5 10 μ m、特別優(yōu)選為I 5 μ m。若顏料的粒度過(guò)大，則難以在密封材料中均勻地分散顔料，存在激光密封時(shí)玻璃局部無(wú)法軟化流動(dòng)的可能。即使顏料的粒度過(guò)小，顔料之間也容易聚集，因而存在激光密封時(shí)玻璃局部無(wú)法軟化流動(dòng)的可倉(cāng)^:。第I實(shí)施方式涉及的密封材料中，無(wú)機(jī)粉末優(yōu)選含有耐火性填料。由此，能夠使密封材料的熱膨脹系數(shù)降低的同時(shí)，還能夠提高密封材料的機(jī)械強(qiáng)度。無(wú)機(jī)粉末中的含SnO的玻璃粉末與耐火性填料的混合比例優(yōu)選以體積％計(jì)為40 100% O 60%、特別優(yōu)選為50 90% 10 50%。若耐火性填料的含量過(guò)少，則難以享用耐火性填料的效果。另一方面，若耐火性填料的含量過(guò)多，則含SnO的玻璃粉末的比例相對(duì)變少，激光密封的效率容易降低。作為耐火性填料，可以使用鋯石、氧化鋯、氧化錫、石英、鋰輝石、堇青石、莫 來(lái)石、石英玻璃、鋰霞石、石英、磷酸鋯、磷酸鎢酸鋯、鎢酸鋯、NbZr (PO4)3等的具有[AB2(MO4)3]的基本構(gòu)造的化合物、A :Li、Na、K、Mg、Ca、Sr、Ba、Zn、Cu、Ni、Mn 等B :Zr、Ti、Sn、Nb、Al、Sc、Y 等M :P、Si、W、Mo 等或者這些固溶體。耐火性填料的最大粒徑D99為30 μ m以下，優(yōu)選為20 μ m以下，特別優(yōu)選為10 μ m
以下。若耐火性填料的最大粒徑D99大于30 μ m，則在密封部位中，產(chǎn)生具有30 μ m以上的厚度的位置，因而在有機(jī)EL顯示器中，玻璃基板間的間隙變得不均勻，難以使有機(jī)EL顯示器薄型化。另外，若將耐火性填料的最大粒徑D99限定為30 μ m以下，則容易使兩玻璃基板間的間隙狹小化，在此情況下，激光密封所需要的時(shí)間被縮短，同時(shí)即使玻璃基板與密封材料的熱膨脹系數(shù)存在差異，在玻璃基板或密封部位也難以產(chǎn)生裂紋等。第I實(shí)施方式涉及的密封材料中，軟化點(diǎn)(軟化溫度)為450°C以下，優(yōu)選為420°C以下，特別優(yōu)選為400°C以下。若軟化點(diǎn)高于450°C，則激光密封的效率容易降低。軟化點(diǎn)的下限沒(méi)有特別限定，但若考慮玻璃的熱穩(wěn)定性，則優(yōu)選將軟化點(diǎn)限定為300°C以上。這里，“軟化點(diǎn)”是指在氮?dú)鈿夥障?，用大型示差熱分?DTA)裝置測(cè)定的值，DTA從室溫開(kāi)始測(cè)定，升溫速度為10°C/分鐘。另外，用大型DTA裝置測(cè)定的軟化點(diǎn)是指圖I所示的第四彎曲點(diǎn)的溫度(Ts)。目前，有機(jī)EL顯示器中，作為驅(qū)動(dòng)方式，采用將TFT等有源元件配置于各像素而驅(qū)動(dòng)的有源矩陣驅(qū)動(dòng)。在此情況下，有機(jī)EL顯示器用玻璃基板使用無(wú)堿玻璃(例如，日本電氣硝子株式會(huì)社制0A-10G)。無(wú)堿玻璃的熱膨脹系數(shù)通常為40X10_7/°C以下。密封材料的熱膨脹系數(shù)多為76 83 X IO-V0C。因此，難以使密封材料的熱膨脹系數(shù)嚴(yán)密地適合無(wú)堿玻璃的熱膨脹系數(shù)。相對(duì)于此，第I實(shí)施方式涉及的密封材料中所含的含SnO的玻璃粉末與低膨脹的耐火性填料、特別是NbZr (PO4)3、磷酸鋯的適合性良好。因此，若使用本發(fā)明涉及的含SnO的玻璃粉末，則能夠使密封材料的熱膨脹系數(shù)顯著降低。第I實(shí)施方式涉及的密封材料中，熱膨脹系數(shù)為75 X 10—Vで以下，優(yōu)選為65 X 10—Vで以下，優(yōu)選為55 X 10—V V以下，特別優(yōu)選為49X 10_7/°C以下。由此，對(duì)密封部位施加的應(yīng)カ變小，能夠防止密封部位的應(yīng)カ破壞。這里，“熱膨脹系數(shù)”是指通過(guò)推桿式熱膨脹系數(shù)測(cè)定(TMA)裝置在30 250°C的溫度范圍測(cè)定的平均值。優(yōu)選將第I實(shí)施方式涉及的密封材料與載色劑混煉，加工成糊劑材料。由此，能夠提高涂布操作性等。另外，載色劑通常含有樹(shù)脂粘合劑和溶劑。第I實(shí)施方式涉及的糊劑材料中，樹(shù)脂粘合劑優(yōu)選為脂肪族聚烯烴系碳酸酯，特別優(yōu)選為聚碳酸亞こ酯、聚碳酸亞丙酷。這些樹(shù)脂粘合劑具有激光密封時(shí)難以使含SnO的玻璃粉末變質(zhì)的特征。第I實(shí)施方式涉及的糊劑材料中，溶劑優(yōu)選為選自N，N’ - ニ甲基甲酰胺、こニ醇、ニ甲基亞砜、碳酸ニ甲酷、碳酸亞丙酷、丁內(nèi)酷、己內(nèi)酷、N-甲基-2-吡咯烷酮、ニ甘醇單苯 醚(PhDG)、鄰苯ニ甲酸ニ丁酯(DBP)、こニ醇單芐醚(BzG)、ニ甘醇單芐醚(BzDG)、こニ醇單苯醚(PhG)中的ー種或ニ種以上。這些溶劑具有激光密封時(shí)難以使含SnO的玻璃粉末變質(zhì)的特征。特別是，這些溶劑中，優(yōu)選選自碳酸亞丙酯、ニ甘醇單苯醚(PhDG)、鄰苯ニ甲酸ニ丁酷(DBP)、こニ醇單芐醚(BzG)、ニ甘醇單芐醚(BzDG)、こニ醇單苯醚(PhG)中的ー種或ニ種以上。