專利名稱：一種基板搬運(yùn)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及液晶顯示器生產(chǎn)工藝技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種基板搬運(yùn)裝置。
背景技術(shù)：
TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管-液晶顯示器)生產(chǎn)工藝中，濕刻、清洗、剝離和顯影等濕法工藝中通常采用設(shè)置玻璃基板以傾斜一定的角度方式進(jìn)行搬運(yùn)。對(duì)玻璃基板進(jìn)行濕刻、清洗、剝離和顯影等濕法工藝均是在腔室中完成的，一個(gè)腔室對(duì)玻璃基板完成相應(yīng)的濕法工藝處理后，將其搬運(yùn)到另一個(gè)腔室中繼續(xù)進(jìn)行相應(yīng)的工序處理。在玻璃基板運(yùn)動(dòng)中，位于其上方的藥液不斷噴灑到玻璃基板的表面上，因此，將玻璃基板處于傾斜狀態(tài)進(jìn)行傳輸，有利于藥液在玻璃基板表面的流動(dòng)，使得玻璃基板的處理時(shí)間縮短，將藥液和水的消耗量降到最低，并且有利于異物的排除。同時(shí)，傾斜放置玻璃基板，還有助于加快藥液和水在玻璃基板上的置換速度，縮短了整個(gè)工藝中液體的循環(huán)時(shí)間，增加了液體的使用效率，進(jìn)而加快了濕法工藝的處理速度。但由于重力的作用，處于傾斜在一個(gè)方向的玻璃基板上的藥液和水均流向玻璃基板較低的一端，使得該端的液體較多，且存在積留，這樣使得玻璃基板位于高處的一端接收到的藥液比較新鮮，而位于底端的玻璃基板上留有大量的已發(fā)生過反應(yīng)的藥液，使得玻璃基板在濕法工藝中所受到的藥液處理分布不均勻，導(dǎo)致造成最終產(chǎn)品出現(xiàn)不良品

實(shí)用新型內(nèi)容(一 )要解決的技術(shù)問題本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種基板搬運(yùn)裝置，以克服現(xiàn)有的因玻璃基板運(yùn)輸腔體一直固定傾向于一個(gè)方向，而造成作用在玻璃基板上的藥液分布不均勻，導(dǎo)致玻璃基板在濕法工藝中所受到的處理工藝不均勻進(jìn)而影響最終產(chǎn)品出現(xiàn)不良現(xiàn)象的缺陷。( 二 )技術(shù)方案為了解決上述問題，本實(shí)用新型提供一種基板搬運(yùn)裝置，包括至少一個(gè)腔室，所述腔室用于放置和傳遞基板，所述腔室按工序依次排布；調(diào)節(jié)器，其用于調(diào)節(jié)所述腔室的傾斜方向；至少一個(gè)所述腔室具有調(diào)節(jié)其傾斜方向的所述調(diào)節(jié)器。進(jìn)一步地，當(dāng)所述腔室的數(shù)量為三個(gè)或三個(gè)以上時(shí)，至少一個(gè)位于非兩端的腔體上安裝所述調(diào)節(jié)器。進(jìn)一步地，與安裝有調(diào)節(jié)器的腔室相鄰的兩個(gè)腔室的傾斜方向相反，安裝有調(diào)節(jié)器腔室的初始傾斜方向與其前一個(gè)腔室的傾斜方向一致。進(jìn)一步地，所述調(diào)節(jié)器包括兩個(gè)升降桿，所述升降桿由驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)上下移動(dòng)；所述兩個(gè)升降桿的頂端分別固定連接在所要安裝的腔室的兩端。進(jìn)一步地，所述調(diào)節(jié)器包括一支架和一轉(zhuǎn)軸，所述支架的上端固定在所要安裝的腔室的底部，所述支架的下端安裝在所述轉(zhuǎn)軸上，所述轉(zhuǎn)軸由驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)。[0016]進(jìn)一步地，所述調(diào)節(jié)器包括一個(gè)升降桿、旋轉(zhuǎn)支承軸和支柱，所述升降桿和支柱分別位于所要安裝的腔室的兩端，所述升降桿由驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)上下移動(dòng)，其頂端固定連接在所安裝腔室的一端；所述旋轉(zhuǎn)支承軸固定位于所安裝腔室的中部。進(jìn)一步地，所述支柱所在的平面低于所述旋轉(zhuǎn)支承軸所在的平面。進(jìn)一步地，所述腔室傾斜的角度小于或等于10°。(三)有益效果本實(shí)用新型提供的基板搬運(yùn)裝置，通過在腔體上設(shè)置調(diào)節(jié)器，可有效調(diào)整處于工藝狀態(tài)下的玻璃基板的傾斜方向，使得作用在玻璃基板上的藥液能夠均勻地分布在玻璃基板的表面，促進(jìn)玻璃基板的工藝效果，提高最終產(chǎn)品的良品率。