專利名稱：基板轉(zhuǎn)運設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明關(guān)于一種基板轉(zhuǎn)運設(shè)備，尤其是一種能夠于進(jìn)料位置取出的待處理基板、 以及將基板制程裝置已處理基板送進(jìn)一出料位置的基板轉(zhuǎn)運設(shè)備。
背景技術(shù)：
目前半導(dǎo)體廠為了提高生產(chǎn)力或保持競爭優(yōu)勢，有很多都已經(jīng)采用自動化方式進(jìn)行晶圓的制造與搬運，同時可以節(jié)省人事成本以及提高生產(chǎn)效率，因此工廠自動化已經(jīng)是半導(dǎo)體必然的走向了，而為了因應(yīng)工廠自動化，有許多工廠的輸送系統(tǒng)以及輸送路線的設(shè)計是非常重要的。一般在工廠中的晶圓搬送處理，為載入裝置將晶圓載入輸送帶上，將晶圓藉由輸送帶(運行軌道)運送至承載裝置或作業(yè)平臺，因此輸送帶的穩(wěn)定與否非常重要，當(dāng)輸送帶發(fā)生蛇行或不平滑移動時，將很容易導(dǎo)致晶圓掉落、迭置、或不均勻沉積。然而目前的輸送系統(tǒng)大多為單一方向運送的運行軌道，因此當(dāng)處理后的晶圓因后續(xù)其他制程設(shè)備，需將晶圓轉(zhuǎn)換方向時，由于輸送系統(tǒng)僅能單一軌道對單一軌道運送的結(jié)構(gòu)，故必須多添加額外幾段的軌道，才可能將處理后的晶圓轉(zhuǎn)換方向，如此將會相當(dāng)浪費廠房規(guī)劃的空間，而目前的輸送系統(tǒng)也都是采用無人自動化進(jìn)行搬運，因此在設(shè)計之初整個廠房內(nèi)部的尺寸、高度及晶圓輸送路徑等等都必須事先規(guī)劃好，這些規(guī)劃一旦確定之后就不能夠輕易做變更，因此若是有某一個地方在運送路徑上做了變更，將使得整個晶圓盒的輸送流程產(chǎn)生沖突。因此，若能提供一種基板轉(zhuǎn)運設(shè)備，除了能夠于進(jìn)料位置取出的待處理基板、以及將基板制程裝置已處理基板送進(jìn)一出料位置外，更能夠于搬運基板的過程中，旋轉(zhuǎn)該基板的方向，以方便承接后續(xù)其他制程設(shè)備的使用，如此應(yīng)為一最佳解決方案。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種基板轉(zhuǎn)運設(shè)備，其結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，能夠于進(jìn)料位置取出的待處理基板、以及將基板制程裝置已處理基板送進(jìn)一出料位置外，更能夠于搬運基板的過程中，旋轉(zhuǎn)該基板的方向，以方便承接后續(xù)其他制程設(shè)備的使用。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明公開了一種基板轉(zhuǎn)運設(shè)備，用于接收自一進(jìn)料位置取出的待處理基板以及將已處理基板送進(jìn)一出料位置，于該進(jìn)料位置以及出料位置間用于銜接一基板制程裝置，其特征在于該基板轉(zhuǎn)運設(shè)備包括有一設(shè)置于該進(jìn)料位置、用于輸出該些基板至該基板制程裝置的導(dǎo)入機(jī)臺，其包含至少一組升降模組，該升降模組用以置放至少一個基板承載裝置，該基板承載裝置用以裝載該待處理基板；至少一組牙叉式軌道，用以將該待處理基板自該基板承載裝置依序取出；至少一組運行軌道，用以承接運送來自該牙叉式軌道的該待處理基板；
