專利名稱：一種二極管芯片的清洗工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體芯片的清洗工藝，尤其涉及清洗工藝中所用清洗液配方的改 進(jìn)。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)對(duì)二極管芯片清洗的工藝過程是混酸清洗、雙磷清洗和氨水清洗，在每 道清洗工序后有清水的清洗工序。其中混酸清洗時(shí)清洗液中包括硝酸、硫酸、氫氟酸和冰醋 酸；雙磷清洗時(shí)清洗液中包括雙氧水和磷酸，氨水清洗時(shí)的清洗液是氨水稀釋溶液。原來使用的氨水配比為3份水和1份氨水，前面雙磷對(duì)晶粒主要是起氧化作用，因 為經(jīng)混酸反應(yīng)之后，單質(zhì)Si有一個(gè)懸掛鍵露在外邊，H2O2在酸性條件下又與金屬原子形成金 屬氧化物，然后又與H3PO4反應(yīng)生成金屬離子，通過沖洗后去除重金屬原子。在NH3這一步，是 通過NH4+的絡(luò)合作用把金屬離子進(jìn)一步去除干凈，但部分金屬原子在混酸中沒有被完全氧化 也進(jìn)入到第三道清洗過程中，在第三道清洗的離子震蕩過程中不能被去除。整個(gè)過程中晶粒 表面的金屬污染的去除效果沒有我們預(yù)期的那么好，從而影響酸洗二極管的電性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的問題，提供了一種能進(jìn)一步減少芯片側(cè)表面金屬離子， 從而避免芯片在工作中會(huì)出現(xiàn)“爬電”現(xiàn)象的二極管芯片的清洗工藝。本發(fā)明的技術(shù)方案是依次包括混酸洗、雙磷洗和氨洗，所述氨洗時(shí)的清洗液包括 氨水、水和雙氧水，它們的重量比是氨水1份水2-3. 5份雙氧水0. 15-0. 3份。所述氨水、水和雙氧水的配置方式為將所述水量的1/3先置入容器，再往其中加 入所述的氨水，接著將剩余的水加入，最后加入所述雙氧水。與以往的配方相比，本發(fā)明在氨洗液中加入了雙氧水，在充分混合的情況下通過 下酸管道下到酸洗盤上，酸液沒過上釘頭(相當(dāng)于芯片上端面的夾具部件)使得反應(yīng)充分， 進(jìn)而能使芯片側(cè)表面的金屬雜質(zhì)去除得更加徹底，材料在高溫下使用更加穩(wěn)定，降低由于 表面漏電的偏大而導(dǎo)致材料電性的不穩(wěn)定。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的清洗工藝依次包括混酸洗、雙磷洗和氨洗，所述氨洗時(shí)的清洗液包括氨 水、水和雙氧水，它們的重量比是氨水1份水2-3. 5份雙氧水0. 15-0. 3份。所述氨水、水和雙氧水的配置方式為將所述水量的1/3先置入容器，再往其中加 入所述的氨水，接著將剩余的水加入，最后加入所述雙氧水。本發(fā)明的作用機(jī)理是雙氧水具有強(qiáng)氧化的作用，由于經(jīng)過雙磷之后芯片的晶粒 表面殘留的金屬原子在雙氨中被雙氧水強(qiáng)氧化形成金屬氧化物，以利于去除晶粒表面的金 屬雜質(zhì)污染。本發(fā)明的核心在于改善酸洗二極管酸洗工藝中雙氨的配比方式，從而達(dá)到在 經(jīng)過雙氨的過程中進(jìn)一步去除金屬雜質(zhì)污染的效果。
權(quán)利要求
一種二極管芯片的清洗工藝，依次包括混酸洗、雙磷洗和氨洗，其特征在于，所述氨洗時(shí)的清洗液包括氨水、水和雙氧水，它們的重量比是氨水1份∶水2-3.5份∶雙氧水0.15-0.3份。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種二極管芯片的清洗工藝，其特征在于，所述氨水、水和雙 氧水的配置方式為將所述水量的1/3先置入容器，再往其中加入所述的氨水，接著將剩余 的水加入，最后加入所述雙氧水。
全文摘要
一種二極管芯片的清洗工藝。涉及清洗工藝中所用清洗液配方的改進(jìn)。能進(jìn)一步減少芯片側(cè)表面金屬離子，從而避免芯片在工作中會(huì)出現(xiàn)“爬電”現(xiàn)象。依次包括混酸洗、雙磷洗和氨洗，氨洗時(shí)的清洗液包括氨水、水和雙氧水，它們的重量比是氨水1份∶水2-3.5份∶雙氧水0.15-0.3份。與以往的配方相比，本發(fā)明在氨洗液中加入了雙氧水，在充分混合的情況下通過下酸管道下到酸洗盤上，酸液沒過上釘頭(相當(dāng)于芯片上端面的夾具部件)使得反應(yīng)充分，進(jìn)而能使芯片側(cè)表面的金屬雜質(zhì)去除得更加徹底，材料在高溫下使用更加穩(wěn)定，降低由于表面漏電的偏大而導(dǎo)致材料電性的不穩(wěn)定。
文檔編號(hào)H01L21/00GK101845638SQ20101016826
公開日2010年9月29日 申請(qǐng)日期2010年5月11日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月11日
發(fā)明者王毅, 陳曉華 申請(qǐng)人:揚(yáng)州揚(yáng)杰電子科技有限公司