專利名稱：彈性邊界波諧振器以及梯型濾波器的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及在IDT電極的彈性邊界波傳播方向兩側配置有反射器的彈性邊界波諧振器以及利用該彈性邊界波諧振器的梯型濾波器，特別涉及利用了對IDT電極施加了交叉寬度加權的彈性邊界波諧振器以及利用該彈性邊界波諧振器的梯型濾波器。
背景技術：
在現(xiàn)有技術的便攜式電話機等通信設備中，為了構成諧振器或濾波器，廣泛使用彈性表面波諧振器。例如，在下面的專利文獻1中，公開了圖12所示的彈性表面波諧振器1001。彈性表面波諧振器1001通過在壓電基板上形成圖示的電極構造而構成。該彈性表面波諧振器 1001是利用了與瑞利波相比機電耦合系數(shù)k2更大的樂甫波的彈性表面波諧振器。在彈性表面波諧振器1001中，在壓電基板上形成有IDT電極1002。IDT電極1002 具有匯流條(bus bar) 1003、以及與匯流條1003相對配置的匯流條1004。匯流條1003具有匯流條部1003a，其在相對于彈性表面波傳播方向成θ的角度的方向傾斜延伸；以及匯流條部1003b，其按照相對于彈性表面波傳播方向成-θ的角度的方式延伸，且與匯流條部 1003a相接。同樣，第2匯流條1004具有匯流條部1004a，其按照相對于彈性表面波傳播方向成-Θ的角度的方向傾斜延伸；以及匯流條部1004b，其與匯流條部100 相接，在相對于彈性表面波傳播方向成θ的角度的方向延伸。匯流條部1003a、1003b、以及匯流條部1004a、1004b構成了大致菱形的形狀。從匯流條部1003a、100 起，向著匯流條部1004a、1004b側延伸有多根電極指 1005。此外，對于電極指1005的前端，隔著空隙配置有偽電極1006。偽電極1006的一端與第2匯流條1004連接，另一端隔著上述空隙與電極指1005相對。同樣，配置有多根電極指1007，該電極指1007的一端與第2匯流條部1004連接， 另一端向第ι匯流條1003側延伸。對于電極指1007的前端，在電極指長度方向上，隔著空隙配置有偽電極1008。偽電極1008的一端與第1匯流條1003連接，另一端隔著上述空隙與電極指1007相對。在彈性表面波傳播方向上，交替地配置有電極指1005、電極指1007。另外，在上述 IDT電極1002中，施加了交叉寬度加權，通過該交叉寬度加權，使表面波傳播方向中心部分的交叉寬度最大，且隨著靠向表面波傳播方向外側，交叉寬度逐漸減小。在彈性表面波諧振器1001中，將上述最小交叉寬度部分的交叉寬度設為0。在表面波傳播方向外側，設置有僅存在偽電極1006、1008的區(qū)域。彈性表面波諧振器1001的特征在于，像上述那樣施加交叉寬度加權，且使通過上述交叉寬度加權而得到的包絡線A、與匯流條部1003a、1003b、1004a、1004b的內側的邊平行。換言之，將匯流條部1003a 1004b的內側的邊與包絡線平行地配置。S卩，匯流條部 1003a 1004b的內側邊相對于表面波傳播方向成θ或-Θ的角度而傾斜。故而，不易產(chǎn)生因非諧高次模式而引起的諧振，從而能減少寄生。特別在專利文獻1中，上述包絡線和與該包絡線平行延伸的匯流條的內側的邊之間的部分作為反射器發(fā)揮功能。因此，例如，如圖 13中直線Ltl所示，在所激振的彈性表面波到達匯流條1003b的內側的邊之前，與例如5根電極指交叉。