這些溶劑的沸點(diǎn)為240°C以上。因此，若使用這些溶劑，則在絲網(wǎng)印刷等涂布操作時(shí)，容易抑制溶劑的揮發(fā)，其結(jié)果是能夠長(zhǎng)期穩(wěn)定地使用糊劑材料。進(jìn)而，ニ甘醇單苯醚(PhDG)、鄰苯ニ甲酸ニ丁酯(DBP)、こニ醇單芐醚(BzG)、ニ甘醇單芐醚(BzDG)、こニ醇單苯醚(PhG)與顔料的親和性高。因此，即使這些溶劑的添加量為少量，也能夠抑制糊劑材料中顏料分離的事態(tài)。如上所述，碳酸亞丙酯、ニ甘醇單苯醚(PhDG)、鄰苯ニ甲酸ニ丁酯(DBP)、こニ醇單芐醚(BzG)、ニ甘醇單芐醚(BzDG)、こニ醇單苯醚(PhG)具有抑制溶劑的揮發(fā)而提高糊劑材料的長(zhǎng)期穩(wěn)定性的效果。以ニ甘醇單苯醚(PhDG)為例，具體說(shuō)明該效果。首先，如表I所述，對(duì)碳酸亞丙酯外推添加ニ甘醇單苯醚(PhDG)，制作各種溶剤。接著，將規(guī)定量的該溶劑滴加到玻璃基板(日本電氣硝子株式會(huì)社制0A-10G)，然后如表I所述地放置玻璃基板。最后通過(guò)測(cè)定溶劑的減量率，評(píng)價(jià)ニ甘醇單苯醚(PhDG)對(duì)糊劑材料的干燥速度的影響。其結(jié)果不于表I。[表I]
Γ溶劑的減量率(wt%) __ 120分鐘 240分鐘360分鐘480分鐘 PhDG O wt.% 17.1 32.2 45.2 57.4................................—曬'■丨丨丨丨丨丨丨-----■■■■.............................................
PhDG 4.6vA% 17.7 31.5 43.8 56.3
MamiMMMHBRHnaaaBaaiiBMaiBMHBianaMSMMttUHMSi
PhDG 9.3wt% 15.0 28.5 43.0 52.5
IBITIIIMIWI(I| IHHftU MWJfWhimiBBBBWWMMBWBmmBBBlKB ΒβΒ^^βΒΙΒη ΗΜΒΜΕΒΒΙΒΗΒΒΒΒΙΒΗβΒΚ nWttBSttliittilUUUIJUUIIUJHUIUBdBneMeBIB αΒΒΒΚΒβΒΗΗΜβΙΜΜΝΚΜΜηΒΒΒβΒΒΒΒΡ ΒΒΒΒΒΒΒΗΒΗβηΜΒΒβΒΒΒΒΒΒΒΒΒΒΗΒ#
PhDG 13.9wt% 15 28.5 41.4 51.5
m· I IIMI.屆................................. 1 ■ 1---------------1--Pnrniniltnlnlnnicmim^根據(jù)表1，若ニ甘醇單苯醚(PhDG)的含量變多，則溶劑的減量率變小。因此，若添加ニ甘醇單苯醚(PhDG)，則糊劑材料的干燥速度變慢，其結(jié)果是，可知糊劑材料的長(zhǎng)期穩(wěn)定性提聞。
第I實(shí)施方式涉及的糊劑材料，優(yōu)選被供給于惰性氣氛中的去粘合劑處理，特別優(yōu)選被供給于N2氣氛中的去粘合劑處理。由此，容易防止去粘合劑時(shí)含SnO的玻璃粉末變質(zhì)的事態(tài)。另外，第I實(shí)施方式涉及的糊劑材料優(yōu)選被供給于惰性氣氛中的激光密封，特別優(yōu)選被供給于N2氣氛中的激光密封。由此，容易防止激光密封時(shí)含SnO的玻璃粉末變質(zhì)的事態(tài)。接著，說(shuō)明本發(fā)明的第2實(shí)施方式。該第2實(shí)施方式涉及的密封材料含有99 99. 95質(zhì)量％的含有含SnO的玻璃粉末的無(wú)機(jī)粉末和O. 05 I質(zhì)量％的顏料。特別是，無(wú)機(jī)粉末的含量?jī)?yōu)選為99. 5 99. 9質(zhì)量％。若無(wú)機(jī)粉末的含量少于99質(zhì)量則激光密封時(shí)缺乏密封材料的軟化流動(dòng)，另外，難以提高密封強(qiáng)度。另ー方面，若無(wú)機(jī)粉末的含量多于99. 95質(zhì)量％，則相對(duì)地顔料的含量變少，因而難以將激光轉(zhuǎn)換為熱能。顔料的含量特別優(yōu)選為O. I O. 5質(zhì)量％。若顔料的含量過(guò)少，則難以將激光轉(zhuǎn)換為熱能。另ー方面，若顔料的含量過(guò)多，則激光密封時(shí)密封材料被過(guò)剩地加熱，在發(fā)生元件的熱劣化的同時(shí)，含有SnO的玻璃容易失透，密封強(qiáng)度容易降低。第2實(shí)施方式涉及的密封材料中，顔料的一次粒子的平均粒徑D5tl優(yōu)選為I IOOnm,3 70nm、5 60nm、特別優(yōu)選為10 50nm。若顏料的一次粒子過(guò)小，則顏料之間容易聚集，因而在密封材料中難以均勻地分散顔料，存在激光密封時(shí)玻璃無(wú)法局部軟化流動(dòng)的可能。另外，即使顏料的一次粒子過(guò)大，也難以在密封材料中均勻地分散顔料，存在激光密封時(shí)含SnO的玻璃粉末無(wú)法局部軟化流動(dòng)的可能。第2實(shí)施方式涉及的密封材料中，顔料優(yōu)選為無(wú)機(jī)顏料，具體來(lái)說(shuō)，可以同樣使用第I實(shí)施方式中說(shuō)明的碳等無(wú)機(jī)顔料。從環(huán)境的觀點(diǎn)出發(fā)，顔料優(yōu)選基本上不含Cr系氧化物。