專利名稱：晶圓生產(chǎn)設備的制程參數(shù)與設備參數(shù)快速分享裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種晶圓生產(chǎn)設備的制程參數(shù)與設備參數(shù)快速分享裝置，尤指一 種可以取代晶圓生產(chǎn)設備的工業(yè)計算機較老式的軟盤機與軟盤片，一旦晶圓生產(chǎn)設備的制 程參數(shù)與設備參數(shù)有必須快速存儲或分享的需要時，即可以快速大量地存儲及分享的晶圓 生產(chǎn)設備的制程參數(shù)與設備參數(shù)快速分享裝置。
技術背景晶圓制造是資本及技術密集的行業(yè)?，F(xiàn)代的點石成金，大約指的就是晶圓制造業(yè)。 然而，把硅原料變成IC芯片，中間需要有非常多的制程，如硅原料一還原一粗硅一精致一 高純度硅一單結晶形成一單結晶硅一切削刷洗一晶圓一氧化膜形成一感光劑涂布一干板 設計組合一曝光顯像一定影顯像一蝕刻溶解一高溫擴散離子注入一金屬蒸著一成形晶圓 —晶圓檢查一IC芯片一薄膜接合一電線接合一封固、封合一最終檢查一測試一制品等。就前述半導體生產(chǎn)制程而言，主要可分為前段晶圓制造與后段芯片封裝測試兩大 部分，前段晶圓制造包括氧化、微影、蝕刻、沉積、擴散、離子植入、金屬濺鍍等制程，生產(chǎn)設 備以制程分類結果如下(1)薄膜沉積制程包含PVD、CVD及氧化設備；(2)微影制程包含步進機、EB設備及顯影設備；(3)蝕刻制程包含濕式與干式蝕刻設備兩種；(4)離子植入制程包含離子植入設備、回火設備及擴散爐；(5)清洗設備包含干式清洗、濕式清洗及干燥設備；在半導體生產(chǎn)過程中，薄膜沉積、微影、擴散及蝕刻等生產(chǎn)步驟由于制程上的需 求，需要來回反復地進行，所以這幾種制程使用的設備屬于前段生產(chǎn)過程中的主制程設備； 半導體后段封裝制程，主要是進行晶圓制造完成后的封裝及測試，主要設備為晶圓切割、黏 晶、焊線、封膠與蓋印，完成以上封裝步驟后再由測試設備進行產(chǎn)品的電性測試。由于這些制程當中，牽涉了非常多材料的物理及化學的變化，及相關的機械設備， 因此，會影響到生產(chǎn)中的良率，尤其是導入新的制程或更精密細微的制程，不良率都會非常 高，使成本高居不下，需要非常多的時間一直不斷的改良，才可能將該不良率下降一定的比 率，才有真正的商業(yè)價值。當然，就上述的改良，由于需耗費許多的人力、物力、時間等，當良率提升時，相對 的經(jīng)驗值就非常的珍貴，因為該良率的提升，相對來說就等于是晶圓代工廠的成本降低，交 期加速，在晶圓代工廠間增加競爭的優(yōu)勢。而上述的改良，以名詞來說，又統(tǒng)稱為制程參數(shù)與設備參數(shù)，通常，每一個晶圓代 工廠，都會將自己的制程參數(shù)與設備參數(shù)視為最高機密，都會用最安全的方式保管相關參 數(shù)，以保障自己的機密與競爭力，避免外流，避免使自己花了許多的人力、物力、及時間得到 的參數(shù)變成競爭對手輕而易舉追上自己的武器。制程參數(shù)與設備參數(shù)，除了屬于最高機密外，通常晶圓代工廠也都會定時記錄各機臺一定時間內(nèi)所產(chǎn)生的參數(shù)，良率高的參數(shù)，可以作為同種機臺的參考，甚至可以復制同 種機臺直接改良不良率，良率低的參數(shù)，也可以作為修正及追蹤不良率產(chǎn)生源的數(shù)據(jù)，所以 前述參數(shù)復制與儲存，具有很高的重要性，因此，如何在高機密的要求下(如禁止使用因特 網(wǎng))，如何將需要定時備份的參數(shù)取出到中控人員備份、分析、到將最佳的參數(shù)分享給其它 機臺，這是急欲解決的問題。