專(zhuān)利名稱：帶有雙面減反射膜的薄膜太陽(yáng)能電池用導(dǎo)電玻璃的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種新型高性能導(dǎo)電玻璃，特別涉及一種帶有雙面減反射膜的薄膜太陽(yáng)能電池用導(dǎo)電玻璃，屬于光電新材料領(lǐng)域，尤其適用于太陽(yáng)能材料領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
隨著對(duì)綠色環(huán)保節(jié)能的新型能源太陽(yáng)能的利用，新型太陽(yáng)能電池的開(kāi)發(fā)和研制越來(lái)越成為太陽(yáng)能應(yīng)用領(lǐng)域的重要課題。目前太陽(yáng)能電池中的薄膜太陽(yáng)能電池應(yīng)用十分廣泛，做為薄膜太陽(yáng)能電池重要組成部分的導(dǎo)電玻璃的質(zhì)量直接關(guān)系到薄膜太陽(yáng)能電池質(zhì)量的好壞，因此對(duì)薄膜太陽(yáng)能電池用導(dǎo)電玻璃的改進(jìn)創(chuàng)新一直是十分重要的。現(xiàn)有的薄膜太陽(yáng)能電池用導(dǎo)電玻璃一般包括有玻璃基材和設(shè)置在玻璃基材上的透明導(dǎo)電膜，還包括有減反射膜，透明導(dǎo)電膜由金屬氧化物導(dǎo)電層組成。薄膜太陽(yáng)能電池用導(dǎo)電玻璃制備時(shí)采用常規(guī)的制備方法，如采用低壓化學(xué)氣相沉積(簡(jiǎn)稱LPCVD)、等離子化學(xué)氣相沉積(簡(jiǎn)稱 PECVD)、磁控濺射(簡(jiǎn)稱SPUTTER)或熱噴涂(簡(jiǎn)稱SPRAY)等方法制備金屬氧化物導(dǎo)電層， 采用化學(xué)腐蝕法、磁控濺射或溶膠凝膠等方法制備減反射膜。現(xiàn)有的薄膜太陽(yáng)能電池用導(dǎo)電玻璃其中的玻璃基材一般采用普通浮法白玻璃或超白浮法玻璃。其中的透明導(dǎo)電膜具備較好的導(dǎo)電性能，同時(shí)對(duì)可見(jiàn)光有很高的透過(guò)率，透明導(dǎo)電膜作為一種功能材料在電子產(chǎn)業(yè)得到廣泛的應(yīng)用，譬如平板顯示、太陽(yáng)能電池、觸摸屏、儀器和儀表顯示、光學(xué)鍍膜、以及建筑節(jié)能玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。尤其在太陽(yáng)能領(lǐng)域，作為薄膜太陽(yáng)能電池的前電極，對(duì)薄膜太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率起著至關(guān)重要的作用。由于透明導(dǎo)電膜具有重要的作用，因此根據(jù)透明導(dǎo)電膜所采用的材料不同，將導(dǎo)電玻璃主要分為三種第一種是ITO玻璃，為銦錫金屬氧化物，透過(guò)率高，導(dǎo)電性優(yōu)，但是存在著原材料銦的價(jià)格昂貴，主要應(yīng)用于液晶顯示、觸摸屏等工業(yè)領(lǐng)域，在薄膜太陽(yáng)能電池領(lǐng)域極少應(yīng)用；第二種是FTO玻璃，為氟摻雜的二氧化錫， 具有成本相對(duì)較低，激光刻蝕較容易，光學(xué)性能適宜等特點(diǎn)，主要應(yīng)用于薄膜太陽(yáng)能電池領(lǐng)域；第三種是AZO玻璃，為鋁摻雜的氧化鋅，光學(xué)性能和導(dǎo)電率良好，原料易得，制造成本低廉，無(wú)毒，易于實(shí)現(xiàn)摻雜，但是應(yīng)用到薄膜太陽(yáng)電池組件時(shí)存在著會(huì)被制絨工藝和界面問(wèn)題限制的缺陷。現(xiàn)有的薄膜太陽(yáng)能電池用導(dǎo)電玻璃的兩個(gè)表面對(duì)于光線有反射作用，使陽(yáng)光的透光率一般不超過(guò)91.5%，致使這8. 