第2實(shí)施方式涉及的密封材料中，含SnO的玻璃粉末的平均粒徑D5tl不足15 μ m、優(yōu)選為O. 5 10 μ m、特別優(yōu)選為I 5 μ m。若將含SnO的玻璃粉末的平均粒徑D5tl限定為不足15 μ m,則容易使兩玻璃基板間的間隙狹小化，在此情況下，激光密封所需要的時(shí)間被縮短，同時(shí)即使玻璃基板與密封材料的熱膨脹系數(shù)存在差異，在玻璃基板或密封部分也難以廣生裂紋等。第2實(shí)施方式涉及的密封材料中，含SnO的玻璃粉末的最大粒徑D99為30 μ m以下，優(yōu)選為20 μ m以下，特別優(yōu)選為IOym以下。若將含SnO的玻璃粉末的最大粒徑D99限定為30μπι以下，則容易使兩玻璃基板間的間隙狹小化，在此情況下，激光密封所需要的時(shí)間被縮短，同時(shí)即使玻璃基板與密封材料的熱膨脹系數(shù)存在差異，玻璃基板或密封部分也難以產(chǎn)生裂紋等。第2實(shí)施方式涉及的密封材料中，含SnO的玻璃的玻璃組成優(yōu)選與第I實(shí)施方式中說(shuō)明的組成相同。關(guān)于除了上述成分以外還能添加的成分，也與第I實(shí)施方式中說(shuō)明的成分相同。第2實(shí)施方式涉及的密封材料中，含SnO的玻璃粉末優(yōu)選基本上不含過(guò)渡金屬氧化物，另外，優(yōu)選基本上不含PbO。第2實(shí)施方式涉及的密封材料中，無(wú)機(jī)粉末優(yōu)選含有耐火性填料。無(wú)機(jī)粉末中的含SnO的玻璃粉末與耐火性填料的混合比例優(yōu)選以體積％計(jì)為40 100% O 60%、40 99.9% O. I 60%、45 90% 10 55%、50 80% 20 50%、50 70% 30 50%、特別優(yōu)選為50 65% 35 50%。作為耐火性填料，能夠同樣使用第I實(shí)施方式中說(shuō)明的填料。耐火性填料的最大粒徑D99為20 μ m以下，優(yōu)選為15 μ m以下，特別優(yōu)選為10 μ m以下。若耐火性填料的最大粒徑D99大于20 μ m,則在密封部分中，容易產(chǎn)生具有30 μ m以上的厚度的位置，因而在有機(jī)EL顯示器中，玻璃基板間的間隙變得不均勻，難以使有機(jī)EL顯示器薄型化。另外，若將耐火性填料的最大粒徑D99限定為20 μ m以下，則容易使兩玻璃基板間的間隙狹小化，在此情況下，激光密封所需要的時(shí)間被縮短，同時(shí)即使玻璃基板與密封材料的熱膨脹系數(shù)存在差異，玻璃基板或密封部分也難以產(chǎn)生裂紋等。第2實(shí)施方式涉及的密封材料中，軟化點(diǎn)優(yōu)選為第I實(shí)施方式中說(shuō)明的范圍。第2實(shí)施方式涉及的密封材料中所含的含SnO的玻璃粉末，與低膨脹的耐火性填料、特別是NbZr (PO4)3、磷酸鋯的適合性良好。第2實(shí)施方式涉及的密封材料中，熱膨脹系 數(shù)優(yōu)選為第I實(shí)施方式中說(shuō)明的范圍。優(yōu)選將第2實(shí)施方式涉及的密封材料與載色劑混煉，并加工成糊劑材料。第2實(shí)施方式涉及的糊劑材料中，樹(shù)脂粘合劑優(yōu)選為第I實(shí)施方式中說(shuō)明的粘合齊 。第2實(shí)施方式涉及的糊劑材料中，溶劑優(yōu)選為第I實(shí)施方式中說(shuō)明的溶剤。第2實(shí)施方式涉及的糊劑材料，優(yōu)選被供給于惰性氣氛中的去粘合劑處理，特別優(yōu)選被供給于Ν2氣氛中的去粘合劑處理。第2實(shí)施方式涉及的糊劑材料，優(yōu)選被供給于惰性氣氛中的激光密封，特別優(yōu)選被供給于N2氣氛中的激光密封。進(jìn)ー步說(shuō)明本發(fā)明的第3實(shí)施方式。該第3實(shí)施方式涉及的密封材料的(含SnO的玻璃粉末的平均粒徑D5tl)バ耐火性填料的平均粒徑D5tl)比為O. 6 4、優(yōu)選為O. 8 3。若(含SnO的玻璃粉末的平均粒徑D5tl) / (耐火性填料的平均粒徑D5tl)比小于O. 6，則相對(duì)于含SnO的玻璃粉末,耐火性填料的比表面積過(guò)大，含SnO的玻璃粉末容易失透,其結(jié)果是，存在密封材料的軟化流動(dòng)被損害的可能，同時(shí)由于失透，而容易在燒成膜的表面殘留凹凸。另ー方面，若(含SnO的玻璃粉末的平均粒徑D5tl) / (耐火性填料的平均粒徑D5tl)比大于4，則相對(duì)于含SnO的玻璃粉末的粒度，耐火性填料的粒度變大，另外，耐火性填料粉末自身無(wú)法軟化流動(dòng)，因而容易在燒成膜的表面殘留凹凸。另外，若燒成膜的凹凸大，則燒成膜的表面平滑性被損害，難以在激光密封前使被密封物之間(例如，玻璃基板之間)均勻地密接，其結(jié)果是，難以以低輸出功率的激光進(jìn)行激光密封。第3實(shí)施方式涉及的密封材料中，含SnO的玻璃粉末的平均粒徑D5tl優(yōu)選為I. O