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例一基板搬運(yùn)裝置結(jié)構(gòu)示意圖；圖為本實(shí)用新型實(shí)施例基板搬運(yùn)裝置通過調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)狀態(tài)示意圖；圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例二基板搬運(yùn)裝置應(yīng)用狀態(tài)示意圖；圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例三基板搬運(yùn)裝置結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例三基板搬運(yùn)裝置結(jié)構(gòu)另一示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說明本實(shí)用新型，但不用來限制本實(shí)用新型的范圍。實(shí)施例1如圖1所示，本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種基板搬運(yùn)裝置，其包括至少一個(gè)腔室1和調(diào)節(jié)器2。腔室1用于放置和傳遞基板，各腔室按工序依次排布調(diào)節(jié)器2，調(diào)節(jié)器2用于調(diào)節(jié)腔室1的傾斜方向；至少一個(gè)腔室1具有調(diào)節(jié)其傾斜方向的調(diào)節(jié)器2。該腔室1的具體數(shù)量可根據(jù)實(shí)際工藝操作需求而定。在調(diào)節(jié)器2的作用下，腔室1傾斜的角度小于或等于 10°，便于藥液在玻璃基板的表面快速有效的進(jìn)行循環(huán)運(yùn)動(dòng)。較優(yōu)地，當(dāng)腔室的數(shù)量為三個(gè)或三個(gè)以上時(shí)，至少一個(gè)位于非兩端的腔體1上安裝調(diào)節(jié)器2。為了減少調(diào)節(jié)器2的調(diào)整次數(shù)，安裝有調(diào)節(jié)器2的腔室1的初始傾斜方向與其前一個(gè)腔室1的傾斜方向一致，這樣可順利接收從前一個(gè)腔室1中傳輸過來的玻璃基板。 設(shè)置與安裝有調(diào)節(jié)器2的腔室1相鄰的兩個(gè)腔室1的傾斜方向相反，通過調(diào)節(jié)器2作用后轉(zhuǎn)換過傾斜方向的腔室1可以順利地將玻璃基板傳輸至下一個(gè)腔室中，這樣可以確保調(diào)節(jié)器2通過一次升降作用，即可使腔室1中的玻璃基板發(fā)生傾斜方向的轉(zhuǎn)換，進(jìn)而使得藥液可以較為均勻地分布在其表面，優(yōu)化玻璃基板在濕法工藝中的處理效果，并可以最大程度的提高工藝效率，節(jié)約作業(yè)時(shí)間。通過調(diào)節(jié)器2的升降作用，可有效控制腔室的傾斜方向，進(jìn)而改變玻璃基板的傾斜方向，便于藥液在玻璃基板的表面快速有效的進(jìn)行循環(huán)運(yùn)動(dòng)，確保位于玻璃基板表面的藥液能夠均勻地分布在其表面上，使得玻璃基板在濕法工藝中能夠得到均勻有效的處理， 促進(jìn)玻璃基板的工藝效果，提高最終產(chǎn)品的良品率。[0033]本實(shí)用新型實(shí)施例中腔室的數(shù)量為三個(gè)，具體為第一腔體11、第二腔體12和第三腔體13，玻璃基板在該三個(gè)腔體中進(jìn)行不同步驟的濕法工藝處理。設(shè)置第一腔體11和第三腔體13水平傾斜的方向相反，即若第一腔體11向右下方傾斜，則第三腔體13向左下方傾斜。該調(diào)節(jié)器2安裝在第二腔體12上，第二腔體12的初始傾斜方向與第一腔體11的傾斜方向一致，以便接收從第一腔體11中傳出的玻璃基板。本實(shí)施例中的調(diào)節(jié)器2包括兩個(gè)升降桿21，升降桿21由驅(qū)動(dòng)裝置(圖未示)驅(qū)動(dòng)上下移動(dòng)；兩個(gè)升降桿21的頂端分別固定連接在第二腔室12的兩端。通過驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)兩個(gè)升降桿21處于不同的高度，進(jìn)而可調(diào)整腔體的傾斜方向。參考圖2a、圖2b所示，當(dāng)玻璃基板完全進(jìn)入到第二腔體12中，且在該第二腔室12 進(jìn)行清洗刻蝕到一半時(shí)，通過驅(qū)動(dòng)升降桿21的升降高度，可將該第二腔室12由原來的向右下方傾斜變換成向左下方傾斜，玻璃基板也隨著由原來的向右下方傾斜變換成向左下方傾斜，進(jìn)而使得作用在玻璃基板上的藥液在玻璃基板的表面做一次往復(fù)的循環(huán)運(yùn)動(dòng)，通過該循環(huán)運(yùn)動(dòng)使得藥液可以均勻地分布在該玻璃基板上，使得玻璃基板在濕法工藝中可以得到均勻地處理。