專利名稱：基板收納裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種收納掩?；?mask blanks)等基板并輸送該基板的基板收納裝置。
背景技術(shù)：
公知有為了在半導(dǎo)體晶圓、FPD基板上形成微細(xì)的電路圖案 而使用了光掩模的光刻技術(shù)。在該光刻技術(shù)中，使曝光用光源的電磁波在形成有電路圖案的光掩模透過來對形成有抗蝕劑膜的半導(dǎo)體晶圓等基板進行曝光，從而將微細(xì)的電路圖案縮小轉(zhuǎn)印到半導(dǎo)體晶圓上。這種光掩模是如下這樣制造的在將遮光性膜形成在透光性基板上而形成的稱作掩?；宓幕灞砻嫔希磸?fù)進行成膜、化學(xué)機械研磨(CMP)和清洗等多個工藝而形成電路圖案。因此，當(dāng)在掩?；宓谋砻娲嬖谖⒘５犬愇飼r，異物成為所形成的圖案產(chǎn)生缺陷的原因，因此，需要潔凈地保管掩?；?，以便使異物等不會附著在掩?；宓谋砻嫔?。作為用于潔凈地收納保管并運輸這種掩?；宓氖占{容器，例如公知有下述專利文獻(xiàn)1、2所述的收納容器。專利文獻(xiàn)I所述的收納容器是為了防止來自外部空氣的異物進入該收納容器的內(nèi)部而在容器的角部形成有設(shè)有過濾器的通氣孔的收納容器。專利文獻(xiàn)2所述的收納容器是為了防止光掩模等的表面的時效變化而將非活性氣體導(dǎo)入到容器內(nèi)并利用擴散板使該非活性氣體擴散后排出的收納容器。專利文獻(xiàn)I :日本特開2005 - 43796號公報專利文獻(xiàn)2 :日本特開2001 - 53136號公報但是，像以往的收納容器那樣僅形成有設(shè)有過濾器的通氣孔，或僅將非活性氣體導(dǎo)入到容器內(nèi)而使該非活性氣體擴散時，存在由于使用收納容器的環(huán)境(例如潔凈度、室內(nèi)溫度和干燥度等)的不同而對異物的防止對策不夠充分這樣的問題。例如，即使是專利文獻(xiàn)I所述的收納容器，由于該收納容器的使用環(huán)境的不同，有時也會發(fā)生自通氣孔穿過過濾器而混入的微小的異物附著在掩?；迳系那闆r。另外，即使是專利文獻(xiàn)2所述的收納容器，由于在自收納容器取出掩?；鍟r，必須打開收納容器，所以根據(jù)屆時的使用環(huán)境的不同，有時異物也會自外部混入而附著在掩模基板上。另外，近年來，電路圖案的微細(xì)化日益進展，所以掩?；宓妮斔汀⒈９芩蟮臐崈舳纫脖纫酝鼑?yán)格。因此，為了能夠始終防止異物附著在收納容器內(nèi)的掩?；迳?，收納容器的使用環(huán)境的差異也越來越不能忽視。

發(fā)明內(nèi)容
因而，本發(fā)明是鑒于上述這樣的問題而做成的，其目的在于提供一種能夠根據(jù)使用環(huán)境有效地防止異物附著在被收納的基板上的基板收納裝置。為了解決上述問題，本發(fā)明的第一技術(shù)方案提供一種基板收納裝置，其用于收納基板，其特征在于，該基板收納裝置包括供氣部，其用于將外部空氣引入到上述基板收納裝置內(nèi)；排氣部，其與上述供氣部相對配置；基板載置板，其設(shè)在上述供氣部與上述排氣部之間，具有將上述供氣部與上述排氣部之間連通的連通孔；供氣過濾器，其設(shè)在上述供氣部；鼓風(fēng)機，其設(shè)在上述供氣部或上述排氣部，該基板收納裝置裝卸自如地設(shè)有狀態(tài)傳感器、微粒帶電裝置和調(diào)溫裝置中的任一個或裝卸自如地設(shè)有狀態(tài)傳感器、微粒帶電裝置和調(diào)溫裝置中的兩個以上的組合，該狀態(tài)傳感器用于檢測上述基板收納裝置內(nèi)的狀態(tài)。為了解決上述問題，本發(fā)明的第二技術(shù)方案提供一種基板收納裝置，其用于收納基板，其特征在于，該基板收納裝置包括供氣部，其設(shè)有向上述基板收納裝置內(nèi)導(dǎo)入吹掃氣體的導(dǎo)入部；排氣部，其與上述供氣部相對配置；基板載置板，其設(shè)在上述供氣部與上述排氣部之間，具有將上述供氣部與上述排氣部之間連通的連通孔；鼓風(fēng)機，其設(shè)在上述供氣部或上述排氣部，該基板收納裝置裝卸自如地設(shè)有狀態(tài)傳感器、微粒帶電裝置和調(diào)溫裝置中的任一個或裝卸自如地設(shè)有狀態(tài)傳感器、微粒帶電裝置和調(diào)溫裝置中的兩個以上的組合，該狀態(tài)傳感器用于檢測上述基板收納裝置內(nèi)的狀態(tài)。在這種結(jié)構(gòu)的本發(fā)明中，通過驅(qū)動鼓風(fēng)機，自供氣部經(jīng)由過濾器導(dǎo)入外部空氣或自導(dǎo)入部導(dǎo)入吹掃氣體，自與供氣部相對的排氣部排出該外部空氣或該吹掃氣體。由此，在基板收納裝置內(nèi)，在配置于供氣部與排氣部之間的基板上形成從該供氣部側(cè)流向排氣部側(cè)的空氣的氣流。因此，即使例如由于使用環(huán)境的不同，微小的異物未能被過濾器全部捕捉到而自供氣部進入基板收納裝置內(nèi)，也能高效地自排氣部排出該異物。由此，能夠防止異物附著在基板收納裝置內(nèi)的基板上。