3.O μ m、特別優(yōu)選為I. 5 2. 5 μ m。若含SnO的玻璃粉末的平均粒徑D5tl小于I. O μ m，則燒成時(shí)玻璃容易失透，并且存在密封材料的軟化流動(dòng)被損害的可能。另外，在粉碎、分級(jí)時(shí)，玻璃粉末容易聚集，在糊劑材料的混煉后作為聚集物殘留，有成為絲網(wǎng)印刷時(shí)絲網(wǎng)網(wǎng)眼堵塞的原因的可能。另ー方面，若含SnO的玻璃粉末的平均粒徑D5tl大于3. Ομπι,則絲網(wǎng)印刷時(shí)印刷面的凹凸過(guò)大，難以提高燒成膜的表面平滑性。另外，燒成時(shí)密封材料難以軟化流動(dòng)，因而需要使燒成溫度上升，在此情況下，被密封物的熱損傷容易變大，也能夠成為成本高的ー個(gè)原因。第3實(shí)施方式涉及的密封材料中，耐火性填料的平均粒徑D5tl優(yōu)選為O. 5 2.O μ m、特別優(yōu)選為O. 5 I. 8 μ m。若耐火性填料的平均粒徑D5tl小于O. 5 μ m，則燒成時(shí)耐火性填料容易熔于玻璃中，存在密封材料的軟化流動(dòng)被損害的可能。另外，在粉碎、分級(jí)時(shí)，耐火性填料容易聚集，在糊劑材料的混煉后作為聚集物殘留，在絲網(wǎng)印刷時(shí)，有成為絲網(wǎng)網(wǎng)眼堵塞的原因的可能。另ー方面，若耐火性填料的平均粒徑D5tl大于2. O μ m,則絲網(wǎng)印刷時(shí)印刷面的凹凸過(guò)大，難以提高燒成膜的表面平滑性。第3實(shí)施方式涉及的密封材料中，含SnO的玻璃粉末的90%粒徑D9tl優(yōu)選為7. O μ m以下，另外，耐火性填料的90%粒徑D9tl優(yōu)選為5. O μ m以下。由此，容易使兩玻璃基板間的間隙狹小化，在此情況下，激光密封所需要的時(shí)間被縮短，同時(shí)即使玻璃基板與密封材料的熱膨脹系數(shù)存在差異，玻璃基板或密封部分也難以產(chǎn)生裂紋等。第3實(shí)施方式涉及的密封材料中，含SnO的玻璃粉末的最大粒徑D99優(yōu)選為15 μ m以下，另外，耐火性填料的最大粒徑D99優(yōu)選為IOym以下。由此，容易使兩玻璃基板間的間隙狹小化，在此情況下，激光密封所需要的時(shí)間被縮短，同時(shí)即使玻璃基板與密封材料的熱膨脹系數(shù)存在差異，玻璃基板或密封部分也難以產(chǎn)生裂紋等。
第3實(shí)施方式涉及的密封材料中，顔料優(yōu)選為無(wú)機(jī)顏料，具體來(lái)說(shuō)，能夠同樣地使用第I實(shí)施方式中說(shuō)明的碳等無(wú)機(jī)顔料。第3實(shí)施方式涉及的密封材料中，顔料的一次粒子的平均粒徑D5tl優(yōu)選為I 100nm、3 70nm、5 60nm、特別優(yōu)選為10 50nm。若顏料的一次粒子的平均粒徑D5tl過(guò)小，則顏料之間容易聚集，因而顏料難以均勻地分散，有激光密封時(shí)密封材料局部無(wú)法軟化流動(dòng)的可能。另ー方面，即使顏料的一次粒子的平均粒徑D5tl過(guò)大，顔料也難以均勻地分散，有激光密封時(shí)密封材料局部無(wú)法軟化流動(dòng)的可能。第3實(shí)施方式涉及的密封材料中，顏料的含量?jī)?yōu)選為O. 05 I質(zhì)量％、特別優(yōu)選為O. I O. 5質(zhì)量％。若顔料的含量過(guò)少，則難以將激光轉(zhuǎn)換為熱能。另ー方面，若顔料的含量過(guò)多，則激光密封時(shí)密封材料難以軟化流動(dòng)，另外，難以提高密封強(qiáng)度。從環(huán)境的觀點(diǎn)出發(fā)，顔料優(yōu)選基本上不含Cr系氧化物。第3實(shí)施方式涉及的密封材料中，含SnO的玻璃粉末的玻璃組成優(yōu)選與第I實(shí)施方式中說(shuō)明的組成相同。關(guān)于除了上述成分以外還能添加的成分，與第I實(shí)施方式中說(shuō)明的成分相同。第3實(shí)施方式涉及的密封材料中，含SnO的玻璃粉末優(yōu)選基本上不含過(guò)渡金屬氧化物，另外，優(yōu)選基本上不含PbO。第3實(shí)施方式涉及的密封材料，含有耐火性填料作為必需成分。含SnO的玻璃粉末與耐火性填料的混合比例優(yōu)選以體積％計(jì)為40 99. 9% O. I 60%、45 90% 10 55%、50 80% 20 50%、50 70% 30 50%、特別優(yōu)選為 50 65% 35 50%。作為耐火性填料，能夠同樣使用第I實(shí)施方式中說(shuō)明的填料。本發(fā)明的密封材料中，軟化點(diǎn)優(yōu)選為第I實(shí)施方式中說(shuō)明的范圍。第3實(shí)施方式涉及的密封材料中所含的含SnO的玻璃粉末，與低膨脹的耐火性填料、特別是NbZr (PO4)3、磷酸鋯的適合性良好。第3實(shí)施方式涉及的密封材料中，熱膨脹系數(shù)優(yōu)選為第I實(shí)施方式中說(shuō)明的范圍。 優(yōu)選將第3實(shí)施方式涉及的密封材料與載色劑混煉，加工成糊劑材料。第3實(shí)施方式涉及的糊劑材料中，樹(shù)脂粘合劑優(yōu)選為第I實(shí)施方式中說(shuō)明的粘合劑。第3實(shí)施方式涉及的糊劑材料中，溶劑優(yōu)選為第I實(shí)施方式中說(shuō)明的溶剤。第3實(shí)施方式涉及的糊劑材料，優(yōu)選被供給于惰性氣氛中的去粘合劑處理，特別優(yōu)選被供給于N2氣氛中的去粘合劑處理。由此，容易防止去粘合劑時(shí)含SnO的玻璃粉末變質(zhì)的事態(tài)。第3實(shí)施方式涉及的糊劑材料，優(yōu)選被供給于惰性氣氛中的激光密封，特別優(yōu)選被供給于N2氣氛中的激光密封。第3實(shí)施方式涉及的燒成膜的制造方法，其是對(duì)糊劑材料進(jìn)行燒成而制作燒成膜的燒成膜的制造方法，按照所述燒成膜的表面粗糙度Ra為O. 6 μ m以下、表面粗糙度RMS為