一設(shè)置于該出料位置、用于接收來自該基板制程裝置所輸出該已處理基板的導(dǎo)出機(jī)臺，其包含至少一組的升降模組，該升降模組用以置放至少一個基板承載裝置，該基板承載裝置用以裝載該已處理基板；以及至少一組牙叉式軌道，用以將該已處理基板依序送入該基板承載裝置；至少一組運行軌道，用以承接來自該基板制程裝置所輸出該已處理基板；以及至少兩組于該運行軌道及該牙叉式軌道之間作動的汲取裝置，用于搬運該待處理基板及已處理基板。其中，該些運行軌道分別銜接設(shè)置于該導(dǎo)入機(jī)臺、該基板制程裝置以及該導(dǎo)出機(jī)臺、該基板制程裝置之間，用以將該些基板運送到該基板制程裝置前，及/或提供將該些基板自該基板制程裝置取出放置。其中，于該導(dǎo)出機(jī)臺、該基板制程裝置間的運行軌道設(shè)置一組風(fēng)扇，用以對自該基板制程裝置取出的該些基板吹拂。其中，于該導(dǎo)出機(jī)臺、該基板制程裝置間的運行軌道設(shè)置一組破片檢測感測器，以檢知該些基板的完整狀態(tài)。其中，各該升降模組內(nèi)容置兩個基板承載裝置，其中一個基板承載裝置用以進(jìn)行該基板的運送，而另一個則用以進(jìn)行該基板承載裝置的更換。其中，該些牙叉式軌道具有至少一組導(dǎo)正機(jī)構(gòu)，用以抵靠該些基板以進(jìn)行偏移導(dǎo)正。其中，該些牙叉式軌道設(shè)置有至少一個感測器，用以感應(yīng)控制該些基板于該牙叉式軌道上所停滯的位置。其中，該些汲取裝置能對該些基板實施旋轉(zhuǎn)調(diào)整。其中，該些汲取裝置的任一者可對該基板實施高度調(diào)整，使鄰近兩基板高度錯位。還公開了一種基板轉(zhuǎn)運設(shè)備，用于接收自一進(jìn)料位置取出的待處理基板以及將已處理基板送進(jìn)一出料位置，于該進(jìn)料位置以及出料位置間用于銜接一基板制程裝置，其特征在于該基板轉(zhuǎn)運設(shè)備包括有一設(shè)置于該進(jìn)料位置、用于輸出待處理基板至該基板制程裝置的導(dǎo)入機(jī)臺；一設(shè)置于該出料位置、用于接收來自該基板制程裝置所輸出已處理基板的導(dǎo)出機(jī)臺；以及多個于該些導(dǎo)入機(jī)臺、導(dǎo)出機(jī)臺及基板制程裝置之間搬運該些基板的汲取裝置，所述該些多個汲取裝置可對該些基板實施旋轉(zhuǎn)調(diào)整。通過上述內(nèi)容，本發(fā)明的基板轉(zhuǎn)運設(shè)備能夠于進(jìn)料位置順利取出待處理基板，且將基板制程裝置已處理基板順利送進(jìn)一出料位置，而在轉(zhuǎn)運基板的過程中，還能夠方便的旋轉(zhuǎn)基板的方向，以便承接后續(xù)其他制程設(shè)備的使用。有關(guān)于本發(fā)明的前述及其他技術(shù)內(nèi)容、特點與功效，在以下配合參考圖式的較佳實施例的詳細(xì)說明中，將可清楚的呈現(xiàn)。


圖1為本發(fā)明一種基板轉(zhuǎn)運設(shè)備的整體架構(gòu)圖；圖2A至圖I為本發(fā)明一種基板轉(zhuǎn)運設(shè)備的實施例圖；圖3為本發(fā)明一種基板轉(zhuǎn)運設(shè)備的導(dǎo)入機(jī)臺示意圖4A為本發(fā)明一種基板轉(zhuǎn)運設(shè)備的導(dǎo)出機(jī)臺示意圖；圖4B為本發(fā)明一種基板轉(zhuǎn)運設(shè)備的導(dǎo)出機(jī)臺側(cè)意圖；以及圖5為本發(fā)明一種基板轉(zhuǎn)運設(shè)備的牙叉式軌道示意圖。