由于該5根電極指作為反射器發(fā)揮功能，因此能有效抑制寄生，從而能謀求小型化。另一方面，近年，由于不需要形成IDT電極面對的空間，因此彈性邊界波諧振器受到關注。在彈性邊界波諧振器中，也與彈性表面波諧振器同樣，要尋求寄生的抑制。先行技術文獻專利文獻專利文獻1 JP特開2000-286663號公報發(fā)明的概要發(fā)明要解決的課題彈性表面波諧振器用于構成振蕩電路或濾波器等。在構成濾波電路的情況下，多數(shù)情況是連接多個彈性表面波諧振器。例如，在具有多個彈性表面波諧振器的梯型濾波器中，在串聯(lián)臂上連接至少1個彈性表面波諧振器，在并聯(lián)臂上至少連接1個彈性表面波諧振器。在梯型濾波器中，若不將串聯(lián)臂諧振器的反諧振頻率的阻抗升得足夠高，則通過頻帶高頻側的衰減量將不夠大。另外，在并聯(lián)臂諧振器中，若反諧振頻率下的阻抗不夠高，則會有通過頻帶下的插入損耗會增大的擔憂。然而，在專利文獻1記載的彈性表面波諧振器中，有時反諧振頻率下的阻抗不夠高。另外，存在回波損耗在比反諧振頻率高的頻域例如反諧振頻率的1.003倍程度的頻率下會增大的問題。因此，在將該彈性表面波諧振器作為并聯(lián)臂諧振器使用的梯型濾波器的通過頻帶內的高頻側，有時插入損耗會變大。另一方面，在彈性邊界波諧振器中，與彈性表面波諧振器同樣，在抑制因高次模式的諧振而引起的寄生，且在將其用于梯型濾波器等的情況下，也強烈尋求反諧振頻率下的高阻抗。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的在于，提供一種能消除上述現(xiàn)有技術的缺點，不僅抑制因非諧高次模式的諧振而引起的寄生，還使反諧振頻率下的阻抗足夠高的彈性邊界波諧振器、以及提供一種能將該彈性邊界波諧振器用作并聯(lián)臂或者串聯(lián)臂諧振器而構成，減少通過頻帶內的插入損耗的梯型濾波器。用于解決課題的手段本發(fā)明所涉及的彈性邊界波諧振器具備壓電基板；第1電介質層，其層疊于所述壓電基板上；IDT電極，其形成于所述壓電基板和所述第1電介質層之間的界面；和一對反射器，其在所述界面中設置于所述IDT電極的彈性邊界波傳播方向兩側。所述IDT電極具備第1、第2匯流條；多根第1電極指，其從所述第1匯流條向著第2匯流條延伸；多根第 2電極指，其從所述第2匯流條向著所述第1匯流條側延伸；第1偽電極，其隔著空隙與所述第1電極指的前端相對，并與所述第2匯流條連接；和第2偽電極，其隔著空隙與所述第2電極指的前端相對，并與所述第1匯流條連接。在本發(fā)明中，對所述IDT電極施加交叉寬度加權，使得具有交叉寬度加權部分，在該交叉寬度加權部分，交叉寬度從所述IDT電極中的電極指交叉寬度最大的部分起向著所述彈性邊界波傳播方向兩側逐漸減少。所述第1匯流條的連接所述第1電極指以及第2偽電極的邊具有相對于彈性邊界波傳播方向傾斜的傾斜部分，使得與所述交叉寬度加權的包絡線隔著恒定的距離來配置。所述第2匯流條的連接所述第2電極指以及所述第1偽電極的邊具有相對于彈性邊界波傳播方向傾斜的傾斜部分，使得與所述交叉寬度加權的包絡線隔著固定的距離來配置。在所述IDT電極的最外側電極指、和所述反射器的IDT電極側的電極指相鄰的部分，將反射器的電極指的長度設為大致等于IDT電極的該電極指的長度、 和與IDT電極的電極指前端相對的偽電極的長度之和。