專利名稱：可變電容裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及可變電容裝置，特別涉及具有可變電容元件的可變電容裝置，在該可 變電容元件中，多個(gè)電極隔著介電層而層壓。
背景技術(shù)：
過去，用于控制電壓和/或電流的可變電容元件用在各種電子裝置中。已經(jīng)提出 了各種技術(shù)以在這樣的可變電容元件中獲得更高性能的元件(例如參見日本專利公開第 2008-66682號、日本專利公開第2009-142043號以及日本專利公開第2009-16613號(下文 分別稱作專利文獻(xiàn)1、2和3))。專利文獻(xiàn)1提出了包括第一電容部的可變電容器，在該第一電容部中，隔著介電 體交替層壓多個(gè)第一電容電極和多個(gè)第一偏壓電極(控制電極)?？勺冸娙萜鬟€包括第二 電容部，在該第二電容部中，隔著介電體交替層壓多個(gè)第二電容電極和多個(gè)第二偏壓電極 (控制電極)。可變電容器還包括可變電容部，在該可變電容部中，第一偏壓電極和第二偏 壓電極隔著介電體彼此相對。在專利文獻(xiàn)1中，如上所述形成可變電容器，從而偏壓降低并 且電容變化率增大。專利文獻(xiàn)2提出了利用可變電容器控制輸入交流電功率的功率控制電路。在專利 文獻(xiàn)2的功率控制電路中，例如，隔著介電體而層壓多個(gè)電極，并且電極適當(dāng)連接到交流電 源2和控制電源3以獲得圖20所示的等效電路。在圖20示出的專利文獻(xiàn)2的功率控制電路850中，形成一對均包括2個(gè)彼此串 聯(lián)連接的可變電容器的串聯(lián)電路，每個(gè)串聯(lián)電路內(nèi)的2個(gè)電容器之間的連接點(diǎn)經(jīng)由外部端 子811和812連接到交流電源2。此外，在圖20示出的實(shí)例中，2個(gè)串聯(lián)電路經(jīng)由2個(gè)控制 端子813和814(外部端子)與控制電源3串聯(lián)連接。順便提及，一個(gè)控制端子813經(jīng)由 DC(直流電流)消除電阻821連接到控制電源3的正極，另一個(gè)控制端子814經(jīng)由DC消除 電阻822連接到控制電源3的負(fù)極。專利文獻(xiàn)3提出了在一個(gè)介電體中配置多個(gè)可變電容器從而減少外部端子等，且 實(shí)現(xiàn)小型化的技術(shù)。圖21A至圖21C示出了在專利文獻(xiàn)3中提出的電容器陣列的構(gòu)造的實(shí) 例。順便提及，圖21A是電容器陣列的示意性頂視圖，圖21B是電容器陣列的示意性底視圖， 以及圖21C是電容器陣列的側(cè)視圖。在圖21A至圖21C示出的實(shí)例中，在介電體901的頂面901a上形成4個(gè)上電極 902和分別連接到所述4個(gè)上電極902的4個(gè)上外部端子904(參見圖21A)。順便提及，這 4個(gè)上電極902和4個(gè)上外部端子904沿著電容器陣列的縱長方向以相等的間隔配置。此外，在介電體901的底面90Ib上形成4個(gè)下電極903和分別連接到4個(gè)下電極903的4個(gè)下外部端子905 (參見圖21B)。順便提及，各個(gè)下電極903配置在與相應(yīng)的上電 極902(形成在電解質(zhì)901的頂面901a上)相對應(yīng)的位置，并且介電體901介于下電極903 和上電極902之間。在圖21A和圖21C示出的實(shí)例中，在介電體901的頂面901a上形成的2個(gè)中央上 外部端子904通過上配線電極906彼此連接。此外，在圖21B的表面上，在介電體901的底 面901b上形成的左側(cè)的2個(gè)下外部端子905通過下配線電極907彼此連接，而在介電體 901的底面901b上形成的右側(cè)的2個(gè)下外部端子905通過下配線電極908彼此連接。通過 利用配線電極這樣連接各個(gè)外部端子，在4個(gè)上電極902和4個(gè)下電極903之間分別形成 的4個(gè)可變電容器彼此串聯(lián)連接(參見圖21C)。如圖21A至圖21C所示的構(gòu)造可以相對于電容器的數(shù)量而減少外部端子的數(shù)量， 并且提供以下效果。通過彼此串聯(lián)連接4個(gè)電容器，施加給每個(gè)可變電容器的交流電壓減 小，并且元件的耐受電壓特性提高。此外，根據(jù)交流電壓的全體元件的諸如電容和Q值(品 質(zhì)因數(shù))的特性變化減小。此外，當(dāng)外部端子之間的距離增加時(shí)，可以抑制端子之間的放 電。此外，由于多個(gè)電容器是統(tǒng)一制造的，所以可以減小每個(gè)可變電容器的特性變化。

發(fā)明內(nèi)容
如在上述專利文獻(xiàn)3中提出的可變電容裝置(電容器陣列)中，當(dāng)多個(gè)可變電容 器配置在一個(gè)介電體中且彼此串聯(lián)連接時(shí)，獲得上述各種優(yōu)點(diǎn)。然而，在如上述的專利文獻(xiàn)3中提出的構(gòu)造的可變電容裝置中，通過[裝置長度 DL-電極間隔g]/(同一表面上的元件數(shù)量)確定每個(gè)內(nèi)部電極的寬度d的最大值。即，在 如上所述的可變電容裝置中，當(dāng)確定可變電容裝置的裝置長度DL時(shí)，通過同一表面上形成 的內(nèi)部電極之間的間隔g和外部端子之間的空間確定電容的增大量或減小量(參見圖21A 至圖21C)。因此，當(dāng)如上述專利文獻(xiàn)3中提出的在可變電容裝置中增加包括在一個(gè)介電體中 的可變電容器的數(shù)量時(shí)，介電體每個(gè)面上的內(nèi)部電極和外部端子之間的空間變窄，且電容 增大或減小的范圍減小。即，例如，在一個(gè)可變電容裝置中的內(nèi)部電極或電容值的設(shè)計(jì)自由 度被限制。此外，當(dāng)介電體每個(gè)面上的內(nèi)部電極和外部端子之間的空間變窄時(shí)，介電體每個(gè) 面上的內(nèi)部電極之間和/或外部端子之間發(fā)生的寄生電容(圖21B和圖21C中通過虛線表 示的電容器)的影響增大。這種情況下，串?dāng)_增大。此外，當(dāng)包括在一個(gè)介電體中的可變電 容器的數(shù)量增加時(shí)，制造變化的影響增加，或制造本身變難。為了解決上面的問題，作出了本發(fā)明。還期望增加內(nèi)部電極和電容值的設(shè)計(jì)自由 度，例如，使制造容易，并且抑制上述通過彼此串聯(lián)連接多個(gè)可變電容電容器形成的可變電 容裝置中的寄生電容的影響。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式的可變電容裝置包括裝置體和至少3個(gè)控制端子。如下形成 每個(gè)構(gòu)件。裝置體具有多個(gè)介電層，這些介電層由根據(jù)外部施加的控制信號而改變電容的 介電材料形成，并且在預(yù)定方向上層壓；以及內(nèi)部電極部，其包括在每個(gè)介電層的兩個(gè)表面 中的每一個(gè)上形成的至少一個(gè)內(nèi)部電極。在裝置體中，通過多個(gè)介電層和內(nèi)部電極部形成 3個(gè)以上電容器，這3個(gè)以上電容器彼此串聯(lián)連接。至少3個(gè)控制端子被提供有控制信號，并且分別對于形成3個(gè)以上電容器中的至少2個(gè)電容器的至少3個(gè)內(nèi)部電極而配置。在根據(jù)本發(fā)明的上述實(shí)施方式的可變電容裝置中，彼此串聯(lián)連接的多個(gè)電容器形 成為在多個(gè)介電層中被分開。因此，本發(fā)明可以減少在介電層的同一表面上形成的內(nèi)部電 極的數(shù)量，并且進(jìn)一步增加用于增加或減少每個(gè)內(nèi)部電極的面積的空間。此外，在本發(fā)明 中，在裝置內(nèi)形成的3個(gè)以上電容器中的至少2個(gè)電容器用作可變電容電容器。于是，用于 增加或減少形成多個(gè)可變電容電容器的內(nèi)部電極的面積的空間增加，因此電容的變化量可 以設(shè)定在更寬的范圍內(nèi)。如上所述，在根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式的可變電容裝置中，可以增加用于增加或減少 在介電層的同一表面上形成的內(nèi)部電極的面積的空間。因此，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式，例如， 在可變電容裝置中，可以進(jìn)一步增加內(nèi)部電極和電容值的設(shè)計(jì)自由度，并且容易制造可變 電容裝置。此外，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式，內(nèi)部電極之間的距離增加，因此可以抑制在內(nèi)部電 極之間發(fā)生的寄生電容的影響。


圖IA和圖IB是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的可變電容裝置的總體構(gòu)造的示圖。圖2A、圖2B、圖2C、圖2D和圖2E是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的可變電容裝置中 的每個(gè)內(nèi)部電極的總體構(gòu)造的示圖。圖3是使用根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的可變電容裝置的電壓控制電路的總體 構(gòu)造的示圖。圖4是說明可變電容裝置中的電容設(shè)計(jì)的自由度的輔助示圖。圖5A和圖5B是根據(jù)第一修改例的可變電容裝置的總體構(gòu)造的示圖。圖6A、圖6B、圖6C、圖6D、圖6E和圖6F是根據(jù)第一修改例的可變電容裝置中的每 個(gè)內(nèi)部電極的總體構(gòu)造的示圖。圖7是使用根據(jù)第一修改例的可變電容裝置的電壓控制電路的總體構(gòu)造的示圖。圖8A和圖8B是根據(jù)第二修改例的可變電容裝置的總體構(gòu)造的示圖。圖9A、圖9B、圖9C、圖9D、圖9E和圖9F是根據(jù)第二修改例的可變電容裝置中的每 個(gè)內(nèi)部電極的總體構(gòu)造的示圖。圖10是使用根據(jù)第二修改例的可變電容裝置的電壓控制電路的總體構(gòu)造的示 圖。圖IlA和圖IlB是根據(jù)第三修改例的可變電容裝置的總體構(gòu)造的示圖。圖12A、圖12B、圖12C、圖12D、圖12E、圖12F和圖12G是根據(jù)第三修改例的可變電 容裝置中的每個(gè)內(nèi)部電極的總體構(gòu)造的示圖。圖13是使用根據(jù)第三修改例的可變電容裝置的電壓控制電路的總體構(gòu)造的示 圖。圖14A和圖14B是根據(jù)第四修改例的可變電容裝置的總體構(gòu)造的示圖。圖 15A、圖 15B、圖 15C、圖 15D、圖 15E、圖 15F、圖 15G、圖 15H、圖 151、圖 15J 和圖 15K是根據(jù)第四修改例的可變電容裝置中的每個(gè)內(nèi)部電極的總體構(gòu)造的示圖。圖16是使用根據(jù)第四修改例的可變電容裝置的電壓控制電路的總體構(gòu)造的示 圖。