待在該第二腔室12中完成清洗或刻蝕工藝后，將該玻璃基板傳出至第三腔室 13。由于則第三腔體13向左下方傾斜，通過該調(diào)節(jié)器2調(diào)整后的第二腔室12也轉(zhuǎn)換成向左下方傾斜，因此，玻璃基板可以順利地傳入到第三腔室13中。將玻璃基板傳輸至第三腔室13后，該調(diào)節(jié)器2將第二腔體12調(diào)整回最初狀態(tài)，使得第二腔體12的傾斜方向繼續(xù)與第一腔體11保持一致，便于繼續(xù)接收下一個(gè)玻璃基板。實(shí)施例2如圖3所示，本實(shí)施例與實(shí)施例1的區(qū)別在于，該調(diào)節(jié)器2包括一支架22和一轉(zhuǎn)軸23，支架22的上端固定在第二腔室12的底部，支架22的下端安裝在轉(zhuǎn)軸23上，轉(zhuǎn)軸23 由驅(qū)動(dòng)裝置(圖未示)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)。通過驅(qū)動(dòng)裝置傳遞過來的旋轉(zhuǎn)動(dòng)力驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸23轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)支架22在轉(zhuǎn)軸23上處于不同的角度，進(jìn)而調(diào)節(jié)支架22的轉(zhuǎn)角，將第二腔室12的傾斜方向進(jìn)行改變。實(shí)施例3如圖4、圖5所示，本實(shí)施例與實(shí)施例上述的區(qū)別在于，該調(diào)節(jié)器2包括升降桿24、 旋轉(zhuǎn)支承軸25和支柱沈。其中，升降桿M和支柱沈分別位于第二腔室12的兩端，升降桿 24由驅(qū)動(dòng)裝置(圖未示)驅(qū)動(dòng)上下移動(dòng)，其頂端固定連接在第二腔室12的一端；旋轉(zhuǎn)支承軸25固定位于第二腔室12的中部。支柱沈所在的平面低于旋轉(zhuǎn)支承軸25所在的平面。 當(dāng)升降桿M處于伸長狀態(tài)時(shí)，則第二腔室12的重心由支柱沈支撐，此時(shí)第二腔室2處于一個(gè)方向傾斜。當(dāng)升降桿M處于拉縮狀態(tài)時(shí)，則該第二腔室12的重心由升降桿M來支撐， 此時(shí)第二腔室12處于與前一個(gè)方向相反的方向傾斜。通過調(diào)節(jié)升降桿21的高度，使得第二腔室12的一端處于不同的高度，進(jìn)而使得該腔室的傾斜方向發(fā)生變化。買施例4本實(shí)施例與上述實(shí)施例存在的區(qū)別為根據(jù)實(shí)際操作情況和測(cè)試需要，也可以在每個(gè)腔體底部安裝調(diào)節(jié)器，即在第一腔體11、第二腔體12和第三腔體13的底部均安裝調(diào)節(jié)器2，為了順利接收玻璃基板，該第一腔體11、第二腔體12和第三腔體13的傾斜方向應(yīng)保持一致，例如設(shè)置第一腔體11、第二腔體12和第三腔體13均向右下方傾斜。該當(dāng)玻璃基板在第一腔室11進(jìn)行濕法工藝處理時(shí)，可在處理進(jìn)程中的任意時(shí)刻通過調(diào)節(jié)器2對(duì)腔體 1傾斜方向的調(diào)整，對(duì)玻璃基板完成一次傾斜方向的轉(zhuǎn)換，即由向右下方傾斜轉(zhuǎn)換成向左下方傾斜，待玻璃基板在該腔室中完成相應(yīng)的濕法工藝時(shí)，再次通過調(diào)節(jié)器2，將玻璃基板再次轉(zhuǎn)換成最初傾斜方向，進(jìn)而將玻璃基板順利傳輸至第二腔室。同理，第二腔室12和第三腔室13中均可采用相同的轉(zhuǎn)換原理對(duì)玻璃基板進(jìn)行傾斜方向的改變，進(jìn)而使得作用在玻璃基板表面的藥液能夠更加充分地均勻分布在玻璃基板上，使得玻璃基板在濕法工藝的任何步驟中都能夠得到較好的工藝處理。另外，根據(jù)實(shí)際需求，通過調(diào)整調(diào)節(jié)器的高度，也可使各腔室處于水平狀態(tài)傳輸來滿足不同工藝對(duì)玻璃基板的放置需求。本實(shí)用新型實(shí)施例中的調(diào)節(jié)器除了上述描述的結(jié)構(gòu)之外，還可以為任意使得腔室能夠發(fā)生傾斜方向轉(zhuǎn)換的現(xiàn)有產(chǎn)品。本實(shí)用新型提供的基板搬運(yùn)裝置，通過在腔體上設(shè)置調(diào)節(jié)器，可有效調(diào)整處于工藝狀態(tài)下的玻璃基板的傾斜方向，使得作用在玻璃基板上的藥液能夠均勻地分布在玻璃基板的表面，促進(jìn)玻璃基板的工藝效果，提高最終產(chǎn)品的良品率。以上實(shí)施方式僅用于說明本實(shí)用新型，而并非對(duì)本實(shí)用新型的限制，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術(shù)方案也屬于本實(shí)用新型的范疇，本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍應(yīng)由權(quán)利要求限定。