I.O μ m以下的方式，對(duì)上述糊劑材料進(jìn)行燒成。燒成膜的表面粗糙度Ra為O. 6μπι以下，優(yōu)選為O. 5μπι以下，特別優(yōu)選為O. 4μπι
以下。由此，激光密封后容易確保牢固的密封強(qiáng)度。燒成膜的表面粗糙度RMS為I. O μ m以下，優(yōu)選為O. 8 μ m以下，特別優(yōu)選為O. 7 μ m
以下。由此，激光密封后容易確保牢固的密封強(qiáng)度。第3實(shí)施方式涉及的激光密封方法，其特征在于，對(duì)上述燒成膜照射激光，進(jìn)行激光密封。由此，容易長(zhǎng)期防止密封部分的剝離。實(shí)施例I以下，詳細(xì)說(shuō)明第I實(shí)施方式的實(shí)施例。另外，以下的實(shí)施例只是例示。本發(fā)明并不受以下的實(shí)施例的任何限定。表2表示實(shí)施例涉及的含SnO的玻璃粉末(試樣No. I 7)。[表2]
--|---^-P--------------------------------------------------遍.................B-1-----1-----1
______No.1 __No,2No.3__ No.4_ No.5No.6__No.7 _
(mol%)
SnO596464555056 55.1
P2O5202524212332 27
ZnO54310108 13
B2O3154710120.9
AI2O3112342
U2O1122
—K201122
熔融溫度(°C) ___950 ___900___950 ___950 ___900___900
玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(eC)320 295307 323__334_一 305 __310 —
軟化點(diǎn)(°C)3S5 365378 393 _407385 _
106 125 118 搬 96 120 113如下所述制備各玻璃粉末。首先，按照表2所示的玻璃組成，調(diào)配原料后，將該調(diào)配原料放入氧化鋁坩堝中，在氮?dú)鈿夥障?，在表中所示的熔融溫度下熔融I 2小時(shí)。接著，通過(guò)水冷輥將所得的熔融玻璃成型為薄膜狀。接著，通過(guò)球磨機(jī)將玻璃薄膜粉碎后分級(jí)，獲得平均粒徑D5tl為2. 5 μ m、最大粒徑D99為7 μ m的玻璃粉末。對(duì)于試樣No. I 7，評(píng)價(jià)玻璃化轉(zhuǎn)變溫度、軟化點(diǎn)、熱膨脹系數(shù)。其結(jié)果示于表2。玻璃化轉(zhuǎn)變溫度通過(guò)TMA裝置求得。軟化點(diǎn)通過(guò)DTA裝置測(cè)定。測(cè)定在氮?dú)鈿夥障?，以升溫速?0°C /分鐘進(jìn)行，從室溫開(kāi)始測(cè)定。熱膨脹系數(shù)通過(guò)TMA裝置求得。測(cè)定溫度范圍為30 250°C。由表2可知，試樣No. I 7的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為295 334°C、軟化點(diǎn)為365 407°C、熱膨脹系數(shù)為96 125X1(TV°C。

接著，制作密封材料。按照表3所示的混合比例，通過(guò)混合表2所述的玻璃粉末No. I 7、耐火性填料和顏料,制作密封材料(試樣A G)。[表3]
—^^.........EU
A _ B __ G I: D EFG No. I60
No.255
玻璃粉末 =57
(體積 %)N°·460
No.655
_No.7 ___ _________ 55 _
NbZr(PO4),40 1020
耐火性填料4 3
70 J__磷酸鋯__40 __ 45__43___28瞧_^^ 45__25 _ 無(wú)機(jī)粉末(質(zhì)量0/O 99 99 99 99.3 9899.9 99.8
顏料碳(質(zhì)量 ％) 1 1 I 0.7 20.1 0.2
玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(°C) 325 300 315 330 342315 320
軟化點(diǎn)(°C) 415 385 402 420 425408 411
. 43 4S 47
流動(dòng)直徑(mm)21.1 _20.6 __ 20.4 _ 21.3 20.8 __ 21.9 _ 20.8 _
燒成溫度(0C) _ 480 __430 __ 450 __490 __ 495 __460 _ _ 470 _
耐氣候性O(shè) O O O O A △
激神封忡...........ο..................._χ_ ^
