專利名稱：大功率光老化的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明總體上涉及對(duì)半導(dǎo)體激光器的測(cè)試。更具體地，本發(fā)明的實(shí)施例涉及大功率光老化。
背景技術(shù)：
通常在諸如激光二極管的光學(xué)部件的生產(chǎn)中利用老化過(guò)程。由于制造技術(shù)和材料上的不一致，光學(xué)部件可能具有與設(shè)計(jì)或理論壽命周期明顯不同的實(shí)際壽命周期。工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)是使光學(xué)部件在制造工廠中工作一段延長(zhǎng)的時(shí)段，而期望那些生命周期比理想的短的光學(xué)部件在初始工作期間發(fā)生故障。因此，這些發(fā)生故障的光學(xué)部件不會(huì)從制造工廠中出廠來(lái)阻礙光學(xué)網(wǎng)絡(luò)中的數(shù)據(jù)流。在傳統(tǒng)的激光二極管制造的情況下，激光二極管的老化包括在提高的環(huán)境溫度下使激光二極管工作一個(gè)延長(zhǎng)的時(shí)段。這種類型的老化通常稱為高溫?zé)崂匣?“TBI”)。這種高溫條件通過(guò)加熱晶格使激光二極管的材料更軟，以允許點(diǎn)缺陷和位錯(cuò)比在低溫時(shí)更容易移動(dòng)穿過(guò)材料。因此，在這些高溫下使激光二極管工作一個(gè)長(zhǎng)的時(shí)段，有利于對(duì)有缺陷的和/或不耐用(weak)的器件的鑒別，由此篩選出那些具有過(guò)早發(fā)生故障的趨勢(shì)的激光二極管。已發(fā)現(xiàn)傳統(tǒng)的TBI處理適于篩選特定類型的激光器，諸如由磷砷化鎵銦 ("InGaAsP")制成的IOG的激光器，其由于所使用的半導(dǎo)體材料而具有天生可靠的結(jié)構(gòu)。 然而，顯然，傳統(tǒng)的TBI可能無(wú)法適當(dāng)?shù)睾Y選出由諸如砷化銦鋁鎵(“InAKiaAs”)等其他材料制成的激光器，這些材料可能具有天生不太可靠的結(jié)構(gòu)。即使如此，由于在高速率和/ 或高溫時(shí)的性能特性更好，由InMGaAs制成的激光器可能比由InGaAsP制成的激光器更理想ο這里所要求保護(hù)的主題內(nèi)容并不限于要解決任何缺點(diǎn)的實(shí)施例或僅在諸如在上述環(huán)境的環(huán)境中使用的實(shí)施例。而是，提供此背景技術(shù)僅為了闡明一個(gè)示例性技術(shù)領(lǐng)域，這里所描述的一些實(shí)施例可以在該技術(shù)領(lǐng)域中實(shí)踐。

發(fā)明內(nèi)容
提供本發(fā)明內(nèi)容來(lái)以簡(jiǎn)化的形式引入對(duì)概念的選擇，這將在下述具體實(shí)施方式
中進(jìn)一步描述。本發(fā)明內(nèi)容并不意在確定所要求保護(hù)的主題內(nèi)容的關(guān)鍵特征或基本特性，也不意在用作確定所要求保護(hù)的主題內(nèi)容的范圍時(shí)的輔助。本發(fā)明的實(shí)施例涉及用于使一個(gè)或多個(gè)半導(dǎo)體激光器老化以鑒別不耐用的或有缺陷的器件的方法，并且可以包括大功率光老化(“0ΒΙ”)處理。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的大功率OBI可以包括給一個(gè)或多個(gè)被測(cè)試激光器提供相對(duì)大的驅(qū)動(dòng)電流。相對(duì)大的驅(qū)動(dòng)電流可以在提高的溫度(例如，85°C)下的正常工作偏置電流的三倍到四倍的范圍內(nèi)。在大功率 OBI期間，環(huán)境溫度可以維持在相對(duì)低的溫度或其左右，諸如50°C或更低。相對(duì)大的驅(qū)動(dòng)電流和相對(duì)低的溫度可以維持一個(gè)特定時(shí)間段，在一些實(shí)施例中可以是五小時(shí)或更長(zhǎng)。
一旦大功率OBI結(jié)束，可以測(cè)量激光器的光輸出功率以確定激光器是否仍在規(guī)格范圍內(nèi)工作。大功率OBI之后測(cè)量的光輸出功率可以與大功率OBI之前測(cè)量的光輸出功率相比，并且/或者與指定最小值相比。在一些實(shí)施例中，激光器可以進(jìn)一步受到高溫TBI，以鑒別沒(méi)有被大功率OBI鑒別出的任何有缺陷的或不耐用的器件。在高溫TBI期間，激光器的環(huán)境溫度可以維持在大約 85 °C的溫度。本發(fā)明的附加特征和優(yōu)點(diǎn)將在以下說(shuō)明中闡述，并且將根據(jù)該說(shuō)明而部分地變得明顯，或者可以通過(guò)對(duì)本發(fā)明的實(shí)踐而獲知。本發(fā)明的特征和優(yōu)點(diǎn)可以通過(guò)在所附權(quán)利要求中所特別指出的工具及組合而實(shí)現(xiàn)和獲得。本發(fā)明的這些和其他特征將根據(jù)以下說(shuō)明及所附權(quán)利要求而變得更加顯而易見(jiàn)，或者可以通過(guò)下文所闡述的對(duì)本發(fā)明的實(shí)踐而獲知。


為了進(jìn)一步闡明本發(fā)明的上述及其他優(yōu)點(diǎn)和特征，通過(guò)參照在附圖中所示出的本發(fā)明的特定實(shí)施例，將提出對(duì)本發(fā)明的更具體的描述。要理解，這些附圖僅描述了本發(fā)明的典型實(shí)施例，因此并不應(yīng)認(rèn)為其限制了本發(fā)明的范圍。通過(guò)使用附圖，將借助于額外的獨(dú)特性和細(xì)節(jié)來(lái)描述及解釋本發(fā)明，其中圖1示出示例工作環(huán)境，其中可以實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的實(shí)施例；圖2示出激光二極管的示例，其可以在圖1的工作環(huán)境中實(shí)現(xiàn)；圖3A和IBB公開(kāi)激光器的不同樣本集的壽命曲線；圖4A和4B描述經(jīng)受不同持續(xù)時(shí)長(zhǎng)的高功率OBI的IniUGaAs激光器的樣本集的壽命曲線；圖5公開(kāi)了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的示例測(cè)試設(shè)置；圖6示出用于進(jìn)行高功率OBI的方法的實(shí)施例；圖7描述了用于使激光器老化以鑒別不耐用的或有缺陷的器件的方法的實(shí)施例。