具體實施例方式請參閱圖1、圖3及圖4A，為本發(fā)明一種基板轉(zhuǎn)運設(shè)備的整體架構(gòu)圖、導(dǎo)入機(jī)臺示意圖及導(dǎo)出機(jī)臺示意圖，該基板轉(zhuǎn)運設(shè)備用于接收自一進(jìn)料位置取出的待處理基板以及將已處理基板送進(jìn)一出料位置，于該進(jìn)料位置以及出料位置間用于銜接一基板制程裝置，如圖1所示，該基板轉(zhuǎn)運設(shè)備包括有一設(shè)置于該進(jìn)料位置的導(dǎo)入機(jī)臺1、一設(shè)置于該出料位置的導(dǎo)出機(jī)臺2及至少兩組于該些運行軌道及該基板制程裝置3之間搬運該多個基板的汲取裝置41，42，該汲取裝置41，42將視所搬運基板的數(shù)量搭配設(shè)置。其中該用于輸出基板至該基板制程裝置3的導(dǎo)入機(jī)臺1及該用于接收來自該基板制程裝置3所輸出基板的導(dǎo)出機(jī)臺2皆包含至少一組的升降模組11，21、至少一組牙叉式軌道12，22及至少一組運行軌道13，23，而在實際的應(yīng)用上，本發(fā)明基板轉(zhuǎn)運的過程請參閱圖 2A至圖I，其中當(dāng)導(dǎo)入機(jī)臺1的升降模組11的兩個基板承載裝置111，112已裝載多個待處理基板51后(圖中的箭頭及三角形僅為了表示基板的方向，并非表示該基板的結(jié)構(gòu)特征)， 如圖2A及圖2B所示，該導(dǎo)入機(jī)臺1的牙叉式軌道12能夠?qū)朐摶宄休d裝置111中，以將待處理基板51自該基板承載裝置111中依序取出。而該牙叉式軌道12可具有至少一組導(dǎo)正機(jī)構(gòu)121，或包括至少一個感測器122，因此當(dāng)待處理基板51自該基板承載裝置111中依序取出后，如圖2B及圖2C所示，能夠由該導(dǎo)正機(jī)構(gòu)121先行導(dǎo)引該些待處理基板51的正確位置，而該感測器122能夠使該些待處理基板51偵測于該牙叉式軌道12被停滯的位置，因此當(dāng)該待處理基板51移動至感測器122 的感測位置時，如圖2C所示，則會停于該感測器122所設(shè)置的相對位置上?；蛘呷缌硪环N實施方式，將待處理基板51透過步進(jìn)控制輸送方式，譬如馬達(dá)帶動軌道，將牙叉式軌道12 的前進(jìn)速度與待處理基板51置放在牙叉式軌道12上的時間搭配，以趨近同速的方式，讓待處理基板51依序放在牙叉式軌道12上前進(jìn)，此種方式即無需感測器設(shè)置，待牙叉式軌道12 滿載待處理基板51，即由汲取裝置41后續(xù)運行。接著，如圖2D所示，當(dāng)牙叉式軌道12的任一者滿載待處理基板51，該汲取裝置41 則會移動到該牙叉式軌道12上方位置，并向下同時吸附多個待處理基板51，將多個待處理基板51同時搬運至導(dǎo)入機(jī)臺1的運行軌道13上。如圖2E所示，在汲取裝置41搬運待處理基板51至運行軌道13的時間內(nèi)，必須完成同時旋轉(zhuǎn)該待處理基板51的方向，故該汲取裝置41的任一者可對待處理基板51實施旋轉(zhuǎn)調(diào)整以符合客制化基板制程裝置3所要求的某些制程條件要求。