專利名稱：基板處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種基板處理裝置。
背景技術(shù)：
通常，基板處理裝置是為了在基板上進(jìn)行物理沉積、化學(xué)沉積、離子注入、涂層等的工程的裝置?；逄幚硌b置是在密閉的腔內(nèi)進(jìn)行的?，F(xiàn)有技術(shù)的基板處理裝置，當(dāng)基板引入時(shí)，在調(diào)整區(qū)將基板調(diào)整到載體。然后，將被調(diào)整的基板通過載體移送到工程區(qū)。被移送的基板經(jīng)過物理沉積、化學(xué)沉積、離子注入、 涂層等的工程處理以后，再移送到調(diào)整區(qū)并搬出外部。在工程區(qū)，經(jīng)歷物理沉積、化學(xué)沉積、離子注入、涂層等工程處理過程中，可能發(fā)生粉塵或質(zhì)點(diǎn)。在工程區(qū)發(fā)生的粉塵或質(zhì)點(diǎn)可以被擴(kuò)散到調(diào)整區(qū)。在調(diào)整區(qū)擴(kuò)散的粉塵或質(zhì)點(diǎn)可以附著于新流入的基板上，從而可以成為缺陷發(fā)生的主要原因。雖然為了減除由于該粉塵或質(zhì)點(diǎn)而發(fā)生的污染，可以使用增加其工程區(qū)長度的基板處理裝置，但這引起費(fèi)用增加，并且需要更寬的設(shè)置空間。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供了一種基板處理裝置，其可以防止由于粉塵或質(zhì)點(diǎn)而發(fā)生的基板污
^fe ο本發(fā)明還還解決了另外一個(gè)問題，就是減少了基板處理裝置的尺寸。本發(fā)明一方面可以提供一種基板處理裝置，該裝置包括腔，其分區(qū)為引入基板一側(cè)的調(diào)整區(qū)和進(jìn)行基板處理工程的工程區(qū)；載體，其將引入的基板調(diào)整并移送到所述工程區(qū)，并且在工程處理完畢后將基板移送到所述調(diào)整區(qū)；以及護(hù)罩，其設(shè)置于所述腔內(nèi)的所述調(diào)整區(qū)和所述工程區(qū)之間，從而阻擋所述工程區(qū)發(fā)生的污染物流入到所述調(diào)整區(qū)，并且隨著所述載體的移送而被打開或被關(guān)閉。所述的基板處理裝置，進(jìn)一步包括載體驅(qū)動(dòng)部，其給所述載體傳達(dá)動(dòng)力；護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部，其給所述護(hù)罩傳達(dá)動(dòng)力；以及控制部，其給所述載體驅(qū)動(dòng)部以及所述護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部傳送控制信號(hào)。所述控制信號(hào)包括移動(dòng)所述載體的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，停止所述載體的停止信號(hào)，打開所述護(hù)罩的打開信號(hào)，以及關(guān)閉所述護(hù)罩的關(guān)閉信號(hào)中的一個(gè)。如果所述載體位于與所述護(hù)罩相鄰的領(lǐng)域，則所述控制部給所述載體驅(qū)動(dòng)部傳送停止信號(hào)，并且給所述護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部傳送所述打開信號(hào)，而如果所述載體已通過所述護(hù)罩，則所述控制部給所述護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部傳送所述關(guān)閉信號(hào)。如果所述載體向所述護(hù)罩移動(dòng)，所述控制部可以利用所述載體的移動(dòng)速度和時(shí)間，算出所述護(hù)罩和所述載體之間的距離，并且在算出的距離中找出所述載體可以連續(xù)通過的地點(diǎn)，給所述護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部傳送所述打開信號(hào)，而如果所述載體已通過，所述控制部給所述護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部傳送關(guān)閉信號(hào)。所述的基板處理裝置，進(jìn)一步包括位置感知部，其設(shè)在所述腔內(nèi)壁和所述載體之中的一個(gè)，并且如果所述載體的位置相鄰與所述護(hù)罩，則生成感知信號(hào)并傳送給所述控制部。所述的基板處理裝置，進(jìn)一步包括隔壁，其設(shè)于所述護(hù)罩被設(shè)置的領(lǐng)域，并且其高度至少應(yīng)該達(dá)到所述載體可移動(dòng)的高度。如果所述載體相鄰于所述護(hù)罩，則所述護(hù)罩保持打開的狀態(tài)，而在其他領(lǐng)域中，所述護(hù)罩保持關(guān)閉狀態(tài)。本發(fā)明的其它方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分地闡述，并且通過該描述顯而易見，或者可以通過實(shí)施本發(fā)明而獲知。附圖描述

