專利名稱：防繞射的太陽能電池沉積裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于太陽能電池的沉積裝置，尤其是薄膜太陽能電池在鍍膜過程中防止繞射的沉積裝置，屬于太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
目前，薄膜太陽能電池都采用等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積(PECVD)制備，采用射頻(RF)輝光放電制備電池的光電轉(zhuǎn)換層。PECVD沉積薄膜太陽能電池時(shí)，基片的放置方式通常采用平放和立放兩種形式，如專利號200710176718. 6《一種生長硅基薄膜及高效硅基薄膜太陽能電池的PECVD設(shè)備》公開的技術(shù)是采用平放沉積基片，專利號201010197749. 1 《薄膜沉積設(shè)備》公開的技術(shù)是采用立放基片形式。通常立放基片形式用于單室多片沉積系統(tǒng)，而平放基片形式用于多室單片連續(xù)沉積系統(tǒng)。因立放基片形式沉積的基片數(shù)量要多于平放基片形式，所以立放式備受青睞。但立放基片形式存在基片如何與電極板表面緊密貼緊的問題，如果基片與電極板未貼緊，沉積氣體將通過基片與電極板之間的空隙深入基片， 導(dǎo)致輝光放電過程中發(fā)生繞射，使基片受光面的周邊也沉積了薄膜，且引發(fā)了如下問題一是后續(xù)激光無法刻劃基片受光面周邊的薄膜層；二是減少了電池的有效面積，光線不能穿透此膜層，影響了太陽能電池的電性能；三是嚴(yán)重影響了太陽能電池組件的外觀。立放式基片在電極板的表面支撐固定形式主要由輪子支撐，基片與電極板之間具有一定的間隙，便于取放基片，且基片也不會與電極板接觸摩擦，但是基片與電極板不能夠緊密接觸，導(dǎo)致產(chǎn)生繞射現(xiàn)象，影響沉積后的電池質(zhì)量。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型針對現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，解決在太陽能電池沉積過程中如何減少繞射現(xiàn)象和防止基片與電極板摩擦等技術(shù)問題，設(shè)計(jì)一種基片立放沉積時(shí)既沒有繞射，又不會摩擦基片的PECVD夾具。本實(shí)用新型為解決技術(shù)問題而采用的技術(shù)方案設(shè)計(jì)一種防繞射的太陽能電池沉積裝置，包括裝有電極板陣列的沉積盒，其特征在于所述電極板陣列中的每塊電極板上裝有至少兩個(gè)導(dǎo)軌槽，沉積基片放置在兩個(gè)導(dǎo)軌槽之間，且基片與電極板之間設(shè)有防摩擦護(hù)墊，該護(hù)墊與沉積基片和電極板的接觸面貼緊。在電極板的兩邊對稱的放置待沉積的基片，該對稱的基片分別放置在電極板兩頭對稱安裝的導(dǎo)軌槽內(nèi)。電極板兩頭對稱安裝的導(dǎo)軌槽為弧形單邊槽，其邊緣處設(shè)有放置護(hù)墊的平臺。電極板陣列中至少有一個(gè)雙面放電安裝的電極板，且在每個(gè)放電面上放置兩塊待沉積的基片，在所說電極板的端部、中部分別安裝導(dǎo)軌槽，待沉積的基片放置在電極板端部和中部配合安裝的導(dǎo)軌槽內(nèi)。電極板陣列中每個(gè)放電面上裝有兩塊或兩塊以上的基片，電極板的端部和中部分別安裝導(dǎo)軌槽，其中端部導(dǎo)軌槽為弧形單邊槽，電極板中部導(dǎo)軌槽為“工”字形的雙邊槽，且可以根據(jù)基片的尺寸調(diào)節(jié)中部導(dǎo)軌槽的安裝位置。待沉積的基片立放在導(dǎo)軌槽內(nèi)，且基片與電極板緊密貼緊。電極板陣列中電極板每個(gè)放電面上裝有兩塊待沉積的基片，基片的兩端插在相應(yīng)的導(dǎo)軌槽內(nèi)，即基片的一端放置在電極板端部的弧形單邊內(nèi)，基片的另一端放置在電極板中部的工字形雙邊槽內(nèi)。