圖17A和圖17B是根據(jù)第五修改例的可變電容裝置的總體構(gòu)造的示圖。圖18是根據(jù)第六修改例的可變電容裝置的總體構(gòu)造的示圖。圖19A和圖19B是根據(jù)第六修改例的可變電容裝置中的每個(gè)內(nèi)部電極的總體構(gòu)造 的示圖。圖20示出了過去的可變電容裝置的總體構(gòu)造的實(shí)例；以及圖21A、圖21B和圖21C示出了過去的可變電容裝置的總體構(gòu)造的另一實(shí)例。
具體實(shí)施例方式下文將參照附圖以下列順序描述根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式的可變電容裝置的構(gòu)造的 實(shí)例。注意，本發(fā)明不限于下列實(shí)例。1.根據(jù)本發(fā)明的可變電容裝置的基本構(gòu)成的實(shí)例2.各種修改例<1.根據(jù)本發(fā)明的可變電容裝置的基本構(gòu)成的實(shí)例〉[可變電容裝置的構(gòu)成]圖IA和圖IB示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式的可變電容裝置的構(gòu)成。圖IA 是根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容裝置的示意性頂視圖，以及圖IB是沿著圖IA的A-A線截取 的截面圖。根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容裝置1包括裝置體10和5個(gè)外部端子31至35 (下文 分別稱作第一至第五外部端子)?？梢酝ㄟ^具有矩形頂面IOa的長方體構(gòu)件來形成裝置體 10。在本實(shí)施方式中，在裝置體10的頂面IOa的一個(gè)短邊(圖IA中右側(cè))側(cè)面上形 成第一外部端子31，在裝置體10的頂面IOa的另一個(gè)短邊側(cè)面上形成第五外部端子35。此外，在本實(shí)施方式中，在裝置體10的頂面IOa的一個(gè)長邊(圖IA中下側(cè))側(cè)面 上，沿著長邊的方向以彼此間隔預(yù)定的距離的狀態(tài)形成第二外部端子32和第四外部端子 34(控制端子)。順便提及，在裝置體10的頂面IOa的一個(gè)長邊側(cè)面上，在第一外部端子31 側(cè)形成第二外部端子32，在裝置體10的頂面IOa的一個(gè)長邊側(cè)面上，在第五外部端子35側(cè) 形成第四外部端子34。在裝置體10的頂面IOa的另一個(gè)長邊(圖IA中上側(cè))側(cè)面上形成 第三外部端子33 (控制端子)，其基本設(shè)置在長邊方向的中央部分。如圖IB所示，裝置體10包括6個(gè)介電層11至16和5個(gè)內(nèi)部電極(內(nèi)部電極 部)21至25。順便提及，為描述方便，介電層11至14、15和16在下文將適當(dāng)?shù)乇环謩e稱作 第一至第四介電層、下介電層和上介電層，內(nèi)部電極21至25在下文將適當(dāng)?shù)乇环謩e稱作第 一至第五電極。通過在下介電層15上依次層壓第五電極25、第四介電層14、第四電極對、第三介 電層13、第三電極23、第二介電層12、第二電極22、第一介電層11和第一電極21而形成裝 置體10。然后，在第一電極21上層壓上介電層16。此外，在本實(shí)施方式中，第一至第五電 極21至25分別連接到第一至第五外部端子31至35。如上所述形成的第一至第四介電層11至14分別具有在其中形成的電容Cl至C4 的電容器41至44 (下文分別稱作第一至第四電容器)。即，在根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容 裝置中，在每個(gè)介電層(總共4個(gè)電容器)中設(shè)置一個(gè)電容器，這些電容器彼此串聯(lián)連接，并且為每個(gè)內(nèi)部電極設(shè)置一個(gè)外部端子。在本實(shí)施方式中，分別在第二介電層12和第三介電層13內(nèi)形成的第二電容器42 和第三電容器43用作可變電容電容器。分別在第一介電層11和第四介電層14內(nèi)形成的 第一電容器41和第四電容器44用作DC消除電容器(用于消除直流電流的固定電容電容 器)。順便提及，本發(fā)明不限于此。在可變電容裝置1內(nèi)形成的4個(gè)電容器可以全部用作可 變電容電容器。將在稍后描述的第二修改例中描述這種結(jié)構(gòu)的實(shí)例。接下來將描述每個(gè)介電層的構(gòu)造。例如，每個(gè)介電層的形成有內(nèi)部電極的表面的 形狀是矩形，矩形的長邊與短邊的比例可以是2 1。假設(shè)在本實(shí)施方式中第一至第四介電層11至14具有相同的厚度(例如大約 2ym)。然而，本發(fā)明不限于此。例如，第一至第四介電層11至14的厚度可以根據(jù)使用或 所需的電容適當(dāng)設(shè)定。例如，可以第一至第四介電層11至14的厚度各不相同，或可以僅第 一至第四介電層11至14中的一部分改變厚度。此外，下介電層15和上介電層16的厚度 可以根據(jù)使用情況適當(dāng)?shù)卦O(shè)定。在本實(shí)施方式中，第一至第四介電層11至14、下介電層15和上介電層16由相同 的介電材料形成。順便提及，本發(fā)明不限于此。用于形成每個(gè)介電層的材料可以改變。然 而，從制造容易的觀點(diǎn)考慮，期望所有的介電層由相同的介電材料形成。此外，由于在根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容裝置1內(nèi)形成的4個(gè)電容器中的至少2 個(gè)用作可變電容電容器，所以每個(gè)介電層由相對介電常數(shù)超過1000的鐵電材料形成。通過 形成由這樣的鐵電材料構(gòu)成的各介電層，每個(gè)介電層的電容可以根據(jù)外部施加的控制信號 改變。表現(xiàn)離子極化的鐵電材料可以用作這樣的鐵電材料。表現(xiàn)離子極化的鐵電材料由 離子晶體材料形成，并且是作為正離子和負(fù)離子原子位移的結(jié)果而被電極化的鐵電材料。 通常，假設(shè)2種預(yù)定元素是A和B，表現(xiàn)離子極化的鐵電材料通過化學(xué)分子式ABO3 (0是氧元 素)表示，具有鈣鈦礦結(jié)構(gòu)。這樣的鐵電材料包括鈦酸鋇(BaTiO3)、鈮酸鉀(KNbO3)和鈦酸 鉛(PbTiO3)。此外，通過混合鈦酸鉛(PbTiO3)和鋯酸鉛(PbZrO3)獲得的PZT(鋯鈦酸鉛) 可以用作鐵電材料。此外，表現(xiàn)電子極化的鐵電材料可以用作鐵電材料。在這樣的鐵電材料中，電偶 極矩發(fā)生，鐵電材料被分為正電荷占主導(dǎo)的部分和負(fù)電荷占主導(dǎo)的部分，并發(fā)生極化。通 過形成狗2+電荷面和!^3+電荷面而形成極化、且表現(xiàn)鐵電特性的稀土類鐵氧化物在過去 作為這樣的材料而被報(bào)道過。在這個(gè)體系中，使RE為稀土元素、TM為鐵族元素，通過分子 式(RE) · (TM)2 · O4(0:氧元素)表示的材料被報(bào)道具有高介電常數(shù)。順便提及，稀土元素 包括Y、Er、Yb和Lu (特別是Y和重稀土元素)，鐵族元素包括Fe、Co和Ni (特別是Fe)。 (RE) · (TM)2 · O4包括Erfe2CV Lui^e2O4和YFe2O415具有各向異性的鐵電材料也可以用作鐵 電材料。接下來將描述每個(gè)內(nèi)部電極的構(gòu)造。圖2A至圖2E分別示出第一至第五電極21 至25的總體構(gòu)造。順便提及，圖2A至圖2E是在各對應(yīng)的介電層上形成的第一至第五電極 21至25的示意性頂視圖。在本實(shí)施方式中，如圖2A至2E所示，第一至第五電極21至25的表面全部具有矩 形形狀。然而，每個(gè)內(nèi)部電極的表面形狀不限于該實(shí)例中的形狀，而可以根據(jù)外部端子的配置形式和裝置體10的形狀而適當(dāng)改變。如圖2A所示，第一電極21沿著第一介電層11的縱長方向形成，以從第一介電層 11的一個(gè)短邊的附近延伸到第一介電層11的另一個(gè)短邊的附近。第一電極21的一個(gè)短邊 端部連接到第一外部端子31。如圖2B所示，第二電極22沿著第二介電層12的橫向方向形成，以從第二介電層 12的一個(gè)長邊的附近延伸到第二介電層12的另一個(gè)長邊的附近。第二電極22的一個(gè)短邊 端部連接到第二外部端子32。如圖2C所示，第三電極23沿著第三介電層13的縱長方向形成，以從第三介電層 13的一個(gè)短邊的附近延伸到第三介電層13的另一個(gè)短邊的附近。第三電極23的一個(gè)長邊 的一部分(中央部分)連接到第三外部端子33。如圖2D所示，第四電極M沿著第四介電層14的橫向方向形成，以從第四介電層 14的一個(gè)長邊的附近延伸到第四介電層14的另一個(gè)長邊的附近。第四電極對的一個(gè)短邊 端部連接到第四外部端子34。如圖2E所示，第五電極25沿著下介電層15的縱長方向形成，以從下介電層15的 一個(gè)短邊的附近延伸到下介電層15的另一個(gè)短邊的附近。第五電極25的一個(gè)短邊端部連 接到第五外部端子35。順便提及，為了在每個(gè)介電層中形成電容器，在這樣的位置處設(shè)置各個(gè)內(nèi)部電極， 使得在內(nèi)部電極和相鄰的內(nèi)部電極之間形成相對區(qū)域，介電層介于這些內(nèi)部電極之間。此 外，每個(gè)內(nèi)部電極的構(gòu)造(例如，形狀和尺寸)不限于圖2A至圖2E所示的實(shí)例，而可以考慮 到使用或所需的電容而適當(dāng)設(shè)定。通過根據(jù)上述的本實(shí)施方式的可變電容裝置1的結(jié)構(gòu)， 通過第二電極22和第四電極M的面積來確定在每個(gè)介電層中形成的電容器的電容。例如，第一至第五電極21至25通過使用包含金屬細(xì)粉末(Pd、Pd/Ag、Ni等)的導(dǎo) 電漿料形成。因此，可以減少可變電容裝置1的制造成本。順便提及，在本實(shí)施方式中，第 一至第五電極21至25由相同的材料形成。然而，本發(fā)明不限于此。例如，第一至第五電極 21至25可以根據(jù)使用由彼此不同的材料形成。如上所述，在本實(shí)施方式中，在一個(gè)介電層的上表面和下表面(兩面)上均形成一 個(gè)內(nèi)部電極(內(nèi)部電極部)。因此，獲得以下效果。(1)內(nèi)部電極的電極面積可以增加至可變電容裝置1的尺寸(介電層的表面面 積)。即，本實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)可以增加每個(gè)內(nèi)部電極的面積的可變范圍。更具體地，與如圖 21A至圖21C所示的具有在一個(gè)介電體中配置4個(gè)電容器的結(jié)構(gòu)的可變電容裝置相比較，內(nèi) 部電極的面積可以增加為約4倍以上。(2)內(nèi)部電極之間的寄生電容可以大大減小。(3)由于可以使每層的內(nèi)部電極的電極面積更大，所以內(nèi)部電極容易設(shè)計(jì)和制造。此外，通過根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容裝置1的結(jié)構(gòu)，如上所述，DC消除電容器易 于集成到可變電容裝置1中，并且可以彼此獨(dú)立地設(shè)計(jì)DC消除電容器和可變電容電容器的 構(gòu)造(例如電極面積和層壓層的數(shù)量)。因此，根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容裝置1還可以增 加電極和電容值的設(shè)計(jì)自由度。此外，由此可以低成本并且容易地制造具有各種電容的可 變電容裝置，并且可以提供具有各種電容的可變電容裝置廣泛的選擇。[可變電容裝置的制造方法]
