專利名稱：光刻機(jī)的激光器控制系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體來說，本實(shí)用新型涉及一種光刻機(jī)的激光器控制系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
激光器,特別是綠光激光器(green laser)普遍應(yīng)用于阿斯麥光刻機(jī),其功能為對準(zhǔn)(alignment)的激光源,將掩模板(reticle)上的標(biāo)記(mark)和晶圓上的標(biāo)記通過對準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)套準(zhǔn)。但是，一般的綠光激光器使用I年左右就會出現(xiàn)故障，激光器能量降低且不穩(wěn)定，導(dǎo)致產(chǎn)品套偏(misalignment),造成返工甚至廢片。其套片隨機(jī)性強(qiáng),難以發(fā)現(xiàn),在其壽命最后階段，將導(dǎo)致整批在制品報廢，造成光刻機(jī)停機(jī)，所以一般在I年到期時將激光器更換。然而，激光器的價格昂貴、壽命短、不可替代性，由此致使生產(chǎn)成本上升。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種光刻機(jī)的激光器控制系統(tǒng)，能夠在不影響設(shè)備正常功能的前提下，延長激光器的使用壽命，降低消耗量。為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種光刻機(jī)的激光器控制系統(tǒng)，包括電壓模式輸出控制模塊，與所述激光器相連接，以電壓模式控制所述激光器的輸出；判斷模塊，分別與所述激光器和所述電壓模式輸出控制模塊相連接，判斷是否應(yīng)該將所述激光器切換至電流模式控制其輸出；模式切換模塊，與所述判斷模塊相連接，根據(jù)所述判斷模塊的切換命令將所述激光器切換至以電流模式控制其輸出；電流模式輸出控制模塊，分別與所述激光器和所述模式切換模塊相連接，以電流模式控制所述激光器的輸出?？蛇x地，所述激光器是綠光激光器?？蛇x地，所述判斷模塊包括輸出功率檢測模塊，檢測所述激光器的輸出功率。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)本實(shí)用新型在不影響設(shè)備正常功能的前提下，對設(shè)備進(jìn)行改造，改造成本低。改造之后從之前大約每年每臺更換I個降低至每兩年更換I個，延長了激光器的使用壽命，降低了消耗量，節(jié)省了生產(chǎn)成本。另外，激光器的輸出更穩(wěn)定，減少了在制品套偏和報廢頻率，提聞了廣品的良率。

本實(shí)用新型的上述的以及其他的特征、性質(zhì)和優(yōu)勢將通過
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例的描述而變得更加明顯，其中[0015]圖I為本實(shí)用新型一個實(shí)施例的光刻機(jī)的激光器控制系統(tǒng)的模塊結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合具體實(shí)施例和附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明，在以下的描述中闡述了更多的細(xì)節(jié)以便于充分理解本實(shí)用新型，但是本實(shí)用新型顯然能夠以多種不同于此描述地其它方式來實(shí)施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本實(shí)用新型內(nèi)涵的情況下根據(jù)實(shí)際應(yīng)用情況作類似推廣、演繹，因此不應(yīng)以此具體實(shí)施例的內(nèi)容限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。圖I為本實(shí)用新型一個實(shí)施例的光刻機(jī)的激光器控制系統(tǒng)的模塊結(jié)構(gòu)示意圖。如圖I所示，該光刻機(jī)的激光器控制系統(tǒng)100可以包括電壓模式輸出控制模塊102、判斷模塊103、模式切換模塊104以及電流模式輸出控制模塊105。其中，電壓模式輸出控制模塊102與激光器101相連接，以電壓模式控制激光器101的輸出。判斷模塊103分別與激光器101和電壓模式輸出控制模塊102相連接，判斷是否應(yīng)該將激光器101切換至電流模式控制其輸出。模式切換模塊104與判斷模塊103相連接，根據(jù)判斷模塊103的切換命令將激光器101切換至以電流模式控制其輸出。電流模式輸出控制模塊105分別與激光器101和模式切換模塊104相連接，以電流模式控制激光器101的輸出。在本實(shí)施例中，該激光器101可以是綠光激光器(green laser)。另外,判斷模塊103可以包括輸出功率檢測模塊106，用于在激光器101的運(yùn)行過程期間檢測激光器101的輸出功率。其正常的輸出激光功率為56mW左右，但是隨著使用時間越長，其輸出的激光功率會開始變小。當(dāng)輸出功率檢測模塊106檢測到激光器101的輸出功率小于某一預(yù)定閾值時，該判斷模塊103即可認(rèn)定該激光器101可被切換至電流模式，從而保持其正常的56mW左右的輸出激光功率。本實(shí)用新型在不影響設(shè)備正常功能的前提下，對設(shè)備進(jìn)行改造，改造成本低。改造之后從之前大約每年每臺更換I個降低至每兩年更換I個，延長了激光器的使用壽命，降低了消耗量，節(jié)省了生產(chǎn)成本。另外，激光器的輸出更穩(wěn)定，減少了在制品套偏和報廢頻率，提聞了廣品的良率。本實(shí)用新型雖然以較佳實(shí)施例公開如上，但其并不是用來限定本實(shí)用新型，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，都可以做出可能的變動和修改。因此，凡是未脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例所作的任何修改、等同變化及修飾，均落入本實(shí)用新型權(quán)利要求所界定的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種光刻機(jī)的激光器控制系統(tǒng)(100)，其特征在于，包括 電壓模式輸出控制模塊(102),與所述激光器(101)相連接，以電壓模式控制所述激光器(101)的輸出； 判斷模塊(103)，分別與所述激光器(101)和所述電壓模式輸出控制模塊(102)相連接，判斷是否應(yīng)該將所述激光器(101)切換至電流模式控制其輸出； 模式切換模塊(104)，與所述判斷模塊(103)相連接，根據(jù)所述判斷模塊(103)的切換命令將所述激光器(101)切換至以電流模式控制其輸出； 電流模式輸出控制模塊(105)，分別與所述激光器(101)和所述模式切換模塊(104)相連接，以電流模式控制所述激光器(101)的輸出。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的激光器控制系統(tǒng)(100)，其特征在于，所述激光器(101)是綠光激光器。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光器控制系統(tǒng)(100)，其特征在于，所述判斷模塊(103)包括輸出功率檢測模塊(106)，檢測所述激光器(101)的輸出功率。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種光刻機(jī)的激光器控制系統(tǒng)，包括電壓模式輸出控制模塊，與激光器相連接，以電壓模式控制激光器的輸出；判斷模塊，分別與激光器和電壓模式輸出控制模塊相連接，判斷是否應(yīng)該將激光器切換至電流模式控制其輸出；模式切換模塊，與判斷模塊相連接，根據(jù)判斷模塊的切換命令將激光器切換至以電流模式控制其輸出；電流模式輸出控制模塊，分別與激光器和模式切換模塊相連接，以電流模式控制激光器的輸出。本實(shí)用新型在不影響設(shè)備正常功能的前提下，對設(shè)備進(jìn)行改造，改造成本低。改造之后延長了激光器的使用壽命，降低了消耗量，節(jié)省了生產(chǎn)成本。另外，激光器的輸出更穩(wěn)定，減少了在制品套偏和報廢頻率，提高了產(chǎn)品的良率。
文檔編號H01S3/10GK202372753SQ20112044829
公開日2012年8月8日 申請日期2011年11月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月14日
發(fā)明者劉慶鋒, 王誠 申請人:上海先進(jìn)半導(dǎo)體制造股份有限公司