專利名稱：一種系統(tǒng)提示停片規(guī)則并能進行批處理的方法
技術領域：
本發(fā)明涉及集成電路生產(chǎn)領域，尤其涉及集成電路生產(chǎn)過程中的停片步驟。
背景技術：
集成電路生產(chǎn)線上的所有產(chǎn)品在廠房和設備動力檢修前都要從GUI (圖形用戶界面)系統(tǒng)中流片狀態(tài)進入到合適的停片步驟。所有在線批次產(chǎn)品在動力檢修長時間停片前由人工確認停片位置后在⑶I系統(tǒng)中做future hold，其過程如下(1)由數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)制訂停片規(guī)則，每年檢查是否有更新；(2)計算機對在線批次共同的可停片位置歸類整理，并在這些步驟對一批圓片做future hold ;對不能歸類的按停片規(guī)則做future hold ;拉取所有批次停片清單給數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)或研發(fā)工程師確認；(3)數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)或研發(fā)工程師確認停片是否合法；(4)計算機更正非法停片；(5)在以上第3、4步驟間反復進行，直到所有在線批次停片都沒有問題為止。 然而以上過程存在如下問題(I)現(xiàn)有⑶I系統(tǒng)按工藝大類的共同步驟停片，停片位置不精確，損失產(chǎn)能；(2)由于工藝品種多、在線批量大，人工確認數(shù)據(jù)量大，停片時不能批處理作業(yè)，因此耗費時間長，且易出錯；(3)⑶I系統(tǒng)中做future hold時因工藝大類的共同可停片步驟與子工藝的實際可停片實際步驟有區(qū)別，因此系統(tǒng)提示與數(shù)據(jù)庫規(guī)則有沖突；(4)由于future hold停片位置不夠精確，存在圓片在系統(tǒng)中停片后圓片還沒有到、設備已關機的情況，將會造成非法停片，存在圓片報廢和低良率風險。為了解決上述問題，很有必要提供一種改進的停片處理步驟。

發(fā)明內容
針對現(xiàn)有技術的不足，本發(fā)明的目的是提供一種系統(tǒng)提示停片規(guī)則并能進行批處理的方法。本發(fā)明的目的通過提供以下技術方案實現(xiàn)一種系統(tǒng)提示停片規(guī)則并能進行批處理的方法，包括以下步驟對生產(chǎn)線上所有工藝按停片規(guī)則是否相同進行分類；按不同類別分別定義了參考工藝和可參考工藝，對每一參考工藝定義了停片規(guī)則；對6瓜中程序進行優(yōu)化，使得匯總后的所有工藝停片規(guī)則導入系統(tǒng)后，系統(tǒng)能(I)提供報表，給出每一批次未來可停片和不可停片的提示；(2)在GUI中做停片時能給出提示；(3)GUI中可對在線批次做批處理停片。與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明的有益效果是通過以上方法能顯著提高停片處理效率，提升產(chǎn)能，降低成本，同時降低出錯風險。
具體實施例方式以下用優(yōu)選實施方式來說明本發(fā)明的實現(xiàn)過程和本質內容所在。本發(fā)明通過以下步驟來實現(xiàn)系統(tǒng)提示停片規(guī)則并能進行批處理對生產(chǎn)線上所有工藝按停片規(guī)則是否相同進行分類；按不同類別分別定義了參考工藝和可參考工藝，對每一參考工藝定義了停片規(guī)則；對6瓜中程序進行優(yōu)化，使得匯總后的所有工藝停片規(guī)則導入系統(tǒng)后，系統(tǒng)能(1)提供報表，給出每一批次未來可停片和不可停片的提示；(2)在GUI中做停片時能給出提示；(3)GUI中可對在線批次做批處理停片。其中，系統(tǒng)提供報表中除了給出每一批次未來可停片和不可停片的提示以外，還可以給出每一批次到達每一步驟的預測時間，從而方便操作人員控制整個生產(chǎn)流程。本發(fā)明通過以上方法能顯著提高停片處理效率，提升產(chǎn)能，降低成本，同時降低出錯風險。 盡管為示例目的，已經(jīng)公開了本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，但是本領域的普通技術人員將意識到，在不脫離由所附的權利要求書公開的本發(fā)明的范圍和精神的情況下，各種改進、增加以及取代是可能的。
權利要求
1.一種系統(tǒng)提示停片規(guī)則并能進行批處理的方法，包括以下步驟對生產(chǎn)線上所有工藝按停片規(guī)則是否相同進行分類；按不同類別分別定義了參考工藝和可參考工藝，對每一參考工藝定義了停片規(guī)則；對6瓜中程序進行優(yōu)化，使得匯總后的所有工藝停片規(guī)則導入系統(tǒng)后，系統(tǒng)能(I)提供報表，給出每一批次未來可停片和不可停片的提示；(2)在GUI中做停片時能給出提示；(3)GUI中可對在線批次做批處理停片。
2.如權利要求I所述的系統(tǒng)提示停片規(guī)則并能進行批處理的方法，其特征在于報表還可以給出每一批次到達每一步驟的預測時間。
全文摘要
本發(fā)明提供一種系統(tǒng)提示停片規(guī)則并能進行批處理的方法，包括以下步驟對生產(chǎn)線上所有工藝按停片規(guī)則是否相同進行分類；按不同類別分別定義了參考工藝和可參考工藝，對每一參考工藝定義了停片規(guī)則；對GUI中程序進行優(yōu)化，使得匯總后的所有工藝停片規(guī)則導入系統(tǒng)后，系統(tǒng)能(1)提供報表，給出每一批次未來可停片和不可停片的提示；(2)在GUI中做停片時能給出提示；(3)GUI中可對在線批次做批處理停片。通過以上方法能顯著提高停片處理效率，提升產(chǎn)能，降低成本，同時降低出錯風險。
文檔編號H01L21/02GK102810457SQ20111014360
公開日2012年12月5日 申請日期2011年5月31日 優(yōu)先權日2011年5月31日
發(fā)明者周俊芳, 周蘭珠, 張偉飛, 蘭云, 馬如軍, 胡振華, 嚴曉芬 申請人:無錫華潤上華半導體有限公司, 無錫華潤上華科技有限公司