5%左右的陽(yáng)光仍未得到利用，這8. 5%左右的陽(yáng)光也是非常巨大的能源。因此人們?yōu)榱颂岣咄腹饴实炔粩鄬?duì)影響導(dǎo)電玻璃透光性、導(dǎo)電性和散射度的透明導(dǎo)電膜膜層結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn)并增加減反射膜，減反層射層的設(shè)置對(duì)提高導(dǎo)電玻璃的性能有一定的作用，增加金屬氧化物導(dǎo)電層的層數(shù)，將一層金屬氧化物導(dǎo)電層改為多層，但多層金屬氧化物導(dǎo)電層之間仍為物理疊加，透明導(dǎo)電膜膜層結(jié)構(gòu)單一，穩(wěn)定性差，這些改進(jìn)的透明導(dǎo)電膜膜層結(jié)構(gòu)并未從本質(zhì)上改變導(dǎo)電玻璃的性能，導(dǎo)電玻璃的透光性、導(dǎo)電性和散射度并未得到太大的提高。導(dǎo)致非常巨大的太陽(yáng)能仍無(wú)法得到充分利用和轉(zhuǎn)化， 這造成太陽(yáng)能轉(zhuǎn)化效率的降低，使用成本增加。因此急需一種導(dǎo)電玻璃的透光性、導(dǎo)電性和散射度更好，透明導(dǎo)電膜膜層結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性更好，能從本質(zhì)上改變透明導(dǎo)電膜的膜層結(jié)構(gòu)的新型薄膜太陽(yáng)電池用導(dǎo)電玻璃，但這一直是一個(gè)無(wú)法解決的技術(shù)難題。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種具有優(yōu)良導(dǎo)電性、散射度和可見(jiàn)光透過(guò)率以及透明導(dǎo)電膜膜層穩(wěn)定性，且性價(jià)比高的帶有雙面減反射膜的薄膜太陽(yáng)能電池用導(dǎo)電玻璃。實(shí)現(xiàn)上述目的的技術(shù)方案是一種帶有雙面減反射膜的薄膜太陽(yáng)能電池用導(dǎo)電玻璃，包括有玻璃基材和透明導(dǎo)電膜，還包括有減反射膜，透明導(dǎo)電膜包括有金屬氧化物導(dǎo)電層和第二金屬氧化物導(dǎo)電層，在金屬氧化物導(dǎo)電層和第二金屬氧化物導(dǎo)電層之間夾置有金屬層，第一減反射膜、金屬氧化物導(dǎo)電層、金屬層和第二金屬氧化物導(dǎo)電層依次設(shè)置在玻璃基材的一側(cè)表面上，第二減反射膜設(shè)置在玻璃基材的另一側(cè)表面上。進(jìn)一步，所述的玻璃基材為普通浮法白玻璃或超白浮法玻璃。進(jìn)一步，所述的金屬氧化物導(dǎo)電層厚度為100 500nm，金屬層厚度為10 IOOnm,第二金屬氧化物導(dǎo)電層厚度為100 500nm，第一減反射膜的膜層厚度為65 200nm，第一減反射膜的折射率值為1. 55 1. 8，第二減反射膜的膜層厚度為65 200nm， 第二減反射膜的折射率值為1. 22 1. 4。進(jìn)一步，所述的金屬氧化物導(dǎo)電層為AZO、GZO、aiO、SnA或ITO中的任一種。進(jìn)一步，所述的金屬層為銀薄膜、鋁薄膜、鉬薄膜中的任一種，或者為銀鋁鉬中任意二者組成的合金薄膜。進(jìn)一步，所述的第二金屬氧化物導(dǎo)電層為AZO、SnO2IF或ITO中的任一種。采用本實(shí)用新型的技術(shù)方案，具有以下優(yōu)點(diǎn)⑴具有優(yōu)良導(dǎo)電性、散射度和可見(jiàn)光透過(guò)率以及透明導(dǎo)電膜膜層穩(wěn)定性，減反射效果好。本實(shí)用新型一改現(xiàn)有的透時(shí)導(dǎo)電膜膜層單一結(jié)構(gòu)，本實(shí)用新型在金屬氧化物導(dǎo)電層和第二金屬氧化物導(dǎo)電層之間夾置有金屬層，第一減反射膜、金屬氧化物導(dǎo)電層、金屬層和第二金屬氧化物導(dǎo)電層依次沉積設(shè)置在玻璃基材的一側(cè)表面上，第二減反射膜設(shè)置在玻璃基材另一側(cè)的表面上。