在將從所述IDT電極的至少1個電極指的前端起在彈性邊界波傳播方向上延伸的直線到所述第1匯流條或者所述第2匯流條的所述邊為止所相交的電極指以及偽電極的數(shù)目的總和設為N的情況下，N為5以上，且將所述一對反射器中的1個反射器所含的電極指的數(shù)目設為大致N。優(yōu)選將N設為10以上，在此情況下，在將彈性邊界波諧振器作為梯型濾波器的并聯(lián)臂諧振器使用的情況下，能進一步提高反諧振頻率下的阻抗，能減小成為通過頻帶的右肩帶的頻率下的回波損耗。在本發(fā)明的彈性邊界波諧振器中，優(yōu)選將上述N設為50以下。此外，若N過大，則匯流條的斜度將變緩，從而彈性邊界波諧振器將成為大型。因此，優(yōu)選像上述那樣將N設為 50以下。在本發(fā)明的彈性邊界波諧振器中，優(yōu)選在第1電介質層上層疊與第1電介質層相比音速更快的第2電介質層，在此情況下，能將彈性邊界波的能量封存在第2電介質層的內側。本發(fā)明所涉及的梯型濾波器，具有串聯(lián)臂諧振器、以及并聯(lián)臂諧振器，所述串聯(lián)臂諧振器以及并聯(lián)臂諧振器中的至少2個諧振器由依照本發(fā)明而構成的彈性邊界波諧振器組成。在本發(fā)明所涉及的梯型濾波器中，優(yōu)選方式是，作為所述至少2個彈性邊界波諧振器，具有按照與邊界波傳播方向平行的方式配置的第1、第2彈性邊界波諧振器，從第1彈性邊界波諧振器的IDT的至少1個電極指的前端起在彈性邊界波傳播方向上引出的直線位于所述第2彈性邊界波諧振器的IDT的電極指交叉部。在該情況下，能縮短第1、第2彈性邊界波諧振器間的間隔來配置第1、第2彈性邊界波諧振器，因此能謀求梯型濾波器的小型化。進一步的優(yōu)選方式是，使與所述第1、第2彈性邊界波諧振器的第1、第2匯流條的連接所述第1或第2電極指以及第2或第1偽電極的邊為相反側的外側的邊傾斜，使得該邊與所述包絡線具有恒定的距離，所述第2彈性邊界波諧振器的第2匯流條位于所述第1 彈性邊界波諧振器的第1匯流條的外側的邊的與彈性邊界波傳播方向正交的方向外側。由此，能進一步使梯型濾波器小型化。發(fā)明的效果在本發(fā)明所涉及的彈性邊界波諧振器中，第1匯流條的連接第1電極指以及第2 偽電極的邊具有傾斜了該邊的傾斜部分，使得與交叉寬度加權的包絡線隔著恒定的距離來配置，第2匯流條的連接第2電極指以及第1偽電極的邊也同樣具有傾斜部分。因此，與專利文獻1記載的彈性表面波諧振器同樣，不易產(chǎn)生因非諧高次模式而引起的諧振，能減少因此而造成的寄生。而且，在本發(fā)明中，在將從上述IDT電極的至少1個電極指的前端起在彈性邊界波傳播方向上延伸的直線到第1或者第2匯流條的上述邊為止所相交的電極指以及偽電極的數(shù)目的總和設為N的情況下，N為5以上，且將1對反射器中的1個反射器所含的電極指的數(shù)目設為接近N。因此，能使反諧振頻率下的阻抗足夠高。因此，在利用本發(fā)明所涉及的彈性邊界波諧振器而構成梯型濾波器中，在將上述彈性邊界波諧振器作為串聯(lián)臂諧振器使用的情況下，能提高反諧振頻率的阻抗，因此能充分增大通過頻帶高頻側的衰減量。另外，能減少通過頻帶高頻側的回波損耗。進而，在將上述彈性邊界波諧振器作為并聯(lián)臂使用的情況下，能充分減小通過頻帶的插入損耗。因此，能提供具有良好的濾波特性的梯型濾波器。