此外，由于機(jī)臺設(shè)計上必須有效利用有限空間，在此條件限制下為了避免鄰近基板51與基板51于旋轉(zhuǎn)調(diào)整時發(fā)生碰撞，在本實施說明里進(jìn)一步提到該汲取裝置 41至少之一者具有高度調(diào)整功能，能夠使鄰近兩基板進(jìn)行方向調(diào)整時高度錯位，可降低因旋轉(zhuǎn)所發(fā)生的碰撞機(jī)率。在此特別提到，于本段說明以及全文說明書中所提到的旋轉(zhuǎn)，均為以基板平面的X軸方向一維旋轉(zhuǎn)。而當(dāng)汲取裝置41將多個待處理基板51搬運至導(dǎo)入機(jī)臺1的運行軌道13上后，如圖2F及圖2G所示，該運行軌道13能夠承接運送來自該牙叉式軌道12上的多個待處理基板51，并將多個待處理基板51往基板制程裝置3方向進(jìn)行運送；而當(dāng)多個待處理基板51進(jìn)入該基板制程裝置3進(jìn)行處理后，如圖2H所示，再由該基板制程裝置3將多個已處理基板 52輸出至該導(dǎo)出機(jī)臺2的運行軌道23上，之后另一汲取裝置42則會移動到多個已處理基板52的位置上，并向下吸附起多個已處理基板52。當(dāng)基板制程裝置3將多個已處理基板52輸出時，將其放置于該導(dǎo)出機(jī)臺2的運行軌道23上；而該些運行軌道23上更能夠設(shè)置一組風(fēng)扇(圖中未示)或是一組破片檢測感測器(圖中未示)相對應(yīng)于多個已處理基板52的運行路徑，其中該風(fēng)扇用以對自該基板制程裝置3取出的該些基板52吹拂，而該破片檢測感測器系用以檢知該些基板是否在運行、 處理、制程的過程發(fā)生破片情況，以便將破片者排除。因此，如圖21及如圖2J所示，于汲取裝置42搬運多個已處理基板52的過程中時， 能夠再一次同時旋轉(zhuǎn)該已處理基板52的方向，此時將與圖2E旋轉(zhuǎn)的方向相反，將已處理基板52回復(fù)原始的方向性，汲取裝置42的任一者亦如圖2E所述同樣具有旋轉(zhuǎn)調(diào)整及高度調(diào)整，并由汲取裝置42將多個已處理基板52搬運至導(dǎo)出機(jī)臺2的牙叉式軌道22后，如圖I 所示，該導(dǎo)出機(jī)臺2的牙叉式軌道22能夠?qū)⒁烟幚砘?2逐一導(dǎo)引進(jìn)入該基板承載裝置 211中，以將多個已處理基板52依序由牙叉式軌道22送入該導(dǎo)出機(jī)臺2的升降模組21的基板承載裝置211 (或是基板承載裝置21 中，而由圖I中亦明顯可知，該已處理基板52 上的三角形標(biāo)示跟圖2A的待處理基板51上的三角形方向相同，因此本發(fā)明確實能夠于檢測或處理基板的過程中，進(jìn)行旋轉(zhuǎn)基板的方向，而旋轉(zhuǎn)的角度則依汲取裝置41，42設(shè)計，故不僅只能旋轉(zhuǎn)90度或180度。另外，導(dǎo)入機(jī)臺1的一實施機(jī)構(gòu)如圖3所示，該導(dǎo)入機(jī)臺1的升降模組11內(nèi)容置兩個基板承載裝置111，112，其中一個基板承載裝置111用以進(jìn)行該基板的運送，而另一個基板承載裝置112則用以進(jìn)行該基板承載裝置111的更換，以增加機(jī)臺效率并不影響輸送動作；而導(dǎo)出機(jī)臺2的實際樣式如圖4A及圖4B所示，該升降模組21內(nèi)容置三個基板承載裝置211，212，213，其中兩個基板承載裝置211，212，一個基板承載裝置211用以進(jìn)行該基板的運送，另一個基板承載裝置212則用以進(jìn)行該基板承載裝置211的更換，而第三個該基板承載裝置213為一暫存區(qū)，用以預(yù)防當(dāng)操作人員來不及進(jìn)行更換基板承載裝置時，并可避免基板流入破片收集區(qū)對。