權(quán)利要求1.一種基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，包括至少一個(gè)腔室，所述腔室用于放置和傳遞基板，所述腔室按工序依次排布；調(diào)節(jié)器，其用于調(diào)節(jié)所述腔室的傾斜方向；至少一個(gè)所述腔室具有調(diào)節(jié)其傾斜方向的所述調(diào)節(jié)器。
2.如權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，當(dāng)所述腔室的數(shù)量為三個(gè)或三個(gè)以上時(shí)，至少一個(gè)位于非兩端的腔體上安裝所述調(diào)節(jié)器。
3.如權(quán)利要求2所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，與安裝有調(diào)節(jié)器的腔室相鄰的兩個(gè)腔室的傾斜方向相反，安裝有調(diào)節(jié)器腔室的初始傾斜方向與其前一個(gè)腔室的傾斜方向一致。
4.如權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)器包括兩個(gè)升降桿，所述升降桿由驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)上下移動(dòng)；所述兩個(gè)升降桿的頂端分別固定連接在所要安裝的腔室的兩端。
5.如權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)器包括一支架和一轉(zhuǎn)軸，所述支架的上端固定在所要安裝的腔室的底部，所述支架的下端安裝在所述轉(zhuǎn)軸上，所述轉(zhuǎn)軸由驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)。
6.如權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)器包括一個(gè)升降桿、旋轉(zhuǎn)支承軸和支柱，所述升降桿和支柱分別位于所要安裝的腔室的兩端，所述升降桿由驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)上下移動(dòng)，其頂端固定連接在所安裝腔室的一端；所述旋轉(zhuǎn)支承軸固定位于所安裝腔室的中部。
7.如權(quán)利要求6所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述支柱所在的平面低于所述旋轉(zhuǎn)支承軸所在的平面。
8.如權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述腔室傾斜的角度小于或等于 10°。
專利摘要本實(shí)用新型涉及液晶顯示器生產(chǎn)工藝技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種基板搬運(yùn)裝置。該基板搬運(yùn)裝置，包括至少一個(gè)腔室，腔室用于放置和傳遞基板，所述腔室按工序依次排布；調(diào)節(jié)器，其用于調(diào)節(jié)所述腔室的傾斜方向；至少一個(gè)腔室具有調(diào)節(jié)其傾斜方向的所述調(diào)節(jié)器。本實(shí)用新型提供的基板搬運(yùn)裝置，通過在腔體上設(shè)置調(diào)節(jié)器，可有效調(diào)整處于工藝狀態(tài)下的玻璃基板的傾斜方向，使得作用在玻璃基板上的藥液能夠均勻地分布在玻璃基板的表面，促進(jìn)玻璃基板的工藝效果，提高最終產(chǎn)品的良品率。
文檔編號(hào)H01L21/677GK202178242SQ20112030498
公開日2012年3月28日 申請(qǐng)日期2011年8月19日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月19日
發(fā)明者劉耀, 孫亮, 李梁梁, 白金超, 郝昭慧 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 北京京東方顯示技術(shù)有限公司