專利名稱：掃描工作臺結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及工作平臺，尤其涉及掃描工作臺結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
在半導體集成電路制造行業(yè)，特別設(shè)計LED生產(chǎn)和太陽能電池芯片的生產(chǎn)過程中，對基片的平整度，翹曲度這些指標有很高的要求，因此經(jīng)常需要檢測基片的平整度與厚度，在這過程中，需要提供一種用于放置基片的掃描平臺。由于基片檢測環(huán)境的要求，對掃描工作平臺也就提出了嚴格的要求，不僅要保證基片處于無污染工作狀態(tài)，還需要基片能夠在二維上任意調(diào)節(jié)位置，對于檢測位移的準確度要求較高，而這是人工所無法代替的。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種可以用于基片掃描的平臺，通過設(shè)置可以在兩個垂直方向上移動的掃描臺，實現(xiàn)基片在二維平面上的移動，以準確定位基片的位置。本實用新型提供掃描工作臺結(jié)構(gòu)，包括大理石平臺，其中第一向?qū)к?，固定在所述大理石平臺上，所述第一向?qū)к壍囊粋?cè)設(shè)置有平面雙剛性氣浮軸承；平行彈簧片，一端連接所述第一向?qū)к墸銎叫袕椈善牧硪欢诉B接所述平面雙剛性氣浮軸承；第一向電機，設(shè)置在所述大理石平臺上；第一向絲杠，其一端連接所述第一向電機的輸出軸，所述第一向絲杠另一端連接所述第一向?qū)к?。第二向?qū)к?，固定在所述大理石平臺上，所述第二向?qū)к壟c所述第一向?qū)к壌怪?；第二向電機，設(shè)置在所述大理石平臺上；第二向絲杠，其一端連接所述第二向電機的輸出軸，所述第二向絲杠另一端連接所述第二向?qū)к?。上述的掃描工作臺結(jié)構(gòu)，其中，所述平面雙剛性氣浮軸承上設(shè)置有接片柱。上述的掃描工作臺結(jié)構(gòu)，其中，所述第一向?qū)к壍臄?shù)量為兩個，所述兩第一向?qū)к壪嗷テ叫?，所述平面雙剛性氣浮軸承位于所述兩第一向?qū)к壷g。上述的掃描工作臺結(jié)構(gòu)，其中，所述平行彈簧片的數(shù)量為兩個。本實用新型通過兩滑軌實現(xiàn)掃描臺在二維平面上的移動，使得基片能夠根據(jù)要求移動到目標位置，本實用新型的掃描臺，移動速度快，具有結(jié)構(gòu)簡單制造成本低的優(yōu)點。

通過閱讀參照以下附圖對非限制性實施例所作的詳細描述，本實用新型及其特征、外形和優(yōu)點將會變得更明顯。在全部附圖中相同的標記指示相同的部分。并未刻意按照比例繪制附圖，重點在于示出本實用新型的主旨。在附圖中，為清楚明了，放大了部分部件。圖1示出了根據(jù)本實用新型的，一種掃描工作臺結(jié)構(gòu)的示意圖。
具體實施方式

以下結(jié)合附圖及具體實施方式
對本實用新型進行進一步詳細說明。此處所描述的具體實施方式
僅用于解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型的保護范圍。參考圖1示出的根據(jù)本實用新型的，一種掃描工作臺結(jié)構(gòu)的示意圖。如圖所示，本實用新型的掃描工作臺結(jié)構(gòu)包括大理石平臺100，第一向?qū)к?固定在所述大理石平臺100上1，所述第一向?qū)к?的一側(cè)設(shè)置有平面雙剛性氣浮軸承8 ；平行彈簧片4的一端連接所述第一向?qū)к?，所述平行彈簧片4的另一端連接所述平面雙剛性氣浮軸承8 ；第一向電機1，設(shè)置在所述大理石平臺100上；第一向絲杠2的一端連接所述第一向電機1的輸出軸，所述第一向絲杠2的另一端連接所述第一向?qū)к?。第二向?qū)к?0，固定在所述大理石平臺上100，所述第二向?qū)к?0與所述第一向?qū)к?垂直；第二向電機7，設(shè)置在所述大理石平臺100上；第二向絲杠5的一端連接所述第二向電機7的輸出軸，所述第二向絲杠5的另一端連接所述第二向?qū)к?00。在一個優(yōu)選例中，所述平面雙剛性氣浮軸承8上設(shè)置有接片柱6用于承載基片9。進一步地，所述第一向?qū)к?的數(shù)量為兩個，所述兩第一向?qū)к?相互平行，所述平面雙剛性氣浮軸8承位于所述兩第一向?qū)к?之間。更進一步地，所述平行彈簧片4的數(shù)量為兩個。