本實(shí)用新型第一減反射膜和第二減反射膜先沉積在玻璃基材兩側(cè)的表面上，再在第一減反射膜上沉積設(shè)置金屬氧化物導(dǎo)電層，而后將金屬層沉積設(shè)置在金屬氧化物導(dǎo)電層上，金屬層和第二金屬氧化物導(dǎo)電層再沉積設(shè)置在金屬層上，金屬層的增加使得金屬層與第二金屬氧化物導(dǎo)電層之間發(fā)生了化學(xué)反應(yīng)形成聚合物，產(chǎn)生圓球結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型透明導(dǎo)電膜的膜層結(jié)構(gòu)發(fā)生了本質(zhì)的改變，完全不同于現(xiàn)有技術(shù)中透明導(dǎo)電膜膜層結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)單物理疊加。本實(shí)用新型通過(guò)對(duì)透明導(dǎo)電膜膜層結(jié)構(gòu)的創(chuàng)新，實(shí)現(xiàn)了多層復(fù)合膜的優(yōu)化組合，大大提高了透明導(dǎo)電膜的性能，使薄膜太陽(yáng)能電池用導(dǎo)電玻璃的透光性更好，導(dǎo)電性更強(qiáng)，散射度更高，透明導(dǎo)電膜膜層結(jié)構(gòu)致密均勻，穩(wěn)定性非常好，其中表面電阻可控制在5. 9 Ω / □ 觀.5 Ω / □范圍內(nèi)， 可見(jiàn)光透過(guò)率達(dá)到75%以上，散射度能夠提升5%以上；且本實(shí)用新型帶有雙面減反射膜， 使本實(shí)用新型膜結(jié)構(gòu)十分豐富，使本實(shí)用新型減反效果非常好；(2)性價(jià)比高，使用成本低。本實(shí)用新型彌補(bǔ)了現(xiàn)有技術(shù)的不足和透明導(dǎo)電膜膜層結(jié)構(gòu)的單一化，豐富了透明導(dǎo)電膜膜層結(jié)構(gòu)，設(shè)計(jì)十分巧妙，本實(shí)用新型用簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)解決這一一直難以解決的技術(shù)問(wèn)題， 由于本實(shí)用新型的性能大大提高，使得本實(shí)用新型應(yīng)用在薄膜太陽(yáng)能電池上的光電轉(zhuǎn)換效率非常高，使得巨大的太陽(yáng)能得到充分利用和轉(zhuǎn)化，損耗小，使用成本大大降低。
附圖為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面通過(guò)實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。實(shí)施例一如附圖所示，一種帶有雙面減反射膜的薄膜太陽(yáng)能電池用導(dǎo)電玻璃，包括有玻璃基材1和透明導(dǎo)電膜5，還包括有減反射膜6。透明導(dǎo)電膜5包括有金屬氧化物導(dǎo)電層2和第二金屬氧化物導(dǎo)電層4。減反射膜6由第一減反射膜7和第二減反射膜8組成。在金屬氧化物導(dǎo)電層2和第二金屬氧化物導(dǎo)電層4之間夾置有金屬層3，第一減反射膜7、金屬氧化物導(dǎo)電層2、金屬層3和第二金屬氧化物導(dǎo)電層4依次沉積設(shè)置在玻璃基材1的一側(cè)表面上，第二減反射膜8設(shè)置在玻璃基材1的另一側(cè)表面上。所述的玻璃基材1為厚度3. 2mm的普通浮法白玻璃。所述的金屬氧化物導(dǎo)電層2厚度為250nm，金屬層3厚度為50nm，第二金屬氧化物導(dǎo)電層4厚度為250nm，第一減反射膜7和第二減反射膜8的膜層厚度均為lOOnm， 第一減反射膜7的折射率值為1. 55 1. 8，第二減反射膜8的折射率值為1. 