圖1 (a)、(b)是本發(fā)明的一實施方式所涉及的彈性邊界波諧振器的示意主視截面圖以及表示電極構造的示意俯視圖。圖2是用于說明圖1所示的實施方式的彈性邊界波元件的層疊構造的示意主視截面圖。圖3是表示實施方式以及現(xiàn)有例的各彈性邊界波諧振器的阻抗頻率特性的圖。圖4是表示實施方式以及現(xiàn)有例的各彈性邊界波諧振器的相位頻率特性的圖。圖5是表示實施方式以及現(xiàn)有例的各彈性邊界波諧振器的史密斯阻抗圓圖。圖6是表示實施方式以及現(xiàn)有例的各彈性邊界波諧振器的回波損耗頻率特性的圖。圖7是表示在使N變化的情況下的阻抗比的變化的圖。圖8是表示在使N變化的情況下的反諧振頻率下的Q的變化的圖。圖9是表示在使N變化的情況下的反諧振頻率下的阻尼值的變化的圖。圖10是作為本發(fā)明的其他實施方式的梯型濾波器的示意俯視圖。圖11是表示圖10所示的梯型濾波器的電路構成的圖。圖12是表示現(xiàn)有的彈性表面波諧振器的一例的俯視圖。圖13是表示圖12所示的彈性表面波諧振器的主要部分的部分缺口俯視圖。符號說明1..彈性邊界波諧振器
2..壓電基板
3..第1電介質層
4..第2電介質層
5..IDT電極
6、7..反射器
11..第1匯流條
12..第2匯流條
11a、12a...邊
13...第1電極指
14...第1偽電極
15...第2電極指
16...第2偽電極
21...梯型濾波器
22. ·壓電基板
B...包絡線
Bi、B2...包絡線部分
Sl S7...串聯(lián)臂諧振器
Pl~ P3...并聯(lián)臂諧振器
Li、L2...電感器
具體實施例方式以下，參照附圖來說明本發(fā)明的具體實施方式
，從而使本發(fā)明明確。圖1 (a)及(b)是用于說明本發(fā)明的一實施方式的彈性邊界波諧振器的示意主視截面圖以及表示電極構造的示意俯視截面圖。彈性邊界波諧振器1具有在壓電基板2上按照第1電介質層3以及第2電介質層4的順序來進行層疊的層疊構造。即，彈性邊界波諧振器1是三媒質構造的彈性邊界波裝置。壓電基板2由切角25° Y-X的LiNbO3的基板構成。然而，壓電基板2還可以由 LiTaO3或水晶等其他壓電單晶體形成，或者由鋯鈦酸鉛陶瓷那樣的壓電陶瓷形成。上述第1電介質層3在本實施方式中由SiO2構成。另外，第2電介質層4由較之第1電介質層3音速更快的電介質構成，在本實施方式中，由SiN構成。然而，構成第1、第2電介質層3、4的材料并不限定于上述材料，還能使用SiO、 SiN、SiON、SiC等適合的電介質材料。由于第2電介質層4較之第1電介質層音速更快，因此能比第2電介質層4更確實地將彈性邊界波封存于內側。此外，本發(fā)明不限定于這樣的三媒質構造的彈性邊界波裝置，還可以不設置第2電介質層4。在壓電基板2和第1電介質層3之間的界面，形成有圖1(b)所示的電極構造。即， 形成有IDT電極5、以及配置于IDT電極5的彈性邊界波傳播方向兩側的反射器6、7。本實施方式的彈性邊界波諧振器1的特征在于由IDT電極5以及反射器6、7構成的電極構造。S卩，IDT電極5具有第1匯流條11、以及按照與第1匯流條11相對的方式配置的第2匯流條12。從第1匯流條11的內側的邊Ila起，向著第2匯流條12延伸有多根第1 電極指13。相對于第1電極指13的前端，隔著空隙配置有第1偽電極14。S卩，與第1電極指13的前端隔著空隙，配置有在第1電極指13的延長方向上延伸的第1偽電極14。