專利名稱：對準襯底的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種對準襯底的方法，且更明確地說，涉及以下一種對準襯底的方法， 其中多對對準標記的未對準值(misalignment value)包含在容許范圍中。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有技術(shù)中，使用陰極射線管(cathode ray tube, CRT)作為顯示設(shè)備。然而， CRT具有例如體積大且重量重的缺點。因此，近年來，對平板顯示面板的使用日增，例如液晶 顯示器(liquid crystal display, LCD)、等離子顯示面板(plasma display panel, PDP) 和有機發(fā)光裝置(organic light emitting device，OLED)。平板顯示面板具有例如重量 輕、細長且低功率消耗的特性。平板顯示面板通過附接一對上下襯底來制造。舉例來說，在IXD的情況下，上面形 成有多個薄膜晶體管(thin film transistor)和像素電極(pixel electrode)的下襯底 由下卡盤(lower chuck)支撐且固定到所述下卡盤上。沿下襯底的邊緣涂布例如密封劑 (sealant)之類的密封部件，且接著將液晶滴落到下襯底上。同樣，上面形成有彩色濾光片 (color filter)禾口共同電極(common electrode)的上襯底由上卡盤(upper chuck)支撐， 所述上卡盤安置在下卡盤上方且面朝下卡盤。給上卡盤和下卡盤中的每一個提供用于支撐 并固定上襯底的靜電卡盤(electrostatic chuck)。在附接上襯底與下襯底之前，所述襯底首先需要對準。為了此對準，要在上襯底和 下襯底的四個角處形成對準標記。上襯底處的一個對準標記與下襯底處的相應(yīng)對準標記可 被定義成一對對準標記?？赏ㄟ^對準所述四對對準標記來使上襯底與下襯底對準。上襯底與下襯底的大小和形狀由于(例如)切割期間的加工誤差而可能不會完全 相同。同樣，上襯底的對準標記的位置與下襯底的對準標記的位置也可能稍有不同。在現(xiàn) 有技術(shù)中，上襯底與下襯底是通過減小所述四對對準標記的平均未對準值來對準。舉例來 說，上襯底與下襯底是通過最小化所述四對對準標記中的三對對準標記的未對準值以減小 平均未對準值來對準。因此，剩余的第四對對準標記的未對準值可在容許范圍外，雖然所述 三對對準標記的未對準值包含在容許范圍中仍如此，且因此，附接過程的結(jié)果可能變得有 缺陷。即，在一對對準標記的未對準值不包含在容許范圍中時，上面形成有多個薄膜晶體管 的下襯底不與上面形成有彩色濾光片和共同電極的上襯底匹配，使得產(chǎn)生有缺陷的面板e。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種對準襯底的方法，其中使最大未對準值減小，直到多對對準標記 的相應(yīng)未對準值包含在容許范圍中為止。根據(jù)示范性實施例，提供一種對準一襯底結(jié)合設(shè)備(substrate binding apparatus)的第一襯底與第二襯底的方法，所述襯底結(jié)合設(shè)備包含用于對準第一襯底與第 二襯底的對準單元，第一襯底和第二襯底中的每一個包括多個對準標記。第一襯底的所述 多個對準標記中的一個與第二襯底的所述多個對準標記中的對應(yīng)者被定義成一對對準標記。所述方法包含減小多個未對準值中的最大未對準值以便對準第一襯底與第二襯底，每 一未對準值是從每一對對準標記獲得。減小最大未對準值可包含對準第一襯底與第二襯底，使得多對對準標記的未對準 值包含在容許范圍內(nèi)。所述方法可包含在第一襯底和第二襯底中的任一個虛擬地移動的X、Y和θ方向 上設(shè)定虛擬移動算術(shù)范圍，和通過將所述虛擬移動算術(shù)范圍劃分成若干個區(qū)段來設(shè)定虛擬 移動算術(shù)空間；在與虛擬移動算術(shù)范圍內(nèi)相應(yīng)的虛擬移動算術(shù)空間對應(yīng)的虛擬移動算術(shù)值 處執(zhí)行算術(shù)運算，且存儲Χ、γ和θ方向上在相應(yīng)的虛擬移動算術(shù)值處所獲得的最大未對準 值；搜索所述最大未對準值中的最小值和X、Y和θ方向上對應(yīng)于所述最小值的虛擬移動 算術(shù)值；和將Χ、γ和θ方向上的虛擬移動算術(shù)空間與X、Y和θ方向上所述對準單元的分 辨率進行比較。在Χ、Υ和θ方向上虛擬移動算術(shù)空間中的至少一個大于X、Y和θ方向 上所述對準單元的分辨率的情況下，所述方法可還包含設(shè)定兩個虛擬移動算術(shù)值之間的 范圍作為Χ、γ和θ方向上的新虛擬移動算術(shù)范圍，使得所述新虛擬移動算術(shù)范圍小于先前 的虛擬移動算術(shù)范圍；和通過將所述新虛擬移動算術(shù)范圍劃分成若干個區(qū)段來設(shè)定新虛擬 移動算術(shù)空間，使得所述新虛擬移動算術(shù)空間小于先前的虛擬移動算術(shù)空間。在χ、γ和Θ 方向上虛擬移動算術(shù)空間中的至少一個大于X、Y和θ方向上所述對準單元的分辨率的情 況下，所述方法可重復(fù)設(shè)定兩個虛擬移動算術(shù)值之間的所述范圍作為所述新虛擬移動算 術(shù)范圍；設(shè)定所述新虛擬移動算術(shù)空間；執(zhí)行所述算術(shù)運算，且存儲所述最大未對準值；搜 索所述最大未對準值中的最小值和對應(yīng)于所述最小值的虛擬移動算術(shù)值；和將Χ、γ和θ方 向上的虛擬移動算術(shù)空間與X、Y和θ方向上所述對準單元的分辨率進行比較。