而且，采用本發(fā)明，由于能夠根據(jù)基板收納裝置的使用環(huán)境來安裝狀態(tài)傳感器、微粒帶電裝置和調(diào)溫裝置中的任一個或?qū)顟B(tài)傳感器、微粒帶電裝置和調(diào)溫裝置組合來進行安裝，所以能夠根據(jù)使用環(huán)境有益地提高防止異物附著效果。另外，上述狀態(tài)傳感器是例如溫度傳感器、帶電傳感器、微粒傳感器、振動傳感器和氣體傳感器中的任一個或溫度傳感器、帶電傳感器、微粒傳感器、振動傳感器和氣體傳感器中的兩個以上的組合。另外，也可以設(shè)有存儲部和控制部，該存儲部用于存儲上述狀態(tài)傳感器的輸出，該控制部用于判定被存儲在上述存儲部的上述狀態(tài)傳感器的輸出是否大于規(guī)定的閾值。在上述狀態(tài)傳感器的輸出大于規(guī)定的閾值的情況下，發(fā)生了異常，所以能夠判斷為異物已經(jīng)附著在被收納的基板上。另外，基板收納裝置也可以具有以包覆上述基板收納裝置的方式收納上述基板收納裝置的外側(cè)容器，并在上述基板收納裝置與上述外側(cè)容器之間形成有使來自上述排氣部的排氣返回到上述供氣部的循環(huán)通路。例如能夠在上述基板收納裝置與上述外側(cè)容器之間設(shè)置隔振件，將上述隔振件之間的空間作為上述循環(huán)通路。由此，來自排氣部的排氣經(jīng)過循環(huán)通路返回到供氣部，所以即使例如在無塵室外的環(huán)境下，也能一邊保持外側(cè)容器內(nèi)的潔凈度一邊進行輸送。 另外，也可以在上述供氣部與上述排氣部之間裝卸自如地設(shè)置側(cè)板。由此，例如通過卸下側(cè)板，能夠利用輸送臂等從側(cè)面取出基板或輸入基板。為了解決上述問題，本發(fā)明的第三技術(shù)方案提供一種基板收納裝置，其用于收納基板，其特征在于，該基板收納裝置包括供氣部，其用于向上述基板收納裝置內(nèi)引入外部空氣；排氣部，其與上述供氣部相對配置；基板載置板，其設(shè)在上述供氣部與上述排氣部之間，具有將上述供氣部與上述排氣部連通的連通孔；鼓風(fēng)機，其設(shè)在上述供氣部或上述排氣部，該基板收納裝置裝卸自如地設(shè)有狀態(tài)傳感器、微粒帶電裝置和調(diào)溫裝置中的任一個或裝卸自如地設(shè)有狀態(tài)傳感器、微粒帶電裝置和調(diào)溫裝置中的兩個以上的組合，該狀態(tài)傳感器用于檢測上述基板收納裝置內(nèi)的狀態(tài)，該調(diào)溫裝置用于加熱上述基板的表面，上述排氣部與上述供氣部之間對外開口。在這種結(jié)構(gòu)的本發(fā)明中，通過驅(qū)動鼓風(fēng)機，自供氣部經(jīng)由過濾器導(dǎo)入外部空氣，自與供氣部相對的排氣部排出該外部空氣。由此，在收納于基板收納裝置內(nèi)的基板的周圍形成從供氣部側(cè)流向排氣部側(cè)的空氣的氣流。由此，即使異物進入基板收納裝置內(nèi)，也能高效地排出該異物。另外，能夠防止異物附著在基板收納裝置內(nèi)的基板上，并且能夠利用輸送臂等從側(cè)面的開口容易地取出基板或輸入基板。而且，采用本發(fā)明，能夠根據(jù)基板收納裝置的使用環(huán)境來安裝狀態(tài)傳感器、微粒帶電裝置和調(diào)溫裝置中的任一個或?qū)顟B(tài)傳感器、微粒帶電裝置和調(diào)溫裝置組合來進行安裝，所以能夠根據(jù)使用環(huán)境有益地提高防止異物附著效果。另外，該基板收納裝置也可以具有以包覆上述基板收納裝置的方式收納上述基板 收納裝置的外側(cè)容器，在上述外側(cè)容器上，設(shè)有用于封閉上述排氣部與上述供氣部之間的開口的封閉板，在上述基板收納裝置與上述外側(cè)容器之間形成使來自上述排氣部的排氣返回到上述供氣部的循環(huán)通路。在該情況下，例如在上述基板收納裝置與上述外側(cè)容器之間設(shè)置隔振件，并且將上述隔振件之間的空間作為上述循環(huán)通路。由此，在將基板收納裝置收納在外側(cè)容器內(nèi)時，能夠利用封閉板封閉側(cè)面的開口，所以基板收納裝置內(nèi)的排氣能夠全部自排氣部排出，經(jīng)過循環(huán)通路而返回到供氣部。由此，即使例如在無塵室外的環(huán)境下，也能一邊保持外側(cè)容器內(nèi)的潔凈度一邊進行輸送。另外，也可以在上述基板收納裝置的外側(cè)或上述外側(cè)容器的外側(cè)設(shè)置隔振件。由此，在例如在無塵室外的環(huán)境下進行輸送的情況下能夠吸收沖擊等，所以即使異物附著在基板收納裝置內(nèi)，也能防止該異物剝落而附著在基板上。采用本發(fā)明，不僅能夠有效地防止異物附著在基板收納裝置內(nèi)的基板上，而且還能根據(jù)使用環(huán)境來安裝狀態(tài)傳感器、微粒帶電裝置和調(diào)溫裝置中的任一個或?qū)顟B(tài)傳感器、微粒帶電裝置和調(diào)溫裝置組合來進行安裝，所以能夠根據(jù)使用環(huán)境有益地提高防止異物附著效果。