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該理解，本領(lǐng)域技術(shù)人員結(jié)合現(xiàn)有技術(shù)以及上述實施例可以實現(xiàn)所述變化例，在此不予贅述。這樣的變化例并不影響本實用新型的實質(zhì)內(nèi)容，在此不予贅述。以上對本實用新型的較佳實施例進行了描述。需要理解的是，本實用新型并不局限于上述特定實施方式，其中未盡詳細描述的設(shè)備和結(jié)構(gòu)應(yīng)該理解為用本領(lǐng)域中的普通方式予以實施；任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本實用新型技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述揭示的方法和技術(shù)內(nèi)容對本實用新型技術(shù)方案作出許多可能的變動和修飾，或修改為等同變化的等效實施例，這并不影響本實用新型的實質(zhì)內(nèi)容。因此，凡是未脫離本實用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實用新型的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本實用新型技術(shù)方案保護的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.掃描工作臺結(jié)構(gòu)，包括大理石平臺，其特征在于第一向?qū)к?，固定在所述大理石平臺上，所述第一向?qū)к壍囊粋?cè)設(shè)置有平面雙剛性氣浮軸承；平行彈簧片，一端連接所述第一向?qū)к?，所述平行彈簧片的另一端連接所述平面雙剛性氣浮軸承；第一向電機，設(shè)置在所述大理石平臺上；第一向絲杠，其一端連接所述第一向電機的輸出軸，所述第一向絲杠另一端連接所述第一向?qū)к墸坏诙驅(qū)к?，固定在所述大理石平臺上，所述第二向?qū)к壟c所述第一向?qū)к壌怪保?第二向電機，設(shè)置在所述大理石平臺上；第二向絲杠，其一端連接所述第二向電機的輸出軸，所述第二向絲杠另一端連接所述第一向?qū)к墶?br> 2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描工作臺結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述平面雙剛性氣浮軸承上設(shè)置有接片柱。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描工作臺結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一向?qū)к壍臄?shù)量為兩個，所述兩第一向?qū)к壪嗷テ叫?，所述平面雙剛性氣浮軸承位于所述兩第一向?qū)к壷g。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描工作臺結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述平行彈簧片的數(shù)量為兩個。
專利摘要本實用新型提供一種掃描工作臺結(jié)構(gòu)，包括大理石平臺，第一向?qū)к?，固定在所述大理石平臺上，所述第一向?qū)к壍囊粋?cè)設(shè)置有平面雙剛性氣浮軸承；平行彈簧片，一端連接所述第一向?qū)к?，所述平行彈簧片的另一端連接所述平面雙剛性氣浮軸承；第一向電機，設(shè)置在所述大理石平臺上；第一向絲杠，其一端連接所述第一向電機的輸出軸，所述第一向絲杠另一端連接所述第一向?qū)к?；第二向?qū)к墸潭ㄔ谒龃罄硎脚_上，所述第二向?qū)к壟c所述第一向?qū)к壌怪?；第二向電機，設(shè)置在所述大理石平臺上；第二向絲杠，其一端連接所述第二向電機的輸出軸，所述第二向絲杠另一端連接所述第一向?qū)к墶?br> 文檔編號H01L21/687GK202221303SQ201120265450
公開日2012年5月16日 申請日期2011年7月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月26日
發(fā)明者丁天祥, 李正賢 申請人:上海卓晶半導體科技有限公司