在Χ、Υ和 θ方向上相應(yīng)的虛擬移動算術(shù)空間等于或小于Χ、Υ和θ方向上所述對準單元的分辨率的 情況下，所述方法可還包含沿Χ、γ和θ方向?qū)⒌谝灰r底和第二襯底中的一個移動到對應(yīng)于 所述最小值的虛擬移動算術(shù)值以對準第一襯底與第二襯底。在通過將虛擬移動算術(shù)范圍劃分成若干個區(qū)段來設(shè)定虛擬移動算術(shù)空間的期間， Χ、γ和θ方向上的虛擬移動算術(shù)空間經(jīng)設(shè)定以在Χ、Υ和θ方向上具有在虛擬移動算術(shù)范 圍中的恒定空間。虛擬移動算術(shù)值可為Χ、γ和θ方向上虛擬移動算術(shù)空間的邊界點，且在所述虛擬 移動算術(shù)值處執(zhí)行算術(shù)運算。將Χ、Υ和θ方向上的初始虛擬移動算術(shù)范圍設(shè)定為Χ、Υ和θ方向上第一襯底與 第二襯底之間的最大未對準值。存儲Χ、Υ和θ方向上對相應(yīng)的虛擬移動算術(shù)值處所獲得的最大未對準值可包含 對于對應(yīng)于每一虛擬移動算術(shù)值的所有各對(pairs)的未對準標記進行X、Y和θ方向上 呈(χ，γ，θ)形式的組合，且相對于所有組合計算未對準值；和存儲針對每一虛擬移動算術(shù) 值處的所有各對的未對準標記所獲得的經(jīng)計算的未對準值中的最大未對準值，作為每一虛 擬移動算術(shù)值的最大未對準值。在設(shè)定兩個虛擬移動算術(shù)值之間的范圍作為新虛擬移動算術(shù)范圍的期間，所述兩 個虛擬移動算術(shù)值中的一個可鄰近于沿一個方向?qū)?yīng)于最小值的虛擬移動算術(shù)值，且所述 兩個虛擬移動算術(shù)值中的另一個可鄰近于沿相反方向?qū)?yīng)于最小值的虛擬移動算術(shù)值。在通過將新虛擬移動算術(shù)范圍劃分成若干個區(qū)段來設(shè)定新虛擬移動算術(shù)空間的期間，新虛擬移動算術(shù)范圍中區(qū)段的數(shù)目是與先前虛擬移動算術(shù)范圍中區(qū)段的數(shù)目相同。


可由結(jié)合附圖所進行的以下描述來更詳細地理解示范性實施例，在附圖中圖1是根據(jù)示范性實施例的襯底結(jié)合設(shè)備的示意圖。圖2是說明根據(jù)示范性實施例的對準襯底的方法的流程圖。圖3是用來說明第一襯底和第二襯底中的任一個在X、Y和θ方向上移動時最大 移動范圍的示意圖，以便描述根據(jù)示范性實施例的對準襯底的方法。圖4是根據(jù)示范性實施例的形成于第一襯底和第二襯底中的每一個上的多個對 準標記的示意圖。圖5是根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的對準襯底的方法來對準的第一襯底和第二襯底的示意圖。圖6Α到圖6D是第二襯底的虛擬移動以便用根據(jù)示范性實施例的方法來對準第一 襯底與第二襯底的示意圖。圖7Α和圖7Β是說明根據(jù)示范性實施例的一種方法的曲線圖，所述方法設(shè)定X方 向上的第一虛擬移動算術(shù)范圍、第一虛擬移動算術(shù)空間、第二虛擬移動算術(shù)范圍和第二虛 擬移動算術(shù)空間。
具體實施例方式下文中，將參看附圖來詳細地描述具體實施例。然而，本發(fā)明可以多種不同形式來 具體化，且不應(yīng)解釋為限于本文中所闡述的實施例。相反，提供這些實施例，以使得本發(fā)明 將為詳盡且完整的，且將本發(fā)明的范圍充分傳達給所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員。圖1是根據(jù)示范性實施例的襯底結(jié)合設(shè)備的示意圖。參看圖1，根據(jù)示范性實施例的襯底結(jié)合設(shè)備可包含腔室部分100，其具有內(nèi)部 空間；第一襯底支撐單元210，其安置在腔室部分100的上側(cè)處以支撐并固定第一襯底101 ； 第一升降機(elevator)部分220，其連接到第一襯底支撐單元210的上部部分以提升和降 下第一襯底支撐單元210 ；第二襯底支撐單元230，其安置在第一襯底支撐單元210之下以 面朝第一襯底支撐單元210，用于支撐并固定第二襯底102;驅(qū)動部分300，其包含第二升 降機部分310和對準單元320，所述第二升降機部分310連接到第二襯底支撐單元230的 下側(cè)以在Z軸方向上提升和降下第二襯底支撐單元230，所述對準單元320在X-Y- θ方向 上移動第二襯底支撐單元230以執(zhí)行第一襯底101與第二襯底102之間的對準；和控制器 400，其連接到對準單元320以控制對準單元320。另外，盡管圖中未示，但襯底結(jié)合設(shè)備 可還包含照相機部分，所述照相機部分安置在腔室部分100外部以拍取第一襯底101和第 二襯底102中的每一個的對準標記的圖像且通過變焦(zoom)功能而具有多個視域(view region)0根據(jù)示范性實施例的襯底結(jié)合設(shè)備使用對準單元320在X、Y、和θ方向上移動第 二襯底支撐單元230以執(zhí)行第一襯底101與第二襯底102之間的對準。