圖I是表示本發(fā)明的實施方式的基板收納裝置的概略結(jié)構(gòu)的外觀立體圖。圖2是圖I所示的基板收納裝置的縱剖視圖。圖3是用于說明在該實施方式的基板處理裝置上安裝了狀態(tài)傳感器的情況的縱首1J視圖。圖4是用于說明將狀態(tài)傳感器和微粒帶電裝置組合而安裝在該實施方式的基板處理裝置上的情況的縱剖視圖。圖5是用于說明將狀態(tài)傳感器和調(diào)溫裝置組合而安裝在該實施方式的基板處理裝置上的情況的縱剖視圖。圖6是用于對安裝在圖I所示的基板處理裝置中的隔振件的具體例進行說明的外觀立體圖。
圖7是用于說明圖6所示的隔振件的變形例的外觀立體圖。圖8是用于說明將安裝有圖7所示的隔振件的基板處理裝置收納在外側(cè)容器中的情況的縱剖視圖。圖9是用于說明該實施方式的基板處理裝置的變形例的剖視圖。圖10是用于說明該實施方式的基板處理裝置的另一變形例的外觀立體圖。圖11是用于對安裝在圖10所示的基板收納裝置中的隔振件的具體例進行說明的外觀立體圖。圖12是用于說明將安裝有圖11所示的隔振件的基板處理裝置收納在外側(cè)容器中的情況的縱剖視圖。
具體實施例方式下面，參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的優(yōu)選的實施方式。另外，在本說明書及附圖中，對于實質(zhì)上具有相同的功能結(jié)構(gòu)的構(gòu)成要素標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記而省略重復(fù)說明?；迨占{裝置的結(jié)構(gòu)首先，參照

本實施方式的基板收納裝置。在此，以一張一張地收納作為基板的掩?；宀⑤斔驮撗谀；宓幕迨占{裝置為例。圖I是表示本實施方式的基板收納裝置的結(jié)構(gòu)例的立體圖，圖2是基板收納裝置的縱剖視圖。如圖I所示，基板收納裝置100的外觀為箱狀，在基板收納裝置100的內(nèi)部能夠水平地收納I張掩模基板M。基板收納裝置100具有供氣部110，其用于向基板收納裝置100的內(nèi)部引入外部空氣；排氣部120，其與供氣部110相對地設(shè)置，用于排出基板收納裝置100的內(nèi)部的氣氛氣體。在圖I中，舉出利用供氣部110構(gòu)成基板收納裝置100的上部、并利用排氣部120構(gòu)成基板收納裝置100的下部的例子。另外，上述供氣部110和排氣部120的結(jié)構(gòu)并不限定于此。例如也可以在基板收納裝置100的上部和下部的一部分分別設(shè)置供氣部110和排氣部120。在供氣部110與排氣部120之間以圍繞基板收納裝置100的周圍的方式氣密地設(shè)有側(cè)壁130。也如圖2所示，供氣部110設(shè)有對引入到基板收納裝置100內(nèi)的外部空氣進行過濾的供氣過濾器112。通過利用供氣過濾器112將外部空氣所含有的異物去除后引入該外部空氣，能夠防止異物附著在基板收納裝置100內(nèi)的掩模基板M上。這種供氣過濾器112由例如將外部空氣所含有的灰塵、垃圾等粒子(微粒)去除的粒子去除過濾器構(gòu)成。作為粒子去除過濾器，可以列舉出HEPA (High EfficiencyParticulate Air Filter,高效空氣過濾器)過濾器、ULPA (Ultra Low Penetration Air,超低穿透率空氣過濾器)過濾器。排氣部120具有將基板收納裝置100內(nèi)的氣氛氣體排出的鼓風(fēng)機122。在圖2中，以在排氣部120的中央設(shè)有I個鼓風(fēng)機122的情況為例。另外，鼓風(fēng)機122的數(shù)量不限定于圖示的情況，也可以設(shè)置兩個以上。另外，鼓風(fēng)機122也可以設(shè)于供氣部110。在該情況下，鼓風(fēng)機122可以設(shè)在供氣過濾器112的上側(cè)，另外也可以設(shè)在供氣過濾器112的下側(cè)。在基板收納裝置100的內(nèi)部，在供氣部110與排氣部120之間設(shè)有基板載置板140。掩?；錗載置在該基板載置板140的上部?；遢d置板140以將基板收納裝置100的內(nèi)部空間劃分為供氣部110側(cè)和排氣部120側(cè)的方式設(shè)置。在基板載置板140上設(shè)有使上述供氣部110側(cè)的空間和排氣部120側(cè)的空間的連通的連通孔142。在這樣的基板收納裝置100中，當(dāng)驅(qū)動排氣部120的鼓風(fēng)機122時，如圖2所示，外部空氣自供氣部110引入，經(jīng)過基板載置板140的連通孔142而自排氣部120排出。因此，在基板收納裝置100內(nèi)形成從上部的供氣部110朝向下部的排氣部120的空氣的氣流。由此，在基板載置板140上的掩?；錗上產(chǎn)生自供氣部110側(cè)吹送的空氣的氣流。在該情況下，由于經(jīng)由供氣過濾器112引入外部空氣，所以大部分的異物被供氣過濾器112去除，不會進入基板收納裝置100。而由于基板收納裝置100的使用環(huán)境的不同，也能夠想到在外部空氣中含有即使用供氣過濾器112也無法去除的程度的微小的異物的情況。
