專利名稱：一種流量控制器與輸出信號端的連接方式的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別是信號線接頭的連接方式。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體工業(yè)的制程設(shè)備里，幾乎所有的設(shè)備都需要各程度不等的流體來維持機(jī)器的操作與制程的進(jìn)行；所以在流體的控制方面，不只是某些制程的重要參數(shù)之一，更是跟機(jī)器設(shè)備是否能正常運(yùn)作有著密切的關(guān)系。而控制流體最直接且最方便的方法就是測量它的流量。然而，各種半導(dǎo)體設(shè)備所需要的流體均不完全相同，但彼此又不兼容；所以在半導(dǎo)體工業(yè)里用來測量并控制流體流量的儀器的使用量非常的大，流量控制器就是其中一種。流量控制器(Flow Controller)是一種流量計(jì)與控制閥組的精密機(jī)電組合。它與一般流量計(jì)最大的差別在于它是利用熱感溫差、非接觸的方式測量流體的質(zhì)量流速，不同于一般測量體積流速的方法，所以能夠避免環(huán)境壓力與流體體積的影響，非常適合用在動態(tài)的流體流量控制上?，F(xiàn)有技術(shù)中的一種用以控制研磨液流動的流量控制器，該流量控制器的接頭通過一個中間連接接頭與輸出信號端的接頭連接，所述流量控制器與輸出信號端上的接頭線分別連接在中間連接接頭上，然后達(dá)成彼此間信號的傳輸，此種流量控制器與輸出信號端的連接方式，在機(jī)臺維修時(shí)，如果頻繁牽動流量控制器或輸出信號端的接頭，容易出現(xiàn)接頭線松動的現(xiàn)象，甚至造成接頭處斷落，進(jìn)而出現(xiàn)信號接觸不良，甚至信號傳輸中斷的現(xiàn)象，而半導(dǎo)體應(yīng)用中的研磨液的流動是由0-10V電壓控制的，若是信號線接觸不良乃至中斷，會對需要高精度電壓控制的研磨液流量造成很大的不穩(wěn)定性波動。因此，針對上述技術(shù)問題，有必要提供一種新的流量控制器與輸出信號端的連接方式，以克服上述缺陷。

實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此，本實(shí)用新型提供一種流量控制器與輸出信號端的連接方式，該連接方式?jīng)]有借助任何中間連接接頭來達(dá)成流量控制器與輸出信號端的連接線頭的連接，而是直接將流量控制器與輸出信號端的連接線頭焊接在一起，保證了流量控制器與輸出信號端之間傳輸信號的穩(wěn)定性。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案一種流量控制器與輸出信號端的連接方式，所述流量控制器包括若干第一信號線，所述輸出信號端包括若干與第一信號線連接的第二信號線，所述第一信號線與第二信號線之間沒有任何中間連接接頭，所述第一信號線與第二信號線相互焊接在一起。優(yōu)選的，在上述流量控制器與輸出信號端的連接方式中，所述第一信號線與第二信號線之間焊接點(diǎn)的外部設(shè)有保護(hù)結(jié)構(gòu)。優(yōu)選的，在上述流量控制器與輸出信號端的連接方式中，所述保護(hù)結(jié)構(gòu)為繞在焊接點(diǎn)周圍的膠帶。[0011]優(yōu)選的，在上述流量控制器與輸出信號端的連接方式中，所述保護(hù)結(jié)構(gòu)包括公結(jié)構(gòu)及母結(jié)構(gòu)，所述公結(jié)構(gòu)及母結(jié)構(gòu)均為中空結(jié)構(gòu)且通過卡扣結(jié)構(gòu)連接固定。優(yōu)選的，在上述流量控制器與輸出信號端的連接方式中，所述公結(jié)構(gòu)一端設(shè)有穿越第一信號線的第一通孔，所述公結(jié)構(gòu)另一端設(shè)有卡扣部，所述母結(jié)構(gòu)一端設(shè)有穿越第二信號線的第二通孔，所述母結(jié)構(gòu)另一端設(shè)有與所述公結(jié)構(gòu)的卡扣部卡持的卡扣槽，所述焊接點(diǎn)封閉在公結(jié)構(gòu)及母結(jié)構(gòu)中。從上述技術(shù)方案可以看出，本實(shí)用新型實(shí)施例沒有借助任何中間連接接頭來達(dá)成第一信號線與第二信號線的連接，而是直接將第一信號線與第二信號線焊接在一起，如此設(shè)置，避免出現(xiàn)頻繁牽動第一信號線與第二信號線而造成線頭松動甚至斷落的現(xiàn)象，保證了第一信號線與第二信號線之間傳輸信號的穩(wěn)定性。