當然，第一襯底支 撐單元210或第一襯底支撐單元101和第二襯底支撐單元102兩者都可在Χ、Υ、和θ方向 上移動以執(zhí)行第一襯底101與第二襯底102之間的對準。腔室部分100包含上部腔室110和下部腔室120，此兩個腔室具有用于執(zhí)行第一襯底101與第二襯底102的結(jié)合工藝和分離工藝的空間。上部腔室110與下部腔室120可 有效地附接或可拆分(detachable)。同樣，盡管圖中未示，但腔室部分100可還包含單獨 的壓力控制器(未圖示)，其控制腔室部分100的內(nèi)部空間的壓力；和單獨的排放單元(未 圖示)，其排放雜質(zhì)。腔室部分100可還包含用于提升和降下上部腔室110和/或下部腔 室120的升降機部件，且第一襯底101和第二襯底102可通過提升或降下上部腔室110或 下部腔室120而載入到腔室部分100中或從腔室部分100卸下。第一襯底支撐單元210安置在與上部腔室110的內(nèi)上側(cè)相鄰處以支撐并固定第一 襯底101。第一襯底支撐單元210是制造成矩形的板形狀，且包含使用靜電力支撐第一襯底 101的靜電卡盤。當然，本發(fā)明不限于此，且第一襯底支撐單元210可制造成各種形狀。優(yōu) 選地，第一襯底支撐單元210是制造成與第一襯底101類似的形狀。同樣，第一襯底支撐單 元210可使用能夠支撐并固定第一襯底101以及靜電卡盤的任何各種配置。本文中，第一 襯底支撐單元210是制造成一體式。然而，本發(fā)明不限于此。舉例來說，第一襯底支撐單元 210可提供成多個，且多個第一襯底支撐單元210可裝備成矩陣配置。第一襯底支撐單元210連接到第一升降機部分220，第一升降機部分220提升或降 下第一襯底支撐單元210。第一升降機部分220包含第一升降機軸221和將驅(qū)動動力施加 給第一升降機軸221的第一驅(qū)動動力部分222。第一升降機軸221經(jīng)安裝而通過上部腔室 110的一部分。因此，安裝第一密封部件223 (例如，波紋管(bellows))以便圍起第一升降 機軸221的圓周并保護上部腔室110的密封。第二襯底支撐單元230安置在與下部腔室120的內(nèi)下側(cè)相鄰處以支撐并固定第二 襯底102。第二襯底支撐單元230是制造成矩形的板形狀，且包含使用靜電力支撐第二襯底 102的靜電卡盤。當然，本發(fā)明不限于此，且第二襯底支撐單元230可制造成各種形狀。優(yōu) 選地，第二襯底支撐單元230是制造成與第二襯底102類似的形狀。同樣，第二襯底支撐單 元230可使用能夠支撐并固定第二襯底102以及靜電卡盤的任何各種配置。本文中，第二 襯底支撐單元230是制造成一體式。然而，本發(fā)明不限于此。舉例來說，第二襯底支撐單元 230可提供成多個，且多個第二襯底支撐單元230可裝備成矩陣配置。第二襯底支撐單元230連接到驅(qū)動部分300，所述驅(qū)動部分300包含第二升降機部 分310和對準單元320。第二升降機部分310連接到第二襯底支撐單元230的下側(cè)以在Z 軸方向上提升或降下第二襯底支撐單元230。對準單元320連接到第二襯底支撐單元230 的下側(cè)以在X、Y和θ方向上移動第二襯底支撐單元230。第二升降機部分310包含連接到 第二襯底支撐單元230的下側(cè)的第二升降機軸311和將驅(qū)動動力施加給第二升降機軸311 的第二驅(qū)動動力部分312。第二升降機軸311經(jīng)安裝而通過下部腔室120的一部分。因此， 安裝第二密封部件313 (例如，波紋管)以便圍起第二升降機軸311的圓周并保護該腔室部 分100的密封。同樣，對準單元320包含連接到第二襯底支撐單元230的下側(cè)的對準軸321和驅(qū) 動該對準軸321的對準驅(qū)動部分323。本文中，由于連接到對準軸321的第二襯底支撐單元 230 (第二襯底安裝在第二襯底支撐單元230上)是通過對準驅(qū)動部分323來在X、Y和θ 方向上移動，所以可執(zhí)行第一襯底101與第二襯底102之間的對準。此時，對準軸321經(jīng)安 裝而通過下部腔室120的一部分。因此，安裝圍起對準軸321的圓周的第三密封部件323 以保護該腔室部分100的密封。對準單元320具有相對于X、Y和θ方向中的每一個的分辨率(resolution)。分辨率越高，第一襯底101與第二襯底102之間的對準越精確。在示 范性實施例中，對準單元320分別相對于X、Y和θ方向具有0.2 μ m、0. 2 μ m和0.01°的 分辨率。當然，本發(fā)明不限于此，且對準單元320可具有各種分辨率?？刂破?00連接到對準單元320的對準驅(qū)動部分323以控制對準單元320的操作。 根據(jù)示范性實施例，控制器400連接到與第二襯底支撐單元230連接的對準單元320以控 制對準單元320，使得第二襯底支撐單元230在X、Y和θ方向上移動。圖2是說明根據(jù)示范性實施例的對準襯底的方法的流程圖。圖3是用來說明第一 襯底和第二襯底中的任一個在Χ、γ和θ方向上移動時最大移動范圍的示意圖，以便描述根 據(jù)示范性實施例的對準襯底的方法。圖4是根據(jù)示范性實施例的形成于第一襯底和第二襯 底中的每一個上的多個對準標記的示意圖。圖5是根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的對準襯底的方法來對準 的第一襯底和第二襯底的示意圖。圖6Α到圖6D是第二襯底的虛擬移動以便根據(jù)示范性實 施例的方法來對準第一襯底與第二襯底的示意圖。