圖1是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例描繪的基板處理裝置平面圖。圖2是圖1所示的基板處理裝置的側(cè)面圖。圖3是圖1所示的基板處理裝置的控制部的方塊圖。圖4至圖10是本發(fā)明的基板處理裝置的控制部控制載體以及護(hù)罩的流程圖。圖11是本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例的方塊圖，目的是為了說明基板處理裝置的控制部。
具體實(shí)施例方式由于本發(fā)明可具有多種變換和多種實(shí)施方式，因而將參照附圖對(duì)特定的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)描述。然而，這并非為了將本發(fā)明限定為特定的實(shí)施方式，而應(yīng)解釋為包括由本發(fā)明的精神和范圍所覆蓋的所有的改變、等同物和替代物。在本發(fā)明的通篇描述書中，當(dāng)確定某種技術(shù)的描述偏離本發(fā)明點(diǎn)時(shí)，將省略其相關(guān)的詳細(xì)描述。而且，術(shù)語諸如“第一”和“第二”可用于描述多種元件，但上述元件不應(yīng)局限于上述術(shù)語。上述術(shù)語僅用于使一個(gè)元件與另一個(gè)元件區(qū)分開來。當(dāng)描述一個(gè)元件“連接”或“接近(access) ”另一個(gè)元件時(shí)，應(yīng)解釋為直接連接或接近另一個(gè)元件，并且有可能二者之間可具有另一元件。另一方面，如果描述一個(gè)元件“直接連接”或“直接接近”另一個(gè)元件時(shí)，應(yīng)解釋為二者之間不具有其他元件。下面，將參照附圖對(duì)本發(fā)明的某個(gè)實(shí)施例的基板處理裝置進(jìn)行詳細(xì)描述。圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的基板處理裝置的平面圖。圖2是在圖1所示的基板處理裝置的側(cè)面圖。參照?qǐng)D1和圖2，本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的基板處理裝置可以包括入口 30、腔40、載體20、載體驅(qū)動(dòng)部150、護(hù)罩100、護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部160、以及控制部170。具體而言當(dāng)基板10引入到腔40時(shí)，入口 30會(huì)打開，而在進(jìn)行工程處理的過程中入口 30會(huì)關(guān)閉，以便保持腔的氣密。入口 30設(shè)在腔40的一側(cè)，并且設(shè)在腔40的調(diào)整區(qū) 200。載體20設(shè)在腔40內(nèi)，并且當(dāng)將基板10移送時(shí)，調(diào)整基板10，移送到工程區(qū)300。 而且，載體20將工程處理完畢的基板10移送到調(diào)整區(qū)200。
載體驅(qū)動(dòng)部150具有發(fā)動(dòng)機(jī)，使得其給載體20傳達(dá)動(dòng)力并且將載體20移動(dòng)。載體驅(qū)動(dòng)部150隨著如下所述的控制部170的控制信號(hào)而被驅(qū)動(dòng)。將腔40分區(qū)為調(diào)整區(qū)200和工程區(qū)300。調(diào)整區(qū)200是將基板10安放在載體20 并調(diào)整的領(lǐng)域，其位于腔40的入口 30側(cè)。當(dāng)從加熱腔中引入基板10時(shí)，調(diào)整區(qū)會(huì)移動(dòng)載體20，或者移動(dòng)基板10而進(jìn)行排序，以便在工程處理過程中準(zhǔn)確地對(duì)基板10進(jìn)行有關(guān)工程處理。工程區(qū)300對(duì)基板10進(jìn)行有關(guān)工程處理。其中，工程區(qū)300可以進(jìn)行濺射 (sputtering)，蒸發(fā)(evaporating)，涂層(coating)等的沉積或涂層工程。為了進(jìn)行濺射 (sputtering)，蒸發(fā)(evaporating)，涂層(coating)等沉積或涂層工程，在工程區(qū)300可以安裝磁體、噴墨等裝置。當(dāng)移送基板10時(shí)，工程區(qū)300對(duì)此進(jìn)行有關(guān)工程。護(hù)罩100可以將調(diào)整區(qū)200和工程區(qū)300區(qū)分為物理性的領(lǐng)域。護(hù)罩100設(shè)于基板處理裝置的內(nèi)部，使得可以區(qū)分調(diào)整區(qū)200和工程區(qū)300。