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的實(shí)施例涉及用于測(cè)試諸如但不限于激光二極管的光電子器件的方法和系統(tǒng)。本發(fā)明的方法和系統(tǒng)提供對(duì)傳統(tǒng)TBI方法不能鑒別的有缺陷的和/或不可靠的激光二極管的鑒別。與傳統(tǒng)的TBI老化相反，本發(fā)明的實(shí)施例包括在相對(duì)大的驅(qū)動(dòng)電流(諸如是在提高的溫度下的正常工作偏置電流的三到四倍)和諸如室溫的相對(duì)低的溫度下進(jìn)行的器件老化處理。本發(fā)明的實(shí)施例可以有助于鑒別有問(wèn)題的光電子器件，以提高最終銷(xiāo)售給激光制造者/銷(xiāo)售者的客戶的器件的可靠度。現(xiàn)在將參照附圖，其中相似的結(jié)構(gòu)將標(biāo)有相似的附圖標(biāo)記。要理解，附圖是本發(fā)明當(dāng)前優(yōu)選實(shí)施例的圖解性和示意性表示，并不限制本發(fā)明，也不一定按比例繪制。I .示例工作環(huán)境首先參照?qǐng)D1，其公開(kāi)了光學(xué)收發(fā)器模塊(“收發(fā)器”)的透視圖，收發(fā)器整體用 100標(biāo)識(shí)，用于在發(fā)送和接收與外部主機(jī)相連接的光信號(hào)時(shí)使用，在一個(gè)實(shí)施例中該外部主機(jī)可工作地連接到通信網(wǎng)絡(luò)(未示出)。如所描述的，圖1中示出的收發(fā)器包括各種部件， 包括接收器光學(xué)子組件(“ROSA”)102、發(fā)送器光學(xué)子組件(“T0SA”)104、電接口 106、各種電子部件108和印刷電路板(“PCB”)110。PCB 110包括多個(gè)傳導(dǎo)墊112和邊緣連接器 118。收發(fā)器部件100可以被部分地容納在外殼120內(nèi)。光學(xué)收發(fā)器100僅通過(guò)圖解的方式而非限制本發(fā)明的范圍的方式描述。光學(xué)收發(fā)器100可以被配置為以各種每秒數(shù)據(jù)速率傳輸和接收光信號(hào)，這些數(shù)據(jù)速率包括但不限于每秒1千兆比特(“G”)、2G、2. 5G、4G、8G、10G、17G、25G或更高的數(shù)據(jù)速率。此外，光學(xué)收發(fā)器100可以被配置用于以各種波長(zhǎng)來(lái)傳輸和接收光信號(hào)，這些波長(zhǎng)包括但不限于 850nm、1310nm、1470nm、1490nm、1510nm、1530nm、1570nm、1590nm 或 1610nm。另外，在具有任意波形因數(shù)的光學(xué)收發(fā)器或應(yīng)答器(諸如XFP、SFP、SFF、XENPAK、X2、300針等)中可以不受限制地實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的原理。話雖如此，但本發(fā)明的原理完全不限于光學(xué)收發(fā)器或應(yīng)答器環(huán)境。收發(fā)器100的TOSA 104是光學(xué)發(fā)送器的一個(gè)示例，其可以使用根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例而配置的諸如半導(dǎo)體激光器的光信號(hào)源。簡(jiǎn)要地說(shuō)，在工作中，收發(fā)器100從與其可工作地相連接的主機(jī)(未示出)或其他數(shù)據(jù)信號(hào)產(chǎn)生器件來(lái)接收電信號(hào)，用于傳輸?shù)娇晒ぷ鞯嘏c TOSA 20相連接的光纖上。收發(fā)器100的電路在TOSA 104內(nèi)借助于如下信號(hào)驅(qū)動(dòng)諸如半導(dǎo)體激光器(下文描述)的光信號(hào)源該信號(hào)使得TOSA將表示由主機(jī)提供的電信號(hào)中的信息的光信號(hào)發(fā)射到光纖上。從而，TOSA 104用作電-光轉(zhuǎn)換器。已描述了關(guān)于圖1的特定環(huán)境，要理解，該特定環(huán)境僅是可以利用本發(fā)明原理的無(wú)數(shù)構(gòu)造中的一種。如以上所描述的，本發(fā)明的原理并不意在受限于任何特定環(huán)境。II .示例半導(dǎo)體激光器現(xiàn)在共同參照?qǐng)D1和圖2，圖2示出了半導(dǎo)體激光器的橫截面圖。具體地，圖2公開(kāi)了一種脊形波導(dǎo)(“RWG”)激光器200，RWG激光器200是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例可以使用的半導(dǎo)體激光器的一個(gè)示例。圖2中所公開(kāi)的RWG激光器200可以實(shí)現(xiàn)為法布里-佩羅 (Fabry-Perot) (“FP”)RWG激光器。例如，RWG激光器200可以包括IOG冷卻的或非冷卻的 FP RWG激光器?；蛘?，RWG激光器可以包括17G或25G(或其他數(shù)據(jù)速率)冷卻的或非冷卻的FP RWG激光器?；蛘撸琑WG激光器200可以實(shí)現(xiàn)為分布式反饋(“DFB”) RWG激光器。應(yīng)當(dāng)注意，本發(fā)明的原理可以延伸到配置用于相同或其他數(shù)據(jù)傳輸速率的其他激光器類型。盡管其他半導(dǎo)體材料可以替選地或額外地包括在RWG激光器200中，但是RWG激光器200例如可以包括InAlGaAs。本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)理解，在高速率情況下，InAlGaAs 激光器可以比更傳統(tǒng)的InGaAsP激光器工作得更好，而同時(shí)由于IniUGaAs中的自傳播暗線 (self-propagating dark line)缺陷，其可靠度更低。