圖7Α和圖7Β是說明根據(jù)示范性實施例 的一種方法的圖，所述方法設(shè)定X方向上的第一虛擬移動算術(shù)范圍、第一虛擬移動算術(shù)空 間、第二虛擬移動算術(shù)范圍和第二虛擬移動算術(shù)空間。下文中，參看圖1到圖7來描述對準襯底的方法。首先，將第一襯底101和第二襯底102分別安裝在襯底附接設(shè)備的第一襯底支撐 單元210和第二襯底支撐單元230上。盡管圖中未示，但多個薄膜晶體管和像素電極形成 于第一襯底101上，且彩色濾光片和共同電極形成于第二襯底102上。當然，本發(fā)明不限于 此，且各種襯底可用于第一襯底101和第二襯底102。如圖4中所示，第一襯底101和第二 襯底102中的每一個在其四個角處具有四個對準標記，以用于第一襯底101與第二襯底102 之間的對準。即，第一襯底101在其四個角處具有四個對準標記a、b、c和d，且第二襯底102 在其四個角處具有四個對準標記A、B、C和D。舉例來說，在第一襯底101的對準標記‘a(chǎn)’、 ‘b’、‘C，和‘d’分別對應(yīng)于第二襯底102的對準標記‘A，、‘B，、‘C’和‘D，時，每一對匹配 的a-A、b-B、c-C和d-D被稱作‘一對對準標記’。因此，第一襯底101與第二襯底102之間 的對準可通過使所述四對對準標記(即，a-A、b-B、c-C和d-D)對準來執(zhí)行。此時，所述對 準標記對準，使得所有四對對準標記(即，a-A、b-B、c-C和d-D)的未對準值落在容許范圍 內(nèi)。有時，第一襯底101與第二襯底102的大小和形狀可能彼此并不相同。舉例來說， 如圖4中所示，第二襯底102可能比第一襯底101大預(yù)定大小。對于另一實例來說，第一襯 底101可具有矩形形狀，而第二襯底102具有四邊形形狀，其兩個角的角度為90°且其剩 余兩個角的角度分別為銳角和鈍角。S卩，第二襯底102不具有四個角的角度皆為90°的矩 形形狀。如圖5中所示，用根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的方法來對準此類型的襯底，所述對準是通過減小 所述四對對準標記(即，a-A、b-B、c-C和d-D)的平均未對準值來執(zhí)行的。舉例來說，使襯 底對準，使得三對未對準標記‘a(chǎn)-A’、‘c-C’和‘d-D’的未對準值最小化以便減小平均未對 準值。結(jié)果，所述三對對準標記‘a(chǎn)-A’、‘c-C’和‘d-D，的未對準值可包含在容許范圍內(nèi)， 而‘b-B’對的未對準值在容許范圍外。然而，在示范性實施例中，如圖6D中所示，第一襯底 101與第二襯底102對準，使得所述四對對準標記‘a(chǎn)-A，、‘b-B，、‘c-C，和‘d_D，的未對準 值皆包含在容許范圍內(nèi)。將在下文描述一種將第一襯底101與第二襯底102對準的方法， 使得所述四對對準標記‘a(chǎn)-A’、‘b-B’、‘c-C’和‘d-D’的未對準皆包含在容許范圍內(nèi)。
在控制器400處設(shè)定X、Y和θ方向上的虛擬移動算術(shù)范圍和通過將虛擬移動算 術(shù)范圍劃分成若干個區(qū)段而獲得的虛擬移動算術(shù)空間(SllO)。如圖7Α和圖7Β中所示，最 初設(shè)定的虛擬移動算術(shù)范圍可被稱作“第一虛擬移動算術(shù)范圍”，且最初設(shè)定的虛擬移動算 術(shù)空間可被稱作“第一虛擬移動算術(shù)空間”。第一襯底101和第二襯底102中的任一個在 Χ、Υ和θ方向上在虛擬移動算術(shù)范圍內(nèi)的虛擬移動算術(shù)空間中虛擬地移動。S卩，虛擬移動 算術(shù)范圍表示一種移動范圍，其中第一襯底101和第二襯底102中的任一個虛擬地移動以 執(zhí)行第一襯底101與第二襯底102之間的對準。換句話說，通過虛擬地移動襯底和相對于 虛擬移動來執(zhí)行算術(shù)運算而無需實際上移動任何襯底來確定移向何處或移動多遠。如上文 所述，優(yōu)選地沿X、Y和θ方向中的每一個設(shè)定虛擬移動算術(shù)范圍。在示范性實施例中，僅 在虛擬移動范圍內(nèi)的特定虛擬移動值處發(fā)生虛擬移動，而非掃描該虛擬移動范圍內(nèi)的每一 點。此時，所述特定虛擬移動值在虛擬移動算術(shù)范圍內(nèi)可隔開恒定空間。在特定虛擬移動 值處執(zhí)行算術(shù)運算。參與到算術(shù)運算中的虛擬移動算術(shù)值之間的空間被稱作虛擬移動算術(shù) 空間。由于虛擬移動算術(shù)范圍是沿Χ、Υ和θ方向設(shè)定的，因此虛擬移動算術(shù)空間也沿Χ、Υ 和θ方向設(shè)定。在示范性實施例中，如上文所述，使上面安裝著第一襯底101的第一襯底支撐單 元210固定，且上面安裝著第二襯底102的第二襯底支撐單元230在Χ、Υ和θ方向的Χ、Υ 方向上移動，以執(zhí)行第一襯底101與第二襯底102之間的對準。因此，優(yōu)選地，在控制器400 處針對第二襯底102來設(shè)定虛擬移動算術(shù)范圍和虛擬移動算術(shù)空間。因此，在示范性實施 例中，在第一襯底101為固定的狀態(tài)下，在將第二襯底102虛擬地定位于虛擬移動算術(shù)范圍 內(nèi)的虛擬移動算術(shù)值處時，計算四對對準標記‘a(chǎn)-A、b-B、c-C和d-D’的未對準值。