mmif —謂·1-—.. ο— οοοο . χχ作為耐火性填料，使用磷酸鋯粉末、NbZr (PO4) 3粉末。磷酸鋯粉末、NbZr (PO4) 3粉末的粒度分別為平均粒徑D5tl 2 μ m、最大粒徑D99 8 μ m。另外，作為顏料，使用平均粒徑D5tl O. 5 μ m、最大粒徑D99 3 μ m的碳粉末。對(duì)于試樣A G，評(píng)價(jià)玻璃化轉(zhuǎn)變溫度、軟化點(diǎn)、熱膨脹系數(shù)、流動(dòng)直徑、耐氣候性、激光密封性。其結(jié)果不于表3。玻璃化轉(zhuǎn)變溫度通過(guò)TM裝置求得。另外，作為測(cè)定試樣，使用使各試樣致密燒結(jié)而成的試樣。軟化點(diǎn)通過(guò)DTA裝置測(cè)定。測(cè)定在氮?dú)鈿夥障拢陨郎厮俣?0°C /分鐘進(jìn)行，從室溫開(kāi)始測(cè)定。熱膨脹系數(shù)通過(guò)TMA裝置求得。測(cè)定溫度范圍為30 250°C。另外，作為測(cè)定試樣，使用使各試樣致密燒結(jié)而成的試樣。如下所述地評(píng)價(jià)流動(dòng)直徑。首先，通過(guò)模具將與密度量相當(dāng)?shù)馁|(zhì)量的各試樣干式擠壓成外徑20_的紐扣狀。接著，將該紐扣放置于無(wú)堿玻璃基板(日本電氣硝子株式會(huì)社制0A-10G)上,在氮?dú)鈿夥障?，?0°C /分鐘的速度升溫至表中的燒成溫度，在表中的燒成溫度下保持10分鐘后，冷卻至室溫。最后，測(cè)定燒成后的紐扣的直徑。另外，若流動(dòng)直徑為20mm以上，則意味著在該燒成溫度下流動(dòng)性良好。流動(dòng)性越良好，則激光密封的效率越提聞。
如下所述地評(píng)價(jià)耐氣候性。首先通過(guò)模具將Ig的各試樣干式擠壓成外徑IOmm的紐扣狀。接著，將該紐扣放置于高應(yīng)變點(diǎn)玻璃基板上，在空氣中，以10°c /分鐘的速度升溫至[各試樣的軟化點(diǎn)+30°c ]的溫度，在該溫度下保持10分鐘后，以10°C /分鐘的速度降溫至室溫。接著，對(duì)于燒成后的紐扣，進(jìn)行壓力鍋試驗(yàn)(以下，PCT)。具體來(lái)說(shuō)，在溫度121°C、濕度95%、2個(gè)大氣壓的氣氛下保持48小時(shí)。最后，目視觀察PCT后的紐扣表面，將紐扣表面全部有光澤的評(píng)價(jià)為“〇”、將紐扣表面一部分沒(méi)有光澤的評(píng)價(jià)為“Λ”、將紐扣表面全部沒(méi)有光澤的評(píng)價(jià)為“ X ”。如下所述地評(píng)價(jià)激光密封性。首先按照糊劑粘度為約150Pa · s的方式將各試樣和載色劑混煉后，進(jìn)一步通過(guò)三輥研磨機(jī)混煉至均勻，并糊劑化。另外，使用在碳酸亞丙酯中溶解了聚碳酸亞乙酯(PEC、分子量80000) 15質(zhì)量％的載色劑。接著，將制作的糊劑按照線(xiàn)寬O. 8mmX長(zhǎng)4mmX厚度20 μ m的方式，印刷涂布到加工成短條狀的無(wú)堿玻璃基板(日本電氣硝子株式會(huì)社制0A-10G、尺寸10mmX50mmX0. 7mm厚、30 380°C的溫度范圍內(nèi)的熱膨脹系數(shù)38X10_7/°C)的中心部后，通過(guò)干燥爐在120°C下干燥30分鐘。接著，在氮?dú)鈿夥障?，在?所示的軟化點(diǎn)下燒成20分鐘，由此進(jìn)行去粘合劑處理。另外，升降溫速度為10°C /分鐘。進(jìn)一步，在形成了釉膜的無(wú)堿玻璃基板上，正確地重疊加工成相同形狀的無(wú)堿玻璃基板(日本電氣硝子株式會(huì)社制0A-10G、尺寸10mmX50mmX0. 7mm厚、30 380°C的溫度范圍內(nèi)的熱膨脹系數(shù)38X10_V°C )后，從未形成釉膜的玻璃基板側(cè)沿著釉膜照射波長(zhǎng)808nm的半導(dǎo)體激光(輸出功率5W、10W、15W、掃描速度10mm/S)。最后，將通過(guò)激光而試樣軟化材料從而玻璃基板之間接合的評(píng)價(jià)為“〇”、將試樣未軟化且玻璃基板之間未接合的評(píng)價(jià)為“ X ”。由表3可知，試樣A E能夠在所有的激光照射條件下使玻璃基板之間接合。其結(jié)果顯示能夠有效地將激光的能量轉(zhuǎn)換為熱量。另外，試樣A E的熱膨脹系數(shù)為50X10_7/°C以下，因而與玻璃基板的熱膨脹系數(shù)匹配，在接合部位未發(fā)現(xiàn)裂紋等異常。另一方面，試樣F無(wú)法在所有的激光照射條件下使玻璃基板之間接合。另外，試樣G在激光輸出功率為15W的情況下可接合，但在激光輸出功率為5W、IOW的情況下不能接合。其結(jié)果顯示由于顏料的含量少，因而無(wú)法有效地將激光的能量轉(zhuǎn)換為熱量。另外，由表3可知，試樣A E的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為300 342°C、軟化點(diǎn)為385 425°C、熱膨脹系數(shù)為41 47X 10_V°C，在表中的燒成溫度下流動(dòng)直徑為20mm以上。另外，試樣A E的耐氣候性的評(píng)價(jià)為良好。另一方面,試樣F、G在PCT后的紐扣表面的一部分無(wú)光澤，耐氣候性變差。其原因被考慮是由于含SnO的粉末中的P2O5和B2O3的含量引起的。具體來(lái)說(shuō)，被認(rèn)為是試樣F的含SnO的粉末中的P2O5的含量為32%，因而耐氣候性降低。另夕卜，還認(rèn)為是雖然試樣G的在含SnO的粉末中的P2O5的含量為30%以下，但由于B2O3的含量為O. 9%,因而耐氣候性降低。實(shí)施例2以下，詳細(xì)說(shuō)明第2實(shí)施方式的實(shí)施例。另外，以下的實(shí)施例只是例示。本發(fā)明并不受以下的實(shí)施例的任何限定。表4顯示實(shí)施例涉及的含SnO的玻璃粉末(試樣No. 8 14)。[表 4]
權(quán)利要求