電極板上待沉積的基片為玻璃或柔性基板。電極板的導(dǎo)軌槽內(nèi)放置有待沉積的柔性基板，且導(dǎo)軌上設(shè)有壓緊機(jī)構(gòu)，柔性基板由壓緊機(jī)構(gòu)壓緊立放在導(dǎo)軌槽內(nèi)。電極板的導(dǎo)軌上的壓緊機(jī)構(gòu)主要由固定板、轉(zhuǎn)動軸、壓簧和定位銷構(gòu)成，所述轉(zhuǎn)動軸和壓簧連接導(dǎo)軌槽，且由固定板安裝在電極板上，待沉積的柔性基板由壓簧壓緊在電極板的放電面上。電極板的兩端均裝有導(dǎo)軌槽，且電極板上端的導(dǎo)軌槽是設(shè)有壓緊機(jī)構(gòu)的“T”形雙邊槽，其中一邊槽內(nèi)放置有待沉積的基片，另一邊槽內(nèi)安裝有壓簧，待沉積的基片由壓簧壓緊在電極板上待沉積的柔性基板由壓緊機(jī)構(gòu)壓緊與電極板緊密接觸。電極板的導(dǎo)軌槽內(nèi)還設(shè)有壓緊柔性基板的凸臺。本實(shí)用新型的有益效果是設(shè)計(jì)了一種結(jié)構(gòu)簡單的沉積夾具，夾具內(nèi)設(shè)有承托、固定基片的導(dǎo)軌槽，導(dǎo)軌槽采用弧形設(shè)計(jì)，便于安裝基片；而且基片與電極板之間設(shè)有護(hù)墊， 使基片既能貼緊電極板又不會產(chǎn)生摩擦，徹底避免了繞射現(xiàn)象。安裝基片的導(dǎo)軌槽設(shè)計(jì)靈活，可以根據(jù)基片的尺寸調(diào)整導(dǎo)軌槽的安裝位置，實(shí)現(xiàn)在同一電極板上安裝不同規(guī)格的基片，一次沉積不同尺寸的太陽能電池，解決了現(xiàn)有單一腔體只能沉積一種規(guī)格太陽能電池的技術(shù)難題，同時(shí)提高了生產(chǎn)效率。

圖1 本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2 圖1中的A部放大圖。圖3 實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4 實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)示意圖。圖5 弧形單邊槽3截面示意圖。圖6 圖4中工字形雙邊槽3’的截面示意圖。圖7 實(shí)施例三的結(jié)構(gòu)示意圖。圖8 圖7中的B處放大示意圖。圖9 圖8中的C-C剖面示意圖。圖10 :圖7中轉(zhuǎn)動軌道槽的截面示意圖。圖11 :圖7中轉(zhuǎn)動軸7的結(jié)構(gòu)示意圖。圖12 圖7中固定板11的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、沉積盒，2、電極板，3、導(dǎo)軌槽，3-1、邊緣平臺I，3_2、下鉤弧I，3’、工字形雙邊槽，3’ -1、邊緣平臺11，3-2、下鉤弧11，4、基片，5、固定螺栓，6、防摩擦護(hù)墊，3”、轉(zhuǎn)動軌道槽，4’、柔性基板，7、轉(zhuǎn)動軸，8、撥動軸，9、壓簧，10、定位銷，11、固定板，12、固定螺栓。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型的沉積夾具內(nèi)每塊電極板2上裝有至少兩個(gè)導(dǎo)軌槽3，沉積基片4放置在兩個(gè)導(dǎo)軌槽3之間，且基片4與電極板之間設(shè)有防摩擦護(hù)墊6，該護(hù)墊6與沉積基片4和電極板2的接觸面貼緊。安裝基片的導(dǎo)軌槽設(shè)計(jì)靈活，位于電極板兩端的導(dǎo)軌槽為單邊弧形槽，位于電極板中部的導(dǎo)軌槽為工字形雙邊槽，中部的雙邊槽和電極板兩端的弧形槽單邊槽配合，可以實(shí)現(xiàn)在同一電極板上安裝不同規(guī)格的基片，一次沉積不同尺寸的太陽能電池，提高了生產(chǎn)效率，解決了現(xiàn)有單一腔體只能沉積一種規(guī)格太陽能電池的技術(shù)難點(diǎn)。