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的有關(guān)本實(shí)用新型的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為現(xiàn)有技術(shù)中流量控制器與輸出信號端的連接方式的示意圖；圖2為本實(shí)用新型流量控制器與輸出信號端的連接方式的示意圖。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。在半導(dǎo)體工業(yè)的制程設(shè)備里，幾乎所有的設(shè)備都需要各程度不等的流體來維持機(jī)器的操作與制程的進(jìn)行；所以在流體的控制方面，不只是某些制程的重要參數(shù)之一，更是跟機(jī)器設(shè)備是否能正常運(yùn)作有著密切的關(guān)系。而控制流體最直接且最方便的方法就是測量它的流量。然而，各種半導(dǎo)體設(shè)備所需要的流體均不完全相同，但彼此又不兼容；所以在半導(dǎo)體工業(yè)里用來測量并控制流體流量的儀器的使用量非常的大，流量控制器就是其中一種。流量控制器(Flow Controller)是一種流量計(jì)與控制閥組的精密機(jī)電組合。它與一般流量計(jì)最大的差別在于它是利用熱感溫差、非接觸的方式測量流體的質(zhì)量流速，不同于一般測量體積流速的方法，所以能夠避免環(huán)境壓力與流體體積的影響，非常適合用在動態(tài)的流體流量控制上。請參閱圖1所示，現(xiàn)有技術(shù)中的一種用以控制研磨液流動的流量控制器，該流量控制器的接頭通過一個中間連接接頭與輸出信號端的接頭連接，所述流量控制器與輸出信號端上的接頭線分別連接在中間連接接頭上，然后達(dá)成彼此間信號的傳輸，此種流量控制器與輸出信號端的連接方式，在機(jī)臺維修時(shí)，如果頻繁牽動流量控制器或輸出信號端的接頭，容易出現(xiàn)接頭線松動的現(xiàn)象，甚至造成接頭處斷落，進(jìn)而出現(xiàn)信號接觸不良，甚至信號傳輸中斷的現(xiàn)象，而半導(dǎo)體應(yīng)用中的研磨液的流動是由0-10V電壓控制的，若是信號線接觸不良乃至中斷，會對需要高精度電壓控制的研磨液流量造成很大的不穩(wěn)定性波動。本實(shí)用新型公開了一種流量控制器與輸出信號端的連接方式，該連接方式?jīng)]有借助任何中間連接接頭來達(dá)成流量控制器與輸出信號端的連接線頭的連接，而是直接將流量控制器與輸出信號端的連接線頭焊接在一起，使得流量控制器與輸出信號端之間連接穩(wěn)定，保證了流量控制器與輸出信號端之間傳輸信號的穩(wěn)定性。請參閱圖2所示，所述流量控制器與輸出信號端之間沒有設(shè)置任何中間連接接頭來達(dá)成流量控制器與輸出信號端之間的連接。所述流量控制器包括若干第一信號線，所述輸出信號端包括若干與第一信號線連接的第二信號線，所述第一信號線與第二信號線之間沒有任何中間連接器。所述第一信號線與第二信號線相互焊接在一起。如此設(shè)置，區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)中借助中間連接接頭來達(dá)成流量控制器與輸出信號端之間連接的連接方式，采用直接將流量控制器與輸出信號端的信號線接頭連接的方式，即直接將第一信號線與第二信號線焊接在一起的方式，該種連接方式能避免出現(xiàn)頻繁牽動第一信號線與第二信號線而造成線頭松動甚至斷落的現(xiàn)象，保證了第一信號線與第二信號線之間傳輸信號的穩(wěn)定性。所述第一信號線與第二信號線之間焊接點(diǎn)的外部設(shè)有保護(hù)結(jié)構(gòu)。在本實(shí)施方式中，所述保護(hù)結(jié)構(gòu)為繞在焊接點(diǎn)周圍的膠帶。如此設(shè)置，將焊接點(diǎn)處進(jìn)一步保護(hù)起來，防止第一信號線與第二信號線被不當(dāng)扯開，保證焊接的穩(wěn)定性，且膠帶的成本低、保護(hù)可靠、操作簡單方便。在本實(shí)用新型實(shí)施例中，所述保護(hù)結(jié)構(gòu)直接采用膠帶，當(dāng)然在其他實(shí)施方式中，保護(hù)結(jié)構(gòu)也可以是套在焊接點(diǎn)外部的一個起罩子作用的結(jié)構(gòu)。所述保護(hù)結(jié)構(gòu)包括公結(jié)構(gòu)及母結(jié)構(gòu)，所述公結(jié)構(gòu)及母結(jié)構(gòu)均為中空結(jié)構(gòu)且通過卡扣結(jié)構(gòu)連接固定。所述公結(jié)構(gòu)一端設(shè)有穿越第一信號線的第一通孔，所述公結(jié)構(gòu)另一端設(shè)有卡扣部，所述母結(jié)構(gòu)一端設(shè)有穿越第二信號線的第二通孔，所述母結(jié)構(gòu)另一端設(shè)有與卡扣部卡持的卡扣槽，實(shí)際組裝時(shí)，先通過第一通孔將公結(jié)構(gòu)套在第一信號線上，然后通過第二通孔將母結(jié)構(gòu)套在第二信號線上，再將第一信號線與第二信號線焊接在一起，焊接好后將公結(jié)構(gòu)與母結(jié)構(gòu)借助卡扣部與卡扣槽卡持固定在一起，所述焊接點(diǎn)被封閉在公結(jié)構(gòu)及母結(jié)構(gòu)組成的收容空間內(nèi)。