從而，本發(fā)明的實(shí)施例包括如以下更詳細(xì)描述的用于老化和篩選InMGaAs和其他半導(dǎo)體激光器的方法。如圖2所公開(kāi)的，RffG激光器200包括基底202、布置在基底202上方的多量子阱 (“MQW”)有源層204、布置在有源層204上方的半導(dǎo)體隔離層206和布置在半導(dǎo)體隔離層 206上方的脊形結(jié)構(gòu)208。RWG激光器200也包括布置在脊208上方的接觸層210。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，204-210層例如可以是外延生長(zhǎng)的。另外，RWG激光器200可選地可以包括電介質(zhì)鈍化層212，其布置在半導(dǎo)體隔離層 206上方并側(cè)向接連(border)脊形結(jié)構(gòu)208任一側(cè)。此外，RffG激光器200包括頂金屬接觸層214，其布置在電介質(zhì)鈍化層212和接觸層210上方并側(cè)向接連電介質(zhì)鈍化層212側(cè)向接連脊形結(jié)構(gòu)208的任一側(cè)的部分。另外，RffG激光器200包括布置在基底202下方的底
6金屬接觸層216。頂金屬接觸層214和底金屬接觸層216中的每個(gè)都可以包括一個(gè)或多個(gè)金屬或金屬合金層，其包括例如鈦、鉬、金等。在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，層212-216中的每層都是非外延生長(zhǎng)的?？蛇x地，RWG激光器200可以包括光柵層(例如，布置在隔離層206上方和脊形結(jié)構(gòu)208下方)，這種情況中，RffG激光器200會(huì)是DFB RffG激光器。示例半導(dǎo)體激光器的以上描述包括RWG激光器的結(jié)構(gòu)和功能特征，連同關(guān)于用于制造RWG激光器的制造處理的某些細(xì)節(jié)。然而，注意，該說(shuō)明僅意在成為說(shuō)明性的；實(shí)際上， 具有與以上描述不同的結(jié)構(gòu)和/或功能特征的激光器和其他半導(dǎo)體光學(xué)器件也可以得益于此處公開(kāi)的本發(fā)明的實(shí)施例的原理。還要認(rèn)識(shí)到，本領(lǐng)域技術(shù)人員將理解附加的或替選的層或結(jié)構(gòu)可以并入本激光器器件中。III.半導(dǎo)體激光器的老化通過(guò)在半導(dǎo)體晶片上生長(zhǎng)上述外延的和/或非外延的層，可以大量制造半導(dǎo)體激光器。使用常規(guī)技術(shù)，通過(guò)水平地和側(cè)向地劈開(kāi)和斷開(kāi)晶片，將單個(gè)激光器從晶片移除來(lái)分開(kāi)每個(gè)激光器。在此處理之后，可以進(jìn)行抗反射(“AR”)和高反射(“HR”)涂層處理，以將每個(gè)激光器的有源區(qū)封裝并提供激光器腔所需要的反射率特性。通常，所制造的每個(gè)晶片生成多個(gè)功能良好的激光器裸片(laser die)。在一個(gè)示例中，一個(gè)晶片可以提供2000個(gè)可工作的激光器裸片。然而，不是所有這些2000個(gè)可工作的激光器模具都堅(jiān)固到足以抵抗在用戶手中的老化。實(shí)際上，許多類型的半導(dǎo)體激光器都有高的“早期失效率(infant mortality rate) ”，其中大量(例如，對(duì)于一些總體為 2-10% )激光器在相對(duì)較短的使用期后由于制造缺陷而發(fā)生故障。例如，圖3A表示作為時(shí)間的函數(shù)的激光器總體的故障的累計(jì)分布。由于其形狀，如圖3A中的這種圖表通常被稱為壽命曲線或浴盆狀曲線。作為對(duì)高的早期失效率的響應(yīng)，半導(dǎo)體激光器通常受到高溫TBI過(guò)程形式的性能測(cè)試。在老化過(guò)程期間，使激光器在特定電流和溫度下工作固定的持續(xù)時(shí)長(zhǎng)。然后激光器被測(cè)試以查看其是否仍在期望的規(guī)格范圍內(nèi)工作。執(zhí)行老化允許在并入更大的產(chǎn)品組件或運(yùn)送給用戶之前鑒別有缺陷的器件。這將使要并入在現(xiàn)場(chǎng)中的產(chǎn)品中的剩余激光器的可靠度提高。傳統(tǒng)的老化技術(shù)包括高溫TBI，其通常涉及在高溫(例如，大約85°C或更高)和高電流(例如，大約正常工作偏置電流的2倍)下使激光器工作特定的持續(xù)時(shí)長(zhǎng)(例如，通常是幾個(gè)小時(shí))。盡管傳統(tǒng)的TBI已被證明適于篩選hGaAsP激光器，但其可能不適于篩選某些InMGaAs激光器。本領(lǐng)域的技術(shù)人員將認(rèn)識(shí)到，僅管InMGaAs激光器相比傳統(tǒng)的激光器具有提高的性能，但是激光器制造者的設(shè)備供應(yīng)商和其他客戶可能發(fā)現(xiàn)InMGaAs激光器的高故障率是不理想的和/或不可接受的。為此，本發(fā)明的實(shí)施例包括用于使一個(gè)或多個(gè)由InMGaAs和/或其他半導(dǎo)體材料制成的FP和其他半導(dǎo)體激光器老化以確定其可靠度和篩選不耐用的激光器的方法。具體地，本發(fā)明的實(shí)施例包括大功率0ΒΙ?？梢允褂靡韵聰?shù)據(jù)中的一個(gè)或多個(gè)來(lái)選擇大功率OBI 的特征(包括大功率OBI的持續(xù)時(shí)長(zhǎng))由受到大功率OBI的激光器的總體生成的壽命數(shù)據(jù)，以及來(lái)自被施加了數(shù)種不同的持續(xù)時(shí)長(zhǎng)的大功率OBI的激光器的可靠度數(shù)據(jù)。替選地或額外地，對(duì)大功率OBI的持續(xù)時(shí)長(zhǎng)的選擇可以依賴于對(duì)于老化激光器的總體而言與災(zāi)變性光學(xué)損傷(“COD”)閾值如何下降有關(guān)的數(shù)據(jù)。圖!3B-4B公開(kāi)了多個(gè)IOG FP InAlGaAs激光器的壽命數(shù)據(jù)和可靠度數(shù)據(jù)。用于由相同或不同半導(dǎo)體材料制成的、具有相同或不同設(shè)計(jì)參數(shù)的較慢或較快數(shù)據(jù)速率的激光器的壽命數(shù)據(jù)和可靠度數(shù)據(jù)不是必須與圖3B-4B中所示的相同，并且可以引起大功率OBI的持續(xù)時(shí)長(zhǎng)的不同值的選擇。