此時，如 上文所述，由于第一襯底101固定，因此四個對準標記‘a(chǎn)、b、c*d’的位置不變。因此，在 示范性實施例中，在第一襯底101的四個對準標記‘a(chǎn)、b、c和d’的位置固定的狀態(tài)下，在將 第二襯底102虛擬地移動到虛擬移動算術(shù)范圍內(nèi)的虛擬移動算術(shù)值時，計算四對對準標記 a-A、b-B、c-C和d-D的未對準值。下文中，將參看圖7A來簡要地描述在X方向上設(shè)定虛擬移動算術(shù)范圍和虛擬移動 算術(shù)空間的方法。參看圖7A，將虛擬移動算術(shù)范圍(也可被稱作“第一虛擬移動算術(shù)范圍”) 劃分成若干個區(qū)段，例如10個區(qū)段。如圖7A中可見，10個區(qū)段由11個邊界點限定。將虛 擬移動算術(shù)范圍劃分成10個區(qū)段的11個邊界點被稱作虛擬移動算術(shù)值，且其將參與到算 術(shù)運算中。且每一區(qū)段被稱作虛擬移動算術(shù)空間。虛擬移動算術(shù)空間也可表示為“第一虛 擬移動算術(shù)空間”，這是因為其是最初設(shè)定的。盡管圖中未示，但也如上文所描述般在Y和 θ方向上設(shè)定虛擬移動算術(shù)范圍、虛擬移動算術(shù)值和虛擬移動算術(shù)空間。初始虛擬移動算術(shù)范圍(即，第一虛擬移動算術(shù)范圍)可為第一襯底101與第二 襯底102之間的最大未對準值。具體來說，在第一襯底101和第二襯底102分別附接在第 一襯底支撐單元210和第二襯底支撐單元230上時，第一襯底101與第二襯底102之間的 未對準可能發(fā)生。由于襯底放置在襯底支撐單元的區(qū)域內(nèi)，因此未對準可能僅發(fā)生在X、Y 和θ方向上襯底支撐單元的區(qū)域內(nèi)。因此，在襯底支撐單元的區(qū)域內(nèi)第一襯底101與第二 襯底102之間可能產(chǎn)生的最大未對準可用作初始虛擬移動算術(shù)范圍。舉例來說，在根據(jù)示范性實施例的襯底結(jié)合設(shè)備中，在第一襯底101和第二襯底 102安裝在第一襯底支撐單元210和第二襯底支撐單元230上后，在Χ、Υ和θ方向上可能產(chǎn)生的最大可能未對準值分別為在X方向上的士2000 μ m、在Y方向上的士2000 μ m，和在 θ方向上的士0.1°。此時，在X方向上的虛擬移動算術(shù)范圍為-2000μπι到+2000μπι，在 Y方向上的虛擬移動算術(shù)范圍為-2000μπι到+2000μπι，且在θ方向上的虛擬移動算術(shù)范 圍為-0.1°到+0.1°。當然，本發(fā)明不限于此，且第一襯底101與第二襯底102之間的在 Χ、Υ和θ方向上的虛擬移動算術(shù)范圍可因各種條件(例如，襯底結(jié)合設(shè)備的大小和結(jié)構(gòu)) 而改變。同樣，第一襯底101與第二襯底102之間的在Χ、Υ和θ方向上的虛擬移動算術(shù)范 圍可甚至因第一襯底101和第二襯底102的大小以及第一襯底101和第二襯底102中的每 一個上的多個對準標記而改變。在Χ、Υ和θ方向中的每一個上在虛擬移動算術(shù)范圍內(nèi)設(shè) 定虛擬移動算術(shù)空間。舉例來說，在X方向上的虛擬移動算術(shù)范圍-2000μπι到+2000 μ m 劃分成10個具有恒定大小的區(qū)段時，第一虛擬移動算術(shù)空間變成400 μ m。因此，在X方向 上-2000 μ m到+2000 μ m的虛擬移動算術(shù)范圍內(nèi)的虛擬移動算術(shù)值為-2000 μ m、_1600 μ m
,-1200 μ m...... 1200 μ m、1600 μ m、和2000 μ m?？扇缟衔乃枋霭阍赮和θ方向中的每
一個上設(shè)定虛擬移動算術(shù)范圍和虛擬移動算術(shù)空間。其后，分別對Χ、Υ和θ方向上的虛擬移動算術(shù)范圍內(nèi)的虛擬移動算術(shù)空間處執(zhí)行 算術(shù)運算以存儲Χ、Υ和θ方向上的最大未對準值(S120)。為此目的，首先將對應(yīng)于Χ、Υ和 θ方向上第二襯底102的每一虛擬移動算術(shù)值的所有各對的未對準標記表達成X、Y和θ 的組合。在示范性實施例中，相對于虛擬移動算術(shù)值的所有組合來計算未對準值。即，針對 每一虛擬移動算術(shù)值來計算四對對準標記a-A、b-B、c-C和d-D的(Χ，Υ，θ)組合的未對準 值，且接著將每一虛擬移動算術(shù)值處的所述四對未對準標記的所計算出的未對準值中的最 大未對準值用作每一虛擬移動算術(shù)值的最大未對準值。舉例來說，考慮到特定虛擬移動算 術(shù)值處的四對對準標記a-A、b-B、c-C和d-D的未對準值，第一襯底101的對準標記‘b’與 第二襯底102的對準標記‘B’之間的未對準值可為最大值。接著，將第一襯底101的對準 標記‘b’與第二襯底102的對準標記‘B’之間的未對準值存儲為特定虛擬移動值處的最大 未對準值。此時，在示范性實施例中，通過測量第一襯底101的對準標記a、b、c或d的中心 與第二襯底102的對準標記A、B、C或D的中心之間的距離來計算未對準值。因此，分別在 每一虛擬移動算術(shù)值處計算四對對準標記a-A、b-B、c-C和d-D的未對準值，且存儲每一虛 擬移動算術(shù)值的在所述四個未對準值中的最大未對準值。其后，搜索所述最大未對準值中的最小值和對應(yīng)于所述最小值的虛擬移動算術(shù)值 (S130)。