如此設(shè)置，也能起到保護(hù)焊接點(diǎn)的作用，結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，且美觀大方。本實(shí)用新型區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)中借助中間連接接頭來達(dá)成流量控制器與輸出信號端之間連接的連接方式，采用直接將流量控制器與輸出信號端的信號線接頭連接的方式，即直接將第一信號線與第二信號線焊接在一起的方式，該種連接方式能避免出現(xiàn)頻繁牽動第一信號線與第二信號線而造成線頭松動甚至斷落的現(xiàn)象，保證了第一信號線與第二信號線之間傳輸信號的穩(wěn)定性。本實(shí)用新型采用膠帶繞在焊接點(diǎn)周圍，以此將焊接點(diǎn)處進(jìn)一步保護(hù)起來，防止第一信號線與第二信號線被不當(dāng)扯開，保證焊接的穩(wěn)定性，且膠帶的成本低、保護(hù)可靠、操作簡單方便。本實(shí)用新型也可以采用卡扣配合的保護(hù)結(jié)構(gòu)，該種保護(hù)結(jié)構(gòu)利用公結(jié)構(gòu)及母結(jié)構(gòu)配合后形成的內(nèi)部收容空間來收容焊接點(diǎn)，從而將焊接點(diǎn)保護(hù)起來，該種公母配合的結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，且美觀大方。對所公開的實(shí)施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新型。對這些實(shí)施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定
5義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本實(shí)用新型將不會被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求1.一種流量控制器與輸出信號端的連接方式，所述流量控制器包括若干第一信號線，所述輸出信號端包括若干與第一信號線連接的第二信號線，其特征在于所述第一信號線與第二信號線之間沒有任何中間連接接頭，所述第一信號線與第二信號線相互焊接在一起。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流量控制器與輸出信號端的連接方式，其特征在于所述第一信號線與第二信號線之間焊接點(diǎn)的外部設(shè)有保護(hù)結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的流量控制器與輸出信號端的連接方式，其特征在于所述保護(hù)結(jié)構(gòu)為繞在焊接點(diǎn)周圍的膠帶。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的流量控制器與輸出信號端的連接方式，其特征在于所述保護(hù)結(jié)構(gòu)包括公結(jié)構(gòu)及母結(jié)構(gòu)，所述公結(jié)構(gòu)及母結(jié)構(gòu)均為中空結(jié)構(gòu)且通過卡扣結(jié)構(gòu)連接固定。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的流量控制器與輸出信號端的連接方式，其特征在于所述公結(jié)構(gòu)一端設(shè)有穿越第一信號線的第一通孔，所述公結(jié)構(gòu)另一端設(shè)有卡扣部，所述母結(jié)構(gòu)一端設(shè)有穿越第二信號線的第二通孔，所述母結(jié)構(gòu)另一端設(shè)有與所述公結(jié)構(gòu)的卡扣部卡持的卡扣槽，所述焊接點(diǎn)封閉在公結(jié)構(gòu)及母結(jié)構(gòu)中。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種流量控制器與輸出信號端的連接方式，所述流量控制器包括若干第一信號線，所述輸出信號端包括若干與第一信號線連接的第二信號線，所述第一信號線與第二信號線之間沒有任何中間連接接頭，所述第一信號線與第二信號線相互焊接在一起。本實(shí)用新型沒有借助任何中間連接接頭來達(dá)成第一信號線與第二信號線的連接，而是直接將第一信號線與第二信號線焊接在一起，如此設(shè)置，避免出現(xiàn)頻繁牽動第一信號線與第二信號線而造成線頭松動甚至斷落的現(xiàn)象，保證了第一信號線與第二信號線之間傳輸信號的穩(wěn)定性。
文檔編號H01R4/70GK202333146SQ201120479430
公開日2012年7月11日 申請日期2011年11月25日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月25日
發(fā)明者夏偉, 陸銘 申請人:無錫華潤上華科技有限公司