激光制造者用來(lái)優(yōu)化老化持續(xù)時(shí)長(zhǎng)的一個(gè)方法是對(duì)于特定的老化，畫(huà)出作為老化持續(xù)時(shí)長(zhǎng)的函數(shù)的可以被移除的不耐用激光器的百分比的圖表，然后確定可以滿足客戶需要的最短老化持續(xù)時(shí)長(zhǎng)是多少，同時(shí)留下一些誤差余量。例如，圖3B公開(kāi)了對(duì)于FP InAlGaAs激光器的總體，在大功率OBI期間作為時(shí)間的函數(shù)的故障。注意圖的縱軸對(duì)應(yīng)于故障激光器的百分比，而不是如圖3A中的故障率；所以，圖:3B中的浴盆狀曲線與圖3A 中的浴盆狀曲線相比看上去不同。為了獲得圖;3B的曲線302的數(shù)據(jù)，F(xiàn)P InAlGaAs激光器的總體受到大功率0ΒΙ， 其包括維持相對(duì)低的環(huán)境溫度以及提供是激光器在提高的溫度下的正常工作偏置電流的三到四倍大的驅(qū)動(dòng)電流。具體地，在環(huán)境溫度約為35°C時(shí)對(duì)激光器進(jìn)行老化。驅(qū)動(dòng)電流是 200mA的連續(xù)波(“CW”)。每隔幾分鐘監(jiān)視激光器以允許記錄準(zhǔn)確的故障次數(shù)。當(dāng)故障發(fā)生時(shí)，一旦故障超過(guò)了某個(gè)點(diǎn)，故障通常是快速的及突變性的。對(duì)不是快速的及突變性的故障，輸出功率降低20%被用作確定發(fā)生故障時(shí)間的標(biāo)準(zhǔn)。如圖;3B的曲線302所公開(kāi)的，大多數(shù)故障發(fā)生在前幾個(gè)小時(shí)，而隨后故障發(fā)生率下降。具體地，由曲線302表示的激光器總體中的大多數(shù)發(fā)生故障的激光器可以在時(shí)間tl 之前被鑒別出，時(shí)間tl對(duì)應(yīng)于圖:3B的對(duì)數(shù)標(biāo)度的水平軸上的約兩個(gè)小時(shí)。然而，在其他實(shí)施例中，確定其他激光器總體中的大多數(shù)發(fā)生故障的激光器可能花費(fèi)比兩個(gè)小時(shí)更長(zhǎng)的時(shí)間，并且/或者不是所有激光器總體都一定僅在幾個(gè)小時(shí)內(nèi)就顯示出飽和。附加地參照?qǐng)D4A和4B，公開(kāi)了來(lái)自根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的施加了持續(xù)時(shí)長(zhǎng)不同的大功率OBI的FP InAlGaAs激光器的可靠度數(shù)據(jù)。具體地，圖4A包括對(duì)應(yīng)于來(lái)自FP InAlGaAs激光器的第一總體中的激光器的三個(gè)樣本集的三條曲線402、404和406。圖4B包括對(duì)應(yīng)于來(lái)自FP InAKiaAs激光器的第二總體中的激光器的兩個(gè)樣本集的兩條曲線412、 414。來(lái)自第一總體的激光器的第一樣本集不受到大功率OBI (曲線402)，第一總體的第二樣本集受到五個(gè)小時(shí)的大功率OBI (曲線404)，而第一總體的第三樣本集受到五個(gè)小時(shí)的大功率OBI加上掃描OBI (曲線406)。來(lái)自第二總體的激光器的第一樣本集未受到大功率OBI (曲線412)，而第二總體的第二樣本集受到一百個(gè)小時(shí)的大功率OBI (曲線414)。 另外，在第一和第二總體中的所有激光器在獲得可靠度數(shù)據(jù)之前都受到相同的TBI處理。圖4A和4B的數(shù)據(jù)是在100°C的環(huán)境溫度和120mA的CW驅(qū)動(dòng)電流(合起來(lái)稱為 “測(cè)試條件”)下采集的。為了使該數(shù)據(jù)有用，了解測(cè)試條件相對(duì)于正常條件下激光器會(huì)歷經(jīng)的過(guò)程而言的加速性能是有用的。這里應(yīng)用了 85倍的保守加速度因子，其推導(dǎo)過(guò)程不在本文獻(xiàn)的范圍之內(nèi)。加速度因子與在測(cè)試條件下出現(xiàn)0. 的累計(jì)故障的時(shí)間一起可以被用于計(jì)算將在正常工作條件下出現(xiàn)0. 的累計(jì)故障的時(shí)間。例如，如圖4A中的曲線402所示，來(lái)自在測(cè)試條件下未受到大功率OBI的第一總體的激光器的0. 的累計(jì)故障大約100個(gè)小時(shí)出現(xiàn)。使用85倍的保守加速度因子，從而可以計(jì)算出在正常工作條件下來(lái)自未受到大功率OBI的第一總體的激光器的0. 累計(jì)故障在85X100個(gè)小時(shí)=8500個(gè)小時(shí)內(nèi)、或大約 11.6個(gè)月中出現(xiàn)。對(duì)于來(lái)自未受到大功率OBI的第二總體的激光器，計(jì)算出在正常工作條件下0. 的累計(jì)故障在85X90個(gè)小時(shí)=7650個(gè)小時(shí)內(nèi)、或大約10. 5個(gè)月中出現(xiàn)。在 11. 6個(gè)月或10. 5個(gè)月中的0. 的累計(jì)故障對(duì)于大多客戶而言是不可接受的；實(shí)際上，由于這種早期故障的問(wèn)題，InAlGaAs激光器技術(shù)在商業(yè)化上遭受了許多延遲。為了提高可靠度，在經(jīng)受測(cè)試條件之前，第一總體的第二樣本集和第三樣本集受到五個(gè)小時(shí)的大功率0ΒΙ，而第二總體的第二樣本集受到一百個(gè)小時(shí)的大功率0ΒΙ。在大功率OBI期間，樣本集被在35°C的環(huán)境溫度和200mA的CW驅(qū)動(dòng)電流下進(jìn)行老化。對(duì)于受到五個(gè)小時(shí)的大功率OBI的第一總體的第二樣本集，如圖4A的曲線404所示，超過(guò)1500小時(shí)沒(méi)有觀測(cè)到故障。對(duì)于第一總體的第三樣本集，其受到五個(gè)小時(shí)的大功率OBI加上掃描 OBI (將在以下更詳細(xì)地討論)，如圖4A的曲線406所示，超過(guò)6000個(gè)小時(shí)沒(méi)有觀測(cè)到故障。 