第1 偽電極14的一端與第2匯流條12的內側的邊1 連接，另一端隔著上述空隙與第1電極指13相對。同樣，從第2匯流條12的內側的邊1 起，向著第1匯流條11側配置有第2電極指15。按照隔著空隙與第2電極指15的前端相對的方式配置有第2偽電極16。第2偽電極16的一端與第1匯流條11的內側的邊Ila連接，另一端隔著上述空隙與第2電極指15的前端相對。另外，對上述IDT電極5施加了交叉寬度加權。在IDT電極5的彈性邊界波傳播方向上，即在與電極指13、15的延伸方向正交的方向上，交叉寬度在IDT電極5的中心最大， 隨著靠向彈性邊界波傳播方向兩端，交叉寬度逐漸減小，按照這種方式進行加權。因此，在包圍交叉寬度區(qū)域的包絡線B內，靠近第1匯流條11 一側的包絡線部分 Bl隨著從IDT5的中央起向著左側，逐漸接近靠近第2匯流條12 —側的包絡線部分B2，隨著從IDT電極5的中心起向著圖1的右側，同樣地逐漸接近位于第2匯流條12側的包絡線部分B2。而關于第2包絡線部分B2，也在彈性邊界波傳播方向中心位于與彈性邊界波傳播方向正交的方向最外側，隨著靠近彈性邊界波傳播方向兩端，逐漸接近第1包絡線部分Bi。另一方面，第1匯流條的邊Ila具有傾斜的傾斜部分llal、lla2，使得第1匯流條 11的內側的邊11a、和上述第1匯流條11側的包絡線部分Bl側之間的距離大致恒定。同樣，第2匯流條12的內側的邊12a也具有傾斜部分1231、1加2。傾斜部分12al、Ua2與上述包絡線部分B2平行地延伸。因此，對于IDT電極，與專利文獻1記載的彈性表面波諧振器1001的情況相同，縮短了在與交叉寬度區(qū)域的彈性邊界波傳播方向正交的方向外側區(qū)域中的作為反射器發(fā)揮功能的偽電極、電極指部分的長度。因此，由于相對于彈性邊界波的群速度方向，傾斜了作為上述反射器發(fā)揮功能的區(qū)域，因此不易產(chǎn)生非諧高次模式的諧振。由此，能減輕因非諧高次模式的諧振而引起的寄生。反射器6、7分別具有對兩端短路的多根電極指6a、7a。電極指6a、7a與IDT電極 5的電極指13、15平行延伸。在上述IDT電極5、彈性邊界波傳播方向最外側的電極指、和反射器6、7的IDT電極5側的電極指6a、7a相鄰的部分，電極指6a、7a的長度大致等于IDT電極側的相鄰的電極指13、15的長度、和在該電極指13、15的前端所相對的第2或者第1偽電極14、16的長度之和。本實施方式的彈性邊界波諧振器1的特征在于，由于第1、第2匯流條11、12的內側的邊IlaUh具有像上述那樣與經(jīng)過交叉寬度加權的包絡線的包絡線部分Bl或者B2大致平行地延伸的部分llal、lla2、12al、Ua2，因此能抑制因非諧高次模式而引起的寄生。進而，如圖2所示，在將從至少1根電極指13、15的前端起在彈性邊界波傳播方向上延伸的直線L，到第1匯流條11或者第2匯流條12的內側的邊Ila或者內側的邊1 為止所相交的電極指以及偽電極的數(shù)目的總和設為N的情況下，N為5以上，且將反射器6、7之中的1 個反射器所含的電極指6a、7a的數(shù)目設為大致N。由此，能使反諧振頻率下的阻抗足夠高。 另外，能改善在作為梯型濾波器的串聯(lián)臂諧振器或并聯(lián)臂諧振器而使用的構成梯型濾波器的情況下的通過頻帶高頻側的特性，減輕回波損耗?；诰唧w的實驗例來說明該情況。作為壓電基板2，在切角25°的Y-XLiNbO3基板上，用以下的規(guī)格明細通過光刻法來形成IDT電極5。根據(jù)電極指間距而決定的波長2. 1 μ m電極指的對數(shù)130對占空比=0.5