針對這一點，由于在基板收納裝置100內(nèi)始終形成從供氣部110朝向排氣部120的空氣的氣流，所以即使用供氣過濾器112也不能去除而進入的微小的異物也會沿該空氣的氣流自排氣部120排出。這種異物越微小，其自重也越微小，所以不會附著在基板載置板140上的掩模基板M上，而自排氣部120排出。這樣，無論外部空氣所含有的異物的大小如何，都能有效地防止該異物附著在基板收納裝置100內(nèi)的掩模基板M上。另外，由于基板收納裝置100的使用環(huán)境的不同，也能夠想到若僅如上述那樣在基板收納裝置100內(nèi)形成空氣的氣流仍不夠充分的情況。例如，當(dāng)異物雖然微小卻帶電、或進入了大量的異物時，該異物附著在掩模基板M上的可能性也增大。因此，本實施方式的基板收納裝置100通過裝卸自如地設(shè)置狀態(tài)傳感器、微粒帶電裝置及調(diào)溫裝置中的任一個或裝卸自如地設(shè)置狀態(tài)傳感器、微粒帶電裝置及調(diào)溫裝置中的兩個以上的組合，能夠根據(jù)使用環(huán)境具有最適合的功能，該狀態(tài)傳感器用于檢測基板收納裝置100的內(nèi)部狀態(tài)。例如，通過在基板收納裝置100中設(shè)置狀態(tài)傳感器而檢測內(nèi)部狀態(tài)，能夠判斷是否是異物容易附著的使用環(huán)境。另外，通過在基板收納裝置100中設(shè)置微粒帶電裝置，對異物、掩?；錗進行除電或控制帶電極性，能夠使異物不易附著在掩?；錗上。另外，在有溫度差的環(huán)境中，微小的異物有向溫度低的一方聚集的性質(zhì)，所以通過在基板收納裝置100中設(shè)置調(diào)溫裝置而調(diào)整掩?；錗、掩?；錗的周圍的溫度，能夠使異物不易附著在掩?；錗上。此外，通過組合上述狀態(tài)傳感器、微粒帶電裝置和調(diào)溫裝置，能夠進一步使異物不易附著在掩?；錗上。這樣，由于能夠根據(jù)使用環(huán)境來安裝上述裝置，所以能夠根據(jù)基板收納裝置100的使用環(huán)境有益且有效地防止異物附著在掩?；錗上?；逄幚硌b置的具體例接下來，對安裝有上述的狀態(tài)傳感器、微粒帶電裝置和調(diào)溫裝置的基板收納裝置100的具體例進行說明。例如，如圖I所示，本實施方式的基板收納裝置100在其供氣部110設(shè)有安裝孔150，通過將設(shè)于狀態(tài)傳感器、微粒帶電裝置和調(diào)溫裝置的安裝部152安裝于該安裝孔150，能夠裝卸自如地安裝狀態(tài)傳感器、微粒帶電裝置和調(diào)溫裝置。參照附圖對安裝有這種傳感器、裝置的情況進行更加詳細(xì)的說明。圖3是表示只安裝有狀態(tài)傳感器154的情況下的結(jié)構(gòu)例的剖視圖。圖4是表示將狀態(tài)傳感器154和微粒帶電裝置156組合來安裝的情況下的結(jié)構(gòu)例的剖視圖。圖5是表示將狀態(tài)傳感器154和調(diào)溫裝置158組合來安裝的情況下的結(jié)構(gòu)例的剖視圖。首先， 參照圖3說明只安裝有狀態(tài)傳感器154的情況。通過將配置有狀態(tài)傳感器154的安裝部152安裝到安裝孔150，將該狀態(tài)傳感器154安裝到基板收納裝置100上。狀態(tài)傳感器154用于檢測基板收納裝置100的內(nèi)部狀態(tài)(例如溫度、帶電度和異物混入度等)。作為這種狀態(tài)傳感器，例如可列舉出溫度傳感器、帶電傳感器、微粒傳感器、振動傳感器和氣體傳感器。上述傳感器可以單獨設(shè)置，或者也可以組合兩個以上地設(shè)置。利用溫度傳感器檢測基板收納裝置100的內(nèi)部、掩模基板M等的溫度。利用帶電傳感器檢測基板收納裝置100內(nèi)的異物、掩?；錗等的帶電極性、帶電度。利用微粒傳感器檢測基板收納裝置100內(nèi)的異物的量。利用振動傳感器檢測大幅的振動、細(xì)微的振動。作為振動傳感器，在檢測大幅的振動的情況下，可以使用加速度傳感器作為振動傳感器，在檢測細(xì)微的振動的情況下，可以使用超聲波傳感器。狀態(tài)傳感器154與對基板收納裝置100的整體進行控制的控制部160相連接。控制部160包括存儲部162和操作部164等。在存儲部162中存儲有利用狀態(tài)傳感器154檢測到的數(shù)據(jù)等。在操作部164設(shè)有電源開關(guān)等?？刂撇?60基于來自狀態(tài)傳感器154的輸出，判定異物是否附著在基板收納裝置100內(nèi)的掩?；錗上、并判定基板收納裝置100的使用環(huán)境。例如，當(dāng)基板收納裝置100的溫度、帶電度等內(nèi)部狀態(tài)發(fā)生變化時，異物容易附著在掩?；錗上。因此，通過監(jiān)視上述的內(nèi)部狀態(tài)并檢測上述的內(nèi)部狀態(tài)的變化，能夠判定異物是否已附著在掩?；錗上。具體而言，控制部160在讀入來自狀態(tài)傳感器154的輸出時將該輸出存儲到存儲部162，并監(jiān)視基板收納裝置100的內(nèi)部狀態(tài)。并且，在來自狀態(tài)傳感器154的輸出大于規(guī)定的閾值的情況下，判斷為異物已經(jīng)附著在該掩?；錗上。另外，控制部160基于來自狀態(tài)傳感器154的輸出判定基板收納裝置100的使用環(huán)境(例如，異物帶電的使用環(huán)境、異物的量較多的使用環(huán)境等)，并根據(jù)其判定結(jié)果來判斷是否安裝例如微粒帶電裝置156、調(diào)溫裝置158，在安裝例如微粒帶電裝置156、調(diào)溫裝置158的情況下，判斷安裝哪一個或以怎樣的組合來安裝等。