實(shí)施例一如圖3所示，沉積夾具內(nèi)電極板陣列中位于兩邊的電極板單面放電，其他的電極板均為雙面放電，電極板的每個(gè)放電面上裝有一塊待沉積的基片4，基片4放置在電極板兩端對稱的導(dǎo)軌槽3內(nèi)，該導(dǎo)軌槽3為弧形單邊槽，將弧形單邊槽通過固定螺栓5安裝在沉積盒1內(nèi)的電極板2兩端邊緣處，使電極板兩端的弧形單邊槽的弧形槽口 13-2上下相對，且電極板兩端的導(dǎo)軌槽3之間的間距略大于沉積基片的尺寸。在將基片4插入弧形單邊槽內(nèi)時(shí)，先將防摩擦護(hù)墊6擦入上下兩弧形單邊槽的邊緣平臺13-1上，基片安裝完畢后，取出防摩擦護(hù)墊6，電極板2與基片4之間有一個(gè)貼緊的面接觸。在沉積基片4上鍍膜，沉積完成后，在取出基片4前，先將防摩擦護(hù)墊6擦入兩弧形單邊槽的邊緣平臺13-1上，再取沉積好的基片4。本實(shí)用新型沉積夾具內(nèi)電極板上的導(dǎo)軌槽3采用擠出鋁型材，加工簡單，不易變形，成本低，導(dǎo)軌槽3由鋁合金材料制成，硬度高，在噴砂清洗時(shí)不會被損壞，弧形單邊槽的弧形結(jié)構(gòu)和基片的圓角一致，方便基片擦入，且基片穩(wěn)固的放置在導(dǎo)軌槽內(nèi)，不晃動。實(shí)施例二 如圖4所示，沉積夾具內(nèi)電極板陣列中的電極板放電面上裝有兩塊待沉積的基片 4，該基片放置在電極板端部和中部配合安裝的導(dǎo)軌槽3內(nèi)。電極板2端部的導(dǎo)軌槽3為弧形單邊槽3-2，電極板2中部的導(dǎo)軌槽3為鏡面對稱的雙邊槽3’-2，待沉積的基片4的一端放置在電極板端部的導(dǎo)軌槽內(nèi)，基片4的另一端放置在電極板中部的導(dǎo)軌槽內(nèi)。將弧形單邊槽3-2通過固定螺栓5安裝在沉積盒1上的電極板2的上下兩端邊緣處，使弧形單邊槽的弧形槽口 13-2上下相對，同時(shí)將雙邊槽3’ -2通過固定螺栓5安裝在電極板2的中間部位，在將基片4插入電極板端部導(dǎo)軌槽和電極板中部雙邊槽3’ -2之間時(shí)，先將防摩擦護(hù)墊 6擦入弧形單邊槽3-2的邊緣平臺13-1和雙邊3’的邊緣平臺113’ -1上，基片裝好后，再取出防摩擦護(hù)墊6，使電極板2與基片4之間有一個(gè)貼緊的面接觸。開始在待沉積的基片4 上鍍膜，沉積完成后，在取出基片4前，先將防摩擦護(hù)墊6擦入電極板和基片之間，再取基片 4。對于電極板陣列中電極板2的每個(gè)放電面裝有兩塊以上的基片4時(shí)，可以在電極板的中間位置安裝多個(gè)鏡面對稱的雙邊槽3’-2，而且可以根據(jù)基片4的尺寸調(diào)整雙邊導(dǎo)軌槽的安裝位置，這樣可以使不同規(guī)格基片均可以在同一沉積夾具內(nèi)沉積，解決了單一腔體只能沉積一種規(guī)格的技術(shù)難題。實(shí)施例三見圖7，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)的沉積夾具還適用于沉積柔性薄膜太陽能電池。由于柔性基板4’通常采用薄的高分子材料或者薄金屬材料，如果上下邊均采用無壓緊機(jī)構(gòu)的軌道槽3，柔性基板4’在槽內(nèi)相當(dāng)于自由放置，那么柔性基板4’會由于自重往下墜落，在中間部位出現(xiàn)鼓肚或波浪現(xiàn)象，無法與電極板2貼緊，影響沉積效果。因此對于柔性基板4’用沉積夾具，需要對柔性基板4’的上邊緣進(jìn)行壓緊，使其不能往下墜落，在實(shí)施例1的基礎(chǔ)上，本實(shí)施例將電極板的上端的導(dǎo)軌設(shè)有壓緊機(jī)構(gòu)，柔性基板4’由壓緊機(jī)構(gòu)壓緊立放在導(dǎo)軌槽3 內(nèi)，且待沉積的柔性基板4’由壓緊機(jī)構(gòu)壓緊與電極板2緊密接觸。