電極指交叉寬度42. 0 λ開口寬度42. 2 λ按照IDT電極的中央的交叉寬度為41. 9 λ，兩端的交叉寬度為4. 3 λ的方式施加了交叉寬度加權。將所述N設為N =16。另外，將位于第1、第2電極指的前端的空隙的寬度，即空隙的與彈性邊界波傳播方向正交的方向的尺寸設為0. 3μ m。將IDT電極5的中央的第1、第2偽電極14、16的長度設為0，將IDT電極5的彈性邊界波傳播方向兩端的偽電極的長度設為與偽電極的根數(shù)成正比，并在第2偽電極的根數(shù)的總和為10根時，設為6. 0 μ m。另外，關于反射器，將電極指的根數(shù)設為15，并將占空設為0.5。將反射器6、7的電極指的開口長度設為與IDT電極5的彈性邊界波傳播方向端部的開口長度，即交叉寬度和偽電極的長度的2倍的總計為相同的尺寸。此外，λ表示根據(jù)電極指間距決定的波長。IDT電極5以及反射器6、7通過層疊多層金屬膜而形成。該層疊構造的細節(jié)以及各金屬膜的膜厚如下所述。按照從上往下的順序，為Ti膜/Pt膜/Ti膜/AlCu膜/Ti膜/Pt膜/NiCr膜= 10/36/10/225/10/22/10 (單位是 nm (納米))。在上述壓電基板上形成IDT電極以及反射器6、7后，通過濺射法，按照膜厚成為 1213nm的方式形成S^2層來作為第1電介質層3，接著，按照膜厚成為2200nm的方式形成 SiN層來作為第2電介質層4。為了比較，除了 N為0的情況以外，制作了與上述同樣構成的現(xiàn)有例的彈性邊界波諧振器。測定了上述實施方式以及現(xiàn)有例的彈性邊界波諧振器的諧振特性。結果如圖3 圖6所示。此外，在圖3 圖6中，實線表示實施方式的結果，虛線表示現(xiàn)有例的結果。圖3表示阻抗特性，圖4表示相位特性，圖5表示史密斯阻抗圓圖，圖6表示回波損耗的頻率特性。根據(jù)圖3 圖6而能明確，與N = 0的現(xiàn)有例相比，根據(jù)N = 16的上述實施方式， 能充分提高反諧振頻率下的阻抗，還能減小回波損耗。為了容易比較上述實施方式和現(xiàn)有例的特性，將結果總結在下面的表1中來進行表示。[表1]
權利要求
1.一種彈性邊界波諧振器，具備 壓電基板；第1電介質層，其層疊于所述壓電基板上；IDT電極，其形成于所述壓電基板和所述第1電介質層之間的界面；和一對反射器，在所述界面中設置于所述IDT電極的彈性邊界波傳播方向兩側， 其中，所述IDT電極具備 第1、第2匯流條；多根第1電極指，從所述第1匯流條向著第2匯流條延伸； 多根第2電極指，從所述第2匯流條向著所述第1匯流條側延伸； 第1偽電極，其隔著空隙與所述第1電極指的前端相對，并與所述第2匯流條連接；和第2偽電極，其隔著空隙與所述第2電極指的前端相對，并與所述第1匯流條連接， 對所述IDT電極施加交叉寬度加權，使得具有交叉寬度加權部分，在該交叉寬度加權部分，交叉寬度從所述IDT電極中的電極指交叉寬度最大的部分起向著所述彈性邊界波傳播方向兩側逐漸減少，所述第1匯流條的連接所述第1電極指以及第2偽電極的邊，以與所述交叉寬度加權的包絡線隔著恒定的距離而配置的方式具有相對于彈性邊界波傳播方向傾斜的傾斜部分， 