近年來，由于半導體科技的快速發(fā)達，使得晶圓的尺寸由早期的5時、6時、8時及 至目前的12時，而相對于該晶圓尺寸的增加亦即代表著芯片產(chǎn)能的提高及成本的降低，而 隨著不同的晶圓尺寸的發(fā)展，相對的便會具有用來制作該時代晶圓的生產(chǎn)設備，而該生產(chǎn) 小尺寸晶圓的生產(chǎn)設備的產(chǎn)能雖無法與大尺寸晶圓的生產(chǎn)設備比較，然而，由于兩者所生 產(chǎn)的芯片并無差別，而其差別僅在于產(chǎn)能上而已，因此基于成本及經(jīng)濟效益的考慮下，不可 能一次將舊有制作較小規(guī)格晶圓的生產(chǎn)設備完全淘汰掉，所以目前半導體產(chǎn)業(yè)雖已經(jīng)踏入 12時晶圓的領域中，但是業(yè)界中亦有相當多的8時晶圓生產(chǎn)設備仍投入于生產(chǎn)線之中，續(xù) 繼發(fā)揮其經(jīng)濟效益，但是由于設備廠商基于半導體技術發(fā)展速度快速、市場需求及成本的 考慮等種種理由，因此其大部份的人力及物力皆投入于新技術的開發(fā)和設計上，所以對于 舊有且即將淘汰的晶圓生產(chǎn)設備便大皆不再提供更新的服務，因此，該舊有機種的晶圓生 產(chǎn)設備通常會被利用至沒有經(jīng)濟效益而自然淘汰為止，而如何使該舊有機種的晶圓生產(chǎn)設 備于淘汰前發(fā)揮至最大的經(jīng)濟效益，以使獲取更大的利益，乃是業(yè)者急欲考慮的問題所在。由于一般舊有機種的晶圓生產(chǎn)設備不再具有被更新及升級等服務，所以其通常僅 只能使用舊規(guī)格的軟件及硬件，然而因計算機科技的軟、硬件的發(fā)展及更新速度非常快，因 此該舊規(guī)格的晶圓生產(chǎn)設備便會受到該無法升級的軟件及硬件的限制，而影響其生產(chǎn)效 能，尤其是硬件更是常會發(fā)生舊規(guī)格不再生產(chǎn)及市面上找不到的窘狀；再來，由于晶圓設備 的復雜性，晶圓制造機械對于所采購的零組件，為了讓晶圓制造機械質(zhì)量穩(wěn)定，幾乎都采全 認證措施，也就是讓所有使用于晶圓制造機械上的零組件，都能產(chǎn)生最高的功效，且不產(chǎn)生 相互干擾，讓所有晶圓制造機械的一切零組件，在其一定通訊協(xié)議下，完成晶圓制造機械最 高效率的工作，并符合晶圓廠高價購買的期待，并有3至5年保固，5至15年零件供應保證。如在嚴格的質(zhì)量要求及一定通訊協(xié)議下，晶圓生產(chǎn)設備的工業(yè)計算機規(guī)格都被嚴 格規(guī)范，例如，圖1及圖2所示，8時晶圓生產(chǎn)設備的控制系統(tǒng)皆被設計成SCSi傳輸接口，但 到今日，scsi傳輸接口設備非常難尋。但前面提過，由于嚴格的軟硬件認證制度及高度的機密，軟盤機在前述晶圓制造 設備成為重要的輸出入數(shù)據(jù)的設備，但軟盤機過小的容量(ι. 44MB)，即現(xiàn)今變?yōu)楹苈膬?存及讀取動作，且軟盤機是同時具有機械動作與電性動作的設備，容易損壞可想而知，軟盤 片又非常容易受潮損，可想而知發(fā)生了軟盤片受潮損壞及軟盤機機械損壞，情況會有多糟， 即使臨時要找scsi傳輸接口的軟盤機，原廠又可能因為過了 5至15年零件供應保證期，而 無法繼續(xù)提供，而軟盤機現(xiàn)在的計算機已不再使用，市面上要買到相同規(guī)格的更是困難，軟 盤機買不到，軟盤片也非常難取得，這個問題一直困擾著使用者。于是，為了儲存晶圓制造機械制程參數(shù)與設備參數(shù)，及軟盤機與軟盤片的現(xiàn)存缺 失，本發(fā)明人針對上述之問題而深入構思且積極研究，歷經(jīng)長期的努力改良試做而開發(fā)設 計出本實用新型。實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術問題是針對上述現(xiàn)有技術的不足，提供一種晶圓生 產(chǎn)設備的制程參數(shù)與設備參數(shù)快速分享裝置，可以取代晶圓生產(chǎn)設備的計算機較老式的軟 盤機與軟盤片，一旦晶圓生產(chǎn)設備的制程參數(shù)與設備參數(shù)有必須快速存儲或分享的需要 時，即可以快速大量地存儲及分享的晶圓生產(chǎn)設備的制程參數(shù)與設備參數(shù)快速分享裝置。