另外，牙叉式軌道12的實際樣式如圖5所示，該牙叉式軌道12上安裝有導(dǎo)正機(jī)構(gòu) 121，該導(dǎo)正機(jī)構(gòu)121能夠抵靠基板進(jìn)行偏移導(dǎo)正，使基板進(jìn)入后續(xù)軌道后能維持方向性一致而不偏斜。(本圖僅以導(dǎo)入機(jī)臺1的牙叉式軌道12進(jìn)行解釋，但導(dǎo)出機(jī)臺2的牙叉式軌道22亦與導(dǎo)入機(jī)臺1的牙叉式軌道12機(jī)械結(jié)構(gòu)相同，故不再贅述)。本發(fā)明所提供的一種基板轉(zhuǎn)運設(shè)備，與其他習(xí)用技術(shù)相互比較時，更具備下列優(yōu)
點本發(fā)明的基板轉(zhuǎn)運設(shè)備能夠于進(jìn)料位置取出的待處理基板、以及將基板制程裝置已處理基板送進(jìn)一出料位置，而基板搬運的過程，更能夠旋轉(zhuǎn)基板的方向，以方便承接后續(xù)其他制程設(shè)備的使用。本發(fā)明的基板轉(zhuǎn)運設(shè)備能使晶圓輸送路徑更有規(guī)劃的彈性。藉由以上較佳具體實施例的詳述，希望能更加清楚描述本發(fā)明的特征與精神，而并非以上述所揭露的較佳具體實施例來對本發(fā)明的范疇加以限制。相反地，其目的是希望能涵蓋各種改變及具相等性的安排于本發(fā)明所欲申請的專利范圍的范疇內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種基板轉(zhuǎn)運設(shè)備，用于接收自一進(jìn)料位置取出的待處理基板以及將已處理基板送進(jìn)一出料位置，于該進(jìn)料位置以及出料位置間用于銜接一基板制程裝置，其特征在于，該基板轉(zhuǎn)運設(shè)備包括有一設(shè)置于該進(jìn)料位置、用于輸出該些基板至該基板制程裝置的導(dǎo)入機(jī)臺，其包含 至少一組升降模組，該升降模組用以置放至少一個基板承載裝置，該基板承載裝置用以裝載該待處理基板；至少一組牙叉式軌道，用以將該待處理基板自該基板承載裝置依序取出； 至少一組運行軌道，用以承接運送來自該牙叉式軌道的該待處理基板； 一設(shè)置于該出料位置、用于接收來自該基板制程裝置所輸出該已處理基板的導(dǎo)出機(jī)臺，其包含至少一組的升降模組，該升降模組用以置放至少一個基板承載裝置，該基板承載裝置用以裝載該已處理基板；以及至少一組牙叉式軌道，用以將該已處理基板依序送入該基板承載裝置； 至少一組運行軌道，用以承接來自該基板制程裝置所輸出該已處理基板；以及至少兩組于該運行軌道及該牙叉式軌道之間作動的汲取裝置，用于搬運該待處理基板及已處理基板。
2.如權(quán)利要求1所述的基板轉(zhuǎn)運設(shè)備，其特征在于，該些運行軌道分別銜接設(shè)置于該導(dǎo)入機(jī)臺、該基板制程裝置以及該導(dǎo)出機(jī)臺、該基板制程裝置之間，用以將該些基板運送到該基板制程裝置前，及/或提供將該些基板自該基板制程裝置取出放置。
3.如權(quán)利要求2所述的基板轉(zhuǎn)運設(shè)備，其特征在于，于該導(dǎo)出機(jī)臺、該基板制程裝置間的運行軌道設(shè)置一組風(fēng)扇，用以對自該基板制程裝置取出的該些基板吹拂。