即，搜索針對相應(yīng)的虛擬移動算術(shù)值存儲的最大未對準值中的最小值，且沿X、Y和 θ方向搜索對應(yīng)于所述最小值的虛擬移動算術(shù)值。其后，沿Χ、Υ和θ方向中的每一個將虛擬移動算術(shù)空間與對準單元320的分辨率 進行比較(S140)。本文中，Χ、Υ和θ方向上對準單元320的分辨率分別為(例如)0.2μm 0.2μm和0.01°。當然，本發(fā)明不限于此，且Χ、Υ和θ方向上對準單元320的分辨率可改變。舉例來說，考慮到X、Y和θ方向上相應(yīng)的虛擬移動算術(shù)空間等于或小于X、Y和 θ方向上對準單元的分辨率，沿X、Y和θ方向?qū)⒌诙r底102移動到對應(yīng)于最小值的虛 擬移動算術(shù)值以對準第一襯底與第二襯底(S150)。此時，第二襯底102是通過使用第二襯 底支撐單元230來移動。這樣，如圖6D中所示，第一襯底101與第二襯底102可彼此對準， 使得四對對準標記a-A、b-B、c-C和d-D的所有未對準值皆落在容許范圍內(nèi)。通過降下第一襯底支撐單元210或提升第二襯底支撐單元230，以便附接彼此對準的第一襯底101與第二 襯底102。當然，通過提升第一襯底支撐單元210且降下第二襯底支撐單元230，可附接彼 此對準的第一襯底101與第二襯底102。同時，在X、Y和θ方向上的虛擬移動算術(shù)空間中的至少一個大于X、Y和θ方向 上對準單元的分辨率的情況下，所述方法返回到SllO以設(shè)定X、Y和θ方向上的虛擬移動 算術(shù)范圍和虛擬移動算術(shù)空間，以便在Χ、γ和θ方向中的每一個上設(shè)定新虛擬移動算術(shù)范 圍和新虛擬移動算術(shù)空間?；蛘?，所述方法可還包含設(shè)定兩個虛擬移動算術(shù)值之間的范圍 作為Χ、γ和θ方向上的新虛擬移動算術(shù)范圍，使得所述新虛擬移動算術(shù)范圍小于先前的虛 擬移動算術(shù)范圍；和通過將所述新虛擬移動算術(shù)范圍劃分成若干個區(qū)段來設(shè)定新虛擬移動 算術(shù)空間，使得所述新虛擬移動算術(shù)空間小于先前的虛擬移動算術(shù)空間。下文中，在x、Y和 θ方向中的每一個上新設(shè)定的虛擬移動算術(shù)范圍和虛擬移動算術(shù)空間被稱作新虛擬移動 算術(shù)范圍和新虛擬移動算術(shù)空間。新虛擬移動算術(shù)范圍和新虛擬移動算術(shù)空間在被第二次 設(shè)定時可被稱作第二虛擬移動算術(shù)范圍和第二虛擬移動算術(shù)空間。類似地，新虛擬移動算 術(shù)范圍和新虛擬移動算術(shù)空間在被第三次設(shè)定時可被稱作第三虛擬移動算術(shù)范圍和第三 虛擬移動算術(shù)空間。此時，優(yōu)選地，將X、Y和θ方向上的新虛擬移動算術(shù)范圍設(shè)定為小于 先前范圍且包含對應(yīng)于在先前運算中所獲得的最小值的虛擬移動算術(shù)值。下文中，將參看 圖7Α和圖7Β來描述在X方向上設(shè)定新虛擬移動算術(shù)范圍和新虛擬移動算術(shù)空間的方法。 參看圖7Α，如上文所提及，將新虛擬移動算術(shù)范圍設(shè)定為包含X方向上對應(yīng)于先前運算中 的最小值的虛擬移動算術(shù)值的最小范圍。即，設(shè)定兩個虛擬移動算術(shù)值之間的范圍作為新 虛擬移動算術(shù)范圍，所述兩個虛擬移動算術(shù)值中的一個鄰近于一個方向上對應(yīng)于最小值的 虛擬移動算術(shù)值，且所述兩個虛擬移動算術(shù)值中的另一個鄰近于沿相反方向?qū)?yīng)于最小值 的虛擬移動算術(shù)值。這樣，包含X方向上對應(yīng)于先前運算的最小值的虛擬移動算術(shù)值的最 小范圍可設(shè)定為新虛擬移動算術(shù)范圍。如圖7Β中所示，新(第二)虛擬移動算術(shù)范圍劃分 成10個區(qū)段。區(qū)段的數(shù)目可與先前(第一)虛擬移動算術(shù)范圍中的區(qū)段數(shù)目相同。因此， 劃分新(第二)虛擬移動算術(shù)范圍的邊界點之間的空間被稱作新(第二)虛擬移動算術(shù)空 間。將新(第二)虛擬移動算術(shù)范圍劃分成10個區(qū)段的11個邊界點被設(shè)定為參與到算術(shù) 運算中的虛擬移動算術(shù)值。盡管圖中未示，但也如上文所描述般沿Y和θ方向設(shè)定新虛擬 移動算術(shù)范圍和新虛擬移動算術(shù)空間。舉例來說，在對應(yīng)于先前算術(shù)運算中的最小值的虛擬移動算術(shù)值的(X，Y，Θ)組 合為(800 μ m，1200 μ m，0.04° )，且在先前算術(shù)運算中，X、Y和θ方向上的虛擬移動算術(shù) 空間分別為400 μπκ400 μ m和0.02°時，可將X、Y和θ方向上的新虛擬移動算術(shù)范圍分 別設(shè)定為400 μ m到1200 μ m、800 μ m到1600 μ m，和0.02°到+0.06°。在新虛擬移動算術(shù) 范圍劃分為10個區(qū)段時，可將X、Y和θ方向上的新虛擬移動算術(shù)空間分別設(shè)定為80 μ m、 80μπι和0.004°。即，X、Y和θ方向上的新虛擬移動算術(shù)空間小于先前的虛擬移動算術(shù) 空間。由于Χ、Υ和θ方向上對準單元320的分辨率為0.2 μ m、0. 2 μ m和0.01°，因此X、Y 和θ方向上的新虛擬移動算術(shù)空間大于X、Y和θ方向上對準單元320的分辨率。