對(duì)于第二總體的第二樣本集，其受到一百個(gè)小時(shí)的大功率0ΒΙ，如圖4B的曲線414所示，超過(guò)2000個(gè)小時(shí)沒(méi)有觀測(cè)到故障。使用保守的85倍的加速度因子，計(jì)算出受到五個(gè)小時(shí)大功率OBI的激光器的 0. 的累計(jì)故障在正常工作條件下大約在十五年出現(xiàn)。此外，計(jì)算出受到五個(gè)小時(shí)的大功率OBI外加掃描OBI的激光器的0. 的累計(jì)故障在正常工作條件下大約在五十八年出現(xiàn)。 再者，計(jì)算出受到一百個(gè)小時(shí)的大功率OBI的激光器的0. 的累計(jì)故障在標(biāo)準(zhǔn)工作環(huán)境下大約在二十年出現(xiàn)。因此，受到大功率OBI的激光器與未受到大功率OBI的激光器相比， 顯示出明顯改進(jìn)的無(wú)故障次數(shù)。這種改進(jìn)的無(wú)故障次數(shù)通常對(duì)于大多數(shù)客戶而言是可接受的。對(duì)于未受到大功率OBI或受到五個(gè)小時(shí)或一百個(gè)小時(shí)的持續(xù)時(shí)長(zhǎng)的大功率OBI的激光器得出圖4的可靠度數(shù)據(jù)。替選地或額外地，可以實(shí)施其它持續(xù)時(shí)長(zhǎng)的大功率0ΒΙ。例如，依賴于各種因素，包括激光器的設(shè)計(jì)、在制造激光器時(shí)使用的半導(dǎo)體材料和諸如環(huán)境溫度和驅(qū)動(dòng)電流的大功率OBI條件，可以適應(yīng)性地修改大功率OBI的持續(xù)時(shí)長(zhǎng)(“0ΒΙ持續(xù)時(shí)長(zhǎng)”)。因此，在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，激光器可以受到少至十分鐘的OBI持續(xù)時(shí)長(zhǎng)。替選地或額外地，OBI持續(xù)時(shí)長(zhǎng)可以是五個(gè)小時(shí)、十個(gè)小時(shí)、二十個(gè)小時(shí)、一百個(gè)小時(shí)等?，F(xiàn)在轉(zhuǎn)到圖5，以簡(jiǎn)化的形式抽象示出用于進(jìn)行根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例大功率OBI 的測(cè)試設(shè)置500。測(cè)試設(shè)置500僅是可以實(shí)現(xiàn)用于進(jìn)行大功率OBI的無(wú)數(shù)測(cè)試設(shè)置中的一個(gè)示例，并因而不應(yīng)被解釋為限制本發(fā)明。測(cè)試設(shè)置500包括用于容納一個(gè)或多個(gè)用于測(cè)試的激光器的器件板502、具有一個(gè)或多個(gè)光學(xué)檢測(cè)器的檢測(cè)器板504和計(jì)算機(jī)506。測(cè)試設(shè)置500還可以包括諸如精確電流源的驅(qū)動(dòng)電路508和數(shù)據(jù)采集電路510，驅(qū)動(dòng)電路508用于驅(qū)動(dòng)激光器來(lái)發(fā)射光信號(hào)，數(shù)據(jù)采集電路510用于采集來(lái)自檢測(cè)器板504的數(shù)據(jù)。包括在檢測(cè)器板504中的光學(xué)檢測(cè)器可以被配置為感測(cè)由激光器所產(chǎn)生的光信號(hào)和/或測(cè)量激光器的光輸出功率。盡管未示出，但是測(cè)試設(shè)置500還可以包括諸如冷卻和/或加熱單元的氣候控制環(huán)境，其中器件板502和在器件板502上容納的激光器可以被放置得控制激光器的環(huán)境溫度。氣候控制環(huán)境可以被手動(dòng)或以其他方式調(diào)節(jié)來(lái)維持特定的環(huán)境溫度或環(huán)境溫度曲線 (profile)。
驅(qū)動(dòng)電路508可以被配置為生成可遞送到器件板502上的每個(gè)激光器的驅(qū)動(dòng)電流，使得激光器發(fā)射光信號(hào)。計(jì)算機(jī)506可以被配置為經(jīng)由數(shù)據(jù)獲取電路510來(lái)從檢測(cè)器板504接收基于每個(gè)激光器的輸出的數(shù)據(jù)。然后計(jì)算機(jī)506可以存儲(chǔ)測(cè)出的從每個(gè)激光器輸出的光功率并且/或者給用戶顯示這樣的信息。這允許用戶或者計(jì)算機(jī)自動(dòng)執(zhí)行功能時(shí)的計(jì)算機(jī)506確定激光器是否要被從器件板502移除或受到額外的老化處理。替選的或額外地，可以提供其他驅(qū)動(dòng)電路或部件(未示出)用于驅(qū)動(dòng)器件板502中的激光器在大功率 OBI或TBI等期間發(fā)射光信號(hào)。結(jié)合地參照?qǐng)D5和圖6，現(xiàn)在描述示例大功率OBI方法600，其可以在圖5的測(cè)試設(shè)置500中或在其他測(cè)試環(huán)境中實(shí)現(xiàn)。在一個(gè)或多個(gè)激光器或其他光信號(hào)源已被放置在器件板502上并與在檢測(cè)器板504上的一個(gè)或多個(gè)相應(yīng)的檢測(cè)器對(duì)齊之后，開(kāi)始大功率OBI 方法600。通過(guò)將相對(duì)大的驅(qū)動(dòng)電流提供給每個(gè)被測(cè)試的激光器(60 來(lái)開(kāi)始大功率OBI 600。該相對(duì)大的驅(qū)動(dòng)電流可以是脈沖或CW電流。相對(duì)大的驅(qū)動(dòng)電流的值可以被選擇為從激光器產(chǎn)生最大光輸出功率。例如，在一些實(shí)施例中，相對(duì)大的驅(qū)動(dòng)電流可以是被測(cè)試的激光器在提高的環(huán)境溫度(例如，85°C )下的正常工作偏置電流的3到4倍的任何值。盡管提高的環(huán)境溫度下的正常工作偏置電流可以隨著激光器而不同，但是特定類型的被測(cè)試的激光器的平均或理論工作偏置電流可以用作用來(lái)確定每個(gè)被測(cè)試的激光器的相對(duì)大的驅(qū)動(dòng)電流值的基準(zhǔn)。