為了解決上述技術問題，本實用新型所采用的技術方案是一種晶圓生產(chǎn)設備的 制程參數(shù)與設備參數(shù)快速分享裝置，其包括具有數(shù)據(jù)傳輸接口的計算機，其特點是還包括 接口轉(zhuǎn)換裝置、及隨插即用裝置，該接口轉(zhuǎn)換裝置包含虛擬模塊，并具有輸入端與輸出端， 該輸出端與所述數(shù)據(jù)傳輸接口連接，該輸入端與該隨插即用裝置連接，該隨插即用裝置供 媒體儲存或讀取數(shù)據(jù)。如此，因該裝置有虛擬模塊仿真軟盤機的動作，讓原來晶圓生產(chǎn)設備的工業(yè)計算 機仍然判別其為軟盤機，但其都是電性動作，遠比軟盤機復雜機械動作快速，更因數(shù)據(jù)傳輸 速度加快，更可節(jié)省參數(shù)上傳下載媒體的時間，使工作的效能大幅增加；因是利用現(xiàn)有的媒 體，因此不用擔心軟盤片受潮損壞及軟盤片過時而不易尋求的問題；由于媒體儲存空間比 先前的軟盤片加大許多，故更能滿足晶圓廠多部晶圓生產(chǎn)設備的工業(yè)計算機。

圖1是已知的8時晶圓生產(chǎn)設備的使用實施例。圖2是已知的局部放大圖。圖3是本實用新型的立體圖。圖4是本實用新型的系統(tǒng)方塊圖。圖5是本實用新型的接口轉(zhuǎn)換裝置的示意圖。圖6是本實用新型的接口轉(zhuǎn)換裝置另一面的示意圖。標號說明1計算機3接口轉(zhuǎn)換裝置32輸出端34程序語言5隨插即用裝置52USBP0RT6ISD63USB 隨身碟71軟盤片
具體實施方式
請參看圖3至圖6，為一種8時晶圓生產(chǎn)設備，其中該8時晶圓生產(chǎn)設備的計算機 1，具有數(shù)據(jù)傳輸接口 2，該數(shù)據(jù)傳輸接口是以scsi作為數(shù)據(jù)傳輸方式；一接口轉(zhuǎn)換裝置3， 其為USB數(shù)據(jù)傳輸接口轉(zhuǎn)scsi數(shù)據(jù)傳輸接口，該接口轉(zhuǎn)換裝置3具有輸入端31與輸出端 32，該輸入端31為usb傳輸接口，輸出端32為SCS i傳輸接口，該輸入端31連接隨插即用
2數(shù)據(jù)傳輸接口 31輸入端 33芯片 4虛擬模塊 51卡片閱讀機 6媒體 62CF 7軟盤機裝置5，輸出端32連接scsi數(shù)據(jù)傳輸接口 21，該接口轉(zhuǎn)換裝置3具有芯片33，并以程序語 言34編寫接口轉(zhuǎn)換的功能與虛擬模塊4的功能，該虛擬模塊4可仿真軟盤機的讀取動作； 該隨插即用裝置5連接于接口轉(zhuǎn)換裝置3，并連接于接口轉(zhuǎn)換裝置3的輸入端31，該隨插即 用裝置5為USB數(shù)據(jù)傳輸接口，與輸入端31接口相同，該隨插即用裝置5可為卡片閱讀機 51、或USBP0RT52，并供媒體6儲存或讀取數(shù)據(jù)，該媒體可為SD61、CF62、或當隨插即用裝置 為USBP0RT52時，該媒體為USB隨身碟63。于是，當媒體6插入隨插即用裝置5時，因接口轉(zhuǎn)換裝置3于其芯片33以程序語言 34編寫接口轉(zhuǎn)換裝置與虛擬模塊的功能，插入隨插即用裝置5時，先讀取媒體6的數(shù)據(jù)后， 虛擬模塊4仿真軟盤機的特性將讀取的數(shù)據(jù)形成為軟盤機讀取后的數(shù)據(jù)，并經(jīng)由接口轉(zhuǎn)換 裝置3將輸入USB傳輸接口數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為scsi數(shù)據(jù)傳輸接口輸出，因此，此數(shù)據(jù)即具有經(jīng)軟 盤機讀取，并具scsi數(shù)據(jù)傳輸接口輸出給計算機1，計算機1判讀為先前所使用的scsi數(shù) 據(jù)傳輸接口軟盤機，因而成功地取代已市售隨插即用裝置5與市售便宜、快速、大容量的媒 體6，(2009年，16G容量大小的SD、CF、USB隨身碟只要美金約30元)。如此，當晶圓生產(chǎn)設備的制程參數(shù)與設備參數(shù)有必須快速存儲或分享的需要時， 將媒體插入連接于晶圓生產(chǎn)設備計算機的隨插即用裝置，虛擬模塊即會仿真實體的軟盤機 動作，讀取欲存儲或分享的制程參數(shù)與設備參數(shù)，達成晶圓生產(chǎn)設備簡易更替及快速存儲 或分享制程參數(shù)與設備參數(shù)的目的。