設(shè)有壓緊機(jī)構(gòu)導(dǎo)軌槽是可以轉(zhuǎn)動的，在放置柔性基板4’時(shí)通過撥動軸8使轉(zhuǎn)動軸7轉(zhuǎn)動克服壓簧9的壓力并帶動轉(zhuǎn)動軌道槽3”一起轉(zhuǎn)動，使柔性基板4’很容易放置，當(dāng)柔性基板4’放置好后，松開撥動軸 8，轉(zhuǎn)動軌道槽3”由于壓在上面的壓簧9的作用又使轉(zhuǎn)動軌道槽3”壓緊在柔性基板4’上， 實(shí)現(xiàn)對柔性基板4’上邊緣的壓緊作用，使柔性基板4’能夠很好平整地貼在電極板2上。見圖7至圖12，電極板導(dǎo)軌上的壓緊機(jī)構(gòu)主要由固定板11、轉(zhuǎn)動軸7、撥動軸8、壓簧9、定位銷10以及轉(zhuǎn)動軌道槽3”組成，轉(zhuǎn)動軸7和壓簧9連接導(dǎo)軌槽3，且由固定板11 安裝在電極板2上，待沉積的柔性基板4’由壓簧9壓緊在電極板2的放電面上。固定板 11為耐磨性好的金屬板，由固定螺栓12通過固定孔11-2固定在電極板2的兩頭端面，在固定板11上面開有可以通過轉(zhuǎn)動軸7的通孔11-1，通孔11-1大小剛好可以使轉(zhuǎn)動軸7在其內(nèi)部自由轉(zhuǎn)動而不晃動，轉(zhuǎn)動軸7從一側(cè)穿過固定板11的通孔11-1、壓簧9以及轉(zhuǎn)動軌道槽3”的通孔3”-1，再穿過另一側(cè)的壓簧9以及固定板11的通孔11-1，在轉(zhuǎn)動軸7的兩端部開有固定孔7-1，將撥動軸8固定在其上，在其上還開有定位孔7-2，通過定位銷10將轉(zhuǎn)動軌道槽3”固定在轉(zhuǎn)動軸上，使轉(zhuǎn)動軌道槽3”能夠與轉(zhuǎn)動軸7 —起轉(zhuǎn)動，壓簧9套在轉(zhuǎn)動軸7的靠近固定板11內(nèi)側(cè)上，一邊壓腳壓在電極板2上，另一邊壓腳壓在轉(zhuǎn)動軌道槽3” 的壓簧槽3”-4上，轉(zhuǎn)動軌道槽3”的截面呈T字形，在上端有通孔3”-1，而且在靠近電極板 2的內(nèi)側(cè)頂部邊緣制成與通孔3”-1同心的圓弧3”-2，使得轉(zhuǎn)動軌道槽3”能夠貼住電極板 2轉(zhuǎn)動，在下部靠近電極板2的內(nèi)側(cè)有基片槽3”-5以及下端角向內(nèi)的小凸圓3”-3，小凸圓 3”-3用來壓緊柔性基板4’，在下端外側(cè)有壓簧槽3”-4，可以使壓簧9的壓腳不會滑脫。以上結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的實(shí)施例作了詳細(xì)說明，但是本實(shí)用新型并不限于上述實(shí)施例，在本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所具備的知識范圍內(nèi)，還可以在不脫離本實(shí)用新型宗旨的前提下作出各種變化。
權(quán)利要求1.一種防繞射的太陽能電池沉積裝置，包括裝有電極板陣列的沉積盒(1)，其特征在于所述電極板陣列中的每塊電極板(2)上裝有至少兩個(gè)導(dǎo)軌槽(3)，沉積基片(4)放置在兩個(gè)導(dǎo)軌槽(3)之間，且基片(4)與電極板之間設(shè)有防摩擦護(hù)墊(6)，該護(hù)墊(6)與沉積基片 (4)和電極板(2)的接觸面貼緊。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防繞射的太陽能電池沉積裝置，其特征在于所述沉積基片 (4)安裝在兩個(gè)對稱的導(dǎo)軌槽(3)之間，該導(dǎo)軌槽固定在電極板(2)兩端的邊緣處。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的防繞射的太陽能電池沉積裝置，其特征在于所述固定在電極板(2)兩端的導(dǎo)軌槽(3)為弧形單邊槽，其邊緣處設(shè)有寬度放置防摩擦護(hù)墊(6)的平臺。