接下來將簡要描述根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容裝置1的制造方法的實(shí)例。首先， 制備由上述的介電體材料形成的片構(gòu)件(例如，具有大約2.5μπι的厚度)。順便提及，這個(gè) 片構(gòu)件將成為上述的第一至第四介電層11至14和下介電層15中的一個(gè)。接下來，通過將PcUPdAg或Ni的金屬細(xì)粉末制造為漿料來制備導(dǎo)電漿料。然后， 通過經(jīng)由在其中具有對應(yīng)于內(nèi)部電極的形狀(矩形)的開口的掩模利用導(dǎo)電漿料涂覆(絲 網(wǎng)印刷等)片構(gòu)件的一個(gè)表面而形成內(nèi)部電極。在本實(shí)施方式中，制造具有在一個(gè)表面上 形成的內(nèi)部電極的總共5個(gè)片構(gòu)件(下文稱作具有電極的片構(gòu)件)。接下來，將如上所述制備的5個(gè)具有電極的片構(gòu)件以預(yù)定順序?qū)訅海越惶媾渲?內(nèi)部電極和片構(gòu)件。這時(shí)，層壓具有電極的片構(gòu)件，使得以圖2Α至圖2Ε所示的形式配置內(nèi) 部電極。接下來，在電極暴露的一側(cè)的表面層壓其上未形成內(nèi)部電極的片構(gòu)件，該片構(gòu)件獨(dú) 立制備。該獨(dú)立制備的片構(gòu)件成為上介電層16。接下來，層壓的構(gòu)件彼此熱壓結(jié)合。然后，熱壓結(jié)合的構(gòu)件在還原性氣氛中高溫?zé)?制，從而片構(gòu)件和導(dǎo)電漿料層(內(nèi)部電極)彼此一體化制成。由此制造了裝置體10。然后，在裝置體10側(cè)面上的預(yù)定位置處附有第一至第五外部端子31至35。在本 實(shí)施方式中，由此制造了可變電容裝置1。[電壓控制電路的構(gòu)造實(shí)例]接下來將描述使用根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容裝置1的電壓控制電路的實(shí)例。圖 3示出了電壓控制電路的電路構(gòu)造。圖3示出的電壓控制電路50例如設(shè)置在交流電源2和 諸如整流電路的電路(未示出)之間，其將從交流電源2輸入至諸如整流電路的電路的交 流電壓(輸入信號)調(diào)節(jié)至預(yù)定電壓值。順便提及，圖3中的端子31至35分別對應(yīng)于圖 IA中的可變電容裝置1的第一至第五外部端子31至35。電壓控制電路50包括根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容裝置1和3個(gè)DC消除電阻52 至54。根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容裝置1通過圖3所示的等效電路表示，在該等效電路中， 第一至第四電容器41至44以該順序彼此串聯(lián)連接。在本實(shí)施方式中，如上所述，第二電容器42和第三電容器43用作可變電容電容 器，第一電容器41和第四電容器44用作DC消除電容器。因此，可變電容裝置1的第一外 部端子31連接到交流電源2的一個(gè)輸出端子，可變電容裝置1的第五外部端子35連接到 交流電源2的另一個(gè)輸出端子。g卩，第一至第四電容器41至44的串聯(lián)電路與交流電源2 并聯(lián)。順便提及，盡管在圖3中沒有示出，被提供有來自交流電源2的信號的諸如整流電路 等的電路并聯(lián)在可變電容裝置1的第一外部端子31和第五外部端子35之間?？勺冸娙菅b置1的第二外部端子32和第四外部端子34分別經(jīng)由DC消除電阻52 和M連接到控制電源3的正極端子。第三外部端子33經(jīng)由DC消除電阻53連接到控制電 源3的負(fù)極端子。即，在本實(shí)施方式中，控制電源3與第二電容器42和第三電容器43均并 聯(lián)。通過從控制電源3輸入的直流信號(控制信號)調(diào)節(jié)第二電容器42的電容C2和第三 電容器43的電容C3。順便提及，用作DC消除電容器的第一電容器41和第四電容器44和3個(gè)DC消除 電阻52至M被設(shè)置用來抑制從控制電源3流動(dòng)的直流偏流和來自交流電源2的交流電流 之間的干擾的影響。順便提及，在本實(shí)施方式中，可以使用DC消除電感器(線圈)代替DC 消除電阻。
在本實(shí)施方式中，已描述了從控制電源3獲得控制信號(控制電壓)的實(shí)例。然 而，本發(fā)明不限于此。例如，通過電阻分割方法從諸如整流電路的電路(未示出)輸出的直 流電壓提取所期望的控制電壓。此外，在本實(shí)施方式中，已描述了可變電容裝置1不包括DC消除電阻52至M的 實(shí)例。然而，本發(fā)明不限于此?？勺冸娙菅b置1可以包括DC消除電阻52至M。[電容設(shè)計(jì)自由度的比較]如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容裝置1還可以增加電容設(shè)計(jì)的自由度。下 面將描述這種效果的評價(jià)實(shí)例。每一介電層的電容c與介電層的數(shù)目k的組合[c，k]將在 下面用作評價(jià)電容設(shè)計(jì)的自由度的指標(biāo)。在一個(gè)預(yù)定尺寸的可變電容裝置中，兩個(gè)參數(shù)的 組合[C，k]的數(shù)目越大，電容設(shè)計(jì)的自由度越高。圖4示出了根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容裝置的電容設(shè)計(jì)的自由度與圖21A至21C 示出的現(xiàn)有的可變電容裝置(比較例)的電容設(shè)計(jì)的自由度之間的比較結(jié)果。圖4的表示 出了稍后將描述的當(dāng)每一介電層(其中在可變電容裝置內(nèi)形成電容器)的電容c(相對值)
與介電層的數(shù)目k的組合[c，k]改變時(shí)，可等效形成在可變電容裝置內(nèi)的基準(zhǔn)電容器的數(shù) 目。下面將更具體地描述查看圖4的表的方法。假設(shè)圖4的實(shí)例中每一介電層的電容 c與介電層的數(shù)目k的組合[c，k] = [1,1]是基準(zhǔn)電容器。在圖4的表中的每一介電層的 電容c與介電層的數(shù)目k的組合[c，k]欄中記載的數(shù)值是通過將兩參數(shù)相乘(cXk)獲得 的值。通過將兩參數(shù)相乘(cXk)所獲得的值對應(yīng)于可以等效形成在一個(gè)可變電容裝置內(nèi) 的基準(zhǔn)電容器的數(shù)目。例如，圖1示出的根據(jù)上述實(shí)施方式的可變電容裝置1對應(yīng)于圖4的表中每一介 電層的電容c與介電層的數(shù)目k的組合[c，k] = [1,4]的欄。該欄的數(shù)值是“4”，表示4個(gè) 基準(zhǔn)電容器([c，k] = [1,1]的電容器)可以等效形成在根據(jù)上述實(shí)施方式的可變電容裝 置1中。將考慮設(shè)計(jì)可變電容裝置的一種情況，其中，通過在前述實(shí)施方式中描述的可變 電容裝置1中在一個(gè)介電層中形成一個(gè)電容器的結(jié)構(gòu)(本發(fā)明)，可以形成3至30個(gè)基準(zhǔn) 電容器。順便提及，通過根據(jù)本實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)，可以通過改變每個(gè)內(nèi)部電極的面積而改變 每一介電層的電容c。此外，假設(shè)這樣的情況，即裝置的表面尺寸是基準(zhǔn)電容器的電極的大 約15倍的面積，S卩，允許每一介電層最多形成大約15個(gè)基準(zhǔn)電容器的尺寸。此外，假設(shè)圖 4實(shí)例中，介電層的數(shù)目k的最大值是5。在如上所述的尺寸約束下，根據(jù)本發(fā)明前述實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)允許的范圍是 被圖4的表中的粗框包圍的區(qū)域60。這種情況下，不能設(shè)計(jì)出對應(yīng)于基準(zhǔn)電容器的數(shù)目 (c Xk) = 17,19,23以及四(總共4種)的可變電容裝置。還考慮設(shè)計(jì)可變電容裝置的另一種情況，其中通過參照圖21A至23C描述的現(xiàn)有 的可變電容裝置(比較例)的結(jié)構(gòu)可以形成3至30個(gè)基準(zhǔn)電容器。然而，假設(shè)根據(jù)比較例 等的裝置的諸如表面尺寸的約束等類似于評價(jià)本發(fā)明的情況的約束。通過根據(jù)比較例的內(nèi)部電極的結(jié)構(gòu)，可以通過在介電層的相同表面上形成的內(nèi)部 電極的數(shù)目改變每一介電層的電容C。然而，根據(jù)比較例的結(jié)構(gòu)需要在內(nèi)部電極之間設(shè)置一 定的空間以防止內(nèi)部電極之間的寄生電容。