1.ー種密封材料，其特征在干， 其含有80 99. 7質(zhì)量％的含有含SnO的玻璃粉末的無(wú)機(jī)粉末和O. 3 20質(zhì)量％的顔料，并且該密封材料用于激光密封。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的密封材料，其特征在干， 所述含SnO的玻璃粉末中，含有作為玻璃組成的以摩爾％計(jì)為35 70%的SnO和10 30% 的 P2O5。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的密封材料，其特征在干， 所述含SnO的玻璃粉末中，進(jìn)ー步含有作為玻璃組成的以摩爾％計(jì)為I 20%的ZnO、I 20% 的 B2O3 和 O. I 10% 的 Al2O315
4.根據(jù)權(quán)利要求I 3中任一項(xiàng)所述的密封材料，其特征在干， 所述顏料為選自C即碳、Co304、CuO、Cr2O3> Fe2O3> MnO2, SnO, TinO2lri中的ー種或ニ種以上，所述η為整數(shù)。
5.根據(jù)權(quán)利要求I 4中任一項(xiàng)所述的密封材料，其特征在干， 所述無(wú)機(jī)粉末中含有O. I 60體積％的耐火性填料。
6.根據(jù)權(quán)利要求I 5中任一項(xiàng)所述的密封材料,其特征在于， 所述耐火性填料為選自堇青石、鋯石、氧化錫、氧化鈮、磷酸鋯、磷酸鎢酸鋯、NbZr (PO4) 3中的ー種或ニ種以上。
7.根據(jù)權(quán)利要求I 6中任一項(xiàng)所述的密封材料，其特征在干， 其用于有機(jī)EL器件的密封。
8.一種糊劑材料，其為含有密封材料和載色劑的糊劑材料，其特征在干， 所述密封材料為權(quán)利要求I 7中任一項(xiàng)所述的密封材料，并且所述載色劑含有脂肪族聚烯烴系碳酸酷。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的糊劑材料，其特征在干， 所述載色劑含有選自N，N’ - ニ甲基甲酰胺、こニ醇、ニ甲基亞砜、碳酸ニ甲酷、碳酸亞丙酷、丁內(nèi)酷、己內(nèi)酷、N-甲基-2-吡咯烷酮、ニ甘醇單苯醚即PhDG、鄰苯ニ甲酸ニ丁酯即DBP、こニ醇單芐醚即BzG、ニ甘醇單芐醚即BzDG、こニ醇單苯醚即PhG中的ー種或ニ種以上。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的糊劑材料，其特征在于， 其被供給于惰性氣氛中的去粘合劑處理。
11.根據(jù)權(quán)利要求8 10中任一項(xiàng)所述的糊劑材料，其特征在于， 其被供給于惰性氣氛中的激光密封。
12.—種密封材料，其特征在干， 其為含有99 99. 95質(zhì)量％的含有含SnO的玻璃粉末的無(wú)機(jī)粉末、和O. 05 I質(zhì)量％的顔料的密封材料， 所述顏料的一次粒子的平均粒徑D5tl為I lOOnm，并且所述密封材料用于激光密封。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的密封材料，其特征在干， 所述顏料為碳。
14.根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的密封材料，其特征在干， 所述顏料為無(wú)定形碳或石墨。
15.根據(jù)權(quán)利要求12 14中任一項(xiàng)所述的密封材料，其特征在干， 所述含SnO的玻璃粉末中，含有作為玻璃組成的以摩爾％計(jì)為35 70%的SnO和10 30% 的 P2O5。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的密封材料，其特征在干， 所述含SnO的玻璃粉末進(jìn)ー步含有作為玻璃組成的I 20摩爾％的ZnO。
17.根據(jù)權(quán)利要求15或16所述的密封材料，其特征在于， 所述含SnO的玻璃粉末進(jìn)ー步含有作為玻璃組成的I 20摩爾％的B203。
18.根據(jù)權(quán)利要求15 17中任一項(xiàng)所述的密封材料，其特征在于， 所述含SnO的玻璃粉末進(jìn)ー步含有作為玻璃組成的O. I 10摩爾％的Al2O315
19.根據(jù)權(quán)利要求12 18中任一項(xiàng)所述的密封材料，其特征在干， 所述無(wú)機(jī)粉末中含有O. I 60體積％的耐火性填料。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的密封材料，其特征在干， 所述耐火性填料為選自堇青石、鋯石、氧化錫、氧化鈮、磷酸鋯系陶瓷、NbZr(PO4)3中的ー種或ニ種以上。
21.根據(jù)權(quán)利要求12 20中任一項(xiàng)所述的密封材料，其特征在于， 其用于有機(jī)EL器件的密封。
22.—種糊劑材料，其為含有密封材料和載色劑的糊劑材料，其特征在干， 所述密封材料為權(quán)利要求12 20中任一項(xiàng)所述的密封材料，并且所述載色劑含有脂肪族聚烯烴系碳酸酷。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的糊劑材料，其特征在于， 所述載色劑進(jìn)一歩含有選自N，N’ - ニ甲基甲酰胺、こニ醇、ニ甲基亞砜、碳酸ニ甲酷、碳酸亞丙酷、丁內(nèi)酷、己內(nèi)酷、N-甲基-2-吡咯烷酮、ニ甘醇單苯醚即PhDG、鄰苯ニ甲酸ニ丁酯即DBP、こニ醇單芐醚即BzG、ニ甘醇單芐醚即BzDG、こニ醇單苯醚即PhG中的ー種或ニ種以上。