22 1. 4。所述的金屬氧化物導(dǎo)電層2為ΑΖ0，金屬層3為銀薄膜，第二金屬氧化物導(dǎo)電層4為SnO2: F。本實(shí)施例制得的帶有雙面減反射膜的薄膜太陽(yáng)能電池用導(dǎo)電玻璃性能好，其表面電阻為8. 8 Ω / 口，可見(jiàn)光波段平均透過(guò)率達(dá)76 %。實(shí)施例二如附圖所示，一種帶有雙面減反射膜的薄膜太陽(yáng)能電池用導(dǎo)電玻璃，該實(shí)施例導(dǎo)電玻璃與實(shí)施例一結(jié)構(gòu)基本相同，所述的金屬氧化物導(dǎo)電層2為ΑΖ0，金屬層3為銀薄膜，第二金屬氧化物導(dǎo)電層4為Sn02:F。與實(shí)施例一不同的是所述的玻璃基材1為厚度3. 2mm 的超白浮法玻璃；所述的金屬氧化物導(dǎo)電層2厚度為150nm，金屬層3厚度為30nm，第二金屬氧化物導(dǎo)電層4厚度為250nm，第一減反射膜7和第二減反射膜8的膜層厚度均為80nm， 第一減反射膜7的折射率值為1. 55 1. 8，第二減反射膜8的折射率值為1. 22 1. 4。本實(shí)施例制得的帶有雙面減反射膜的薄膜太陽(yáng)能電池用導(dǎo)電玻璃性能好，其表面電阻為12 Ω / □，可見(jiàn)光波段平均透過(guò)率達(dá)76 %。實(shí)施例三如附圖所示，一種帶有雙面減反射膜的薄膜太陽(yáng)能電池用導(dǎo)電玻璃，該實(shí)施例導(dǎo)電玻璃與實(shí)施例一結(jié)構(gòu)基本相同，所述的金屬層3為銀薄膜，第二金屬氧化物導(dǎo)電層4為 Sn02:F。與實(shí)施例一不同的是所述的金屬氧化物導(dǎo)電層2厚度為200nm，金屬層3厚度為 50nm，第二金屬氧化物導(dǎo)電層4厚度為300nm，第一減反射膜7和第二減反射膜8的膜層厚度均為120nm，第一減反射膜7的折射率值為1. 55 1. 8，第二減反射膜8的折射率值為 1. 22 1. 4。所述的金屬氧化物導(dǎo)電層2為GZ0。本實(shí)施例制得的帶有雙面減反射膜的薄膜太陽(yáng)能電池用導(dǎo)電玻璃性能好，其表面電阻為9. 4 Ω / □，可見(jiàn)光波段平均透過(guò)率達(dá)76 %。實(shí)施例四如附圖所示，一種帶有雙面減反射膜的薄膜太陽(yáng)能電池用導(dǎo)電玻璃，該實(shí)施例導(dǎo)電玻璃與實(shí)施例一結(jié)構(gòu)基本相同，所述的第二金屬氧化物導(dǎo)電層4為Sn02:F。與實(shí)施例一不同的是所述的金屬氧化物導(dǎo)電層2厚度為150nm，金屬層3厚度為50nm，第二金屬氧化物導(dǎo)電層4厚度為^Onm，第一減反射膜7和第二減反射膜8的膜層厚度均為70nm，第一減反射膜7的折射率值為1. 55 1. 8，第二減反射膜8的折射率值為1. 22 1. 4。所述的金屬氧化物導(dǎo)電層2為GZ0，金屬層3為鋁薄膜。本實(shí)施例制得的帶有雙面減反射膜的薄膜太陽(yáng)能電池用導(dǎo)電玻璃性能好，其表面電阻為11 Ω / □，可見(jiàn)光波段平均透過(guò)率達(dá)76 %。實(shí)施例五如附圖所示，一種帶有雙面減反射膜的薄膜太陽(yáng)能電池用導(dǎo)電玻璃，該實(shí)施例導(dǎo)電玻璃與實(shí)施例一結(jié)構(gòu)基本相同。與實(shí)施例一不同的是所述的玻璃基材1為厚度3. 2mm 的超白浮法玻璃；所述的金屬氧化物導(dǎo)電層2厚度為lOOnm，金屬層3厚度為lOnm，第二金屬氧化物導(dǎo)電層4厚度為230nm，第一減反射膜7和第二減反射膜8的膜層厚度均為65nm， 第一減反射膜7的折射率值為1. 55 1. 8，第二減反射膜8的折射率值為1. 22 1. 4。所述的金屬氧化物導(dǎo)電層2為&10，金屬層3為鉬薄膜，第二金屬氧化物導(dǎo)電層4為ΑΖ0。