因此，當(dāng)比較例的裝置尺寸與上述的本發(fā)明的評價(jià)尺寸相同時(shí)，可以在比較例中 的一個(gè)介電層中形成的基準(zhǔn)電容器的最大數(shù)目大約是6。因此，通過根據(jù)比較例的結(jié)構(gòu)，在 圖4的表中的陰影區(qū)域70是每一介電層的電容c與介電層的數(shù)目k的組合[c，k]的設(shè)計(jì) 允許范圍。在這種情況下，不能設(shè)計(jì)出對應(yīng)于基準(zhǔn)電容器的數(shù)目(cXk) =7、11、13、14、17、 19、21至23和沈至四(總共13種)的可變電容裝置。從圖4的比較結(jié)果可清楚看出，根據(jù)本發(fā)明的前述實(shí)施方式的可變電容裝置中的 每一介電層的電容c與介電層的數(shù)目k的組合[c，k]的設(shè)計(jì)范圍寬于現(xiàn)有的可變電容裝 置。即，根據(jù)本發(fā)明的前述實(shí)施方式的可變電容裝置與現(xiàn)有的可變電容裝置相比較可以增 加電容設(shè)計(jì)的自由度。<2.各種修改例>在前述的實(shí)施方式中描述了這樣一個(gè)實(shí)例，其中在可變電容裝置1內(nèi)彼此串聯(lián)連 接4個(gè)電容器，在這些電容器中兩端的電容器用作DC消除電容器，其余2個(gè)電容器用作可 變電容電容器。然而，本發(fā)明不限于此。例如，可以根據(jù)使用情況、需要的電容等適當(dāng)改變 彼此串聯(lián)連接的電容器的數(shù)量(層壓的介電層的數(shù)量)、可變電容裝置內(nèi)的可變電容電容 器的數(shù)量等。將在下面描述各種修改例。[第一修改例]在第一修改例中，將描述在可變電容裝置內(nèi)彼此串聯(lián)連接5個(gè)電容器的結(jié)構(gòu)的實(shí) 例。圖5A和圖5B示出了根據(jù)第一修改例的可變電容裝置的總體構(gòu)造。順便提及，圖5A是 根據(jù)第一修改例的可變電容裝置的示意性頂視圖，圖5B是沿著圖5A的B-B線截取的截面 圖。根據(jù)第一修改例的可變電容裝置100包括裝置體110和6個(gè)外部端子131至 136(下文分別稱作第一至第六外部端子)。如前述實(shí)施方式，可以通過具有矩形頂面IlOa 的長方體構(gòu)件形成裝置體110。在裝置體110的頂面IlOa的一個(gè)短邊(圖5A中右側(cè))的側(cè)面上形成第一外部端 子131，在裝置體110的頂面IlOa的另一個(gè)短邊(圖5A中左側(cè))的側(cè)面上形成第六外部端 子 136。在裝置體110的頂面IlOa的一個(gè)長邊(圖5A中上側(cè))的側(cè)面上，沿著長邊方向 以預(yù)定的距離彼此分離的狀態(tài)形成第三外部端子133和第五外部端子135。順便提及，在 裝置體110的頂面IlOa的一個(gè)長邊的側(cè)面上，分別在第一外部端子131側(cè)和第六外部端子 136側(cè)形成第三外部端子133和第五外部端子135。在裝置體110的頂面IlOa的另一個(gè)長邊(圖5A中下側(cè))的側(cè)面上，沿著長邊方 向以預(yù)定的距離彼此分離的狀態(tài)形成第二外部端子132和第四外部端子134。順便提及，在 裝置體110的頂面IlOa的另一個(gè)長邊的側(cè)面上，分別在第一外部端子131側(cè)和第六外部端 子136側(cè)形成第二外部端子132和第四外部端子134。如圖5B所示，裝置體110包括7個(gè)介電層111至117 (在下文分別被稱作第一至 第五介電層、下介電層和上介電層)和6個(gè)內(nèi)部電極121至1 (在下文分別被稱作第一至 第六電極)。通過在下介電層116上依次層壓第六電極126、第五介電層115、第五電極125、第 四介電層114、第四電極124、第三介電層113和第三電極123而形成裝置體110。此外，通過在第三電極123上依次層壓第二介電層112、第二電極122、第一介電層111、第一電極121 和上介電層117而形成裝置體110。在該實(shí)例中，第一至第六電極121至1 分別連接到第 一至第六外部端子131至136。接下來將描述每個(gè)內(nèi)部電極的構(gòu)造。圖6A至圖6F分別示出了第一至第六電極 121至1 的總體構(gòu)造。順便提及，圖6A至圖6F是在各相應(yīng)的介電層上形成的第一至第六 電極121至126的示意性頂視圖。在該實(shí)例中，如圖6A至圖6F所示，第一至第六電極121至126的表面全部具有矩 形形狀。順便提及，每個(gè)內(nèi)部電極的表面形狀不限于該實(shí)例中的形狀，而可以根據(jù)外部端子 的配置形式和裝置體110的形狀而適當(dāng)改變。如圖6A所示，第一電極121沿著第一介電層111的縱長方向形成，以從第一介電 層111的一個(gè)短邊的附近延伸到第一介電層111的另一個(gè)短邊的附近。第一電極121的一 個(gè)短邊端部連接到第一外部端子131。如圖6B所示，第二電極122沿著第二介電層112的橫向方向形成，以從第二介電 層112的一個(gè)長邊的附近延伸到第二介電層112的另一個(gè)長邊的附近。第二電極122的一 個(gè)短邊端部連接到第二外部端子132。如圖6C所示，第三電極123沿著第三介電層113的縱長方向形成，以從第三介電 層113的一個(gè)短邊的附近延伸到第三介電層113的另一個(gè)短邊的附近。第三電極123的一 個(gè)長邊(圖6C中上長邊)的一個(gè)短邊側(cè)(圖6C中右側(cè))的部分連接到第三外部端子133。如圖6D所示，第四電極IM沿著第四介電層114的橫向方向形成，以從第四介電 層114的一個(gè)長邊的附近延伸到第四介電層114的另一個(gè)長邊的附近。第四電極124的一 個(gè)短邊端部連接到第四外部端子134。如圖6E所示，第五電極125沿著第五介電層115的橫向方向形成，以從第五介電 層115的一個(gè)長邊的附近延伸到第五介電層115的另一個(gè)長邊的附近。第五電極125的一 個(gè)短邊端部連接到第五外部端子135。如圖6F所示，第六電極1 沿著下介電層116的縱長方向形成，以從下介電層116 的一個(gè)短邊的附近延伸到下介電層116的另一個(gè)短邊的附近。第六電極126的一個(gè)短邊端 部連接到第六外部端子136。順便提及，為了在每個(gè)介電層中形成電容器，在這樣的位置處設(shè)置每個(gè)內(nèi)部電極， 使得在內(nèi)部電極和相鄰的內(nèi)部電極之間形成相對區(qū)域，介電層介于這些內(nèi)部電極之間。順 便提及，可以以類似于前述實(shí)施方式的方式制造該實(shí)例中的可變電容裝置100。如上所述形成的第一至第五介電層111至115在其中形成有各電容Cl至C5的電 容器141至145(下文分別稱作第一至第五電容器)。即，在該實(shí)例的可變電容裝置100中， 在每個(gè)介電層(總共5個(gè)電容器)中設(shè)置一個(gè)電容器，這些電容器彼此串聯(lián)連接，并且還為 每個(gè)內(nèi)部電極設(shè)置一個(gè)外部端子。順便提及，通過該實(shí)例中可變電容裝置100的結(jié)構(gòu)，通過 第二電極122、第四電極IM和第五電極125的面積確定在每個(gè)介電層中形成的電容器的電 容。在該實(shí)例中，分別在第二至第四介電層112至114內(nèi)形成的第二至第四電容器142 至144用作可變電容電容器。分別在第一介電層111和第五介電層115內(nèi)形成的第一電容 器141和第五電容器145用作DC消除電容器。
順便提及，可以類似于在前述實(shí)施方式中使用的介電層的結(jié)構(gòu)來構(gòu)造每個(gè)介電層 的結(jié)構(gòu)(例如形成材料、表面形狀和尺寸、以及厚度)。此外，每個(gè)內(nèi)部電極的結(jié)構(gòu)(例如形 狀和尺寸)不限于圖6A至圖6F所示的實(shí)例，可以考慮到使用或所需的電容而適當(dāng)設(shè)定。如上所述，在該實(shí)例中，如前述實(shí)施方式，也在一個(gè)介電層的上表面和下表面中的 每一個(gè)上形成一個(gè)內(nèi)部電極。因此，如前述實(shí)施方式，該實(shí)例中的可變電容裝置100還可以 增加可變電容裝置設(shè)計(jì)的自由度，使其容易制造，并且抑制在內(nèi)部電極之間發(fā)生的寄生電 容的影響。圖7示出了使用該實(shí)例中的可變電容裝置100的電壓控制電路的構(gòu)造的實(shí)例。順 便提及，圖7中的端子131至136分別對應(yīng)于圖5A中的可變電容裝置100的第一至第六外 部端子131至136。該實(shí)例中的電壓控制電路150包括可變電容裝置100和4個(gè)DC消除電阻152至 155。根據(jù)該實(shí)例的可變電容裝置100通過第一至第五電容器141至145以該順序彼此串 聯(lián)連接的等效電路來表示。如上所述，在該實(shí)例中，第二至第四電容器142至144用作可變電容電容器，第一 電容器141和第五電容器145用作DC消除電容器。因此，在該實(shí)例中，可變電容裝置100 的第一外部端子131連接到交流電源2的一個(gè)輸出端子，可變電容裝置100的第六外部端 子136連接到交流電源2的另一個(gè)輸出端子。g卩，第一至第五電容器141至145的串聯(lián)電 路與交流電源2并聯(lián)連接。此外，該實(shí)例中的第二外部端子132和第四外部端子134分別經(jīng)由DC消除電阻 152和巧4連接到控制電源3的正極端子。此外，第三外部端子133和第五外部端子135分 別經(jīng)由DC消除電阻153和155連接到控制電源3的負(fù)極端子。即，在本實(shí)例中，控制電源 3與第二至第四電容器142至144都并聯(lián)連接。該實(shí)例中的電壓控制電路150通過從控制電源3輸入的控制電壓改變第二至第四 電容器142至144的各電容，并且將從交流電源2輸入至諸如整流電路的電路(未示出) 的交流電壓調(diào)節(jié)至預(yù)定電壓值。順便提及，在該實(shí)例中，描述了可變電容裝置100不包括DC消除電阻152至155 的實(shí)例。然而，本發(fā)明不限于此?？勺冸娙菅b置100可以包括DC消除電阻152至155。此 外，在該實(shí)例中，可以使用DC消除電感器來代替DC消除電阻。[第二修改例]在第二修改例中，將描述在可變電容裝置內(nèi)彼此串聯(lián)連接5個(gè)電容器的結(jié)構(gòu)的另 一實(shí)例。圖8A和圖8B示出了根據(jù)第二修改例的可變電容裝置的總體構(gòu)造。順便提及，圖 8A是根據(jù)第二修改例的可變電容裝置的示意性頂視圖，圖8B是沿著圖8A的C-C線截取的 截面圖。根據(jù)第二修改例的可變電容裝置200包括裝置體210和6個(gè)外部端子231至 236(下文分別稱作第一至第六外部端子)。如前述實(shí)施方式，可以通過具有矩形頂面210a 的長方體構(gòu)件形成裝置體210。在裝置體210的頂面210a的一個(gè)長邊(圖8A中上側(cè))側(cè)面上形成第一外部端子 231、第三外部端子233和第五外部端子235。順便提及，在該實(shí)例中，在裝置體210的頂面 210a的一個(gè)長邊側(cè)面上，從一個(gè)短邊(圖8A中右側(cè))到另一個(gè)短邊以相等的間隔按順序配置第一外部端子231、第三外部端子233和第五外部端子235。在裝置體210的頂面210a的另一個(gè)長邊(圖8A中下側(cè))側(cè)面上形成第二外部端 子232、第四外部端子234和第六外部端子236。順便提及，在該實(shí)例中，在裝置體210的頂 面210a的另一個(gè)長邊側(cè)面上，從一個(gè)短邊(圖8A中右側(cè))到另一個(gè)短邊以相等的間隔按 順序配置第六外部端子236、第二外部端子232和第四外部端子234。