24.根據(jù)權(quán)利要求22或23所述的糊劑材料，其特征在于， 其被供給于惰性氣氛中的去粘合劑處理。
25.根據(jù)權(quán)利要求22 24中任一項(xiàng)所述的糊劑材料，其特征在于， 其被供給于惰性氣氛中的激光密封。
26.—種密封材料,其特征在于， 其為至少含有含SnO的玻璃粉末、耐火性填料、以及顏料的密封材料， (含SnO的玻璃粉末的平均粒徑D5tl) / (耐火性填料的平均粒徑D5tl)比為O. 6 4，并且所述密封材料用于激光密封。
27.根據(jù)權(quán)利要求26所述的密封材料，其特征在于， 所述含SnO的玻璃粉末的平均粒徑D5tl為I. O 3. O μ m。
28.根據(jù)權(quán)利要求26或27所述的密封材料，其特征在于， 所述耐火性填料的平均粒徑D5tl為O. 5 2. O μ m。
29.根據(jù)權(quán)利要求26 28中任一項(xiàng)所述的密封材料，其特征在于， 所述顏料為無(wú)定形碳或石墨。
30.根據(jù)權(quán)利要求26 29中任一項(xiàng)所述的密封材料，其特征在于，所述顏料的一次粒子的平均粒徑D5tl為I lOOnm。
31.根據(jù)權(quán)利要求26 30中任一項(xiàng)所述的密封材料，其特征在于， 所述顏料的含量為O. 05 I質(zhì)量％。
32.根據(jù)權(quán)利要求26 31中任一項(xiàng)所述的密封材料，其特征在于， 所述含SnO的玻璃粉末中，含有作為玻璃組成的以摩爾％計(jì)為35 70%的SnO、和10 30% 的 P205。
33.根據(jù)權(quán)利要求26 32中任一項(xiàng)所述的密封材料，其特征在于， 所述含SnO的玻璃粉末含有作為玻璃組成的I 20摩爾％的ZnO。
34.根據(jù)權(quán)利要求26 33中任一項(xiàng)所述的密封材料，其特征在于， 所述含SnO的玻璃粉末含有作為玻璃組成的I 20摩爾％的B203。
35.根據(jù)權(quán)利要求26 34中任一項(xiàng)所述的密封材料,其特征在于， 所述含SnO的玻璃粉末含有作為玻璃組成的O. I 10摩爾％的Al2O315
36.根據(jù)權(quán)利要求26 35中任一項(xiàng)所述的密封材料,其特征在于， 所述含SnO的玻璃粉末與所述耐火性填料的混合比例以體積％計(jì)為40 99. 9% O. I 60%。
37.根據(jù)權(quán)利要求26 36中任一項(xiàng)所述的密封材料,其特征在于， 作為所述耐火性填料，含有選自堇青石、鋯石、氧化錫、氧化鈮、磷酸鋯系陶瓷、NbZr (PO4)3中的ー種或ニ種以上。
38.根據(jù)權(quán)利要求26 37中任一項(xiàng)所述的密封材料，其特征在于， 所述密封材料用于有機(jī)EL器件的密封。
39.ー種含有密封材料和載色劑的糊劑材料，其特征在于， 所述密封材料為權(quán)利要求26 38中任一項(xiàng)所述的密封材料。
40.根據(jù)權(quán)利要求39所述的糊劑材料，其特征在于， 所述載色劑含有脂肪族聚烯烴系碳酸酯。
41.根據(jù)權(quán)利要求39或40所述的糊劑材料，其特征在于， 所述載色劑進(jìn)一歩含有選自N，N’ - ニ甲基甲酰胺、こニ醇、ニ甲基亞砜、碳酸ニ甲酷、碳酸亞丙酷、丁內(nèi)酷、己內(nèi)酷、N-甲基-2-吡咯烷酮、ニ甘醇單苯醚即PhDG、鄰苯ニ甲酸ニ丁酯即DBP、こニ醇單芐醚即BzG、ニ甘醇單芐醚即BzDG、こニ醇單苯醚即PhG中的ー種或ニ種以上。
42.根據(jù)權(quán)利要求39 41中任一項(xiàng)所述的糊劑材料，其特征在于， 其被供給于惰性氣氛中的去粘合劑處理。
43.根據(jù)權(quán)利要求39 42中任一項(xiàng)所述的糊劑材料，其特征在于， 其被供給于惰性氣氛中的激光密封。
44.一種燒成膜的制造方法，其特征在干， 其是對(duì)糊劑材料進(jìn)行燒成而制作燒成膜的燒成膜的制造方法， 按照所述燒成膜的表面粗糙度Ra為O. 6 μ m以下，表面粗糙度RMS為I. O μ m以下的方式，對(duì)權(quán)利要求39 43中任一項(xiàng)所述的糊劑材料進(jìn)行燒成。
45.一種激光密封方法，其特征在干， 對(duì)通過(guò)權(quán)利要求44所述的方法制作的燒成膜照射激光，進(jìn)行激光密封。
全文摘要
通過(guò)發(fā)明適于激光密封的密封材料，提高有機(jī)EL顯示器等的長(zhǎng)期可靠性。本發(fā)明的密封材料，其特征在于，其含有80～99.7質(zhì)量％的含有含SnO的玻璃粉末的無(wú)機(jī)粉末、和0.3～20質(zhì)量％的顏料，所述密封材料用于激光密封。
文檔編號(hào)H01L51/50GK102822109SQ201180015338
公開(kāi)日2012年12月12日 申請(qǐng)日期2011年3月2日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月29日
發(fā)明者益田紀(jì)彰, 白神徹, 荒川浩士, 大下浩之 申請(qǐng)人:日本電氣硝子株式會(huì)社