4.如權(quán)利要求2所述的基板轉(zhuǎn)運設(shè)備，其特征在于，于該導(dǎo)出機(jī)臺、該基板制程裝置間的運行軌道設(shè)置一組破片檢測感測器，以檢知該些基板的完整狀態(tài)。
5.如權(quán)利要求1所述的基板轉(zhuǎn)運設(shè)備，其特征在于，各該升降模組內(nèi)容置兩個基板承載裝置，其中一個基板承載裝置用以進(jìn)行該基板的運送，而另一個則用以進(jìn)行該基板承載裝置的更換。
6.如權(quán)利要求1所述的基板轉(zhuǎn)運設(shè)備，其特征在于，該些牙叉式軌道具有至少一組導(dǎo)正機(jī)構(gòu)，用以抵靠該些基板以進(jìn)行偏移導(dǎo)正。
7.如權(quán)利要求1所述的基板轉(zhuǎn)運設(shè)備，其特征在于，該些牙叉式軌道設(shè)置有至少一個感測器，用以感應(yīng)控制該些基板于該牙叉式軌道上所停滯的位置。
8.如權(quán)利要求1所述的基板轉(zhuǎn)運設(shè)備，其特征在于，該些汲取裝置能對該些基板實施旋轉(zhuǎn)調(diào)整。
9.如權(quán)利要求1或8所述的基板轉(zhuǎn)運設(shè)備，其特征在于，該些汲取裝置的任一者可對該基板實施高度調(diào)整，使鄰近兩基板高度錯位。
10.一種基板轉(zhuǎn)運設(shè)備，用于接收自一進(jìn)料位置取出的待處理基板以及將已處理基板送進(jìn)一出料位置，于該進(jìn)料位置以及出料位置間用于銜接一基板制程裝置，其特征在于該基板轉(zhuǎn)運設(shè)備包括有一設(shè)置于該進(jìn)料位置、用于輸出待處理基板至該基板制程裝置的導(dǎo)入機(jī)臺；一設(shè)置于該出料位置、用于接收來自該基板制程裝置所輸出已處理基板的導(dǎo)出機(jī)臺； 以及多個于該些導(dǎo)入機(jī)臺、導(dǎo)出機(jī)臺及基板制程裝置之間搬運該些基板的汲取裝置，所述該些多個汲取裝置可對該些基板實施旋轉(zhuǎn)調(diào)整。
全文摘要
一種基板轉(zhuǎn)運設(shè)備，用于接收自一進(jìn)料位置取出的待處理基板以及將已處理基板送進(jìn)一出料位置，于該進(jìn)料位置以及出料位置間用于銜接一基板制程裝置，該基板轉(zhuǎn)運設(shè)備包括有一設(shè)置于該進(jìn)料位置的導(dǎo)入機(jī)臺、一設(shè)置于該出料位置的導(dǎo)出機(jī)臺及至少兩組于該些運行軌道及該基板制程裝置之間作動的汲取裝置，而該導(dǎo)入機(jī)臺及導(dǎo)出機(jī)臺皆具有升降模組、牙叉式軌道及運行軌道，其中導(dǎo)入機(jī)臺能夠輸出基板，并由汲取裝置將基板搬運至該基板制程裝置，而基板制程裝置所處理后的基板，能夠再由汲取裝置搬運及由導(dǎo)出機(jī)臺接收來自該基板制程裝置所輸出基板，另外該汲取裝置于搬運基板的過程中，旋轉(zhuǎn)該基板的方向，以方便承接后續(xù)其他制程設(shè)備的使用。
文檔編號H01L21/677GK102569141SQ20111045278
公開日2012年7月11日 申請日期2011年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月30日
發(fā)明者陳建名 申請人:致茂電子(蘇州)有限公司