例如在異物帶電的使用環(huán)境的情況下，判斷需要安裝微粒帶電裝置156，在異物的量較多的使用環(huán)境中，判斷需要安裝調(diào)溫裝置158。另外，此判斷未必一定需要自動進行，也可以由基板收納裝置100的操作者根據(jù)使用環(huán)境的判定結(jié)果來判斷。接下來，參照圖4對將狀態(tài)傳感器154和微粒帶電裝置156組合來安裝的情況進行說明。微粒帶電裝置156以與供氣過濾器112分開地配置在掩?；錗的上方的方式固定于安裝部152。在安裝部152上設(shè)有狀態(tài)傳感器154。由此，通過將安裝部152安裝于安裝孔150，能夠?qū)顟B(tài)傳感器154和微粒帶電裝置156這兩者安裝到基板收納裝置100上。微粒帶電裝置156例如能夠由軟X射線源、UV光源和除靜電器(ionizer)等構(gòu)成。通過利用這種微粒帶電裝置156對基板收納裝置100的內(nèi)部進行除電，能夠?qū)⑦M入基板收納裝置100內(nèi)的異物所帶的電去除，所以能夠有效地防止那種異物附著在掩模基板M上。另外，也可以通過利用除靜電器產(chǎn)生離子而使異物帶與掩?；錗同極性的電。由此，能夠有效地防止那種異物附著在掩?；錗上。另外，在該情況下，也可以從掩?；錗的下部對掩?；錗施加與異物同極性的電壓。另外，也可以利用帶電傳感器構(gòu)成狀態(tài)傳感器154而利用控制部160檢測帶電度，并由控制部160根據(jù)檢測結(jié)果控制微粒帶電裝置156的輸出。接下來，參照圖5對將狀態(tài)傳感器154和調(diào)溫裝置158組合來安裝的情況進行說明。調(diào)溫裝置158以與供氣過濾器112分開地配置在掩?；錗的上方的方式固定于安裝部152。在安裝部152上設(shè)有狀態(tài)傳感器154。由此，通過將安裝部152安裝于安裝孔150，能夠?qū)顟B(tài)傳感器154和調(diào)溫裝置158這雙方安裝到基板收納裝置100上。調(diào)溫裝置158能夠由加熱器、加熱燈等構(gòu)成。利用調(diào)溫裝置158以使掩?；錗的表面溫度比周邊溫度高的方式施加溫度差，從而對掩?；錗的表面附近的異物沿與表面分開的方向作用熱泳力。而且，越靠近掩模基板M的表面，作用于異物的熱泳力越大，所以能夠使異物不易附著在掩?；錗的表面上。另外，上述溫度差優(yōu)選為至少5°C以上，更優(yōu)選為15°C以上。但能夠?qū)囟炔钤O(shè)至掩模基板M不會熔化的程度(例如500°C )。 另外，也可以如下這樣設(shè)置上述溫度差利用冷卻裝置構(gòu)成調(diào)溫裝置158，使掩?；錗的周圍、背面?zhèn)鹊臏囟缺妊谀；錗的表面的溫度低,從而使掩?；錗的表面的溫度相對地較高。另外，也可以如下這樣設(shè)置利用溫度傳感器構(gòu)成狀態(tài)傳感器154，利用控制部160檢測溫度，由控制部160根據(jù)檢測結(jié)果來控制調(diào)溫裝置158的溫度。這樣，通過使本實施方式的基板收納裝置100能夠裝卸自如地設(shè)置狀態(tài)傳感器154、微粒帶電裝置156和調(diào)溫裝置158中的任一個或裝卸自如地設(shè)置狀態(tài)傳感器154、微粒帶電裝置156和調(diào)溫裝置158中兩個以上的組合，能夠根據(jù)使用環(huán)境有益且可靠地提高防止異物附著效果。對于能收納在基板收納裝置100中的掩?；錗,通過在構(gòu)成該掩?；錗的基體的玻璃基板的表面上反復(fù)進行成膜、化學(xué)機械研磨(CMP chemical MechanicalPolishing)和清洗等多個工藝，形成電路圖案。由此，將形成有電路圖案的光掩模制造出來。上述成膜、化學(xué)機械研磨等各工藝在不同的裝置中執(zhí)行，所以需要在各裝置之間輸送掩?；錗。此時，若異物在掩模基板M的輸送過程中、保管過程中附著在該掩?；錗的表面上，則在之后的工藝中會產(chǎn)生缺陷(異物本身、由異物引起的劃痕等)。例如，當(dāng)在附著有異物的狀態(tài)下執(zhí)行成膜等工藝時，該缺陷使各成膜層變形而產(chǎn)生相位缺陷等，會在殘留有由異物引起的缺陷、劃痕的狀態(tài)下完成光掩模。因此，在輸送或保管掩模基板M的情況下，將掩?；錗收納在本實施方式的基板收納裝置100內(nèi)。屆時，根據(jù)使用基板收納裝置100的例如無塵室的環(huán)境來選擇安裝狀態(tài)傳感器154、微粒帶電裝置156和調(diào)溫裝置158中的任一個或狀態(tài)傳感器154、微粒帶電裝置156和調(diào)溫裝置158的組合。由此，能夠根據(jù)該無塵室的環(huán)境來利用有用的裝備可靠地提高防止異物附著效果。另外,近年來,使用了極紫外線(EUV :Extreme Ultra - Violet)的曝光技術(shù)作為下一代的曝光技術(shù)受到關(guān)注。由于EUV是波長為13納米的極紫外線，因此，利用該曝光技術(shù)也能夠形成50納米以下的極微小的電路寬度的圖案。因此，在該曝光技術(shù)所使用的EUV用的掩?