此時(shí)，護(hù)罩100設(shè)于腔40的內(nèi)側(cè)，使得當(dāng)工程區(qū)進(jìn)行濺射(sputtering)，蒸發(fā)(evaporating)，涂層(coating)等工程時(shí)發(fā)生的質(zhì)點(diǎn)等雜質(zhì)不能流入到調(diào)整區(qū)200。護(hù)罩100可以設(shè)為門的形態(tài)。如果基板10位于調(diào)整區(qū)200或工程區(qū)300，則護(hù)罩 100保持關(guān)閉狀態(tài)。如果基板10從調(diào)整區(qū)200移動(dòng)到工程區(qū)300，或者從工程區(qū)300到調(diào)整區(qū)200，則護(hù)罩100可以被打開，使得基板10和載體20可以移動(dòng)。護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部160具有發(fā)動(dòng)機(jī)等的驅(qū)動(dòng)裝置，使得將護(hù)罩100打開或關(guān)閉。護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部160隨著如下所述的控制部170的驅(qū)動(dòng)信號(hào)被驅(qū)動(dòng)。將隔壁110進(jìn)一步設(shè)置在腔40，其設(shè)于護(hù)罩100被設(shè)置的位置。隔壁110可以設(shè)置可與載體20的斷面積有關(guān)。即，隔壁110的高度至少可以達(dá)到讓所述載體20可移動(dòng)的高度。如果隔壁110的高度太低，在護(hù)罩100打開時(shí)，質(zhì)點(diǎn)可以通過載體20周邊的縫隙流入到調(diào)整區(qū)200。因此，設(shè)置隔壁110時(shí)其高度至少應(yīng)該達(dá)到所述載體20可移動(dòng)的最大的高度，以防質(zhì)點(diǎn)流入到調(diào)整區(qū)200。本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的基板處理裝置進(jìn)一步包括位置感知部120，其設(shè)在腔40 內(nèi)。調(diào)整區(qū)200或工程區(qū)300中至少要設(shè)置一個(gè)位置感知部120。位置感知部120可以包括在調(diào)整區(qū)200設(shè)置的第一感知傳感器121和在工程區(qū)300設(shè)置的第二感知傳感器 122。第一感知傳感器121可以感知從調(diào)整區(qū)200移送到工程區(qū)300的載體20的位置。 而且，第一感知傳感器121可以感知從工程區(qū)300移送的載體20的位置。第一感知傳感器 121感知載體20的位置以后，生成感知信號(hào)并且傳送給控制部(在圖3所示)。例如，第一感知傳感器121可以生成感知信號(hào)從將載體20開始感知的時(shí)點(diǎn)到載體20完全通過第一感知傳感器121的時(shí)點(diǎn)，并且傳送給控制部170。而且，第一感知傳感器121可以將感知到載體20的時(shí)刻和載體20完全通過第一感知傳感器121的時(shí)刻的感知信號(hào)傳送給控制部170。第二感知傳感器122可以感知從調(diào)整區(qū)200移送到工程區(qū)300的載體20的位置， 并且可以感知從工程區(qū)300移送到調(diào)整區(qū)200的載體20的位置。此時(shí)，第二感知傳感器與第一感知傳感器121 —樣，從載體20開始被感知的時(shí)點(diǎn)到載體20完全通過第二感知傳感器122的時(shí)點(diǎn)為止同樣可以生成感知信號(hào)，并且傳送給控制部170。同時(shí)，第二感知傳感器122可以將載體20被感知的時(shí)刻和載體20完全通過第二感知傳感器122的時(shí)刻的感知信號(hào)傳送給控制部170。控制部170利用從第一感知傳感器121和第二感知傳感器122收到的感知信號(hào)， 給護(hù)罩區(qū)東部傳送驅(qū)動(dòng)信號(hào)，以便護(hù)罩開或關(guān)。有關(guān)控制部170的詳細(xì)描述請(qǐng)參照?qǐng)D3，。如上所述，位置感知部120感知到載體20的位置之后，可以打開或者關(guān)閉護(hù)罩 100。因此，可以有效地防止工程區(qū)300發(fā)生的質(zhì)點(diǎn)流入到調(diào)整區(qū)200。雖然圖1中位置感知部120設(shè)于腔40內(nèi)，但也可以附著于載體20。圖3是為了說明控制部中的載體和護(hù)罩的驅(qū)動(dòng)而提供的方塊圖。如圖3所示，本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的控制部I70可以從位置感知部120收到感知信號(hào)，并且生成驅(qū)動(dòng)載體驅(qū)動(dòng)部150以及護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部160的控制信號(hào)?？刂撇?70可以給各個(gè)載體驅(qū)動(dòng)部150以及護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部160傳送生成的控制信號(hào)。