替選地或額外地，每個(gè)受測(cè)試的激光器的工作偏置電流可以被單獨(dú)確定，以允許對(duì)于每個(gè)激光器單獨(dú)確定相對(duì)大的驅(qū)動(dòng)電流。作為示例，多個(gè)InAlGaAs IOG FP激光器的正常工作偏置電流可以在大約50mA 到60mA變化。對(duì)于具有2微米寬和200微米長(zhǎng)的脊以及具有八個(gè)量子阱的MQW有源區(qū)域的IOG FP RWG激光器，50mA-60mA的正常工作偏置電流也可以表示為每量子阱1.56kA/ cm2-l. 87kA/cm2。因此，在老化處理700期間的相對(duì)大的驅(qū)動(dòng)電流可以在150mA-240mA之間，其大約為等于每量子阱4. 68kA/cm2-7. 48kA/cm2。要理解，這里所提供的特定工作偏置電流和驅(qū)動(dòng)電流值僅是以示例方式給出的，其并不應(yīng)當(dāng)被解釋為限制本發(fā)明。通過(guò)將給激光器的相對(duì)大的驅(qū)動(dòng)電流維持特定的時(shí)間段(稱為“0ΒΙ持續(xù)時(shí)長(zhǎng)”) (604)來(lái)繼續(xù)大功率OBI方法600。在一些實(shí)施例中OBI持續(xù)時(shí)長(zhǎng)大約為十分鐘。替選地或額外地，OBI持續(xù)時(shí)長(zhǎng)可以是大約五個(gè)小時(shí)。替選地或額外地，OBI持續(xù)時(shí)長(zhǎng)可以是大約一百個(gè)小時(shí)。話雖如此，應(yīng)認(rèn)識(shí)到，OBI持續(xù)時(shí)長(zhǎng)實(shí)際上可以為短至十分鐘甚至更短或者長(zhǎng)達(dá)一百個(gè)小時(shí)甚至更長(zhǎng)的任意時(shí)間段。得益于本公開(kāi)，本領(lǐng)域的技術(shù)人員將認(rèn)識(shí)到，OBI持續(xù)時(shí)長(zhǎng)的值可以取決于包括以下的各種因素來(lái)優(yōu)化被測(cè)試激光器的設(shè)計(jì)、制造激光器的半導(dǎo)體材料、以及諸如大功率OBI 600的驅(qū)動(dòng)電流和環(huán)境溫度的測(cè)試條件。通過(guò)將激光器的環(huán)境溫度維持在相對(duì)低的溫度(606)來(lái)結(jié)束大功率OBI方法600。 例如，環(huán)境溫度可以從低于50°C的溫度范圍來(lái)選擇。在一些實(shí)施例中，環(huán)境溫度是從負(fù) 40°C到高達(dá)50°C那么高的溫度范圍中選擇的。例如，環(huán)境溫度可以維持在25°C的室溫或其附近。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，大功率OBI方法600可以單獨(dú)實(shí)現(xiàn)，或結(jié)合常規(guī)TBI處理和 /或其他老化技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)，以從激光器的給定集或總體中最大程度地鑒別和移除不耐用的激光器。在圖7中公開(kāi)了并入了大功率OBI的、用于加速多個(gè)激光器的老化以確定激光器的可靠度的方法700的一個(gè)實(shí)施例。
方法700可以使用例如圖5的測(cè)試設(shè)置500來(lái)實(shí)現(xiàn)，測(cè)試設(shè)置500包括器件板 502、檢測(cè)器板504、測(cè)試計(jì)算機(jī)506、驅(qū)動(dòng)電路508、數(shù)據(jù)獲取電路510和/或其他設(shè)備。圖 7的方法700可選地可以包括沒(méi)有在圖7中描述的各種步驟，諸如將激光器放置在器件板 502中、將激光器與檢測(cè)器板504上相應(yīng)的光學(xué)檢測(cè)器對(duì)齊等等。通過(guò)進(jìn)行初始測(cè)試(70 來(lái)開(kāi)始方法700，進(jìn)行初始測(cè)試(70 可以包括在特定初始驅(qū)動(dòng)電流下為每個(gè)激光器確定初始光輸出功率。盡管替選地可以使用其他驅(qū)動(dòng)電流，但是初始驅(qū)動(dòng)電流可以大約等于被測(cè)試的激光器的類型的平均工作偏置電流。驅(qū)動(dòng)電路508 可以為每個(gè)激光器生成初始驅(qū)動(dòng)電流，使得每個(gè)激光器發(fā)射光信號(hào)，其光功率可以由檢測(cè)器板504上相應(yīng)的光學(xué)檢測(cè)器測(cè)量。來(lái)自檢測(cè)器板504的功率測(cè)量結(jié)果可以由檢測(cè)計(jì)算機(jī) 506接收并存儲(chǔ)，用于以后的用途。具體地，在初始測(cè)試期間確定的功率測(cè)量結(jié)果可以用作用于確定激光器是否是不耐用和/或有缺陷的基準(zhǔn)。在步驟704處，對(duì)激光器進(jìn)行大功率0ΒΙ，這可以對(duì)應(yīng)于圖6的大功率OBI 600。大功率OBI可以包括將驅(qū)動(dòng)電流提供給激光器并持續(xù)特定的OBI持續(xù)時(shí)長(zhǎng)，同時(shí)將激光器的環(huán)境溫度維持在大約低于50°C的特定溫度或其附近，該驅(qū)動(dòng)電流是激光器的工作電流三到四倍大。方法700可以在可選步驟706-710中的任意一個(gè)步驟處繼續(xù)，或直接進(jìn)行到步驟 712。例如，在可選步驟706處，可以進(jìn)行與在步驟702處進(jìn)行的初始測(cè)試相似的中間測(cè)試。 中間測(cè)試可以包括使用與在步驟702中相同的驅(qū)動(dòng)電流來(lái)為每個(gè)激光器確定中間光輸出功率。然后，中間光輸出功率可以由測(cè)試計(jì)算機(jī)506(或手動(dòng))與初始光輸出功率進(jìn)行比較 (714)，以鑒別并排除不再在規(guī)格范圍內(nèi)工作的任何激光器(716)，如在下文所更詳細(xì)描述的。在可選步驟708處，對(duì)激光器可以進(jìn)行高溫TBI處理。步驟708的高溫TBI可以對(duì)所有激光器進(jìn)行。