如圖8B所示，裝置體210包括7個(gè)介電層211至217 (在下文分別被稱作第一至 第五介電層、下介電層和上介電層)和6個(gè)內(nèi)部電極221至226 (在下文分別被稱作第一至 第六電極)。通過在下介電層216上依次層壓第六電極226、第五介電層215、第五電極225、第 四介電層214、第四電極224、第三介電層213和第三電極223而形成裝置體210。此外，通過 在第三電極223上依次層壓第二介電層212、第二電極222、第一介電層211、第一電極221 和上介電層217而形成裝置體210。在該實(shí)例中，第一至第六電極221至2 分別連接到第 一至第六外部端子231至236。接下來將描述每個(gè)內(nèi)部電極的構(gòu)造。圖9A至圖9F分別示出第一至第六電極221 至226的總體構(gòu)造。順便提及，圖9A至圖9F是在各相應(yīng)的介電層上形成的第一至第六電 極221至226的示意性頂視圖。在該實(shí)例中，如圖9A至圖9F所示，如同第一修改例，第一至第六電極221至226 的表面全部具有矩形形狀。順便提及，每個(gè)內(nèi)部電極的表面形狀不限于該實(shí)例中的形狀，而 可以根據(jù)外部端子的配置形式和裝置體210的形狀而適當(dāng)改變。如圖9A所示，第一電極221沿著第一介電層211的縱長方向形成，以從第一介電 層211的一個(gè)短邊的附近延伸到第一介電層211的另一個(gè)短邊的附近。第一電極221的一 個(gè)長邊(圖9A中的上長邊)的在一個(gè)短邊側(cè)(圖9A中右側(cè))的部分連接到第一外部端子 231。如圖9B所示，第二電極222沿著第二介電層212的橫向方向形成，以從第二介電 層212的一個(gè)長邊的附近延伸到第二介電層212的另一個(gè)長邊的附近。第二電極222的一 個(gè)短邊端部連接到第二外部端子232。如圖9C所示，第三電極223沿著第三介電層213的縱長方向形成，以從第三介電 層213的一個(gè)短邊的附近延伸到第三介電層213的另一個(gè)短邊的附近。第三電極223的一 個(gè)長邊(圖9C中的上長邊)上的中央部分連接到第三外部端子233。如圖9D所示，第四電極224沿著第四介電層214的橫向方向形成，以從第四介電 層214的一個(gè)長邊的附近延伸到第四介電層214的另一個(gè)長邊的附近。第四電極2M的一 個(gè)短邊端部連接到第四外部端子234。如圖9E所示，第五電極225沿著第五介電層215的橫向方向形成，以從第五介電 層215的一個(gè)長邊的附近延伸到第五介電層215的另一個(gè)長邊的附近。第五電極225的一 個(gè)短邊端部連接到第五外部端子235。如圖9F所示，第六電極2 沿著下介電層216的縱長方向形成，以從下介電層216 的一個(gè)短邊的附近延伸到下介電層216的另一個(gè)短邊的附近。第六電極226的另一個(gè)長邊 (圖9F中的下長邊)的一個(gè)短邊側(cè)(圖9F中右側(cè))的部分連接到第六外部端子236。順便提及，為了在每個(gè)介電層中形成電容器，在這樣的位置處設(shè)置每個(gè)內(nèi)部電極，使得在內(nèi)部電極和相鄰的內(nèi)部電極之間形成相對區(qū)域，介電層介于這些內(nèi)部電極之間。順 便提及，可以以類似于前述實(shí)施方式的方式制造該實(shí)例中的可變電容裝置200。如上所述形成的第一至第五介電層211至215在其中形成有各電容Cl至C5的電 容器241至245 (下文分別稱作第一至第五電容器)。即，在該實(shí)例的可變電容裝置200中， 如同在第一修改例中，也在每個(gè)介電層中設(shè)置一個(gè)電容器(總共5個(gè)電容器)，這些電容器 彼此串聯(lián)連接，并且還為每個(gè)內(nèi)部電極設(shè)置一個(gè)外部端子。在該實(shí)例中，分別在第一至第五介電層211至215內(nèi)形成的第一至第五電容器Ml 至245全部用作可變電容電容器。順便提及，可以類似于在前述實(shí)施方式中使用的介電層的結(jié)構(gòu)來構(gòu)造每個(gè)介電層 的結(jié)構(gòu)(例如形成材料、表面形狀和尺寸、以及厚度)。此外，每個(gè)內(nèi)部電極的結(jié)構(gòu)(例如形 狀和尺寸)不限于圖9A至圖9F所示的實(shí)例，而可以考慮使用或需要的電容而適當(dāng)設(shè)定。如上所述，在該實(shí)例中，如前述實(shí)施方式，也在一個(gè)介電層的上表面和下表面中的 每一個(gè)上形成一個(gè)內(nèi)部電極。因此，如前述實(shí)施方式，該實(shí)例中的可變電容裝置200還可以 增加可變電容裝置的設(shè)計(jì)自由度，使其容易制造，并且抑制在內(nèi)部電極之間發(fā)生的寄生電 容的影響。圖10示出了使用該實(shí)例中的可變電容裝置200的電壓控制電路的構(gòu)造的實(shí)例。順 便提及，圖10中的端子231至236分別對應(yīng)于圖gA中的可變電容裝置200的第一至第六 外部端子231至236。該實(shí)例中的電壓控制電路250包括可變電容裝置200、6個(gè)DC消除電阻251至256、 以及2個(gè)DC消除電容器246和247 (用于消除直流電流的固定電容電容器)。該實(shí)例中的 可變電容裝置200通過其中第一至第五電容器241至M5以該順序彼此串聯(lián)連接的等效電 路來表示。如上所述，在該實(shí)例中，第一至第五電容器241至245全部用作可變電容電容器。 因此，在該實(shí)例中，單獨(dú)準(zhǔn)備DC消除電容器246和M7，DC消除電容器分別連接到第一至第 五電容器241至M5的串聯(lián)電路的兩個(gè)端子。因此，在該實(shí)例中，可變電容電容器中相對側(cè)上的各DC消除電容器的端子連接到 交流電源2的對應(yīng)的輸出端子。即，在該實(shí)例的電壓控制電路250中，通過將DC消除電容 器對6、第一至第五電容器241至M5、以及DC消除電容器M7以該順序彼此串聯(lián)連接而形 成的串聯(lián)電路與交流電源2并聯(lián)連接。此外，該實(shí)例中的可變電容裝置200的第二外部端子232、第四外部端子234和第 六外部端子236分別經(jīng)由DC消除電阻252、2M和256連接到控制電源3的正極端子。此 外，第一外部端子231、第三外部端子233和第五外部端子235分別經(jīng)由DC消除電阻251、 253和255連接到控制電源3的負(fù)極端子。即，在該實(shí)例中，控制電源3也與第一至第五電 容器241至245均并聯(lián)連接。該實(shí)例中的電壓控制電路250通過從控制電源3輸入的控制電壓而改變第一至第 五電容器241至245的各個(gè)電容，并且將從交流電源2輸入至諸如整流電路等的電路(未 示出)的交流電壓調(diào)節(jié)至預(yù)定電壓值。順便提及，在該實(shí)例中，已描述了可變電容裝置200不包括DC消除電阻251至256 或DC消除電容器246和對7的實(shí)例。然而，本發(fā)明不限于此?？勺冸娙菅b置200可以包括DC消除電阻251至256和DC消除電容器246和M7。此外，可變電容裝置200可以包括DC 消除電阻251至256，或可以包括DC消除電容器246和M7。此外，在該實(shí)例中，可以使用 DC消除電感器來代替DC消除電阻。[第三修改例]在第三修改例中，將描述在可變電容裝置內(nèi)彼此串聯(lián)連接6個(gè)電容器的結(jié)構(gòu)的實(shí) 例。圖IlA和圖IlB示出了根據(jù)第三修改例的可變電容裝置的總體構(gòu)造。順便提及，圖IlA 是根據(jù)第三修改例的可變電容裝置的示意性頂視圖，圖IlB是沿著圖IlA的D-D線截取的 截面圖。根據(jù)第三修改例的可變電容裝置300包括裝置體310和7個(gè)外部端子331至 337(下文分別稱作第一至第七外部端子)。如前述實(shí)施方式，可以通過具有矩形頂面310a 的長方體構(gòu)件形成裝置體310。在裝置體310的頂面310a的一個(gè)短邊(圖IlA中右側(cè))側(cè)面上形成第一外部端 子331。在裝置體310的頂面310a的另一個(gè)短邊(圖IlA中左側(cè))側(cè)面上形成第七外部端 子 337。在裝置體310的頂面3IOa的一個(gè)長邊(圖IlA中的上側(cè))側(cè)面上，沿著長邊方向 以預(yù)定的距離彼此分離的狀態(tài)形成第三外部端子333和第五外部端子335。順便提及，在裝 置體310的頂面310a的一個(gè)長邊側(cè)面上，分別在第一外部端子331側(cè)和第七外部端子337 側(cè)形成第三外部端子333和第五外部端子335。在裝置體310的頂面310a的另一個(gè)長邊(圖IlA中的下側(cè))側(cè)面上，沿著長邊方 向以預(yù)定的距離彼此分離的狀態(tài)形成第二外部端子332、第四外部端子334和第六外部端 子336。順便提及，在裝置體310的頂面310a的另一個(gè)長邊側(cè)面上的基本中央處設(shè)置第四 外部端子334。在裝置體310的頂面310a的另一個(gè)長邊側(cè)面上，第二外部端子332相對于 第四外部端子334設(shè)置在第一外部端子331側(cè)，第六外部端子336相對于第四外部端子334 設(shè)置在第七外部端子337側(cè)。如圖1IB所示，裝置體310包括8個(gè)介電層311至318 (在下文分別被稱作第一至 第六介電層、下介電層和上介電層)和7個(gè)內(nèi)部電極321至327 (在下文分別被稱作第一至 第七電極)。通過在下介電層317上依次層壓第七電極327、第六介電層316、第六電極326、第 五介電層315、第五電極325、第四介電層314、第四電極324、第三介電層313和第三電極 323而形成裝置體310。此外，通過在第三電極323上依次層壓第二介電層312、第二電極 322、第一介電層311、第一電極321和上介電層118而形成裝置體310。在該實(shí)例中，第一 至第七電極321至327分別連接到第一至第七外部端子331至337。接下來將描述每個(gè)內(nèi)部電極的構(gòu)造。圖12A至圖12G分別示出第一至第七電極 321至327的總體構(gòu)造。順便提及，圖12A至圖12G是在各相應(yīng)的介電層上形成的第一至第 七電極321至327的示意性頂視圖。在該實(shí)例中，如圖12A至圖12G所示，第一至第七電極321至327的表面全部具有 矩形形狀。順便提及，每個(gè)內(nèi)部電極的表面形狀不限于該實(shí)例中的形狀，而可以根據(jù)外部端 子的配置形式和裝置體310的形狀而適當(dāng)改變。如圖12A所示，第一電極321沿著第一介電層311的縱長方向形成，以從第一介電層311的一個(gè)短邊的附近延伸到第一介電層311的另一個(gè)短邊的附近。第一電極321的一 個(gè)短邊端部連接到第一外部端子331。如圖12B所示，第二電極322沿著第二介電層312的縱長方向形成，以從第二介電 層312的一個(gè)短邊的附近延伸到第二介電層312的另一個(gè)短邊的附近。