其中，控制信號(hào)可以包括移送載體20的驅(qū)動(dòng)信號(hào)， 停止載體20的停止信號(hào)，打開護(hù)罩100的打開信號(hào)，以及關(guān)閉護(hù)罩100的關(guān)閉信號(hào)。以下通過圖4至圖10，詳細(xì)描述載體20以及護(hù)罩100的動(dòng)作原理。它是由從控制部170提供給載體驅(qū)動(dòng)部150以及護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部160的控制信號(hào)的驅(qū)動(dòng)下完成動(dòng)作的。圖4至圖7示出了，載體20從調(diào)整區(qū)200移送到工程區(qū)300時(shí)的控制部170的動(dòng)作。如圖4至圖7所示，如果位置感知部120(在圖1的第一感知傳感器)收到感知信號(hào)，則控制部170給載體驅(qū)動(dòng)部150傳送停止信號(hào)。如果載體20停止在設(shè)定的位置上，則控制部170給護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部160傳送打開護(hù)罩100的打開信號(hào)。如果護(hù)罩100完全被打開， 為了載體20移動(dòng)到工程區(qū)300，控制部170給載體驅(qū)動(dòng)部150許可驅(qū)動(dòng)信號(hào)。接著，如果位置感知部120(在圖1的第二感知傳感器)收到查出載體20的末端的查出信號(hào)，則控制部170給載體驅(qū)動(dòng)部150傳送停止信號(hào)。接著，控制部170給護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部160傳送關(guān)閉護(hù)罩100的關(guān)閉信號(hào)。護(hù)罩100關(guān)閉以后，控制部170給載體驅(qū)動(dòng)部150許可驅(qū)動(dòng)信號(hào)。圖8至圖10示出了載體20從工程區(qū)300移送到調(diào)整區(qū)200，并且控制部170用與圖4至圖7所述相同的方式，供給控制信號(hào)到載體驅(qū)動(dòng)部150以及護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部160。圖11是本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例的基板處理裝置的方塊圖。與圖1以及圖3相比， 圖11除了位置感知部120之外結(jié)構(gòu)相同。因此，將省略相同的結(jié)構(gòu)的描述。圖11是控制部170生成控制信號(hào)之后給載體驅(qū)動(dòng)部150以及護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部160傳送的示意圖。圖11所示的基板處理裝置可以在控制部170利用預(yù)設(shè)的載體20的移動(dòng)距離以及速度信息而傳送控制載體驅(qū)動(dòng)部150以及護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部160的控制信號(hào)。其中，控制信號(hào)可以包括移送載體20的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，停止載體20的停止信號(hào)，打開護(hù)罩100的打開信號(hào)，以及關(guān)閉護(hù)罩100的關(guān)閉信號(hào)?？刂撇?70給載體驅(qū)動(dòng)部150傳送驅(qū)動(dòng)信號(hào)以及停止信號(hào)，使得當(dāng)基板10被安放在載體20時(shí)，移送載體20到設(shè)定的距離以后停止。其中，設(shè)定的距離是與護(hù)罩100接近的距離?？刂撇?70許可停止信號(hào)以后，給護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部160許可驅(qū)動(dòng)信號(hào)而控制護(hù)罩100打開。接著，在將護(hù)罩100完全打開以后，控制部170給載體驅(qū)動(dòng)部150傳送驅(qū)動(dòng)信號(hào)，使得載體20可以通過護(hù)罩100。在載體20已通過護(hù)罩100時(shí)，控制部170給載體驅(qū)動(dòng)部150許可停止信號(hào)而停止載體20。以后，控制部170給護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部160許可關(guān)閉信號(hào)而關(guān)閉護(hù)罩 100，并且給載體驅(qū)動(dòng)部150許可驅(qū)動(dòng)信號(hào)而移送載體20到工程區(qū)300。