或者，在進(jìn)行了中間測(cè)試706并將中間光輸出功率與初始光輸出功率進(jìn)行比較以鑒別并排除不再在規(guī)格范圍內(nèi)工作的激光器之后，高溫TBI僅可以對(duì)那些仍在規(guī)格范圍內(nèi)工作的激光器進(jìn)行。在可選步驟710處，可以在可以與在步驟704的大功率OBI期間施加的驅(qū)動(dòng)電流和環(huán)境溫度條件相似的驅(qū)動(dòng)電流和環(huán)境溫度條件下對(duì)激光器進(jìn)行掃描OBI。例如，掃描OBI 可以包括例如在大約35°C環(huán)境溫度下到200mA的CW驅(qū)動(dòng)電流和60mW的功率的掃描。或者，可以在掃描OBI期間施加高于或低于200mA的脈沖或CW驅(qū)動(dòng)電流和高于或低于35°C的環(huán)境溫度。在一些實(shí)施例中，掃描OBI的持續(xù)時(shí)長(zhǎng)可以是每臺(tái)激光器幾秒?？蛇x步驟710 的掃描OBI使用遠(yuǎn)高于在正常工作期間經(jīng)受的光應(yīng)力，用以篩選出在TBI處理中顯著變?nèi)醯牟糠?。這在該部分的強(qiáng)度下降到低于正常應(yīng)力水平之前，為劣化留下了大的余量，并確保了大的“無(wú)故障時(shí)段”。通過(guò)對(duì)激光器執(zhí)行最終測(cè)試(71 來(lái)繼續(xù)方法700。與步驟702的初始測(cè)試和步驟706的可選中間測(cè)試類似，步驟712的最終測(cè)試可以包括使用與步驟702的初始測(cè)試中相同的驅(qū)動(dòng)電流來(lái)為每個(gè)激光器確定最終光輸出功率。該最終光輸出功率可以由圖5的計(jì)算機(jī)506接收并存儲(chǔ)。然后，計(jì)算機(jī)506可以將最終光輸出功率與初始光輸出功率進(jìn)行比較(714)，以確定哪些激光器仍在期望的規(guī)格范圍內(nèi)工作，從而鑒別哪些激光器是可靠的和哪些是不可靠
11的。例如，其最終光功率與初始光功率相比下降了多于諸如2%的特定的量的激光器可以被鑒別為有缺陷的且不可靠的激光器，并且可以被排除(716)?；蛘?，最終光功率可以與特定下限比較，并可以排除具有低于特定下限的最終光功率的所有激光器(716)。排除不可靠的激光器(716)可以包括摒除不可靠的激光器，使得這些激光器不會(huì)被結(jié)合到銷(xiāo)售給用戶的任何模塊或單元中。另一方面，其最終光功率的下降小于特定的量或者具有高于特定下限的最終光功率的激光器可以被鑒別為可靠的(718)，并且能夠可選地被用在包括激光器的模塊或單元的制造中(720)。得益于本公開(kāi)，本領(lǐng)域的技術(shù)人員會(huì)認(rèn)識(shí)到，方法700僅是示例，并且可以根據(jù)具體需要或期望對(duì)該方法進(jìn)行改進(jìn)。例如，如果最終光輸出功率與特定標(biāo)準(zhǔn)或規(guī)格進(jìn)行比較， 而不是與初始光輸出功率進(jìn)行比較，則在本發(fā)明范圍內(nèi)的實(shí)施例可以省略進(jìn)行初始測(cè)試以確定激光器的初始光輸出功率的步驟702。替選地或額外地，本發(fā)明的實(shí)施例可以包括確定激光器可靠度的步驟，該步驟可以包括測(cè)量初始和/或最終光功率，并且將一個(gè)或全部測(cè)量結(jié)果相互進(jìn)行比較或與特定標(biāo)準(zhǔn)或規(guī)格進(jìn)行比較。本發(fā)明在不偏離其精神或基本特性的情況下，可以以其他特定形式來(lái)實(shí)施。所描述的實(shí)施例在所有方面都應(yīng)被認(rèn)為僅是示例性的，而不是限制性的。因此，本發(fā)明的范圍是通過(guò)所附權(quán)利要求而不是通過(guò)前述描述來(lái)表明的。在權(quán)利要求的等同物的含意和范圍內(nèi)的所有變化都應(yīng)包含在權(quán)利要求的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種對(duì)光信號(hào)源進(jìn)行老化以確定所述光信號(hào)源的可靠度的方法，所述方法包括為光信號(hào)源提供第一驅(qū)動(dòng)電流，所述第一驅(qū)動(dòng)電流至少是所述光信號(hào)源的正常工作偏置電流的三倍大；將給所述光信號(hào)源的所述第一驅(qū)動(dòng)電流維持第一時(shí)間段，所述第一時(shí)間段為五個(gè)小時(shí)或更長(zhǎng)；以及在所述第一時(shí)間段期間，將所述光信號(hào)源的環(huán)境溫度維持在第一溫度或低于第一溫度，所述第一溫度為50攝氏度或更低。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，還包括，在將所述第一驅(qū)動(dòng)電流提供給所述光信號(hào)源并持續(xù)所述第一時(shí)間段之后，對(duì)所述光信號(hào)源進(jìn)行熱老化。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中，對(duì)所述光信號(hào)源進(jìn)行熱老化包括為所述光信號(hào)源提供第二驅(qū)動(dòng)電流并持續(xù)第二時(shí)間段，同時(shí)將所述光信號(hào)源的環(huán)境溫度維持在第二溫度，所述第二驅(qū)動(dòng)電流約為所述光信號(hào)源的正常工作偏置電流的兩倍大。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，還包括，確定所述光信號(hào)源的可靠度。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中，確定所述光信號(hào)源的可靠度包括在將所述第一驅(qū)動(dòng)電流提供給所述光信號(hào)源并持續(xù)所述第一時(shí)間段之前，測(cè)量所述光信號(hào)源的初始光輸出功率；在將所述第一驅(qū)動(dòng)電流提供給所述光信號(hào)源并持續(xù)所述第一時(shí)間段之后，測(cè)量所述光信號(hào)源的最終光輸出功率；以及將所述最終光輸出功率與所述初始光輸出功率進(jìn)行比較。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中，當(dāng)所述最終光輸出功率與所述初始光輸出功率相比下降至少2%時(shí)，所述光信號(hào)源被確定為不可靠。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述第一驅(qū)動(dòng)電流介于所述光信號(hào)源的正常工作偏置電流的三倍大到四倍大之間。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述第一驅(qū)動(dòng)電流在150毫安到240毫安之間。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述第一時(shí)間段大約為一百小時(shí)。