第二電極322的一 個(gè)長邊(圖12B中的下長邊)的在一個(gè)短邊側(cè)(圖12B中的右側(cè))的部分連接到第二外部 端子332。如圖12C所示，第三電極323沿著第三介電層313的橫向方向形成，以從第三介電 層313的一個(gè)長邊的附近延伸到第三介電層313的另一個(gè)長邊的附近。第三電極323的一 個(gè)短邊端部連接到第三外部端子333。如圖12D所示，第四電極3M沿著第四介電層314的縱長方向形成，以從第四介電 層314的一個(gè)短邊的附近延伸到第四介電層314的另一個(gè)短邊的附近。第四電極3M的一 個(gè)長邊(圖12D中的下長邊)的中央部分連接到第四外部端子334。如圖12E所示，第五電極325沿著第五介電層315的橫向方向形成，以從第五介電 層315的一個(gè)長邊的附近延伸到第五介電層315的另一個(gè)長邊的附近。第五電極325的一 個(gè)短邊端部連接到第五外部端子335。如圖12F所示，第六電極3 沿著第六介電層316的縱長方向形成，以從第六介電 層316的一個(gè)短邊的附近延伸到第六介電層316的另一個(gè)短邊的附近。第六電極326的一 個(gè)長邊(圖12F中的下長邊)的在另一個(gè)短邊側(cè)(圖12F中的左側(cè))的部分連接到第六外 部端子336。如圖12G所示，第七電極327沿著下介電層317的縱長方向形成，以從下介電層 317的一個(gè)短邊的附近延伸到下介電層317的另一個(gè)短邊的附近。第七電極327的一個(gè)短 邊端部連接到第七外部端子337。順便提及，為了在每個(gè)介電層中形成電容器，在這樣的位置處設(shè)置每個(gè)內(nèi)部電極， 使得在內(nèi)部電極和相鄰的內(nèi)部電極之間形成相對區(qū)域，介電層介于所述內(nèi)部電極之間。順 便提及，可以以類似于前述實(shí)施方式的方式制造該實(shí)例中的可變電容裝置300。如上所述形成的第一至第六介電層311至316在其中形成有各電容Cl至C6的 電容器341至346(下文分別稱作第一至第六電容器)。即，在根據(jù)該實(shí)例的可變電容裝置 300中，在每個(gè)介電層中設(shè)置一個(gè)電容器(總共6個(gè)電容器)，這些電容器彼此串聯(lián)連接，并 且還為每個(gè)內(nèi)部電極設(shè)置一個(gè)外部端子。在該實(shí)例中，分別在第二至第五介電層312至325內(nèi)形成的第二至第五電容器342 至345用作可變電容電容器。分別在第一介電層311和第六介電層316內(nèi)形成的第一電容 器341和第六電容器346用作DC消除電容器。順便提及，可以以類似于在前述實(shí)施方式中使用的介電層的結(jié)構(gòu)來構(gòu)造每個(gè)介電 層的結(jié)構(gòu)(例如形成材料、表面形狀和尺寸、以及厚度)。此外，每個(gè)內(nèi)部電極的結(jié)構(gòu)(例如 形狀和尺寸)不限于圖12A至圖12G所示的實(shí)例，而可以考慮使用或需要的電容而適當(dāng)設(shè)定。如上所述，在該實(shí)例中，如前述實(shí)施方式，也在一個(gè)介電層的上表面和下表面的每 一個(gè)上形成一個(gè)內(nèi)部電極。因此，如前述實(shí)施方式，該實(shí)例中的可變電容裝置300還可以增 加可變電容裝置的設(shè)計(jì)自由度，使其容易制造，并且抑制在內(nèi)部電極之間發(fā)生的寄生電容的影響。圖13示出了使用該實(shí)例中的可變電容裝置300的電壓控制電路的構(gòu)造的實(shí)例。順 便提及，圖13中的端子331至337分別對應(yīng)于圖IlA中的可變電容裝置300的第一至第七 外部端子331至337。該實(shí)例中的電壓控制電路350包括可變電容裝置300和5個(gè)DC消除電阻352至 356。該實(shí)例中的可變電容裝置300通過其中第一至第六電容器341至346以該順序彼此 串聯(lián)連接的等效電路來表示。如上所述，在該實(shí)例中，第二至第五電容器342至345用作可變電容電容器，并且 第一電容器341和第六電容器346用作DC消除電容器。因此，在該實(shí)例中，可變電容裝置 300的第一外部端子331連接到交流電源2的一個(gè)輸出端子，并且可變電容裝置300的第七 外部端子337連接到交流電源2的另一個(gè)輸出端子。g卩，第一至第六電容器341至346的 串聯(lián)電路與交流電源2并聯(lián)連接。此外，該實(shí)例中的第二外部端子332、第四外部端子334和第六外部端子336分別 經(jīng)由DC消除電阻352、3M和356連接到控制電源3的正極端子。此外，第三外部端子333 和第五外部端子335分別經(jīng)由DC消除電阻353和355連接到控制電源3的負(fù)極端子。艮口， 在本實(shí)例中，控制電源3與第二至第五電容器342至345均并聯(lián)連接。該實(shí)例中的電壓控制電路350通過從控制電源3輸入的控制電壓改變第二至第五 電容器342至345的各個(gè)電容，并且將從交流電源2輸入至諸如整流電路等的電路(未示 出)的交流電壓調(diào)節(jié)至預(yù)定電壓值。順便提及，在該實(shí)例中，已描述了可變電容裝置300不包括DC消除電阻352至356 的實(shí)例。然而，本發(fā)明不限于此?？勺冸娙菅b置300可以包括DC消除電阻352至356。此 外，在該實(shí)例中，可以使用DC消除電感器來代替DC消除電阻。[第四修改例]在前述實(shí)施方式和第一與第三修改例中，已經(jīng)描述了通過可變電容裝置內(nèi)的一個(gè) 介電層形成DC消除電容器的實(shí)例。然而，本發(fā)明不限于此。對于需要更高電容的DC消除 電容器的使用，期望通過多個(gè)介電層形成DC消除電容器以增加DC消除電容器的電容。將 在第四修改例中描述其實(shí)例。然而，在該實(shí)例中，通過在前述第三修改例中描述的可變電容 裝置300中的多個(gè)介電層形成DC消除電容器。圖14A和圖14B示出了根據(jù)第四修改例的可變電容裝置的總體構(gòu)造。順便提及， 圖14A是根據(jù)第四修改例的可變電容裝置的示意性頂視圖，而圖14B是沿著圖14A的E-E 線截取的截面圖。順便提及，在圖14A和圖14B中，通過相同的參考數(shù)字標(biāo)識(shí)與前述第三修 改例(圖IlA和圖11B)中相同的組成元件。根據(jù)第四修改例的可變電容裝置400包括裝置體410和第一至第七外部端子331 至337。如前述實(shí)施方式，通過具有矩形頂面410a的長方體構(gòu)件形成裝置體410。第一至 第七外部端子331至337類似于前述第三修改例的外部端子。在該實(shí)例的裝置體410中，分別連接到第二電容器342和第五電容器345的DC消 除電容器的構(gòu)造不同于第三修改例。其他構(gòu)造類似于第三修改例的構(gòu)造。因此，僅對分別 連接到第二電容器342和第五電容器345的DC消除電容器的構(gòu)造進(jìn)行以下描述。在該實(shí)例的裝置體410中，如圖14B所示，在第二介電層312和上介電層318之間形成的DC消除電容器由3個(gè)第一介電層311、2個(gè)第一電極321和2個(gè)第二電極322組成。 具體地，通過在第二介電層312上依次形成第二電極322、第一介電層311、第一電極321、第 一介電層311、第二電極322、第一介電層311和第一電極321而構(gòu)成DC消除電容器。順便 提及，構(gòu)成在第二介電層312和上介電層318之間形成的DC消除電容器的第一介電層311、 第一電極321和第二電極322的數(shù)量不限于該實(shí)例，而例如根據(jù)使用情況適當(dāng)設(shè)定。如圖14B所示，在第五介電層315和下介電層之間形成的DC消除電容器由3個(gè)第 六介電層316、2個(gè)第六電極3 和2個(gè)第七電極327組成。具體地，通過在下介電層317 上依次形成第七電極327、第六介電層316、第六電極326、第六介電層316、第七電極327、第 六介電層316和第六電極3 而構(gòu)成DC消除電容器。順便提及，構(gòu)成在第五介電層315和 下介電層之間形成的DC消除電容器的第六介電層316、第六電極3 和第七電極327的數(shù) 量不限于該實(shí)例，而例如根據(jù)使用情況適當(dāng)設(shè)定。圖15A至圖1 示出了在該實(shí)例中的各個(gè)介電層上形成的內(nèi)部電極的構(gòu)造。順便 提及，圖15A至圖1 是在各相應(yīng)的介電層上形成的第一電極321、第二電極322、第一至第 七電極321至327、第六電極3 和第七電極327的示意性頂視圖。從圖15A至圖1 示出的該實(shí)例的第一到第七電極321至327的構(gòu)造與圖12A至 圖12G示出的第三修改例中的電極的構(gòu)造的比較中可以清楚地看出，該實(shí)例中的第一至第 七電極321至327的構(gòu)造類似于第三修改例的電極的構(gòu)造。然而，在該實(shí)例中，如圖15A和圖15C所示，在第二介電層312和上介電層318之 間形成的2個(gè)第一電極321都連接到第一外部端子331。此外，如圖15B和圖15D所示，在 第二介電層312和上介電層318之間形成的2個(gè)第二電極322都連接到第二外部端子332。 即，在該實(shí)例中，通過相互并聯(lián)連接分別在3個(gè)第一介電層311中形成的3個(gè)電容Cl的第 一電容器341 (電容器組)而形成連接到第二電容器342的DC消除電容器。此外，在該實(shí)例中，如圖15H和圖15J所示，在第五介電層315和下介電層317之 間形成的2個(gè)第六電極3 都連接到第六外部端子336。此外，如圖151和圖1 所示，在 第五介電層315和下介電層317之間形成的2個(gè)第七電極327都連接到第七外部端子337。 即，在該實(shí)例中，通過相互并聯(lián)連接分別在3個(gè)第六介電層316中形成的3個(gè)電容C6的第 六電容器346而形成連接到第五電容器345的DC消除電容器。順便提及，在該實(shí)例的可變 電容裝置400的結(jié)構(gòu)中，通過第三電極323和第五電極325的面積來確定各個(gè)可變電容電 容器的電容。圖16示出了使用該實(shí)例中的可變電容裝置400的電壓控制電路的構(gòu)造的實(shí)例。順 便提及，圖16中的端子331至337分別對應(yīng)于圖14A中的可變電容裝置400的第一至第七 外部端子331至337。該實(shí)例中的電壓控制電路450包括可變電容裝置400和5個(gè)DC消除電阻352至 356。如上所述，在該實(shí)例中，通過相互并聯(lián)連接3個(gè)電容Cl的第一電容器341而形成 連接到第二電容器；342的DC消除電容器。此外，在該實(shí)例中，通過相互并聯(lián)連接3個(gè)電容 C6的第六電容器346而形成連接到第五電容器345的DC消除電容器。