當(dāng)工程處理完畢的基板10被移送到調(diào)整區(qū)200時(shí)，控制部170用如上所述相同的方式給載體驅(qū)動(dòng)部150以及護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部160許可控制信號(hào)，使得載體20被移送到調(diào)整區(qū) 200。同時(shí)，控制部170可以考慮工程時(shí)間而給載體驅(qū)動(dòng)部150以及護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部160傳送驅(qū)動(dòng)信號(hào)。例如，控制部170可以考慮調(diào)整基板10的時(shí)間，載體20到達(dá)護(hù)罩100附近的時(shí)間，基板工程處理時(shí)間等，而且生成控制信號(hào)?；?0引入到調(diào)整區(qū)200以后，控制部170可以生成控制信號(hào)供給各個(gè)載體驅(qū)動(dòng)部150以及護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部160，這個(gè)控制信號(hào)能夠滿足事先設(shè)定的有關(guān)載體移送時(shí)間、護(hù)罩開關(guān)時(shí)間和工程時(shí)間等的程序。同時(shí)，本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的基板處理裝置的控制部可以考慮載體的移動(dòng)速度和護(hù)罩打開速度，從而給護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部傳送打開信號(hào)或者關(guān)閉信號(hào)?？刂撇克愠鲚d體的移動(dòng)速度和載體和護(hù)罩之間的距離，并且算出的距離中找到載體能夠連續(xù)通過護(hù)罩地點(diǎn)，給該護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部傳送打開信號(hào)。載體通過護(hù)罩領(lǐng)域以后，控制部給護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部傳送關(guān)閉信號(hào)。例如，如果載體的移動(dòng)速度和護(hù)罩的打開或關(guān)閉的速度相同，為了載體可以通過護(hù)罩，當(dāng)載體到與護(hù)罩的長度相應(yīng)的位置時(shí)，傳送驅(qū)動(dòng)信號(hào)。在這種情況下，當(dāng)載體接近護(hù)罩時(shí)，護(hù)罩會(huì)完全被打開，因而載體在無需減速的情況下可以被移送到工程區(qū)。載體通過護(hù)罩被設(shè)置的領(lǐng)域之后，控制部傳送關(guān)閉護(hù)罩的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。同時(shí)，當(dāng)載體從工程區(qū)移動(dòng)到調(diào)整區(qū)時(shí)，如上所述，載體到達(dá)護(hù)罩之前，控制部傳送打開護(hù)罩的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。并且載體通過護(hù)罩領(lǐng)域之后，控制部立刻傳送關(guān)閉護(hù)罩的關(guān)閉信號(hào)。如上所述，控制部考慮載體的移動(dòng)速度和護(hù)罩的移動(dòng)速度而傳送打開或關(guān)閉護(hù)罩的控制信號(hào)，使得不需要更多的工程處理時(shí)間，也可以防止質(zhì)點(diǎn)擴(kuò)散到調(diào)整區(qū)。如上所述一樣，本發(fā)明的某些實(shí)施例的基板處理裝置具有調(diào)整區(qū)和工程區(qū)之間的護(hù)罩，因而可以防止粉塵或質(zhì)點(diǎn)從工程區(qū)擴(kuò)散到調(diào)整區(qū)，并且可以防止新引入的基板受污
^fe ο同時(shí)，為了防止質(zhì)點(diǎn)的污染，現(xiàn)有的技術(shù)采用延長腔的長度的方式，但具如果有護(hù)罩可以減少腔的長度。因此，節(jié)約空間而降低設(shè)備費(fèi)用。雖然已參照具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的精神進(jìn)行了詳細(xì)描述，但是這些實(shí)施例僅用于示例目的，而不是用來限制本發(fā)明?？梢悦靼?，在不背離本發(fā)明范圍和精神的情況下，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以對(duì)實(shí)施例進(jìn)行變化或改進(jìn)。<圖中主要部分的符號(hào)說明>10 基板20 載體30:入口40 腔100 護(hù)罩110:隔壁120 位置感知部
150載體驅(qū)動(dòng)部
160護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部
170控制部
200調(diào)整區(qū)