；錗中，即使附著有例如幾十納米等級 十幾納米等級的極微小的異物，也可能影響之后的工藝。特別是利用帶電、溫度能夠有效地提高防止這種極微小的異物向掩?；錗附著的效果，所以使用本實施方式的基板收納裝置100來進行輸送、保管的效果極大。而且，采用基板收納裝置100，也能根據(jù)使用環(huán)境來控制該帶電、溫度，所以能夠進一步提高防止異物附著效果。另外，也可以通過對基板收納裝置100安裝隔振件來使基板收納裝置100能夠防止振動。由此，在異物附著在基板收納裝置100的內(nèi)部的情況下，能夠防止該異物因輸送過程中的振動而剝落并附著在掩?；錗的表面上。具體而言，例如，如圖6所示，在供氣部110的外周和排氣部120的外周都設(shè)置隔振件170。另外，隔振件170的形狀、安裝位置等不限定于此。例如，如圖7所示，也可以在基板收納裝置100的4個角部設(shè)置自供氣部110延伸至排氣部120的形狀的隔振件172。另外，也可以設(shè)置能將該基板收納裝置100收納的外側(cè)容器。由此，例如在將基板收納裝置100從無塵室取出而利用貨車等輸送時，能夠進一步提高掩模基板M的防止異物附著效果。具體而言，例如，如圖8所示，設(shè)置以包覆基板收納裝置100的方式收納基板收納裝置100的外側(cè)容器180。在該情況下，通過以安裝有隔振件的狀態(tài)將基板收納裝置100收納在外側(cè)容器 180中，能夠進一步提高在連同外側(cè)容器180—起輸送時的隔振效果。另外，隔振件未必一定需要設(shè)在外側(cè)容器180的內(nèi)側(cè)，也可以設(shè)在外側(cè)容器180的外側(cè)。另外，也可以在外側(cè)容器180的內(nèi)側(cè)和外側(cè)都設(shè)置隔振件。此外，若設(shè)置隔振傳感器作為狀態(tài)傳感器154而檢測振動，則還能對發(fā)生了大幅振動的情況進行檢測。在輸送外側(cè)容器180時，振動越大，附著在基板收納裝置100的內(nèi)部的異物越容易剝落，所以該異物容易附著在掩模基板M上。因此，例如也可以監(jiān)視隔振傳感器而在發(fā)生了規(guī)定的閾值以上的大幅振動時判定為異物已經(jīng)附著在掩?；錗上。另外，可以在基板收納裝置100與外側(cè)容器180之間形成使來自排氣部120的排氣返回到供氣部110的循環(huán)通路182。圖8是通過在基板收納裝置100與外側(cè)容器180之間設(shè)置圖7所示那樣的隔振件172而將隔振件172之間的空間作為循環(huán)通路182的情況的具體例。由此，在基板收納裝置100的內(nèi)部始終產(chǎn)生有空氣的氣流，所以能夠提高例如在輸送外側(cè)容器180的過程中的防止異物向掩?；錗附著的效果。而且，即使異物進入外側(cè)容器180內(nèi)，也能使異物在循環(huán)通路182中循環(huán)，從而利用供氣過濾器112去除異物，所以能夠始終將外側(cè)容器180內(nèi)保持為潔凈狀態(tài)。在上述實施方式中，以在供氣部110設(shè)有供氣過濾器112、經(jīng)由供氣過濾器112引入外部空氣的情況為例進行了說明，但也可以在供氣部110設(shè)置用于導(dǎo)入吹掃氣體的導(dǎo)入部來代替設(shè)置供氣過濾器112。由此，能夠自導(dǎo)入部導(dǎo)入干燥空氣、氮氣等吹掃氣體來代替向基板收納裝置100內(nèi)引入外部空氣。具體而言，如圖9所示，在供氣部110設(shè)置導(dǎo)入部114，導(dǎo)入部114與吹掃氣體的氣體供給源116相連接。通過將來自氣體供給源116的吹掃氣體導(dǎo)入到導(dǎo)入部114，能夠在基板收納裝置100內(nèi)形成比外部空氣潔凈的氣體的氣流。另外，在上述實施方式中，以在供氣部110與排氣部120之間氣密地設(shè)有側(cè)壁130的情況為例進行了說明，但并不限定于此。例如側(cè)壁130也可以裝卸自如地設(shè)置，也開閉自如地設(shè)置。通過開閉自如地設(shè)置側(cè)壁130，能夠利用未圖示的輸送臂等從側(cè)向取出掩?；錗或輸入掩?；錗。此外，側(cè)壁130也可以設(shè)在基板收納裝置100的4個側(cè)面的一部分上，也未必一定要設(shè)置。例如，如圖10所示，也可以在基板收納裝置100的4個側(cè)面上全都不設(shè)置側(cè)壁130。在該情況下，也可以利用支承構(gòu)件132支承供氣部110和排氣部120的4個角部而使側(cè)面對外開口。由此，易于利用未圖示的輸送臂等從側(cè)面的開口取出掩模基板M或輸入掩?；錗。另外，在該情況下，當(dāng)驅(qū)動鼓風(fēng)機122時，外部空氣不僅自供氣過濾器112進入，而且從側(cè)面的開口進入，由于在該情況下也始終形成有朝向排氣部120的氣流，所以能夠防止異物附著在掩?；錗上。此外，在圖10所示的基板收納裝置100的情況下，也能夠設(shè)置與圖I所示的情況相同的安裝孔150并裝卸自如地設(shè)置狀態(tài)傳感器154、微粒帶電裝置156和調(diào)溫裝置158中的任一個或裝卸自如地設(shè)置狀態(tài)傳感器154、微粒帶電裝置156和調(diào)溫裝置158中的兩個以上的組合。