實(shí)施例六如附圖所示，一種帶有雙面減反射膜的薄膜太陽(yáng)能電池用導(dǎo)電玻璃，該實(shí)施例導(dǎo)電玻璃與實(shí)施例一結(jié)構(gòu)基本相同。與實(shí)施例一不同的是所述的金屬氧化物導(dǎo)電層2厚度為400nm，金屬層3厚度為80nm，第二金屬氧化物導(dǎo)電層4厚度為500nm，第一減反射膜7和第二減反射膜8的膜層厚度均為150nm，第一減反射膜7的折射率值為1. 55 1. 8，第二減反射膜8的折射率值為1. 22 1. 4。所述的金屬氧化物導(dǎo)電層2為Sn02。所述的金屬層3 為銀鋁合金薄膜，第二金屬氧化物導(dǎo)電層4為ΑΖ0。實(shí)施例七如附圖所示，一種帶有雙面減反射膜的薄膜太陽(yáng)能電池用導(dǎo)電玻璃，該實(shí)施例導(dǎo)電玻璃與實(shí)施例一結(jié)構(gòu)基本相同。與實(shí)施例一不同的是所述的金屬氧化物導(dǎo)電層2厚度為500nm，金屬層3厚度為lOOnm，第二金屬氧化物導(dǎo)電層4厚度為450nm，第一減反射膜7 和第二減反射膜8的膜層厚度均為180nm，第一減反射膜7的折射率值為1. 55 1. 8，第二減反射膜8的折射率值為1. 22 1. 4。所述的金屬氧化物導(dǎo)電層2為ΙΤ0，金屬層3為銀鉬合金薄膜，第二金屬氧化物導(dǎo)電層4為ΙΤ0。實(shí)施例八如附圖所示，一種帶有雙面減反射膜的薄膜太陽(yáng)能電池用導(dǎo)電玻璃，該實(shí)施例導(dǎo)電玻璃與實(shí)施例一結(jié)構(gòu)基本相同。與實(shí)施例一不同的是與實(shí)施例一不同的是所述的玻璃基材1為厚度3. 2mm的超白浮法玻璃；所述的金屬氧化物導(dǎo)電層2厚度為120nm，金屬層3 厚度為20nm，第二金屬氧化物導(dǎo)電層4厚度為200nm，第一減反射膜7和第二減反射膜8的膜層厚度均為90nm，第一減反射膜7的折射率值為1. 55 1. 8，第二減反射膜8的折射率值為1. 22 1. 4。所述的金屬氧化物導(dǎo)電層2為ΙΤ0，金屬層3為鋁鉬合金薄膜，第二金屬氧化物導(dǎo)電層4為SnO2:F。實(shí)施例九如附圖所示，一種帶有雙面減反射膜的薄膜太陽(yáng)能電池用導(dǎo)電玻璃，該實(shí)施例導(dǎo)電玻璃與實(shí)施例一結(jié)構(gòu)基本相同，所述的金屬氧化物導(dǎo)電層2為ΑΖ0，金屬層3為銀薄膜。 與實(shí)施例一不同的是所述的金屬氧化物導(dǎo)電層2厚度為300nm，金屬層3厚度為60nm，第
6二金屬氧化物導(dǎo)電層4厚度為lOOnm，第一減反射膜7和第二減反射膜8的膜層厚度均為 130nm，第一減反射膜7的折射率值為1. 55 1. 8，第二減反射膜8的折射率值為1. 22 1.4。所述的第二金屬氧化物導(dǎo)電層4為ΑΖ0。實(shí)施例十如附圖所示，一種帶有雙面減反射膜的薄膜太陽(yáng)能電池用導(dǎo)電玻璃，該實(shí)施例導(dǎo)電玻璃與實(shí)施例一結(jié)構(gòu)基本相同。與實(shí)施例一不同的是所述的金屬氧化物導(dǎo)電層2厚度為480nm，金屬層3厚度為90nm，第二金屬氧化物導(dǎo)電層4厚度為480nm，第一減反射膜7和第二減反射膜8的膜層厚度均為200nm，第一減反射膜7的折射率值為1. 55 1. 8，第二減反射膜8的折射率值為1. 22 1. 4。所述的金屬氧化物導(dǎo)電層2為ΑΖ0，金屬層3為鋁薄膜，第二金屬氧化物導(dǎo)電層4為ΙΤ0。本實(shí)用新型除上述實(shí)施例外，各項(xiàng)參數(shù)可根據(jù)具體要求進(jìn)行調(diào)整，在各規(guī)定參數(shù)范圍內(nèi)進(jìn)行選取。本實(shí)用新型的實(shí)施例很多，無(wú)法窮舉，凡采用等同替換或等效替換形成的技術(shù)方案均屬于實(shí)用新型要求保護(hù)的范圍。