300工程區(qū)
權(quán)利要求
1.一種基板處理裝置，包括腔，其分區(qū)為引入基板一側(cè)的調(diào)整區(qū)和進(jìn)行基板處理工程的工程區(qū)；載體，其將引入的基板調(diào)整之后移送到上述工程區(qū)，并且在工程完畢后將基板移送到上述調(diào)整區(qū)；以及護(hù)罩，其設(shè)置于上述腔內(nèi)的所述調(diào)整區(qū)和所述工程區(qū)之間，從而阻擋所述工程區(qū)發(fā)生的污染物流入到所述調(diào)整區(qū)，并且隨著所述載體的移送而被打開或被關(guān)閉。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，進(jìn)一步包括載體驅(qū)動(dòng)部，其給所述載體傳達(dá)動(dòng)力；護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部，其給所述護(hù)罩傳達(dá)動(dòng)力；以及控制部，其給所述載體驅(qū)動(dòng)部以及所述護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部傳送控制信號(hào)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板處理裝置，其中，所述控制信號(hào)包括移動(dòng)所述載體的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，停止所述載體的停止信號(hào)，打開所述護(hù)罩的打開信號(hào)，以及關(guān)閉所述護(hù)罩的關(guān)閉信號(hào)中的一個(gè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板處理裝置，其中，如果所述載體位于與所述護(hù)罩相鄰的領(lǐng)域，則所述控制部給所述載體驅(qū)動(dòng)部傳送停止信號(hào)，并且給所述護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部傳送所述打開信號(hào)，而如果所述載體已通過所述護(hù)罩，則所述控制部給所述護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部傳送所述關(guān)閉信號(hào)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板處理裝置，其中，如果所述載體向所述護(hù)罩移動(dòng)，所述控制部利用所述載體的移動(dòng)速度和時(shí)間，算出所述護(hù)罩和所述載體之間的距離，并且在算出的距離中找到所述載體可以連續(xù)通過的地點(diǎn)，給所述護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部傳送所述打開信號(hào)，而如果所述載體已通過，所述控制部給所述護(hù)罩驅(qū)動(dòng)部傳送關(guān)閉信號(hào)。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板處理裝置，進(jìn)一步包括位置感知部，其設(shè)在所述腔內(nèi)壁和所述載體之中的一個(gè)，并且當(dāng)所述載體的位置相鄰與所述護(hù)罩時(shí)，生成感知信號(hào)并傳送給所述控制部。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，進(jìn)一步包括隔壁，其設(shè)于所述護(hù)罩被設(shè)置的領(lǐng)域，并且其高度至少應(yīng)該達(dá)到所述載體可移動(dòng)的高度。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其中，如果所述載體相鄰于所述護(hù)罩，則所述護(hù)罩保持打開的狀態(tài)，而在其他領(lǐng)域中，所述護(hù)罩保持關(guān)閉狀態(tài)。
全文摘要
本發(fā)明披露了一種基板處理裝置。該基板處理裝置包括腔，其分區(qū)為引入基板一側(cè)的調(diào)整區(qū)和進(jìn)行基板處理工程的工程區(qū)；載體，其將引入的基板調(diào)整之后移送到上述工程區(qū)，并且在工程完畢后將基板移送到調(diào)整區(qū)；以及護(hù)罩，其設(shè)置于腔內(nèi)的調(diào)整區(qū)和工區(qū)之間，從而阻擋工程區(qū)發(fā)生的污染物流入到調(diào)整區(qū)，并且隨著載體的移送而被打開或被關(guān)閉。
文檔編號(hào)H01L21/677GK102437075SQ201010296620
公開日2012年5月2日 申請(qǐng)日期2010年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月29日
發(fā)明者南宮晟泰, 尹亨碩, 樸秉瑀, 李泰成 申請(qǐng)人:Snu精密股份有限公司