所述第2匯流條的連接所述第2電極指以及所述第1偽電極的邊，以與所述交叉寬度加權的包絡線隔著恒定的距離而配置的方式具有相對于彈性邊界波傳播方向傾斜的傾斜部分，在所述IDT電極的最外側電極指、與所述反射器的IDT電極側的電極指相鄰的部分，將反射器的電極指的長度設為大致等于IDT電極的該電極指的長度、和與IDT電極的電極指前端相對的偽電極的長度之和，在將從所述IDT電極的至少1個電極指的前端起在彈性邊界波傳播方向上延伸的直線到所述第1匯流條或者所述第2匯流條的所述邊為止所相交的電極指以及偽電極的數(shù)目的總和設為N的情況下，N為5以上，且將所述一對反射器中的1個反射器所含的電極指的數(shù)目設為大致N。
2.根據(jù)權利要求1所述的彈性邊界波諧振器，其中， N為10以上。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的彈性邊界波諧振器，其中， N為50以下。
4.根據(jù)權利要求1 3中任一項所述的彈性邊界波諧振器，其中，所述彈性邊界波諧振器還具備第2電介質層，該第2電介質層層疊于所述電介質層上， 且由比該電介質層音速快的電介質構成。
5.一種梯型濾波器，具有串聯(lián)臂諧振器、以及并聯(lián)臂諧振器，其中，所述串聯(lián)臂諧振器以及并聯(lián)臂諧振器之中的至少2個諧振器由權利要求1 4中任一項所述的彈性邊界波諧振器構成。
6.根據(jù)權利要求5所述的梯型濾波器，其中，作為所述至少2個彈性邊界波諧振器，具有按照與邊界波傳播方向平行的方式配置的第1彈性邊界波諧振器、第2彈性邊界波諧振器，從第1彈性邊界波諧振器的IDT的至少1個電極指的前端起在彈性邊界波傳播方向上延伸的直線位于所述第2彈性邊界波諧振器的IDT的電極指交叉部。
7.根據(jù)權利要求5所述的梯型濾波器，其中，使與所述第1彈性邊界波諧振器、第2彈性邊界波諧振器的第1匯流條、第2匯流條的連接所述第1電極指或第2電極指以及第2偽電極或第1偽電極的邊為相反側的外側的邊， 以與所述包絡線具有恒定的距離的方式傾斜，所述第2彈性邊界波諧振器的第2匯流條位于所述第1彈性邊界波諧振器的第1匯流條的外側的邊的與彈性邊界波傳播方向正交的方向外側。
全文摘要
本發(fā)明提供一種彈性邊界波諧振器，其能使反諧振頻率下的阻抗足夠高，且能謀求在構成梯型濾波器的情況下的濾波特性的改善。彈性邊界波諧振器(1)按照交叉寬度向著彈性邊界波傳播方向外側而逐漸減小的方式對IDT電極(5)施加交叉寬度加權，第1匯流條(11)的內側的邊(11a)具有傾斜的傾斜部分(11a1、11a2)，使得與第1匯流條(11)側的包絡線部分(B1)隔著恒定的距離來配置，第2匯流條的內側的邊(12a)具有傾斜部分(12a1、12a2)，使得與第2匯流條(12)側的包絡線部分(B2)隔著恒定的距離來配置，當將從至少1個電極指(13、15)的前端起在彈性邊界波傳播方向上延伸的直線到第1或者第2匯流條的邊(11a、12a)為止所相交的電極指以及偽電極的總和設為N時，將N設為5以上。
文檔編號H01L41/187GK102365822SQ201080013998
公開日2012年2月29日 申請日期2010年4月6日 優(yōu)先權日2009年4月7日
發(fā)明者山本大輔, 田中伸拓 申請人:株式會社村田制作所