由此，能夠根據(jù)使用環(huán)境具有最適合的功能，所以即使異物與外部空氣一并從側(cè)面進入，也能有效地防止異物附著在掩?；錗 上。在圖10所示的基板收納裝置100的情況下，也可以在該基板收納裝置100的外側(cè)設(shè)置隔振件。例如可以設(shè)置圖6所示的隔振件170，也可以設(shè)置圖7所示的隔振件172。另夕卜，如圖11所示，也可以在供氣部110和排氣部120的各自的4個角部設(shè)置隔振件174。另外，在圖10所示的基板收納裝置100的情況下，也可以設(shè)置能將該基板收納裝置100收納的外側(cè)容器。由此，在例如將基板收納裝置100從無塵室取出而利用貨車等輸送時，能夠進一步提高掩模基板M的防止異物附著效果。具體而言，例如，如圖12所示，設(shè)置以包覆基板收納裝置100的方式收納基板收納裝置100的外側(cè)容器180。在該情況下，如圖12所示，通過以安裝有隔振件174的狀態(tài)將基板收納裝置100收納在外側(cè)容器180內(nèi)，能夠進一步提高連同外側(cè)容器180—起輸送時的隔振效果。另外，在將基板收納裝置100收納在該情況下的外側(cè)容器180中時，也可以設(shè)置用于完全封閉側(cè)面的開口的封閉板184并在基板收納裝置100與外側(cè)容器180之間形成使來自排氣部120的排氣返回到供氣部110的循環(huán)通路182。圖12是通過在基板收納裝置100與外側(cè)容器180之間設(shè)置圖11所示那樣的隔振件174而將封閉板184的外側(cè)的隔振件174之間的空間作為循環(huán)通路182的情況的具體例。這樣，通過利用封閉板184封閉基板收納裝置100的側(cè)面的開口，能夠防止從該開口進入的空氣的氣流。由此，在基板收納裝置100的內(nèi)部始終產(chǎn)生有從排氣部120返回到供氣部110的空氣的氣流，所以即使異物進入外側(cè)容器180內(nèi)，也能使該異物在循環(huán)通路182中循環(huán)，從而利用供氣過濾器112去除異物，所以能夠始終將外側(cè)容器180內(nèi)保持為潔凈狀態(tài)。另外，狀態(tài)傳感器154、微粒帶電裝置156和調(diào)溫裝置158的裝卸自如的結(jié)構(gòu)不限定于上述實施方式。以上，參照

了本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，但本發(fā)明當(dāng)然不限定于該例。只要是本領(lǐng)域技術(shù)人員，則能夠在權(quán)利要求書所述的范圍內(nèi)想到各種變更例或修改例是顯而易見的，上述變更例或修改例當(dāng)然也被認(rèn)為屬于本發(fā)明的保護范圍。例如，在上述實施方式中，說明了將本發(fā)明應(yīng)用于收納掩模基板的基板收納裝置的情況，但本發(fā)明不限定于此。本發(fā)明也可以應(yīng)用于例如半導(dǎo)體晶圓、Fro用基板和光掩模的基板收納裝置。產(chǎn)業(yè)上的可利用件本發(fā)明能夠應(yīng)用于將掩模基板等基板收納起來而進行輸送的基板收納裝置。附圖標(biāo)記說明
100、基板收納裝置；110、供氣部；112、供氣過濾器；114、導(dǎo)入部；116、氣體供給源；120、排氣部；122、鼓風(fēng)機；130、側(cè)壁；132、支承構(gòu)件；140、基板載置板；142、連通孔；150、安裝孔；152、安裝部；154、狀態(tài)傳感器；156、微粒帶電裝置；158 、調(diào)溫裝置；160、控制部；162、存儲部；164、操作部；170、172、174、隔振件；180、外側(cè)容器；182、循環(huán)通路；184、
封閉板;M、掩?；濉?br> 權(quán)利要求
1.一種基板收納裝置，其用于收納基板，其特征在于， 該基板收納裝置包括 供氣部，其用于將外部空氣引入到上述基板收納裝置內(nèi)； 排氣部，其與上述供氣部相對配置； 基板載置板，其設(shè)在上述供氣部與上述排氣部之間，具有將上述供氣部與上述排氣部之間連通的連通孔； 供氣過濾器，其設(shè)在上述供氣部； 鼓風(fēng)機，其設(shè)在上述供氣部或上述排氣部， 該基板收納裝置裝卸自如地設(shè)有狀態(tài)傳感器、微粒帶電裝置和調(diào)溫裝置中的任一個或裝卸自如地設(shè)有狀態(tài)傳感器、微粒帶電裝置和調(diào)溫裝置中的兩個以上的組合，該狀態(tài)傳感器用于檢測上述基板收納裝置內(nèi)的狀態(tài)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基板收納裝置，其特征在于， 上述狀態(tài)傳感器是溫度傳感器、帶電傳感器、微粒傳感器、振動傳感器和氣體傳感器中的任一個或是溫度傳感器、帶電傳感器、微粒傳感器、振動傳感器和氣體傳感器中的兩個以上的組合。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板收納裝置，其特征在于， 該基板收納裝置設(shè)有 存儲部，其用于存儲上述狀態(tài)傳感器的輸出； 控制部，其判定被存儲在上述存儲部的上述狀態(tài)傳感器的輸出是否大于規(guī)定的閾值。
