專利名稱：一種硅片篩選裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一硅片篩選裝置，屬于硅片加工技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
硅片生產(chǎn)過程中，由于多種因素，常有不合格產(chǎn)品，所以要對硅片進行篩選。現(xiàn)有 技術(shù)中，通常應(yīng)用托盤進行硅片篩選，由于加工后的硅片厚度較薄，體積小，因此，需要在托 盤上覆蓋黑色布料或黑皮，以方便進行硅片篩選，但由于布料或皮料容易產(chǎn)生細(xì)屑，影響硅 片的表面。為了解決上述技術(shù)問題，近來，出現(xiàn)了一種硅鋼片篩選裝置，該裝置包括盤體、支 架，所述盤體安裝在支架上，該盤體采用深色玻璃制作而成，該結(jié)構(gòu)的篩選裝置，雖然保證 了硅片的清潔度，但由于玻璃表面平滑，硅片容易粘附在上面，使用不方便；且玻璃容易損 壞。

實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種使用方便、結(jié)構(gòu)簡單的硅片篩選裝置。為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型一種硅片篩選裝置，包括盤體，支架，所述盤 體安裝在所述支架上，其中，所述盤體表面上設(shè)有涂層。上述一種硅片篩選裝置，其中，所述盤體邊緣設(shè)有擋邊。本實用新型可實現(xiàn)以下有益效果1、由于所述盤體表面上設(shè)有涂層，可防止硅片由于靜電而粘附在盤體上，從而，方 便了使用；另外，通過涂層保持硅片的清潔度，盤體的材料就可不受限制，可采用金屬材料 制成，避免損壞。2、由于盤體邊緣設(shè)有擋邊，可避免硅片掉落。
圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式

以下結(jié)合附圖對本實用新型作進一步說明。為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型一種硅片篩選裝置，包括盤體1，支架2，所述 盤體1安裝在所述支架2上，其中，所述盤體1表面上設(shè)有涂層3，由于所述盤體1表面上設(shè) 有涂層3，可防止硅片由于靜電而粘附在盤體1上，從而，方便了使用；另外，通過涂層3保 持硅片的清潔度，盤體1的材料就可不受限制，可采用金屬材料制成，避免損壞。為了防止 硅片掉落，可在所述盤體1邊緣設(shè)有擋邊11。綜上所述，本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有結(jié)構(gòu)簡單、使用方便的優(yōu)點。[0014] 這里本實用新型的描述和應(yīng)用是說明性的，并非想將本實用新型的范圍限制在上 述實施例中，因此，本實用新型不受本實施例的限制，任何采用等效替換取得的技術(shù)方案均 在本實用新型保護的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種硅片篩選裝置，包括盤體，支架，所述盤體安裝在所述支架上，其特征在于，所述 盤體表面上設(shè)有涂層。
2.如權(quán)利要求1所述一種硅片篩選裝置，其特征在于，所述盤體邊緣設(shè)有擋邊。
專利摘要本實用新型提供了一種硅片篩選裝置，包括盤體，支架，所述盤體安裝在所述支架上，其中，所述盤體表面上設(shè)有涂層，由于所述盤體表面上設(shè)有涂層，可防止硅片由于靜電而粘附在盤體上，從而，方便了使用；另外，通過涂層保持硅片的清潔度，盤體的材料就可不受限制，可采用金屬材料制成，避免損壞。
文檔編號H01L21/67GK201859859SQ20102058167
公開日2011年6月8日 申請日期2010年10月28日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月28日
發(fā)明者聶金根 申請人:鎮(zhèn)江市港南電子有限公司