因此， 所述方法返回到操作SllO以重設(shè)Χ、Υ和θ方向中的每一方向上的虛擬移動算術(shù)范圍和虛 擬移動算術(shù)空間，且重復(fù)所述過程。或者，所述方法可重復(fù)設(shè)定兩個虛擬移動算術(shù)值之間 的所述范圍作為所述新虛擬移動算術(shù)范圍；設(shè)定所述新虛擬移動算術(shù)空間；執(zhí)行所述算術(shù)運算，且存儲所述最大未對準值；搜索所述最大未對準值中的最小值和對應(yīng)于所述最小值 的虛擬移動算術(shù)值；和將X、Y和θ方向上的虛擬移動算術(shù)空間與X、Y和θ方向上所述對 準單元的分辨率進行比較。即，重復(fù)所述方法，直到X、Y和θ方向上的虛擬移動算術(shù)空間 等于或小于X、Y和θ方向上所述對準單元的分辨率為止。在通過重復(fù)所述步驟使X、Y和 θ方向上的虛擬移動算術(shù)空間變成等于或小于X、Y和θ方向上對準單元的分辨率時，接 著實際上沿X、Y和θ方向而將第二襯底支撐單元230移動到對應(yīng)于最小值的虛擬移動算 術(shù)值以使第一襯底101與第二襯底102彼此對準(S150)。因為如上文所述第二襯底支撐單元230沿X、Y和θ方向移動到對應(yīng)于最小值的 虛擬移動算術(shù)值，所以有可能將第一襯底101與第二襯底101對準，以使得四對對準標記 a-A、b-B、c-C、d-D之間的所有未對準值落在容許范圍內(nèi)。即，通過上述過程來虛擬地移動 第二襯底，且根據(jù)每一虛擬移動來計算四對對準標記a-A、b-B、c-C、d-D的未對準值。舉例 來說，通過將第一襯底101與第二襯底102對準，以使得可通過圖6A到圖6C中所示的方法 來減小每一虛擬移動算術(shù)值處的四對對準標記a-A、b-B、c-C、d-D的最大未對準值，有可能 將第一襯底101與第二襯底102對準，以使得四對對準標記a-A、b-B、c-C、d-D的未對準值 包含在容許范圍內(nèi)。通過降下第一襯底支撐單元210或提升第二襯底支撐單元230，以便附 接彼此對準的第一襯底101與第二襯底102。當然，通過提升第一襯底支撐單元210且降下 第二襯底支撐單元230，可附接彼此對準的第一襯底101與第二襯底102。雖然示范性實施例顯示并描述了上面安裝著第二襯底102的第二襯底支撐單元 230是在X、Y和θ方向上移動，但本發(fā)明不限于此。舉例來說，上面安裝著第一襯底101的 第一襯底支撐單元210可在X、Y和θ方向上移動以執(zhí)行第一襯底101與第二襯底102之 間的對準。同樣，雖然實施例示范性地顯示并描述了將用于液晶顯示面板中的第一襯底101 與第二襯底102互相對準的方法，但本發(fā)明不限于此，而是可用于將一對襯底互相對準的 各種設(shè)備中。如上文參考各示范性實施例所描述，襯底是通過執(zhí)行算術(shù)運算以減小每一虛 擬移動算術(shù)值處的四對對準標記的未對準值中的最大未對準值來對準。但本發(fā)明不限于 此，且在不脫離由所附權(quán)利要求書所限定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下也可使用不同于 四的任何數(shù)目的對準標記。通過算術(shù)運算，搜索Χ、Υ和θ方向上使多對對準標記的未對準值皆落在容許范圍 內(nèi)的虛擬移動算術(shù)值，且將襯底移動到所述虛擬移動算術(shù)值。這樣，可通過移動襯底一次而 無需移動多次來使襯底對準。因此，可縮短將多個襯底對準所需的時間。盡管已參考具體實施例來描述將多個襯底對準的方法，但其不限于此。因此，所屬 領(lǐng)域的技術(shù)人員將易于理解，在不脫離由所附權(quán)利要求書所限定的本發(fā)明的精神和范圍的 情況下，可對本發(fā)明進行各種修改和改變。
權(quán)利要求
1.一種對準襯底結(jié)合設(shè)備的第一襯底與第二襯底的方法，所述襯底結(jié)合設(shè)備包含用于 對準各自包括多個對準標記的所述第一襯底與所述第二襯底的對準單元，其特征在于，所述第一襯底的所述多個對準標記中的一個與所述第二襯底的所述多個對準標記中 的對應(yīng)者被定義成一對對準標記，所述方法包括減少多個未對準值中的最大未對準值以便對準所述第一襯底與所述第 二襯底，每一未對準值是從每一對對準標記獲得。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，減少所述最大未對準值包括對準所述第 一襯底與所述第二襯底，使得多對所述對準標記的未對準值包含在容許范圍內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，減少所述最大未對準值包括在所述第一襯底和所述第二襯底中的任一個進行虛擬移動的X、Y和θ方向中的每一 個上設(shè)定虛擬移動算術(shù)范圍，和通過將所述虛擬移動算術(shù)范圍劃分成若干個區(qū)段來設(shè)定虛 擬移動算術(shù)空間；在所述X、Y和θ方向中的每一個上設(shè)定的所述虛擬移動算術(shù)范圍內(nèi)與相應(yīng)的所述虛 擬移動算術(shù)空間對應(yīng)的虛擬移動算術(shù)值處執(zhí)行算術(shù)運算，且存儲所述χ、γ和θ方向上在相 應(yīng)的所述虛擬移動算術(shù)值處所獲得的所述最大未對準值；搜索所述最大未對準值中的最小值和X、Y和θ方向上對應(yīng)于所述最小值的虛擬移動 