由于本實用新型具有上述結構，所以于實際實施使用上具有下列的諸多優(yōu)點1、因本實用新型有虛擬模塊仿真軟盤機的動作，讓原來晶圓生產(chǎn)設備的工業(yè)計算 機仍然判別其為軟盤機，但其都是電性動作，遠比軟盤機復雜機械動作快速，更因數(shù)據(jù)傳輸 速度加快，更可節(jié)省參數(shù)上傳下載媒體的時間，而使工作的效能大幅增加。2、由于本實用新型利用現(xiàn)有的媒體，因此不用擔心軟盤片受潮損壞及軟盤片過時 而不易尋求的問題。3、由于本實用新型媒體儲存空間比先前的軟盤片加大許多，故更能滿足晶圓廠多 部晶圓生產(chǎn)設備的工業(yè)計算機，因此不用像先前每部晶圓生產(chǎn)設備的工業(yè)計算機需為自己 準備一片到數(shù)片軟盤片，解決保管不易的問題。
權利要求一種晶圓生產(chǎn)設備的制程參數(shù)與設備參數(shù)快速分享裝置，其包括具有數(shù)據(jù)傳輸接口的計算機，其特征在于還包括接口轉(zhuǎn)換裝置、及隨插即用裝置，該接口轉(zhuǎn)換裝置包含虛擬模塊，并具有輸入端與輸出端，該輸出端與所述數(shù)據(jù)傳輸接口連接，該輸入端與該隨插即用裝置連接，該隨插即用裝置供媒體儲存或讀取數(shù)據(jù)。
2.如權利要求1所述的晶圓生產(chǎn)設備的制程參數(shù)與設備參數(shù)快速分享裝置，其特征在 于所述數(shù)據(jù)傳輸接口為scsi接口。
3.如權利要求1所述的晶圓生產(chǎn)設備的制程參數(shù)與設備參數(shù)快速分享裝置，其特征在 于所述接口轉(zhuǎn)換裝置為usb轉(zhuǎn)scsi接口的轉(zhuǎn)換裝置。
4.如權利要求3所述的晶圓生產(chǎn)設備的制程參數(shù)與設備參數(shù)快速分享裝置，其特征在 于所述輸入端為usb傳輸接口，輸出端為scsi傳輸接口。
5.如權利要求1所述的晶圓生產(chǎn)設備的制程參數(shù)與設備參數(shù)快速分享裝置，其特征在 于所述接口轉(zhuǎn)換裝置由芯片構成。
6.如權利要求5所述的晶圓生產(chǎn)設備的制程參數(shù)與設備參數(shù)快速分享裝置，其特征在 于所述虛擬模塊與接口轉(zhuǎn)換裝置共享芯片。
7.如權利要求1所述的晶圓生產(chǎn)設備的制程參數(shù)與設備參數(shù)快速分享裝置，其特征在 于所述虛擬模塊為仿真軟盤機模式。
8.如權利要求1所述的晶圓生產(chǎn)設備的制程參數(shù)與設備參數(shù)快速分享裝置，其特征在 于所述隨插即用裝置為卡片閱讀機。
9.如權利要求1所述的晶圓生產(chǎn)設備的制程參數(shù)與設備參數(shù)快速分享裝置，其特征在 于所述隨插即用裝置為USBP0RT。
10.如權利要求1所述的晶圓生產(chǎn)設備的制程參數(shù)與設備參數(shù)快速分享裝置，其特征 在于所述媒體為SD、CF、或USB隨身碟。
專利摘要一種晶圓生產(chǎn)設備的制程參數(shù)與設備參數(shù)快速分享裝置，其包括具有數(shù)據(jù)傳輸接口的計算機、接口轉(zhuǎn)換裝置及隨插即用裝置，該接口轉(zhuǎn)換裝置包含虛擬模塊，并具有輸入與輸出端，輸出端連接于該數(shù)據(jù)傳輸接口，輸入端連接于隨插即用裝置，并供媒體儲存或讀取數(shù)據(jù)。如此，當晶圓生產(chǎn)設備的制程參數(shù)與設備參數(shù)有必須快速存儲或分享的需要時，將媒體插入連接于晶圓生產(chǎn)設備計算機的隨插即用裝置，虛擬模塊即會仿真實體的軟盤機動作，讀取欲存儲或分享的制程參數(shù)與設備參數(shù)，達成晶圓生產(chǎn)設備簡易更替及快速存儲或分享制程參數(shù)與設備參數(shù)的目的。
文檔編號H01L21/00GK201655763SQ20102030253
公開日2010年11月24日 申請日期2010年2月8日 優(yōu)先權日2010年2月8日
發(fā)明者黃裕鴻 申請人:泉勝科技股份有限公司