10.一種使多個(gè)激光器的老化加速?gòu)亩_定所述激光器的可靠度的方法，所述方法包括在多個(gè)激光器上進(jìn)行初始測(cè)試，來(lái)為所述多個(gè)激光器中的每個(gè)確定初始光輸出功率；對(duì)所述多個(gè)激光器進(jìn)行大功率光老化并持續(xù)第一時(shí)間段；在對(duì)所述多個(gè)激光器進(jìn)行所述大功率光老化并持續(xù)所述第一時(shí)間段之后，進(jìn)行隨后的測(cè)試來(lái)為所述多個(gè)激光器中的每個(gè)確定隨后的光輸出功率；以及對(duì)于所述多個(gè)激光器中的每個(gè)，將所述隨后的光輸出功率與所述初始光輸出功率進(jìn)行比較，以確定所述多個(gè)激光器中的哪些是在規(guī)格范圍內(nèi)工作的。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中，對(duì)所述多個(gè)激光器進(jìn)行大功率光老化包括為所述多個(gè)激光器中的每個(gè)提供驅(qū)動(dòng)電流，同時(shí)將所述多個(gè)激光器的環(huán)境溫度維持在50攝氏度或更低，所提供給每個(gè)激光器的所述驅(qū)動(dòng)電流至少是所述激光器的正常工作偏置電流的三倍大。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，還包括對(duì)被確定為在規(guī)格范圍內(nèi)工作的一個(gè)或多個(gè)激光器中的每個(gè)進(jìn)行高溫?zé)崂匣?；?duì)所述一個(gè)或多個(gè)激光器中的每個(gè)進(jìn)行最終測(cè)試，來(lái)為所述一個(gè)或多個(gè)激光器中的每個(gè)確定最終光輸出功率；以及將所述最終光輸出功率與所述初始光輸出功率進(jìn)行比較，以確定在所述高溫?zé)崂匣笏鲆粋€(gè)或多個(gè)激光器中的哪些仍然在規(guī)格范圍內(nèi)工作。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其中，所述高溫?zé)崂匣倪M(jìn)行持續(xù)第二時(shí)間段，所述第二時(shí)間段介于幾個(gè)小時(shí)到幾天之間。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，還包括對(duì)所述一個(gè)或多個(gè)激光器進(jìn)行掃描光老化。
15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，還包括摒除不在規(guī)格范圍內(nèi)工作的一個(gè)或多個(gè)不可靠的激光器。
16.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中，所述多個(gè)激光器中的每個(gè)包括法布里-佩羅激光器，所述法布里-佩羅激光器被配置為以大約每秒10千兆比特、每秒17千兆比特或每秒 25千兆比特的數(shù)據(jù)速率進(jìn)行光信號(hào)傳輸。
17.—種測(cè)試光信號(hào)源的可靠度的方法，所述方法包括為多個(gè)激光器提供驅(qū)動(dòng)電流并持續(xù)一個(gè)時(shí)間段，同時(shí)將所述激光器的環(huán)境溫度維持在 50攝氏度或更低，所述驅(qū)動(dòng)電流至少是所述激光器在升高的溫度下的正常工作偏置電流的三倍大；以及在所述時(shí)間段后，基于所述激光器的光輸出功率來(lái)確定所述激光器的可靠度。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中，所述激光器包括砷化銦鋁鎵半導(dǎo)體激光器。
19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中，取決于包括所述激光器的設(shè)計(jì)、所述激光器由什么半導(dǎo)體材料制成、所述驅(qū)動(dòng)電流和所述環(huán)境溫度的一個(gè)或多個(gè)因素來(lái)選擇所述時(shí)間段的長(zhǎng)度。
20.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中，所述激光器的環(huán)境溫度被維持在大約35攝氏度。
全文摘要
對(duì)半導(dǎo)體激光器進(jìn)行老化以鑒別不耐用的或有缺陷的器件，使得剩余器件的可靠度提高?？梢允褂么蠊β使饫匣瘜?duì)激光器進(jìn)行老化，包括為激光器提供大驅(qū)動(dòng)電流一個(gè)時(shí)間段，以及將激光器的環(huán)境溫度維持在低的溫度。在進(jìn)行了大功率光老化之后，可以測(cè)量激光器的輸出以確定激光器是否在規(guī)格范圍內(nèi)工作。不在規(guī)格范圍內(nèi)工作的激光器可被摒除，而在規(guī)格范圍內(nèi)工作的激光器可被進(jìn)一步使用高溫?zé)崂匣M(jìn)行老化，包括為激光器提供驅(qū)動(dòng)電流，同時(shí)將激光器的環(huán)境溫度維持在高的溫度。
文檔編號(hào)H01S5/00GK102177625SQ200980140294
公開(kāi)日2011年9月7日 申請(qǐng)日期2009年8月13日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月13日
發(fā)明者T·H·奧拉·舍隆德, 查爾斯·B·羅斯洛, 羅伯特·W·赫里克, 須藤劍 申請(qǐng)人:菲尼薩公司