權(quán)利要求1.一種帶有雙面減反射膜的薄膜太陽(yáng)能電池用導(dǎo)電玻璃，包括有玻璃基材(1)和透明導(dǎo)電膜(5)，還包括有減反射膜(6)，透明導(dǎo)電膜( 包括有金屬氧化物導(dǎo)電層( 和第二金屬氧化物導(dǎo)電層G)，其特征在于在金屬氧化物導(dǎo)電層(2)和第二金屬氧化物導(dǎo)電層 (4)之間夾置有金屬層(3)，第一減反射膜(7)、金屬氧化物導(dǎo)電層O)、金屬層( 和第二金屬氧化物導(dǎo)電層(4)依次設(shè)置在玻璃基材(1)的一側(cè)表面上，第二減反射膜(8)設(shè)置在玻璃基材(1)的另一側(cè)表面上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述帶有雙面減反射膜的薄膜太陽(yáng)能電池用導(dǎo)電玻璃，其特征在于所述的玻璃基材(1)為普通浮法白玻璃或超白浮法玻璃。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述帶有雙面減反射膜的薄膜太陽(yáng)能電池用導(dǎo)電玻璃，其特征在于所述的金屬氧化物導(dǎo)電層(2)厚度為100 500nm，金屬層(3)厚度為10 lOOnm，第二金屬氧化物導(dǎo)電層(4)厚度為100 500nm，第一減反射膜(7)的膜層厚度為65 200nm， 第一減反射膜(7)的折射率值為1. 55 1. 8，第二減反射膜(8)的膜層厚度為65 200nm， 第二減反射膜(8)的折射率值為1. 22 1. 4。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述帶有雙面減反射膜的薄膜太陽(yáng)能電池用導(dǎo)電玻璃，其特征在于所述的金屬氧化物導(dǎo)電層⑵為AZ0、GZ0、ai0、SnO2或ITO中的任一種。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述帶有雙面減反射膜的薄膜太陽(yáng)能電池用導(dǎo)電玻璃，其特征在于所述的金屬層( 為銀薄膜、鋁薄膜、鉬薄膜中的任一種。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述帶有雙面減反射膜的薄膜太陽(yáng)能電池用導(dǎo)電玻璃，其特征在于所述的第二金屬氧化物導(dǎo)電層(4)為AZ0、Sn02:F或ITO中的任一種。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種新型高性能導(dǎo)電玻璃，特別涉及一種帶有雙面減反射膜的薄膜太陽(yáng)能電池用導(dǎo)電玻璃。本實(shí)用新型包括玻璃基材(1)和透明導(dǎo)電膜(5)，還包括減反射膜(6)，透明導(dǎo)電膜(5)包括金屬氧化物導(dǎo)電層(2)和第二金屬氧化物導(dǎo)電層(4)，在金屬氧化物導(dǎo)電層(2)和第二金屬氧化物導(dǎo)電層(4)之間夾置金屬層(3)，第一減反射膜(7)、金屬氧化物導(dǎo)電層(2)、金屬層(3)和第二金屬氧化物導(dǎo)電層(4)依次設(shè)置在玻璃基材(1)的一側(cè)表面上，第二減反射膜(8)設(shè)置在玻璃基材(1)的另一側(cè)表面上。本實(shí)用新型好處(1)具有優(yōu)良導(dǎo)電性、散射度和可見(jiàn)光透過(guò)率以及透明導(dǎo)電膜膜層穩(wěn)定性；(2)性價(jià)比高，使用成本低。
文檔編號(hào)H01L31/0224GK202013889SQ20112005875
公開(kāi)日2011年10月19日 申請(qǐng)日期2011年3月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月9日
發(fā)明者林于庭, 林金漢, 林金錫, 林鵬 申請(qǐng)人:常州亞瑪頓股份有限公司