4.根據(jù)權(quán)利要求I 3中任意一項所述的基板收納裝置，其特征在于， 具有以包覆上述基板收納裝置的方式收納上述基板收納裝置的外側(cè)容器， 在上述基板收納裝置與上述外側(cè)容器之間形成有使來自上述排氣部的排氣返回到上述供氣部的循環(huán)通路。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板收納裝置，其特征在于， 在上述基板收納裝置與上述外側(cè)容器之間設(shè)有隔振件，將上述隔振件之間的空間作為上述循環(huán)通路。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板收納裝置，其特征在于， 在上述基板收納裝置的外側(cè)或上述外側(cè)容器的外側(cè)設(shè)有隔振件。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板收納裝置，其特征在于， 在上述供氣部與上述排氣部之間裝卸自如地設(shè)有側(cè)板。
8.一種基板收納裝置，其用于收納基板，其特征在于， 該基板收納裝置包括 供氣部，其設(shè)有向上述基板收納裝置內(nèi)導(dǎo)入吹掃氣體的導(dǎo)入部； 排氣部，其與上述供氣部相對配置； 基板載置板，其設(shè)在上述供氣部與上述排氣部之間，具有將上述供氣部與上述排氣部之間連通的連通孔； 鼓風(fēng)機，其設(shè)在上述供氣部或上述排氣部， 該基板收納裝置裝卸自如地設(shè)有狀態(tài)傳感器、微粒帶電裝置和調(diào)溫裝置中的任一個或裝卸自如地設(shè)有狀態(tài)傳感器、微粒帶電裝置和調(diào)溫裝置中的兩個以上的組合，該狀態(tài)傳感器用于檢測上述基板收納裝置內(nèi)的狀態(tài)。
9.一種基板收納裝置，其用于收納基板，其特征在于， 該基板收納裝置包括 供氣部，其用于向上述基板收納裝置內(nèi)引入外部空氣； 排氣部，其與上述供氣部相對配置； 基板載置板，其設(shè)在上述供氣部與上述排氣部之間，具有將上述供氣部與上述排氣部之間連通的連通孔； 鼓風(fēng)機，其設(shè)在上述供氣部或上述排氣部， 該基板收納裝置裝卸自如地設(shè)有狀態(tài)傳感器、微粒帶電裝置和調(diào)溫裝置中的任一個或裝卸自如地設(shè)有狀態(tài)傳感器、微粒帶電裝置和調(diào)溫裝置中的兩個以上的組合，該狀態(tài)傳感器用于檢測上述基板收納裝置內(nèi)的狀態(tài)， 上述排氣部與上述供氣部之間對外開口。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板收納裝置，其特征在于， 該基板收納裝置具有以包覆上述基板收納裝置的方式收納上述基板收納裝置的外側(cè)容器， 在上述外側(cè)容器上，設(shè)有用于封閉上述排氣部與上述供氣部之間的開口的封閉板， 在上述基板收納裝置與上述外側(cè)容器之間形成有使來自上述排氣部的排氣返回到上述供氣部的循環(huán)通路。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的基板收納裝置，其特征在于， 在上述基板收納裝置與上述外側(cè)容器之間設(shè)有隔振件，并且將上述隔振件之間的空間作為上述循環(huán)通路。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的基板收納裝置，其特征在于， 在上述基板收納裝置的外側(cè)或上述外側(cè)容器的外側(cè)設(shè)有隔振件。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板收納裝置。該基板收納裝置根據(jù)使用環(huán)境有效地防止異物附著在被收納的基板上?；迨占{裝置包括供氣部(110)，其用于向基板收納裝置(100)內(nèi)引入外部空氣；排氣部(120)，其與供氣部相對配置；基板載置板(140)，其設(shè)在供氣部與排氣部之間，具有連通該供氣部和該排氣部的連通孔(142)；供氣過濾器(112)，其設(shè)在供氣部；鼓風(fēng)機(122)，其設(shè)在供氣部或排氣部，該基板收納裝置將狀態(tài)傳感器、微粒帶電裝置和調(diào)溫裝置中的任一個或狀態(tài)傳感器、微粒帶電裝置和調(diào)溫裝置中的兩個以上的組合裝卸自如地設(shè)于安裝孔(150)，該狀態(tài)傳感器用于檢測基板收納裝置(100)內(nèi)的狀態(tài)(圖2)。
文檔編號H01L21/673GK102714169SQ20118000656
公開日2012年10月3日 申請日期2011年2月21日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月4日
發(fā)明者守屋剛 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社