因此，通過這樣一 個(gè)等效電路表示該實(shí)例中的可變電容裝置400，其中，電容3XC1的DC消除電容器347、第 二至第五電容器342至345以及電容3 X C6的DC消除電容器348以該順序彼此串聯(lián)連接。除了該串聯(lián)電路的其他構(gòu)造類似于第三修改例中的電壓控制電路350的構(gòu)造。如上所述，在該實(shí)例中，如前述實(shí)施方式，也在一個(gè)介電層的上表面和下表面中的 每一個(gè)上形成一個(gè)內(nèi)部電極。因此，如前述實(shí)施方式，該實(shí)例中的可變電容裝置400還可以 增加可變電容裝置的設(shè)計(jì)自由度，使其容易制造，并且抑制在內(nèi)部電極之間發(fā)生的寄生電 容的影響。此外，通過該實(shí)例中的結(jié)構(gòu)，DC消除電容器的電容容易根據(jù)使用來改變。因此，該 實(shí)例還可以增加設(shè)計(jì)的自由度。特別地，在該實(shí)例中，DC消除電容器的電容容易增加。因 此，該實(shí)例中的結(jié)構(gòu)例如適用于DC消除電容器的電容需要是可變電容電容器的電容大約 10倍以上的使用場合。順便提及，在該實(shí)例中，已描述了可變電容裝置400不包括DC消除電阻352至356 的實(shí)例。然而，本發(fā)明不限于此?？勺冸娙菅b置400可以包括DC消除電阻352至356。此 外，在該實(shí)例中，可以使用DC消除電感器來代替DC消除電阻。[第五修改例]根據(jù)前述實(shí)施方式和各種修改例的可變電容裝置主要適用于需要低電容和低電 壓驅(qū)動(dòng)的使用場合，但是對于需要相對較高電容的使用場合，不能提供足夠的可變電容特 性。因此，對于這種使用，能夠?qū)⒏鶕?jù)前述實(shí)施方式和各種修改例的可變電容裝置設(shè) 定為一個(gè)單元的可變電容元件，準(zhǔn)備多個(gè)單元，并且彼此并聯(lián)連接這多個(gè)單元。在第五修改 例中將描述這種結(jié)構(gòu)的實(shí)例。順便提及，在該實(shí)例中，將描述2個(gè)單元的根據(jù)前述實(shí)施方式 的可變電容裝置彼此并聯(lián)連接的實(shí)例。圖17A和圖17B示出了根據(jù)第五修改例的可變電容裝置的總體構(gòu)造。順便提及， 圖17A是根據(jù)第五修改例的可變電容裝置的示意性頂視圖，圖17B是沿著圖17A的F-F線 截取的截面圖。順便提及，在圖17A和圖17B中，通過相同的參考數(shù)字標(biāo)識(shí)與前述第三修改 例(圖IA和圖1B)中相同的組成元件。如圖17B所示，該實(shí)例中的可變電容裝置500包括2個(gè)單元501和502 (下文稱作 第一單元和第二單元)。通過根據(jù)前述實(shí)施方式(圖IA和圖1B)的可變電容裝置1形成每 個(gè)單元。在該實(shí)例中，每個(gè)單元內(nèi)的第一至第五電極21至25分別連接到第一至第五外部 端子31至35。S卩，第一單元501的第一至第五電極21至25和第二單元502的第一至第五 電極21至25分別彼此連接。以這種構(gòu)造，第一單元501和第二單元502彼此并聯(lián)連接。此外，在該實(shí)例中，在第二單元502上層壓第一單元501，使得第一單元501的下介 電層15和第二單元502的下介電層15彼此相對。即，被施加了相同極性的信號的內(nèi)部電 極在第一單元501和第二單元502之間的邊界處彼此相對。這防止了在第一單元501和第 二單元502之間產(chǎn)生寄生電容。順便提及，多個(gè)單元層壓的結(jié)構(gòu)不限于該實(shí)例的結(jié)構(gòu)。例如，可以在第二單元502 上層壓第一單元501，使得第一單元501的下介電層15和第二單元502的上介電層16彼此 相對。這種情況下，然而，被施加了不同極性的信號的內(nèi)部電極在第一單元501和第二單元 502之間的邊界處彼此相對。因此，在這種情況下，期望在第一單元501和第二單元502之 間插入偽介電層，以抑制第一單元501和第二單元502之間產(chǎn)生寄生電容。
如上所述，通過層壓由根據(jù)前述實(shí)施方式的可變電容裝置1構(gòu)成的2個(gè)單元501 和502，形成了該實(shí)例中的可變電容裝置500。因此，可變電容裝置500提供了類似于前述 實(shí)施方式的效果。此外，如上所述，利用該實(shí)例中的結(jié)構(gòu)，通過相互并聯(lián)連接各自由根據(jù)前 述實(shí)施方式的可變電容裝置1構(gòu)成的2個(gè)單元501和502而形成可變電容裝置500。因此， 可變電容裝置500的總電容容易增加，并且為需要相對較高電容的使用場合提供準(zhǔn)備。[第六修改例]在前述實(shí)施方式和各種修改例中，描述了在每個(gè)介電層中形成一個(gè)電容器的實(shí) 例。然而，本發(fā)明不限于此。當(dāng)可以使可變電容裝置中的內(nèi)部電極形成面的尺寸充分大時(shí)， 可以在一個(gè)介電層中形成多個(gè)電容器。將在第六修改例中描述這種結(jié)構(gòu)的實(shí)例。順便提及， 在該實(shí)例中，將描述如在參照圖21A和圖21B描述的現(xiàn)有的可變電容裝置中那樣在一個(gè)可 變電容裝置內(nèi)部彼此串聯(lián)連接4個(gè)電容器的實(shí)例。圖18示出了該實(shí)例中的可變電容裝置的總體構(gòu)造。順便提及，圖18是該實(shí)例中 的可變電容裝置的示意性側(cè)視圖。該實(shí)例中的可變電容裝置600包括長方體形式的裝置體610和在裝置體610側(cè) 面上形成的8個(gè)外部端子631至638 (第一至第八外部端子參見稍后描述的圖19A和圖 19B)。順便提及，在該實(shí)例中，沿著介電層的面方向在裝置體610的一個(gè)側(cè)面上以相等 的間距以這種順序配置第一外部端子631、第三外部端子633、第二外部端子632和第四外 部端子634。在裝置體610的與形成有第一至第四外部端子631至634的側(cè)面相對的側(cè)面 上形成第五至第八外部端子635至638。在分別與第一至第四外部端子631至634相對的 位置上配置第五至第八外部端子635至638，裝置體610介于其間(參見稍后描述的圖19A 和圖19B)。裝置體610包括第一介電體部601、第二介電體部602、偽介電層615和保護(hù)介電 層616。偽介電層615設(shè)置在第一介電體部601和第二介電體部602之間以抑制第一介電 體部601和第二介電體部602之間的寄生電容。保護(hù)介電層616設(shè)置在第二介電體部602 的與偽介電層615側(cè)相對的表面上。第一介電體部601包括第一介電層611、第二介電層612、第一上電極621、第一下 電極622、第二上電極623和第二下電極624。第一介電層611和第二介電層612依次層壓 在偽介電層615上。第一上電極621和第二上電極623(內(nèi)部電極部)以預(yù)定的距離彼此分離的狀 態(tài)在第一介電層611的第二介電層612側(cè)的表面上形成。第一下電極622和第二下電極 624(內(nèi)部電極部)在第一介電層611的偽介電層615側(cè)的表面上形成。在分別與第一上電 極621和第二上電極623相對的位置上配置第一下電極622和第二下電極624，第一介電層 611介于其間。通過這種結(jié)構(gòu)，第一介電體部601在其中具有第一上電極621和第一下電極622 之間形成的第一電容器641，并且在其中具有第二上電極623和第二下電極擬4之間形成的 第二電容器642。第二介電體部602包括依次層壓在保護(hù)介電層616上的第三介電層613、第四介電 層614、第三上電極625、第三下電極626、第四上電極627和第四下電極628。第三介電層613和第四介電層614依次層壓在保護(hù)介電層616上。第三上電極625和第四上電極627以預(yù)定的距離彼此分離的狀態(tài)在第三介電層 613的第四介電層614側(cè)的表面上形成。第三下電極6 和第四下電極6 在第三介電層 613的保護(hù)介電層616側(cè)的表面上形成。在分別與第三上電極625和第四上電極627相對 的位置上配置第三下電極6 和第四下電極628，第三介電層613介于其間。通過這種結(jié)構(gòu)，第二介電體部602在其中具有第三上電極625和第三下電極6 之間形成的第三電容器643，并且在其中具有第四上電極627和第四下電極擬8之間形成的 第四電容器644。順便提及，在該實(shí)例中，在這樣的位置處配置內(nèi)部電極，即使得電容器在介電層的 層壓方向(圖18中的垂直方向)上不會(huì)彼此重疊。此外，可變電容裝置600的介電層和內(nèi) 部電極可以由類似于前述實(shí)施方式中的介電層和內(nèi)部電極的材料形成。接下來，將描述該實(shí)例中的可變電容裝置600的內(nèi)部電極的連接關(guān)系。圖19A和 圖19B示出了該實(shí)例中的內(nèi)部電極的總體構(gòu)造。順便提及，圖19A是第一介電體部601的 頂透視圖，而圖19B是第二介電體部602的頂透視圖。如圖19A所示，第一上電極621具有矩形表面，并且形成為沿著第一介電層611的 橫向方向延伸。第一上電極621的一個(gè)短邊端部連接到第一外部端子631。順便提及，設(shè)定 第一上電極621的延伸長度，使得第一上電極621在預(yù)定的相對區(qū)域中與第一下電極622 相對。如圖19A所示，第一下電極622具有L形表面。第一下電極622的一個(gè)側(cè)部沿著 第一介電層611的縱長方向延伸，第一下電極622的另一側(cè)部沿著第一介電層611的橫向 方向延伸。在該實(shí)例中，第一下電極622的沿著第一介電層611的縱長方向延伸的一個(gè)側(cè) 部連接到第五外部端子635和第七外部端子637。順便提及，在垂直于第一下電極622的一個(gè)側(cè)部的延伸方向的第一下電極622的 一個(gè)側(cè)部的寬度小于第一上電極621和第五外部端子635之間的最短距離。通過這樣設(shè)定 第一下電極622的一個(gè)側(cè)部的寬度，即使當(dāng)下電極組(或上電極組)在層壓時(shí)在第一介電 層611的縱長方向移動(dòng)時(shí)，也可防止第一上電極621和第一下電極622的一個(gè)側(cè)部彼此相 對。這種情況下，可以抑制電容器之間關(guān)于每個(gè)電容器的電容改變量(該改變伴隨在下電 極組(或上電極組)的位移而發(fā)生)的變化。此外，在該實(shí)例中，如圖19A所示，第七外部端子637的第一介電層611側(cè)的長邊 部的一部分和第一下電極622的一個(gè)側(cè)部彼此連接。即，第一下電極622沒有連接到第七 外部端子637的第一介電層611側(cè)的長邊部的第二下電極6M側(cè)的部分。