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防繞射的太陽能電池沉積裝置，其特征在于所述電極板(2) 的兩端和中部均裝有導(dǎo)軌槽(3)，其中位于兩端的導(dǎo)軌槽為弧形單邊槽，位于中部的導(dǎo)軌槽為“工”字形雙邊槽，該“工”字形兩邊的凹槽分別與電極板兩端的弧形單邊槽配合，沉積基片安裝在凹槽和弧形單邊槽之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的防繞射的太陽能電池沉積裝置，其特征在于所述每塊電極板 (2 )上至少裝有兩塊沉積基片(4 )。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防繞射的太陽能電池沉積裝置，其特征在于所述電極板上的沉積基片(4)為玻璃或柔性基板。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的防繞射的太陽能電池沉積裝置，其特征在于所述電極板上的導(dǎo)軌槽(3)設(shè)有壓緊機(jī)構(gòu)，基片(4)由壓緊機(jī)構(gòu)固定在導(dǎo)軌槽(3)內(nèi)，且與電極板(2)貼緊。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的防繞射的太陽能電池沉積裝置，其特征在于所述電極板上的導(dǎo)軌槽(3)的壓緊機(jī)構(gòu)主要由固定板(11)、轉(zhuǎn)動軸(7)、壓簧(9)和定位銷(10)構(gòu)成，所述轉(zhuǎn)動軸(7)和壓簧(9)連接導(dǎo)軌的導(dǎo)槽(3)，且由固定板(11)安裝在電極板(2)上，待沉積的柔性基板(4’)由壓簧(9)壓緊在電極板(2)的放電面上。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的防繞射的太陽能電池沉積裝置，其特征在于所述電極板上的導(dǎo)軌槽(3)為“T”形雙邊槽，其中一邊槽內(nèi)放置有待沉積的基片(4)，另一邊槽內(nèi)安裝有壓簧(9)，待沉積的基片(4)由壓簧(9)壓緊在電極板上。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的防繞射的太陽能電池沉積裝置，其特征在于所述電極板的兩端均裝有導(dǎo)軌槽(3)，其中上端的導(dǎo)軌槽為“T”形雙邊槽，下端的導(dǎo)軌槽為弧形單邊槽， 導(dǎo)軌槽(3)內(nèi)待沉積的基片(4)為柔性基板。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種用于太陽能電池的沉積裝置，屬于太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域。解決在太陽能電池沉積過程中如何減少繞射現(xiàn)象和防止基片與電極板摩擦等技術(shù)問題。本實(shí)用新型設(shè)計(jì)的太陽能電池沉積裝置，包括裝有電極板陣列的沉積盒，電極板陣列中的每塊電極板上裝有至少兩個(gè)導(dǎo)軌槽，沉積基片放置在兩個(gè)導(dǎo)軌槽之間，且基片與電極板之間設(shè)有防摩擦護(hù)墊，該護(hù)墊與沉積基片和電極板的接觸面貼緊。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，不僅避免了繞射的產(chǎn)生，還能防止基片與電極板產(chǎn)生摩擦，同時(shí)可以實(shí)現(xiàn)在同一電極板上安裝不同規(guī)格的基片，提高了生產(chǎn)效率。
文檔編號H01L31/18GK202265608SQ201120364848
公開日2012年6月6日 申請日期2011年9月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月28日
發(fā)明者周建華, 李毅 申請人:深圳市創(chuàng)益科技發(fā)展有限公司