算術(shù)值；以及將所述Χ、γ和θ方向上的所述虛擬移動算術(shù)空間與所述Χ、Υ和θ方向上所述對準單 元的分辨率進行比較，其中，在所述X、Y和θ方向上所述虛擬移動算術(shù)空間中的至少一個大于所述X、Y和 θ方向上所述對準單元的所述分辨率的情況下， 所述方法還包括且重復(fù)設(shè)定兩個虛擬移動算術(shù)值之間的范圍作為所述X、Y和θ方向上的新虛擬移動算術(shù)范 圍，使得所述新虛擬移動算術(shù)空間小于先前的所述虛擬移動算術(shù)空間；通過將所述新虛擬移動算術(shù)范圍劃分成若干個區(qū)段來設(shè)定新虛擬移動算術(shù)空間；且 所述方法重復(fù)設(shè)定兩個虛擬移動算術(shù)值之間的所述范圍作為所述X、Y和θ方向上的所述新虛擬移 動算術(shù)范圍；設(shè)定所述新虛擬移動算術(shù)空間； 執(zhí)行所述算術(shù)運算； 存儲所述最大未對準值； 搜索所述最大未對準值中的所述最小值；以及將所述Χ、γ和θ方向上的所述虛擬移動算術(shù)空間與所述Χ、Υ和θ方向上所述對準單 元的分辨率進行比較；且其中，在所述Χ、Υ和θ方向上相應(yīng)的所述虛擬移動算術(shù)空間大于所述X、Y和θ方向 上所述對準單元的所述分辨率的情況下， 所述方法還包括將所述第一襯底和所述第二襯底中的一個移動到所述X、Y和θ方向上對應(yīng)于所述最 小值的所述虛擬移動算術(shù)值以對準所述第一襯底與所述第二襯底。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，在通過將所述虛擬移動算術(shù)范圍劃分成 若干個區(qū)段來設(shè)定所述虛擬移動算術(shù)空間的期間，所述X、Y和θ方向上的所述虛擬移動算 術(shù)空間經(jīng)設(shè)定以在所述X、Y和θ方向上具有在所述虛擬移動算術(shù)范圍內(nèi)的恒定空間。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述Χ、Υ和θ方向上所述虛擬移動算術(shù) 空間的邊界點被設(shè)定為所述虛擬移動算術(shù)值。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述Χ、Υ和θ方向上的初始虛擬移動算 術(shù)范圍被設(shè)定為所述第一襯底與所述第二襯底之間的最大未對準值，且所述最大未對準值 為限定于所述襯底支撐單元的區(qū)域內(nèi)的值。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，存儲所述Χ、Υ和θ方向上在相應(yīng)的所述 虛擬移動算術(shù)值處所獲得的所述最大未對準值包括對于對應(yīng)于所述虛擬移動算術(shù)值的所有各對的對準標記進行所述X、Y和θ方向上呈 (Χ，γ，θ)形式的組合，且相對于所有的所述組合來計算未對準值；以及存儲針對對應(yīng)于每一虛擬移動算術(shù)值的所有各對的對準標記所獲得的經(jīng)計算的所述 未對準值中的最大未對準值，作為每一虛擬移動算術(shù)值的所述最大未對準值。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，在設(shè)定兩個虛擬移動算術(shù)值之間的所述 范圍作為所述新虛擬移動算術(shù)范圍的期間，所述兩個虛擬移動算術(shù)值中的一個鄰近于一個 方向上對應(yīng)于所述最小值的所述虛擬移動算術(shù)值，且所述兩個虛擬移動算術(shù)值中的另一個 鄰近于沿相反方向?qū)?yīng)于所述最小值的所述虛擬移動算術(shù)值。
9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，在通過將所述新虛擬移動算術(shù)范圍劃分 成若干個區(qū)段來設(shè)定所述新虛擬移動算術(shù)空間的期間，所述新虛擬移動算術(shù)范圍中區(qū)段的 數(shù)目是與先前所述虛擬移動算術(shù)范圍中區(qū)段的數(shù)目相同。
全文摘要
本發(fā)明提供一種對準襯底結(jié)合設(shè)備的第一襯底與第二襯底的方法，所述襯底結(jié)合設(shè)備包含用于對準各自包括多個對準標記的所述第一襯底與所述第二襯底的對準單元。所述第一襯底的所述多個對準標記中的一個與所述第二襯底的所述多個對準標記中的對應(yīng)者被定義成一對對準標記。所述方法包含減少多個未對準值中的最大未對準值以便對準所述第一襯底與所述第二襯底，每一未對準值是從每一對對準標記獲得。通過算術(shù)運算，搜索X、Y和θ方向上使多對對準標記的未對準值皆落在容許范圍內(nèi)的虛擬移動算術(shù)值，且將所述襯底移動到所述虛擬移動算術(shù)值。這樣，可通過移動所述襯底一次而無需移動多次來使所述襯底對準。因此，可縮短對準所述襯底所需的時間。
文檔編號H01L21/68GK101996917SQ20101025623
公開日2011年3月30日 申請日期2010年8月16日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月17日
發(fā)明者吳昇勛, 文元根, 程成德, 金性秀 申請人:Ap系統(tǒng)股份有限公司