這是為了通過增 加第一下電極622和第二下電極6 之間的距離來抑制第一下電極622和第二下電極6 之間的寄生電容。第一下電極622的另一側(cè)部從第五外部端子635向第一外部端子631延伸。設(shè)定 第一下電極622的另一側(cè)部的延伸長度，使得第一下電極622在預(yù)定的相對區(qū)域中與第一 上電極621相對。如圖19A所示，第二上電極623具有L形表面。第二上電極623的一個(gè)側(cè)部沿著 第一介電層611的縱長方向延伸。第二上電極623的另一側(cè)部沿著第一介電層611的橫向 方向延伸。在該實(shí)例中，第二上電極623的沿著第一介電層611的縱長方向延伸的一個(gè)側(cè)部連接到第二外部端子632和第三外部端子633。順便提及，在垂直于第二上電極623的一個(gè)側(cè)部的延伸方向的第二上電極623的 一個(gè)側(cè)部的寬度小于稍后描述的第二下電極擬4和第二外部端子632之間的最短距離。此 外，在該實(shí)例中，第三外部端子633的第一介電層611側(cè)的長邊部的一部分與第二上電極 623的一個(gè)側(cè)部彼此連接。第二上電極623的另一側(cè)部從第二外部端子632向第六外部端子636延伸。設(shè)定 第二上電極623的另一側(cè)部的延伸長度，使得第二上電極623在預(yù)定的相對區(qū)域中與第二 下電極6M相對。如圖19A所示，第二下電極擬4具有矩形表面，并且形成為沿著第一介電層611的 橫向方向延伸。第二下電極擬4的一個(gè)短邊端部連接到第六外部端子636。順便提及，設(shè)定 第二下電極624的延伸長度，使得第二下電極6M在預(yù)定的相對區(qū)域中與第二上電極623 相對。如圖19B所示，第三上電極625具有矩形表面，并且形成為沿著第三介電層613的 橫向方向延伸。第三上電極625的一個(gè)短邊端部連接到第三外部端子633。順便提及，設(shè)定 第三上電極625的延伸長度，使得第三上電極625在預(yù)定的相對區(qū)域中與第三下電極626 相對。如圖19B所示，第三下電極擬6具有矩形表面，并且形成為沿著第三介電層613的 橫向方向延伸。第三下電極擬6的一個(gè)短邊端部連接到第七外部端子637。順便提及，設(shè)定 第三下電極626的延伸長度，使得第三下電極6 在預(yù)定的相對區(qū)域與第三上電極625相對。如圖19B所示，第四上電極627具有矩形表面，并且形成為沿著第三介電層613的 橫向方向延伸。第四上電極627的一個(gè)短邊端部連接到第四外部端子634。順便提及，設(shè)定 第四上電極627的延伸長度，使得第四上電極627在預(yù)定的相對區(qū)域與第四下電極6 相對。如圖19B所示，第四下電極擬8具有L形表面。第四下電極628的一個(gè)側(cè)部沿著 第三介電層613的縱長方向延伸。第四下電極628的另一側(cè)部沿著第三介電層613的橫向 方向延伸。在該實(shí)例中，第四下電極628的沿著第三介電層613的縱長方向延伸的一個(gè)側(cè) 部連接到第六外部端子636和第八外部端子638。順便提及，在垂直于第四下電極628的一個(gè)側(cè)部的延伸方向的第四下電極628的 一個(gè)側(cè)部的寬度小于第四上電極627和第八外部端子638之間的最短距離。此外，在該實(shí) 例中，第六外部端子636的第三介電層613側(cè)的長邊部的一部分與第四下電極628的一個(gè) 側(cè)部彼此連接。第四下電極628的另一側(cè)部從第八外部端子638向第四外部端子634延伸。設(shè)定 第四下電極628的另一側(cè)部的延伸長度，使得第四下電極擬8在預(yù)定的相對區(qū)域與第四上 電極627相對。當(dāng)如上所述連接每個(gè)內(nèi)部電極時(shí)，第二外部端子632和第三外部端子633是共用 端子，第五外部端子635和第七外部端子637是共用端子，以及第六外部端子636和第八外 部端子638是共用端子。結(jié)果，在可變電容裝置600內(nèi)形成依次彼此串聯(lián)連接第一電容器 641、第三電容器643、第二電容器642和第四電容器644的串聯(lián)電路。
將考慮例如上述結(jié)構(gòu)中第二電容器642和第三電容器643用作可變電容電容器以 及第一電容器641和第四電容器644用作DC消除電容器的情況。在這種情況下，第二外部 端子632和第三外部端子633、第五外部端子635和第七外部端子637、以及第六外部端子 636和第八外部端子638均連接到控制電源。這時(shí)，第二外部端子632和第三外部端子633、 第五外部端子635和第七外部端子637、以及第六外部端子636和第八外部端子638均連接 到控制電源，使得第二電容器642和第三電容器643彼此并聯(lián)連接。第一外部端子631和 第四外部端子634連接到交流電源。如上所述，在該實(shí)例中，在每個(gè)介電層中形成2個(gè)電容器。然而，例如，與參照圖 21A和圖21B描述的現(xiàn)有的可變電容裝置相比較，內(nèi)部電極之間以及外部端子之間的空間 能夠增加。因此，該實(shí)例中的可變電容裝置600同樣提供與前述實(shí)施方式相類似的效果。順便提及，在上述第六修改例中，描述了通過在內(nèi)部電極之間建立連接而彼此串 聯(lián)連接多個(gè)電容器的實(shí)例。然而，本發(fā)明不限于此。例如，可以通過在外部端子之間建立連 接而彼此串聯(lián)連接多個(gè)電容器(參見圖2IA和圖21B)，或通過在內(nèi)部電極之間和外部端子 之間適當(dāng)建立連接而彼此串聯(lián)連接多個(gè)電容器。例如，考慮可變電容裝置的尺寸和寄生電 容的影響而適當(dāng)選擇多個(gè)電容器的連結(jié)方法。在前述實(shí)施方式和各種修改例中，已經(jīng)對于在一個(gè)可變電容裝置中形成4至6個(gè) 電容器且將它們彼此串聯(lián)連接的構(gòu)造進(jìn)行了描述。然而，本發(fā)明不限于此。可以在一個(gè)可 變電容裝置中形成彼此串聯(lián)連接的3個(gè)或7個(gè)以上的電容器。然而，當(dāng)在一個(gè)可變電容裝 置中形成3個(gè)電容器時(shí)，如在第二修改例中一樣，所有的電容器都用作可變電容電容器，并 且單獨(dú)準(zhǔn)備DC消除電容器。本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，根據(jù)設(shè)計(jì)要求和其他因素，可以進(jìn)行各種修改、組 合、子組合和變形，只要它們在所附權(quán)利要求或其等同物的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種可變電容裝置，包括裝置體，具有多個(gè)介電層，通過根據(jù)外部施加的控制信號改變電容的介電體材料而形成，并且在預(yù) 定方向上層壓，以及內(nèi)部電極部，包括在每個(gè)所述介電層的兩個(gè)表面中的每一個(gè)上形成的至少一個(gè)內(nèi)部電極，三個(gè)以上電容器，通過所述多個(gè)介電層和所述內(nèi)部電極部形成，并且所述三個(gè)以上電 容器彼此串聯(lián)連接；以及至少三個(gè)控制端子，被提供有所述控制信號，并且分別對于形成所述三個(gè)以上電容器 中的至少兩個(gè)電容器的至少三個(gè)所述內(nèi)部電極而配置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可變電容裝置，其中，所述內(nèi)部電極部通過一個(gè)所述內(nèi)部電極形成，并且在所述多個(gè)介電層的每層中 形成一個(gè)所述電容器。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可變電容裝置，還包括兩個(gè)外部端子，被從外部提供有輸入 信號，并且分別與位于所述裝置體內(nèi)在所述預(yù)定方向上最遠(yuǎn)端的兩個(gè)所述內(nèi)部電極連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的可變電容裝置，其中，位于包括所述三個(gè)以上電容器的串聯(lián)電路的最遠(yuǎn)端的所述電容器通過包括多個(gè) 彼此并聯(lián)的電容器的電容器組形成。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的可變電容裝置，其中，所述可變電容裝置包括多個(gè)所述裝置體，這多個(gè)所述裝置體在所述預(yù)定方向上 層壓，并且相應(yīng)的內(nèi)部電極在這多個(gè)所述裝置體之間彼此連接，以使得這多個(gè)所述裝置體 彼此并聯(lián)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的可變電容裝置，其中，兩個(gè)相鄰的所述裝置體的其中一個(gè)所述裝置體的所述內(nèi)部電極和另一個(gè)所述裝 置體的所述內(nèi)部電極是所述相應(yīng)的內(nèi)部電極并且彼此連接，其中，這兩個(gè)內(nèi)部電極在所述 兩個(gè)相鄰的所述裝置體之間的邊界處彼此相對。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可變電容裝置，其中，對于形成所述三個(gè)以上電容器的所有所述內(nèi)部電極分別配置所述控制端子，并 且所述三個(gè)以上電容器全部用作可變電容電容器。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可變電容裝置，其中，所述內(nèi)部電極部通過多個(gè)內(nèi)部電極形成，并且在每個(gè)介電層中形成多個(gè)電容器。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可變電容裝置，還包括至少三個(gè)分別連接至所述至少三個(gè)控 制端子的直流消除電阻或電感器。
全文摘要
一種可變電容裝置，包括裝置體，具有通過根據(jù)外部施加的控制信號改變電容的介電體材料而形成的并且在預(yù)定方向上層壓的多個(gè)介電層，以及包括在每個(gè)介電層的兩個(gè)表面中的每一個(gè)上形成的至少一個(gè)內(nèi)部電極的內(nèi)部電極部；三個(gè)以上電容器，通過多個(gè)介電層和內(nèi)部電極部形成，并且這三個(gè)以上電容器彼此串聯(lián)連接；以及至少三個(gè)控制端子，被提供有控制信號，并且分別對于形成這三個(gè)以上電容器中的至少兩個(gè)電容器的至少三個(gè)內(nèi)部電極而配置。
文檔編號H01G7/06GK102087918SQ201010563379
公開日2011年6月8日 申請日期2010年11月26日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月3日
發(fā)明者管野正喜 申請人:索尼公司